CN113574356A

CN113574356A - 压力传感器

Info

Publication number: CN113574356A
Application number: CN202080019007.1A
Authority: CN
Inventors: 小林正典; 海野健
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2019-03-11
Filing date: 2020-03-06
Publication date: 2021-10-29
Anticipated expiration: 2040-03-06
Also published as: EP3940359A1; JP7164835B2; CN113574356B; US20220155166A1; EP3940359A4; WO2020184434A1; JP2020148480A

Abstract

本发明的压力传感器防止使管座和检测电路绝缘的绝缘膜的膜剥落或裂纹的问题。压力传感器具有：管座，其具有平面状的外底面、沿相对于所述外底面交叉的方向延伸的外侧面、以及为所述外底面的相反面并且受到来自作为测定对象的流体的压力的受压内面；以及检测电路，其相对于所述外底面隔着绝缘膜设置，所述管座具有：平缓部，以包围所述外底面的方式形成，从平行于所述外底面的方向观察，由朝向与所述外底面及所述外侧面不同的方向的面构成，并且连接所述外底面和所述外侧面，所述绝缘膜覆盖所述平缓部的至少一部分。

Description

压力传感器

技术领域

本发明涉及在管座(steam)的外底面隔着绝缘膜设置检测电路的压力传感器。

背景技术

作为压力传感器，已知有在由金属等形成的管座的外底面隔着绝缘膜设置检测电路的压力传感器。作为检测电路，例如有利用压阻效应(也称为压电阻效应)，根据电阻变化检测管座的底壁部(也称为膜或隔膜)的应变的电路。在这种压力传感器中，绝缘膜通过确保管座和检测电路之间的绝缘性，实现检测电路的适当的压力检测。

但是，这种压力传感器的绝缘膜形成于由压力而产生变形的管座的底壁部，还由于测定对象的流体而暴露在高温环境下，因此，存在产生膜剥落或裂纹等的问题。产生于绝缘膜的膜剥落或裂纹有可能导致压力传感器的性能降低及耐久寿命的降低，因此成为问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5－13782号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本发明是鉴于这种实际情况而做出的，并且提供一种压力传感器，其防止使管座和检测电路绝缘的绝缘膜的膜剥落或裂纹的问题。

用于解决问题的技术方案

为了实现上述目的，本发明所涉及的压力传感器具有：

管座，其具有平面状的外底面、沿相对于所述外底面交叉的方向延伸的外侧面、以及为所述外底面的相反面并且受到来自作为测定对象的流体的压力的受压内面；以及

检测电路，其相对于所述外底面隔着绝缘膜设置，

所述管座具有：平缓部，其以包围所述外底面的方式形成，从垂直于所述外底面的方向观察，由朝向与所述外底面及所述外侧面不同的方向的面构成，并且连接所述外底面和所述外侧面，

所述绝缘膜覆盖所述平缓部的至少一部分。

在本发明所涉及的压力传感器中，在绝缘膜紧贴的管座的表面形成有平缓部。在现有的管座，外底面和外侧面大致垂直地连接，因此，可认为在绝缘膜，在覆盖该部分的部分及其周边产生应力集中，成为膜剥落或裂纹的起点。与之相对，在本发明所涉及的压力传感器的管座，不是将外底面和外侧面直接连接，而是将外底面和外侧面经由平缓部连接。因此，通过平缓部的存在缓和外底面和外侧面之间的急剧的面的方向的变化，降低在覆盖管座的表面的绝缘膜的应力集中，本发明所涉及的压力传感器能够防止绝缘膜的膜剥落或裂纹等的产生。

另外，例如，也可以是，从垂直于所述外底面的方向观察，从作为所述外底面和所述平缓部的边界的第一边界到作为所述平缓部和所述外侧面的边界的第二边界的长度为10μm以上1mm以下。

通过将平缓部的长度设为10μm以上，能够更有效地降低在覆盖平缓部及其周边的绝缘膜的应力集中，因此，具有这种平缓部的压力传感器获得耐久性及可靠性的进一步的改善效果。另外，通过将平缓部的长度设为1mm以下，有助于压力传感器的小型化。

另外，例如，也可以是，所述平缓部以包围所述外底面的方式形成，并且在正交于所述外底面的截面观察，具有相对于所述外底面形成30度～60度的角度的倾斜面。

通过设置具有这种倾斜面的平缓部，即使在外底面与平缓部的边界和平缓部与外侧面的边界中的任一边界，也能够降低在覆盖这些部分的绝缘膜的应力集中。因此，这种压力传感器能够有效地防止绝缘膜的膜剥落或裂纹等的产生。

另外，例如，也可以是，所述倾斜面相对于所述外底面直接连接、或相对于所述外底面经由形成比所述倾斜面小的角度的连接面而连接。

具有这种倾斜面的平缓部能够有效地降低特别是对覆盖外底面和平缓部的边界的绝缘膜的应力集中，并且能够有效地防止外底面及其附近的绝缘膜的膜剥落或裂纹等的产生。

另外，例如，也可以是，在正交于所述外底面的截面观察，所述倾斜面相对于所述外底面形成一定的角度。

这种倾斜面能够通过机械加工等容易且高精度地形成，可以降低尺寸偏差，因此，具有这种管座的压力传感器的生产性良好。

另外，例如，也可以是，在正交于所述外底面的截面观察，所述倾斜面以相对于所述外底面形成的角度随着远离所述外底面而变大的方式进行变化。

通过倾斜面的角度变化，能够更有效地降低在包含倾斜面的平缓部和外底面及外侧面的边界部分的面方向的变化。因此，这种压力传感器能够有效地防止绝缘膜的膜剥落或裂纹等的产生。

另外，例如，也可以是，在正交于所述外底面的截面观察，所述平缓部具有相对于所述外底面形成的角度随着远离作为所述外底面和所述平缓部的边界的第一边界而过渡性变大的曲面形状。

通过平缓部的角度变化，能够更有效地降低在平缓部和外底面及外侧面的边界部分的面方向的变化。另外，除此之外，平缓部和外底面形成的角度从边界过渡性变大，因此这种压力传感器能够有效地防止绝缘膜的局部的应力集中，且有效地防止膜剥落或裂纹等的产生。

附图说明

图1是本发明第一实施方式所涉及的压力传感器的示意截面图。

图2是图1所示的压力传感器的传感器本体部的放大截面图。

图3是表示图2所示的传感器本体部具有的管座的形状的概念图。

图4是本发明第二实施方式所涉及的压力传感器所包含的传感器本体部的放大截面图。

图5是表示图4所示的传感器本体部具有的管座的形状的概念图。

图6是表示本发明第三实施方式所涉及的压力传感器所包含的管座的形状的概念图。

图7是表示管座的平缓部的长度和绝缘膜的最大应力的值的关系的图表。

图8是表示绝缘膜的膜厚和最大应力的值的关系的图表。

具体实施方式

以下，基于附图所示的实施方式对本发明进行说明。

图1是本发明第一实施方式所涉及的压力传感器10的概略截面图。压力传感器10具有：包含管座20等的传感器本体部18、形成有向管座20传递压力的流路12b的连接构件12、相对于连接构件12固定传感器本体部18的按压构件14、对设置于管座20的检测电路50等配线的基板部70等。

如图1所示，在连接构件12的外周形成有用于将压力传感器10相对于测定对象进行固定的螺纹槽12a。通过经由螺纹槽12a固定压力传感器10，形成于连接构件12的内部的流路12b相对于由测定对象即流体填满的压力室气密地连通。

如图1所示，传感器本体部18及包含于传感器本体部18的管座20具有有底(上底)筒状的外形状，设置于连接构件12的流路12b的一端部。管座20在开口侧(Z轴负方向侧)设置有凸缘部21，通过在按压构件14和连接构件12之间夹入凸缘部21，传感器本体部18相对于连接构件12固定。管座20的开口和连接构件12的流路12b利用按压构件14气密地连结，测定对象的流体的压力向管座20的底壁部22(参照图2)传递。

图2是图1所示的传感器本体部18的放大截面图。传感器本体部18具有管座20、绝缘膜40以及检测电路50。管座20具有沿XY平面方向延伸的大致圆形板状的底壁部22(参照图3(a))和连接于底壁部22的外周缘且沿Z轴负方向延伸的大致圆筒状的侧壁部25。

另外，管座20具有在侧壁部25的Z轴负方向端部沿外径方向突出的凸缘部21，但作为管座20的形状，不仅限定于实施方式所示的形状，例如，管座也可以为不具有凸缘部的有底圆筒形状。作为管座20的材料，例如可以列举不锈钢等金属材料、如碳化硅的陶瓷、硅等半导体材料等，但没有特别限定。

如图2所示，绝缘膜40以覆盖管座20的外表面整体的方式形成。绝缘膜40确保管座20和检测电路50的绝缘性。形成有检测电路50的功能膜经由绝缘膜40形成于管座20的外表面。此外，为了便于说明，图2中记载的绝缘膜40及形成检测电路50的功能膜的厚度比实际厚。

图3是表示图2所示的传感器本体部18的管座20的形状的概念图。图3(a)是从Z轴正方向侧观察管座20的俯视图，图3(b)是根据平行于Z轴的截面的管座20的截面图。此外，在图3(b)中，通过虚线表示形成图2所示的检测电路50的功能膜和绝缘膜40。如图3(a)及图3(b)所示，管座20的外表面具有：外底面24、平缓部28、外侧面27、台阶面34、以及开口缘面36。

外底面24为管座20的上方(Z轴正方向)侧的端面，并且为圆形的平面状。外侧面27沿相对于外底面24交叉的方向延伸。图3所示的外侧面27沿相对于外底面24的延伸的方向(X轴及Y轴方向)大致垂直的方向(Z轴方向)延伸，并且为圆筒侧面形状。

如图3(a)所示，平缓部28以包围外底面24的方式形成。如图3(b)所示，从平行于外底面24的方向即Y方向或X方向观察，平缓部28由朝向与外底面24及外侧面27不同的方向的面构成，并且连接外底面24和外侧面27。

如图3(a)所示，从垂直于外底面24的方向(Z轴方向)观察，从外底面24和平缓部28的边界即第一边界31到平缓部28和外侧面27的边界即第二边界32的长度L1优选为10μm以上1mm以下，更优选为40μm以上500μm以下。通过将长度L1设为规定的值以上，能够降低在形成于平缓部28上的绝缘膜40的应力集中。另外，通过将平缓部28的长度L1设为规定的值以下，有助于管座20的小型化。

如图3(b)所示，在与外底面24正交的截面观察，平缓部28由相对于外底面24形成规定的角度θ的倾斜面构成。构成平缓部28的倾斜面相对于外底面24而形成的角度θ没有特别限定，例如优选设为30度～60度。通过将角度θ设为这种范围，在外底面24和平缓部28的边界即第一边界31与平缓部28和外侧面27的边界即第二边界32中的任一边界31、32的附近，均能够降低在覆盖管座20的外表面的绝缘膜40的应力集中。

平缓部28也可以由如图3所示连续的一个面构成，也可以具有方向及角度不同的多个面。如图3(b)所示，在与外底面24正交的截面观察，构成图3所示的平缓部28的倾斜面相对于外底面24形成一定的角度θ。这种倾斜面能够通过机械加工等容易且高精度地形成，能够降低管座20的尺寸偏差。

图3所示的管座20的台阶面34为凸缘部21的外表面，具有沿X轴及Y轴方向延伸且形成环形状的部分以及沿Z轴方向延伸且形成圆筒侧面形状的部分。开口缘面36为包围形成于管座20的内部的空洞的开口的周围的环状的平面，构成管座20的下方(Z轴负方向)侧的端面。

如图3(b)所示，管座20的内表面具有受压内面23和内侧面26。受压内面23为底壁部22的外底面24的相反面，受到来自测定对象即流体的压力。受压内面23也与外底面24同样为平面状，但外底面24为朝向Z轴正方向侧的面，与之相对，受压内面23为朝向Z轴负方向侧的面。

管座20的底壁部22通过受压内面23受到来自流体的压力而变形，底壁部22的至少一部分作为膜(或隔膜)起作用。内侧面26为侧壁部25的外侧面27的相反面。管座20的底壁部22的厚度以受到测定对象即流体的压力而产生适当的变形的方式进行确定，例如与侧壁部25的厚度相比，能够减薄。

如图2及图3(b)所示，在压力传感器10，在与受压内面23相反面即外底面24，经由绝缘膜40设置有检测电路50，通过检测电路50检测底壁部22的变形及流体的压力。作为图1及图2所示的检测电路50，例如，可列举利用压阻效应(也称为压电阻效应)，检测底壁部22的变形及流体的压力的电路，但不仅限定于此。

检测电路50经由绝缘膜40设置于外底面24上。如图2所示，检测电路50通过对功能膜的一部分进行根据激光加工、丝网印刷那样的半导体加工技术的微细加工而形成。如图2所示，功能膜也可以以在管座20的外表面即外底面24、平缓部28及外侧面27等上经由绝缘膜40间接地覆盖管座20的外表面即外底面24、平缓部28及外侧面27等的形式形成。另外，功能膜也可以与此不同，仅形成于设置有检测电路50的外底面24上。

如图2所示，绝缘膜40以与管座20的外表面即外底面24、平缓部28及外侧面27等直接接触并覆盖的方式进行设置。绝缘膜40形成于管座20的外表面和检测电路50及功能膜之间。检测电路50及功能膜被绝缘膜40隔开，并且相对于管座20不接触。

绝缘膜40以覆盖管座20的外表面中的外底面24的整体并且覆盖连接外底面24和外侧面27的平缓部28的至少一部分的方式进行设置。但是，绝缘膜40也可以覆盖外底面24及平缓部28的整体，如图2所示，除外底面24及平缓部28外，还可以至少覆盖外侧面27及台阶面34的一部分。

绝缘膜40确保管座20和检测电路50的绝缘性。此外，图2中，绝缘膜40由薄膜等构成，绝缘膜40的厚度比管座20的壁厚等薄。

图1所示的压力传感器10例如通过如下的制造工序来制造。首先，在压力传感器10的制造中，制造如图3所示的管座20。管座20例如通过对规定的金属材料进行冲压、切削、研磨等机械加工而制造。图3所示的平缓部28，例如，能够在制造了相对于外底面24垂直地连接外侧面27的中间制造物后，在中间制造物，对连接外底面24和外侧面27的拐角的部分通过实施研磨等机械加工而形成。

接着，在管座20的外表面形成多层绝缘膜40和功能膜，通过对形成的多层膜进行根据半导体加工技术的微细加工，来在多层膜形成检测电路50。通过这些工序，得到图2所示的传感器本体部18。进而，如图1所示，通过将传感器本体部18固定于连接构件12等，并且通过引线接合(wire bonding)等对基板70和检测电路50进行配线，能够制造图1所示的压力传感器10。

具有检测电路50的功能膜和绝缘膜40相对于管座20的形成方法没有特别限定，例如能够通过溅射法、真空蒸镀法、CVD法、溶胶·凝胶法等进行制造。作为绝缘膜40的材质，可列举氧化硅、氮化硅、氧化铝等，但没有特别限定。作为功能膜的材质，可列举硅等半导体、及良导体的金属等，但没有特别限定。

另外，作为具有检测电路50的功能膜及绝缘膜40的图案化法，能够使用半导体加工技术即光刻图案化法(photo patterning)等。此外，管座20通过具有如图2所示的平缓部28，在功能膜及绝缘膜40的图案化·形成工序中，能够有效地防止抗蚀剂(resist)及薄膜在垂直的边缘部分变得不均匀的问题。

包含于压力传感器10的管座20的大小没有特别限定，例如图3所示的外侧面27的直径为3mm～20mm。另外，形成于管座20的绝缘膜40的厚度也没有特别限定，例如为500nm～100μm。另外，形成于管座20的功能膜的厚度没有特别限定，例如为50nm～1μm。

如上，如图3所示，压力传感器10的外底面24和外侧面27不是直接连接，外底面24和外侧面27经由平缓部28连接，并且绝缘膜40设置于其上。在此，在如实施方式的压力传感器中，产生因金属或陶瓷那样的管座的材料和作为高介电材料的绝缘膜的线膨胀系数的不同而引起的热应力。在现有的压力传感器中，产生如下问题，在绝缘膜，在覆盖管座的垂直的边缘附近的部分产生应力集中，在绝缘膜产生裂纹，或者绝缘膜从管座表面剥落。

但是，在上述的压力传感器10，如图2所示，管座20具有平缓部28，因此，能够缓和外底面24和外侧面27之间的急剧的面方向的变化，降低在沿着管座20的外表面而形成的绝缘膜40的应力集中。因此，这种压力传感器10能够防止在绝缘膜40产生裂纹，或者绝缘膜40从管座20表面剥落的问题，具有高的耐久性和可靠性。

另外，如图3(a)所示，压力传感器10通过将平缓部28的长度L1设为10μm以上，能够更有效地降低在位于平缓部28及第一边界31及第二边界32的周边的绝缘膜40的应力集中。因此，具有这种平缓部28的压力传感器10获得耐久性及可靠性的进一步的改善效果。另外，通过将平缓部28的长度L1设为1mm以下，有助于压力传感器10的小型化。

另外，如图3(b)所示，平缓部28具有相对于外底面24形成30度～60度的角度θ的倾斜面，因此，能够减小第一边界31和第二边界32双方的边界的面方向的变化。因此，压力传感器10能够降低在沿着第一边界31和第二边界32形成的绝缘膜40的应力集中。

另外，在压力传感器10的管座20，与现有的形状的管座不同，没有面方向沿垂直于设置有检测电路50的外底面24的周围变化的拐角。因此，使用这种管座20的压力传感器10能够降低图案化不良或成膜不良等、制造工序中产生的缺陷发生，因此，生产性良好。

如上，示出实施方式对本发明所涉及的压力传感器进行了说明，但本发明不仅限定于上述的实施方式，当然也具有其它许多的实施方式及变形例。图4是示出本发明第二实施方式所涉及的压力传感器的传感器本体部118的示意截面图。

如图4所示，第二实施方式所涉及的压力传感器除管座120的平缓部128的形状、绝缘膜140的形状以及形成有检测电路150的功能膜的形状不同外，与第一实施方式所涉及的压力传感器10相同。在第二实施方式所涉及的压力传感器的说明中，仅对与第一实施方式所涉及的压力传感器10的不同点进行说明，针对与压力传感器10的共通点，省略说明。

如图4所示，传感器本体部118具有管座120、绝缘膜140、以及形成检测电路150的功能膜。管座120的配置于底壁部122的外周部的平缓部128的形状与图2所示的管座20不同，其它部分与管座20相同。

图5是表示图4所示的传感器本体部118的管座120的形状的概念图。图5(a)是从Z轴正方向侧观察管座120的俯视图，图5(b)是根据平行于Z轴的截面的管座120的截面图。如图5(b)所示，在与外底面24正交的截面观察，平缓部128具有相对于外底面24形成的角度随着远离第一边界31而过渡性变大的曲面形状。例如，平缓部128也可以具有与平缓部128的长度L1相同的曲率半径。

如图5所示，绝缘膜140的形状追随管座120的外表面的形状。因此，在绝缘膜140位于管座120的平缓部128上的部分与平缓部128同样地成为曲面状。另外，形成检测电路150的功能膜隔着绝缘膜140仅形成于外底面24上。此外，绝缘膜140针对外底面24需要覆盖整体，但针对平缓部128不需要覆盖整体，至少覆盖平缓部128的一部分即可。

在图4及图5所示的管座120，平缓部128具有曲面形状，平缓部128和外底面24形成的角度θ随着远离第一边界31而变大。具有这种形状的平缓部128的管座120能够减小在第一边界31及第二边界32周边的面方向的变化，因此，能够更有效地防止在覆盖其的绝缘膜140的应力集中。另外，第二实施方式所涉及的压力传感器起到与第一实施方式所涉及的压力传感器10同样的效果。

图6是表示本发明第三实施方式所涉及的压力传感器的管座220的形状的概念图。图6(a)是从Z轴正方向侧观察管座220的俯视图，图6(b)是根据平行于Z轴的截面的管座120的截面图。如图6所示，第三实施方式所涉及的压力传感器除管座220的平缓部228的形状不同，绝缘膜及功能膜的形状变为沿着平缓部228的形状外，与第一实施方式所涉及的压力传感器10相同。在第三实施方式所涉及的压力传感器的说明中，仅对与第一实施方式所涉及的压力传感器10的不同点进行说明，针对与压力传感器10的共通点，省略说明。

如图6(b)所示，在与外底面24正交的截面观察，管座220的平缓部228具有相对于外底面24形成30度～60度的角度的倾斜面228a以及相对于外底面24形成比倾斜面228a小的角度的连接面228b。如图6(a)所示，外底面24、连接面228b及倾斜面228a形成为同心圆状，连接面228b及倾斜面228a以包围外底面24的方式形成。

从图3和图6的比较可以理解，倾斜面也可以如构成图3所示的平缓部28的倾斜面那样相对于外底面24直接连接，也可以如图6所示的倾斜面228a那样经由连接面228b连接于外底面24。如图6所示，在与外底面24正交的截面观察，包含于平缓部28的面优选由朝向连接于第一边界31的外底面24的方向和连接于第二边界32的外侧面27的方向之间的方向的面构成。

使用具有如图6所示的平缓部228的管座220的压力传感器通过平缓部28具有连接面228b和倾斜面228a，能够有效地降低对覆盖第一边界31的绝缘膜的应力集中，能够有效地防止外底面24及其附近的绝缘膜的膜剥落或裂纹等的产生。另外，第三实施方式所涉及的压力传感器实现与第一实施方式所涉及的压力传感器10同样的效果。此外，图6所示的倾斜面228a不限定于相对于外底面24形成的角度θ为恒定的面。管座220的倾斜面也可以为如图5所示的管座120的平缓部128那样，在与外底面24正交的截面观察，以相对于外底面24形成的角度随着远离外底面24而变大的方式进行变化的曲面。

如上，列举多个实施方式并对本发明所涉及的压力传感器进行了说明，但本发明不仅限定于上述的实施方式，当然也具有其它许多的实施方式及变形例。本发明中除这些以外包含许多的实施方式。例如，图1所示的管座20的形状及固定结构只不过为一例，本发明的压力传感器的管座20能够采用根据压力而适当地变形的、其它任意的形状及固定结构。

以下，列举实施例并对本发明进行更详细的说明，但本发明不仅限定于这些实施例。

第一实施例

图7是表示如图5所示在具备具有与平缓部128的长度L1对应的曲面的平缓部128的管座120，计算在管座120的受压内面23产生了规定的变形时，形成于平缓部128上的绝缘膜140被施加的最大主应力和管座120的平缓部128的长度L1的关系的结果的图表。其它主要的计算的条件如下。

绝缘膜的材质：SiO₂

绝缘膜的厚度：1000μm

绝缘膜的成膜方法：TEOS－CVD

平缓部的长度L1：0.1μm、1μm、10μm、100μm

管座的材质：奥氏体系不锈钢

温度：25℃

从图7能够理解，通过平缓部128的长度L1变长，施加于绝缘膜140的最大主应力降低。最大主应力的值在平缓部128的长度为1μm以上的范围成为绝缘膜140不产生裂纹的允许范围，在平缓部128的长度为10μm以上的范围，确保更大的安全率。

第二实施例

图8中，除固定平缓部128的长度L1，使绝缘膜140的厚度变化外，与第一实施例同样地，算出施加于绝缘膜140的最大主应力。与第一实施例不同的主要的计算的条件如下。

绝缘膜的厚度：1μm、10μm、100μm、1000μm

平缓部的长度L1：1μm

从图8能够理解，通过绝缘膜140的厚度变薄，施加于绝缘膜140的最大主应力降低。最大主应力的值在绝缘膜140的厚度为100μm以下的范围确保更大的安全率。此外，绝缘膜140的厚度在第二实施例中的任意的条件下均确保充分的绝缘性。

符号说明

10…压力传感器

12…连接构件

12a…螺纹槽

12b…流路

14…按压构件

18、118…传感器本体部

20、120、220…管座

21…凸缘部

22、122…底壁部(膜)

23…受压内面

24…外底面

25…侧壁部

26…内侧面

27…外侧面

28、128、228…平缓部

228a…倾斜面

228b…连接面

31…第一边界

32…第二边界

34…台阶面

36…开口缘面

40、140…绝缘膜

50、150…检测电路

70…基板部

82…连接配线

Claims

1.一种压力传感器，其中，

具有：

检测电路，其相对于所述外底面隔着绝缘膜而设置，

所述管座具有：平缓部，其以包围所述外底面的方式形成，从平行于所述外底面的方向观察，由朝向与所述外底面及所述外侧面不同的方向的面构成，并且连接所述外底面和所述外侧面，

所述绝缘膜覆盖所述平缓部的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其中，

从垂直于所述外底面的方向观察，从作为所述外底面和所述平缓部的边界的第一边界到作为所述平缓部和所述外侧面的边界的第二边界的长度为10μm以上1mm以下。

3.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其中，

所述平缓部，以包围所述外底面的方式形成，并且在正交于所述外底面的截面观察，具有相对于所述外底面形成30度～60度的角度的倾斜面。

4.根据权利要求3所述的压力传感器，其中，

所述倾斜面相对于所述外底面直接连接、或相对于所述外底面经由形成比所述倾斜面小的角度的连接面而连接。

5.根据权利要求3或4所述的压力传感器，其中，

在正交于所述外底面的截面观察，所述倾斜面相对于所述外底面形成一定的角度。

6.根据权利要求3或4所述的压力传感器，其中，

在正交于所述外底面的截面观察，所述倾斜面以相对于所述外底面形成的角度随着远离所述外底面而变大的方式进行变化。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的压力传感器，其中，

在正交于所述外底面的截面观察，所述平缓部具有相对于所述外底面形成的角度随着远离作为所述外底面和所述平缓部的边界的第一边界而过渡性变大的曲面形状。