CN113533802A - 一种半导体制造用的通电测试装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种半导体制造用的通电测试装置，涉及半导体制造领域。包括推送装置；所述推送装置上固定连接有四个拆装触碰块，且四个拆装触碰块为斜面结构；推送装置底部固定连接有两个浮动支撑部，且两个浮动支撑部上转动连接有转换壳体，且转换壳体上安装有三组正负定位装置，设置的通电部实现根据不同的发光模块调节不同的正负极电极距离，同时实现无需人工对发光模块的正负极朝向与通电部进行自动对正检测，解决的通电测试装置调节以及切换需要正负极距离，使用不够灵活，检测不够精准，同时造成大量的误判，发光模块安装误差大的问题。

Description

一种半导体制造用的通电测试装置

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种半导体制造用的通电测试装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，而LED灯就是对半导体的巧妙运用，对LED质量检测，就需要用到半导体制造用的通电测试装置辅助完成。

然而，现有的半导体制造用的通电测试装置未设置独立切换装置，无法根据不同的发光模块调节以及切换需要的正负极距离，使用不够灵活；同时未设置正负通用的自动检测装置，检测过程依靠人工区分发光模块正负极进行通电检测，检测不够精准，同时造成大量的误判，造成经济损失；未设置浮动检测装置，触点贴合效果不佳；未设置对中推送装置以及自动拆装装置，安装误差大，同时增加二次返工检测次数，劳动强度大，工作效率低。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种半导体制造用的通电测试装置，其具有通电部，可以自动针对LED的安装方式适应正负极位置，无需人工切换正负极位置，测试更加精准，同时正负极距离可调，可以适用于更多规格的LED半导体检测。

本发明提供了一种半导体制造用的通电测试装置，具体包括：推送装置；

所述推送装置固定上固定连接有四个拆装触碰块；四个拆装触碰块两两对向放置，且四个拆装触碰块为斜面结构；推送装置底部固定连接有两个浮动支撑部，且两个浮动支撑部上转动连接有转换壳体，且转换壳体上安装有三组正负定位装置；三组正负定位装置上分别滑动连接有两组通电部；转换壳体上设有三组滑动槽；转换壳体两侧分别开设有三个半球定位槽；浮动支撑部上固定连接有定位部；推送装置上安装有两组安装部，且两组安装部上的结构相同；两组安装部上分别滑动连接有按压装置；两组安装部上分别滑动连接有对中部；

所述浮动支撑部包括：

浮动轨道，浮动轨道固定连接在安装平台底部；

浮动滑块，浮动滑块滑动连接在浮动轨道内部；浮动滑块上转动连接有转换壳体，且转换壳体侧面轴端设有把手。

可选的，所述通电部包括：

正极导电板，正极导电板通过两个滑轴滑动连接在正负滑块上；正极导电板电性连接电源正极；

负极导电板，负极导电板通过两个滑轴滑动连接在正负滑块上；负极导电板电性连接电源负极；

绝缘条，绝缘条固定胶接在负极导电板与正极导电板之间。

可选的，所述正负定位装置还包括：

定位驱动齿条，定位驱动齿条设有两个，两个定位驱动齿条分别固定连接在两个正负滑块上，两个定位驱动齿条分别啮合于驱动齿轮；

调节螺纹杆，调节螺纹杆转动连接在螺纹轴座上，调节螺纹杆啮合于驱动齿轮。

可选的，所述安装部包括：

滑动安装座，滑动安装座滑动连接在推送轨道上，且滑动安装座上设有螺纹孔；滑动安装座螺纹连接在电动丝杆上；

联动块，联动块固定连接在滑动安装座侧面；联动块前侧为斜面结构，中段为平直结构，后段为斜面结构。

可选的，所述推送装置包括：

安装平台，安装平台底部固定连接有安装板；安装平台顶部四角分别固定连接有拆装触碰块；

推送轨道，推送轨道设有两个，两个推送轨道上的结构相同；两个推送轨道分别固定连接在安装平台上；

电动丝杆，电动丝杆设有两个，两个电动丝杆通过支架安装在安装平台上，且电动丝杆轴端转动连接在推送轨道内部。

可选的，所述定位部包括：

定位轴座，定位轴座固定连接在浮动轨道侧面；

定位轴，定位轴滑动连接在定位轴座上，且定位轴上套装有弹簧；弹簧固定连接在定位轴前端与定位轴座之间；定位轴为半球结构。

可选的，所述按压装置包括：

按压板，按压板通过两个滑动轴滑动连接在滑动安装座上去，两个滑动轴上均套装有拉簧；按压板通过“T”形块滑动连接在滑动安装座上；按压板内侧为斜面结构；拉簧固定连接在滑动安装座与按压板底部之间；

升降联动块，升降联动块固定连接在按压板底部两个滑动轴的底部；升降联动块两侧为弧形结构；

贴板，贴板通过两个滑动轴滑动连接在滑动安装座，且两个滑动轴上均套装有弹簧。

可选的，所述浮动支撑部还包括：

联动轮，联动轮通过支架转动连接在浮动滑块上。

浮动稳定轴，浮动稳定轴设有两个，且两个浮动稳定轴分别固定连接在浮动轨道内部，两个浮动稳定轴上滑动连接有浮动滑块；两个浮动稳定轴上套装有弹簧，且弹簧固定连接在浮动轨道底部与浮动滑块底部之间。

可选的，所述对中部包括：

对中挤压块，对中挤压块底部滑动连接在滑动安装座上；对中挤压块顶部为斜面结构；

对中挤压板，对中挤压板通过滑动轴滑动连接在对中挤压块上，且对中挤压板上的滑动轴上均套装有弹簧；

推进复位轴，推进复位轴固定连接在滑动安装座内部，且推进复位轴上滑动连接有对中挤压块；推进复位轴上套转有弹簧。

可选的，所述正负定位装置包括：

正负滑块，正负滑块设有两个，两个正负滑块分别滑动连接在转换壳体上设置的三组滑动槽中；正负滑块上开设有四个滑动孔，且四个滑动孔内部均套装有弹簧；

螺纹轴座，螺纹轴座设有两个，两个螺纹轴座分别固定连接在转换壳体内部；

驱动齿轮，驱动齿轮转动连接在转换壳体内部。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

1、在本装置中，通过设置推送装置，配合设置的浮动支撑部与转换壳体实现快速的切换转换壳体的三个侧面，用于针对不同的发光模块来适配不同的正负极距离，更加实用，提高工作效率；同时采用浮动支撑部进行支撑，再配合联动块进行浮动通电检测，确保正极导电板、负极导电板与发光模块的触点之间完全贴合，通过转动转换壳体侧面的把手，即实现切换转换壳体的工作面，同时检测过程中需要拉动定位轴，使定位轴与转换壳体之间解除定位，切换完成工作面后通过定位轴实现实时的对转换壳体进行定位，确保转换壳体使用过程的稳定性，设置的浮动滑块滑动连接在浮动轨道上，通过在滑动安装座被驱动滑动整个过程中，设置的联动块首先是前段的斜面贴合挤压联动轮，使浮动滑块带动转换壳体下降高度，紧接着是联动块中段的平直段挤压联动轮，此时转换壳体高度不变，最后使联动块后段的斜面挤压联动轮，此时换壳体在浮动稳定轴上弹簧的作用，随着联动块后段的斜面处带动转换壳体上升，实现带动通电部贴合于发光模块，结构简单高效，完全避免通电过程中触点接触不良，同时有效提高通电检测工作的效率。

2、在本装置中，通过设置安装部，通过在安装部上设置按压装置与对中部有效的提高安装精度，避免正负极错位导致解除不良，同时工作人员安装拆卸更加便捷，通过在滑动安装座被推送轨道上的电动丝杆驱动移动过程中，首先受到拆装触碰块的挤压，会通过升降联动块带动按压板整体上升便于工作人员安装发光模块，其中在按压装置上下滑动过程中会联动对中部调节发光模块的对中，使正负极可以准确的接触通电部，设置的两组按压装置与对中部通过按压板在拉簧的驱动下实现下降，此过程中挤压驱动对中挤压块滑动，通过对中挤压块上的对中挤压板来推进发光模块，使发光模块两侧边贴合于对中挤压板实现对发光模块的定位，反之在按压板上升时，对中挤压块失去按压板的挤压作用力实现解除对发光模块的对中定位，通过设置弹性连接的对中挤压板与贴板防止对发光模块挤压过度造成损坏，同时辅助适用于不同的发光模块定位；同时依照图1，在安装部运行至左侧时，在左侧的两个拆装触碰块挤压下，按压板即可再次被带动上升，发光模块则会被解除安装定位，使用更加高效，检测位置更加准确，同时提高检测速度。

3、在本装置中，通过设置正负定位装置配合设置的通电部实现根据不同的发光模块调节不同的正负极电极距离，同时实现无需人工对发光模块的正负极朝向与通电部进行对正即可实现检测，通过转动调节螺纹杆，在转动调节螺纹杆的过程中，由调节螺纹杆带动驱动齿轮转动，驱动齿轮转动过程中，实现同时带动两个定位驱动齿条对向移动，最后实现带动两个正负滑块上的正极导电板与负极导电板调节距离，通过设置正负定位装置，降低发光模块通电检测的难度，同时采用在两个正负滑块上分别设置通电部，并且在正极导电板与负极导电板之间增设绝缘条的方式实现无需人工对正负极进行调节，在发光模块移动运行过程中，即可实现自动对两种正负极接电方式进行检测，在发光模块接触反向的正负极电流时受PN结特点影响，LED不会亮起，反之，正负极无误，LED则会亮起，过程快捷灵活，完全避免人工区分正负极错误所出现的误判，从而有效的降低误判率，使用更加灵活，检测更加精准。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。

下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。

在附图中：

图1示出了根据本发明的实施例的整体结构示意图。

图2示出了根据本发明的实施例的前侧结构示意图。

图3示出了根据本发明的实施例的底部结构示意图。

图4示出了根据本发明的实施例的剖面结构索引图。

图5示出了根据本发明的实施例的图4中B方向结构剖视图。

图6示出了根据本发明的实施例的4中A方向结构剖视图。

图7示出了根据本发明的实施例的推送装置结构示意图。

图8示出了根据本发明的实施例的浮动支撑部结构示意图。

图9示出了根据本发明的实施例的浮动支撑部结构放大示意图。

图10示出了根据本发明的实施例的正负定位装置结构示意图。

图11示出了根据本发明的实施例的正负定位装置结构放大示意图。

图12示出了根据本发明的实施例的正负定位装置底部结构示意图。

图13示出了根据本发明的实施例的通电部结构示意图。

图14示出了根据本发明的实施例的定位部结构示意图。

图15示出了根据本发明的实施例的安装部后侧结构示意图。

图16示出了根据本发明的实施例的安装部局部剖面结构示意图。

图17示出了根据本发明的实施例的按压装置结构示意图。

图18示出了根据本发明的实施例的对中部结构示意图。

图19示出了根据本发明的实施例的滑动安装座结构示意图。

附图标记列表

1、推送装置；101、安装平台；102、推送轨道；103、电动丝杆；2、浮动支撑部；201、浮动轨道；202、浮动滑块；203、联动轮；204、浮动稳定轴；3、正负定位装置；301、正负滑块；302、螺纹轴座；303、驱动齿轮；304、定位驱动齿条；305、调节螺纹杆；4、通电部；401、正极导电板；402、负极导电板；403、绝缘条；5、定位部；501、定位轴座；502、定位轴；6、安装部；601、滑动安装座；602、联动块；7、按压装置；701、按压板；702、升降联动块；703、贴板；8、对中部；801、对中挤压块；802、对中挤压板；803、推进复位轴；9、拆装触碰块；10、转换壳体。

具体实施方式

为了使得本发明的技术方案的目的、方案和优点更加清楚，下文中将结合本发明的具体实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。除非另有说明，否则本文所使用的术语具有本领域通常的含义。附图中相同的附图标记代表相同的部件。

实施例：请参考图1至图19：

本发明提出了一种半导体制造用的通电测试装置，包括：推送装置1；推送装置1固定上固定连接有四个拆装触碰块9；四个拆装触碰块9两两对向放置，且四个拆装触碰块9为斜面结构；推送装置1底部固定连接有两个浮动支撑部2，且两个浮动支撑部2上转动连接有转换壳体10，且转换壳体10上安装有三组正负定位装置3；三组正负定位装置3上分别滑动连接有两组通电部4；转换壳体10上设有三组滑动槽；转换壳体10两侧分别开设有三个半球定位槽；浮动支撑部2上固定连接有定位部5；推送装置1上安装有两组安装部6，且两组安装部6上的结构相同；两组安装部6上分别滑动连接有按压装置7；两组安装部6上分别滑动连接有对中部8；浮动支撑部2包括：浮动轨道201，浮动轨道201固定连接在安装平台101底部；浮动滑块202，浮动滑块202滑动连接在浮动轨道201内部；浮动滑块202上转动连接有转换壳体10，且转换壳体10侧面轴端设有把手。

此外，根据本发明的实施例，如图7、8、9、14所示，推送装置1包括：安装平台101，安装平台101底部固定连接有安装板；安装平台101顶部四角分别固定连接有拆装触碰块9；推送轨道102，推送轨道102设有两个，两个推送轨道102上的结构相同；两个推送轨道102分别固定连接在安装平台101上；电动丝杆103，电动丝杆103设有两个，两个电动丝杆103通过支架安装在安装平台101上，且电动丝杆103轴端转动连接在推送轨道102内部；浮动支撑部2还包括：联动轮203，联动轮203通过支架转动连接在浮动滑块202上。浮动稳定轴204，浮动稳定轴204设有两个，且两个浮动稳定轴204分别固定连接在浮动轨道201内部，两个浮动稳定轴204上滑动连接有浮动滑块202；两个浮动稳定轴204上套装有弹簧，且弹簧固定连接在浮动轨道201底部与浮动滑块202底部之间；定位部5包括：定位轴座501，定位轴座501固定连接在浮动轨道201侧面；定位轴502，定位轴502滑动连接在定位轴座501上，且定位轴502上套装有弹簧；弹簧固定连接在定位轴502前端与定位轴座501之间；定位轴502为半球结构；通过设置推送装置1，配合设置的浮动支撑部2与转换壳体10，可以实现快速的切换转换壳体10的三个侧面，用于针对不同的发光模块来适配不同的正负极距离，更加实用，提高工作效率，同时采用浮动支撑部2进行支撑，再配合联动块602可以进行浮动通电检测，可确保正极导电板401、负极导电板402可以与发光模块的触点之间可以完全贴合，通过转动转换壳体10侧面的把手，即可实现切换转换壳体10的工作面，同时，过程中需要拉动定位轴502，使定位轴502与转换壳体10之间可以解除定位，切换完成工作面后通过定位轴502可以实现实时的对转换壳体10进行定位，确保转换壳体10使用过程的稳定性，设置的浮动滑块202滑动连接在浮动轨道201上，通过在滑动安装座601被驱动滑动整个过程中，设置的联动块602首先是前段的斜面贴合挤压联动轮203，使浮动滑块202带动转换壳体10下降高度，紧接着是联动块602中段的平直段挤压联动轮203，此时转换壳体10高度不变，最后使联动块602后段的斜面挤压联动轮203，此时换壳体10在浮动稳定轴204上弹簧的作用，随着联动块602后段的斜面处带动转换壳体10上升，实现带动通电部4贴合于发光模块，结构简单高效，可自由切换转换壳体10的工作面用于不同正负极规格的发光模块，方便快捷，完全避免了通电过程中触点接触不良，同时有效的提高的通电检测工作效率。

此外，根据本发明的实施例，如图10至附图13所示，正负定位装置3包括：正负滑块301，正负滑块301设有两个，两个正负滑块301分别滑动连接在转换壳体10上设置的三组滑动槽中；正负滑块301上开设有四个滑动孔，且四个滑动孔内部均套装有弹簧；螺纹轴座302，螺纹轴座302设有两个，两个螺纹轴座302分别固定连接在转换壳体10内部；驱动齿轮303，驱动齿轮303转动连接在转换壳体10内部；正负定位装置3还包括：定位驱动齿条304，定位驱动齿条304设有两个，两个定位驱动齿条304分别固定连接在两个正负滑块301上，两个定位驱动齿条304分别啮合于驱动齿轮303；调节螺纹杆305，调节螺纹杆305转动连接在螺纹轴座302上，调节螺纹杆305啮合于驱动齿轮303；通电部4包括：正极导电板401，正极导电板401通过两个滑轴滑动连接在正负滑块301上；正极导电板401电性连接电源正极；长条形的正极导电板401与负极导电板402更加便于接触发光模块触点；负极导电板402，负极导电板402通过两个滑轴滑动连接在正负滑块301上；负极导电板402电性连接电源负极；绝缘条403，绝缘条403安装在负极导电板402与正极导电板401之间。通过设置正负定位装置3，配合设置的通电部4可以实现根据不同的发光模块调节不同的正负极电极距离，同时可以实现无需人工对发光模块的正负极朝向与通电部4进行对正即可实现检测，通过转动调节螺纹杆305，在转动调节螺纹杆305的过程中，由调节螺纹杆305可以带动驱动齿轮303转动，驱动齿轮303转动过程中，实现同时带动两个定位驱动齿条304对向移动，最后实现带动两个正负滑块301上的正极导电板401与负极导电板402调节距离，通过设置正负定位装置3，降低了发光模块通电检测的难度，同时采用在两个正负滑块301上分别设置通电部4，并且在正极导电板401与负极导电板402之间增设绝缘条403的方式，可以实现无需人工对正负极进行调节，在发光模块移动运行过程中，即可实现自动对两种正负极接电方式进行检测，在发光模块接触反向的正负极电流时受PN结特点影响，LED不会亮起，反之，正负极无误，LED则会亮起，过程快捷灵活，完全避免了人工区分正负极错误所出现的误判，可以有效的降低误判率，使用更加灵活，检测更加精准。

此外，根据本发明的实施例，如图15至附图19所示，安装部6包括：滑动安装座601，滑动安装座601滑动连接在推送轨道102上，且滑动安装座601上设有螺纹孔；滑动安装座601螺纹连接在电动丝杆103上；联动块602，联动块602固定连接在滑动安装座601侧面；联动块602前侧为斜面结构，中段为平直结构，后段为斜面结构；按压装置7包括：按压板701，按压板701通过两个滑动轴滑动连接在滑动安装座601上去，两个滑动轴上均套装有拉簧；按压板701通过“T”形块滑动连接在滑动安装座601上；按压板701内侧为斜面结构；升降联动块702，升降联动块702固定连接在按压板701底部两个滑动轴的底部；升降联动块702前侧两侧为弧形结构；贴板703，贴板703通过两个滑动轴滑动连接在滑动安装座601，且两个滑动轴上均套装有弹簧；对中部8包括：对中挤压块801，对中挤压块801底部滑动连接在滑动安装座601上；对中挤压块801顶部为斜面结构；对中挤压板802，对中挤压板802通过滑动轴滑动连接在对中挤压块801上，且对中挤压板802上的滑动轴上均套装有弹簧；推进复位轴803，推进复位轴803固定连接在滑动安装座601内部，且推进复位轴803上滑动连接有对中挤压块801；推进复位轴803上套转有弹簧；通过设置安装部6，通过在安装部6上设置按压装置7与对中部8可以有效的提高安装精度，避免正负极错位导致解除不良，同时工作人员安装拆卸更加便捷，通过在滑动安装座601被推送轨道102上的电动丝杆103驱动移动过程中，首先，受到拆装触碰块9的挤压，会通过升降联动块702带动按压板701整体上升，来便于工作人员安装发光模块，其中在按压装置7上下滑动过程中，会联动对中部8调节发光模块的对中，使正负极可以与可以准确的接触通电部4，设置的两组按压装置7与对中部8，按压板701在拉簧的驱动下，实现下降，过程中可以挤压驱动对中挤压块801滑动，过程中通过对中挤压块801上的对中挤压板802来推进发光模块，使发光模块两侧边贴合于对中挤压板802实现对发光模块的定位，反之在按压板701上升时，对中挤压块801失去按压板701的挤压作用力可以实现解除对发光模块的对中定位，通过设置弹性连接的对中挤压板802与贴板703可以防止对发光模块挤压过度造成损坏，同时可以辅助适用于不同的发光模块定位，同时，依照图1，在安装部6运行至左侧时，在左侧的两个拆装触碰块9挤压下，按压板701即可再次被带动上升，发光模块则会被解除安装定位，使用更加高效，检测位置更加准确，同时提高检测速度。

在另一实施例中，其他结构不变，本实施例提供另一种对中挤压块801的结构形式，在对中挤压块801顶部斜面处套装两排滚珠，通过设置滚珠，可以有效的减少对中挤压块801与按压板701之间的摩擦力。

本实施例的具体使用方式与作用：本发明中，首先，通过设置的安装平台101上的安装板将设备固定连接在工作台，随后，即可启动设备，首先可以调节设备参数，通过转动调节螺纹杆305，在转动调节螺纹杆305的过程中，由调节螺纹杆305可以带动驱动齿轮303转动，驱动齿轮303转动过程中，实现同时带动两个定位驱动齿条304对向移动，最后实现带动两个正负滑块301上的正极导电板401与负极导电板402调节距离，过程中，可以依次对三组正负定位装置3进行调节，通过转动转换壳体10侧面的把手，即可实现切换转换壳体10的工作面，同时，过程中，需要拉动定位轴502，使定位轴502与转换壳体10之间可以解除定位，切换完成工作面后通过定位轴502可以实现实时的对转换壳体10进行定位，随后，滑动安装座601被推送轨道102上的电动丝杆103驱动移动过程中，受到拆装触碰块9的挤压，会通过升降联动块702带动按压板701整体上升，便于工作人员安装发光模块，放置完成后，电动丝杆103驱动，滑动安装座601移动，升降联动块702便可脱离拆装触碰块9，按压装置7上下滑动，过程中会联动对中部8调节发光模块的对中，使正负极可以与可以准确的接触通电部4，设置的两组按压装置7与对中部8，按压板701在拉簧的驱动下，实现下降，过程中可以挤压驱动对中挤压块801滑动，过程中通过对中挤压块801上的对中挤压板802来推进发光模块，使发光模块两侧边贴合于对中挤压板802实现对发光模块的定位，随后，电动丝杆103驱动继续驱动推进，联动块602实现将转换壳体10挤压下降后，再通过后段斜面使转换壳体10上升，带动通电部4贴合于发光模块，进行通电测试，采用双电极式的通电部4可以实现对发光模块进行无需区分正负极的测试，当发光模块测试完成后，依照图1，再由左侧的拆装触碰块9挤压下，按压板701即可再次被带动上升，发光模块则会被解除安装定位，完成对LED半导体发光模块的通电检测。

最后，需要说明的是，本发明在描述各个构件的位置及其之间的配合关系等时，通常会以一个/一对构件举例而言，然而本领域技术人员应该理解的是，这样的位置、配合关系等，同样适用于其他构件/其他成对的构件。

以上所述仅是本发明的示范性实施方式，而非用于限制本发明的保护范围，本发明的保护范围由所附的权利要求确定。

Claims (10)

1.一种半导体制造用的通电测试装置，其特征在于，包括推送装置；

所述推送装置固定上固定连接有四个拆装触碰块；推送装置底部固定连接有两个浮动支撑部，且两个浮动支撑部上转动连接有转换壳体，且转换壳体上安装有三组正负定位装置；三组正负定位装置上分别滑动连接有两组通电部；转换壳体上设有三组滑动槽；转换壳体两侧分别开设有三个半球定位槽；两个浮动支撑部上分别固定连接有定位部；推送装置上安装有两组安装部，且两组安装部上的结构相同；两组安装部上分别滑动连接有按压装置；两组安装部上分别滑动连接有对中部；

所述浮动支撑部包括：

浮动轨道，浮动轨道固定连接在安装平台底部；

浮动滑块，浮动滑块滑动连接在浮动轨道内部；浮动滑块上转动连接有转换壳体，且转换壳体侧面轴端设有把手。

2.如权利要求1所述半导体制造用的通电测试装置，其特征在于，所述推送装置包括：

安装平台，安装平台底部固定连接有安装板；安装平台顶部四角分别固定连接有拆装触碰块；

推送轨道，推送轨道设有两个，两个推送轨道上的结构相同；两个推送轨道分别固定连接在安装平台上；

电动丝杆，电动丝杆设有两个，两个电动丝杆通过支架安装在安装平台上。

3.如权利要求1所述半导体制造用的通电测试装置，其特征在于，所述浮动支撑部还包括：

联动轮，联动轮通过支架转动连接在浮动滑块上；

浮动稳定轴，浮动稳定轴设有两个，且两个浮动稳定轴分别固定连接在浮动轨道内部，两个浮动稳定轴上滑动连接有浮动滑块；两个浮动稳定轴上套装有弹簧。

4.如权利要求1所述半导体制造用的通电测试装置，其特征在于，所述正负定位装置包括：

正负滑块，正负滑块设有两个，两个正负滑块分别滑动连接在转换壳体上；正负滑块上开设有四个滑动孔，且四个滑动孔内部均套装有弹簧；

螺纹轴座，螺纹轴座设有两个，两个螺纹轴座分别固定连接在转换壳体内部；

驱动齿轮，驱动齿轮转动连接在转换壳体内部。

5.如权利要求1所述半导体制造用的通电测试装置，其特征在于，所述正负定位装置还包括：

定位驱动齿条，定位驱动齿条设有两个，两个定位驱动齿条分别固定连接在两个正负滑块上，两个定位驱动齿条分别啮合于驱动齿轮；

调节螺纹杆，调节螺纹杆转动连接在螺纹轴座上，调节螺纹杆啮合于驱动齿轮。

6.如权利要求1所述半导体制造用的通电测试装置，其特征在于，所述通电部包括：

正极导电板，正极导电板通过两个滑轴滑动连接在正负滑块上；

负极导电板，负极导电板通过两个滑轴滑动连接在正负滑块上；

绝缘条，绝缘条安装在负极导电板与正极导电板之间。

7.如权利要求1所述半导体制造用的通电测试装置，其特征在于，所述定位部包括：

定位轴座，定位轴座固定连接在浮动轨道侧面；

定位轴，定位轴滑动连接在定位轴座上，且定位轴上套装有弹簧；弹簧固定连接在定位轴前端与定位轴座之间。

8.如权利要求1所述半导体制造用的通电测试装置，其特征在于，所述安装部包括：

滑动安装座，滑动安装座滑动连接在推送轨道上，且滑动安装座上设有螺纹孔；滑动安装座螺纹连接在电动丝杆上；

联动块，联动块固定连接在滑动安装座侧面。

9.如权利要求1所述半导体制造用的通电测试装置，其特征在于，所述按压装置包括：

按压板，按压板通过两个滑动轴滑动连接在滑动安装座上去，两个滑动轴上均套装有拉簧；按压板通过“T”形块滑动连接在滑动安装座上；

升降联动块，升降联动块固定连接在按压板上两个滑动轴的底部；

贴板，贴板通过两个滑动轴滑动连接在滑动安装座，且两个滑动轴上均套装有弹簧。

10.如权利要求1所述半导体制造用的通电测试装置，其特征在于，所述对中部包括：

对中挤压块，对中挤压块底部滑动连接在滑动安装座上；

对中挤压板，对中挤压板通过滑动轴滑动连接在对中挤压块上，且对中挤压板上的滑动轴上均套装有弹簧；

推进复位轴，推进复位轴固定连接在滑动安装座内部，且推进复位轴上滑动连接有对中挤压块；推进复位轴上套转有弹簧。

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