CN113447461B - 柱状蜂窝结构体的检查方法及检查装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种有助于提高异常隔室的检测精度的柱状蜂窝结构体的检查方法。包括以下工序：利用相机拍摄来自底面的反射光的图案并生成反射光的图案的图像数据；基于反射光的图案的图像数据而将与外周侧壁相邻的隔室及不与外周侧壁相邻的隔室各自的位置信息区别开并储存于存储装置中；利用相机拍摄来自底面的透过光的图案并生成透过光的图案的图像数据；基于透过光的图案的图像数据及所述位置信息测定来自与外周侧壁相邻的隔室的各透过光的强度，检测具有异常的封孔部的与外周侧壁相邻的隔室；以及基于透过光的图案的图像数据及所述位置信息测定来自不与外周侧壁相邻的隔室的各透过光的强度，检测具有异常的封孔部的不与外周侧壁相邻的隔室。
Description
技术领域
本发明涉及柱状蜂窝结构体的检查方法及检查装置。
背景技术
在从柴油发动机等内燃机排出的废气中包含有：大量的以导致环境污染的碳为主成分的颗粒(粒子状物质)。因此，通常在柴油发动机等的排气系统中搭载有：用于捕集颗粒的过滤器(Diesel Particulate Filter：DPF)。另外，近年来，从汽油发动机排出的颗粒也被视为问题，在汽油发动机上也搭载有过滤器(Gasoline Particulate Filter：GPF)。
作为过滤器，已知有壁流型的柱状蜂窝结构体，其具备：外周侧壁；多个第一隔室，它们配置成比外周侧壁更靠内周侧，沿高度方向从第一底面延伸至第二底面，第一底面呈开口而在第二底面具有封孔部；以及多个第二隔室，它们配置成比外周侧壁更靠内周侧，夹着隔壁而与第一隔室相邻配置，且该第二隔室沿高度方向从第一底面延伸至第二底面，在第一底面具有封孔部而第二底面呈开口。
在具备具有封孔部的柱状蜂窝结构体的过滤器中，封孔部发挥出：防止被捕捉的粒子状物质从过滤器中漏出的作用。因此，封孔部以规定的深度形成于规定的位置，这在确保过滤器性能方面非常重要。
因此，专利文献1(美国专利第7,701,570号说明书)中提出了：具有封孔部的柱状蜂窝结构体用的检查方法及检查装置。在该文献中公开了对柱状蜂窝结构体的封孔部的缺陷进行检测的方法，该方法包括：对具有封孔部的柱状蜂窝结构体的第一底面照射光，利用与柱状蜂窝结构体的第二底面接触的透光性的投影介质来接受所述光，所述光以投影介质上的光点的形式被可视化。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：美国专利第7,701,570号说明书
发明内容
专利文献1中提出了如下方法，即，向柱状蜂窝结构体的第一底面照射光，利用相机对从第二底面出来的透过光的图案进行拍摄，由此检测封孔部的缺陷。然而，如果照射至第一底面的光和/或周围的光从柱状蜂窝结构体的外周侧壁迂回进入，则来自与外周侧壁相邻的隔室的透过光的强度与来自比该隔室更靠内周侧的隔室的透过光的强度相比，容易增大。另外，如果为了抑制光的迂回进入而遮挡来自外周侧壁的光，则由于通常柱状蜂窝结构体的外周侧壁比隔壁要厚，所以，这次相反，来自与外周侧壁相邻的隔室的透过光的强度与来自比该隔室更靠内周侧的隔室的透过光的强度相比，容易减小。这种情况下，特别是封孔部形成得较深的异常隔室的透过光的强度变小，因此，检测精度降低。总之，可知存在如下问题，即，如果以同一基准检查两个隔室，则异常隔室的检测精度降低。
另外，与外周侧壁相邻的隔室的位置容易确定的透过光的强度和内周侧的隔室的位置容易确定的透过光的强度不同。因此，可知：如果调整透过光的强度以便能够准确地确定内周侧的隔室的位置，则无论在来自与外周侧壁相邻的隔室的透过光与来自内周侧的隔室的透过光相比增强还是减弱的情况下，确定与外周侧壁相邻的隔室的位置的精度均降低，因此，存在异常隔室的检查精度在与外周侧壁相邻的隔室中降低的问题。
本发明是鉴于上述情况而完成的，在一个实施方式中，其课题在于，提供一种针对具有封孔部的柱状蜂窝结构体的检查方法，该检查方法有助于提高异常隔室的检测精度。另外，本发明在另一个实施方式中，其课题在于，提供一种针对具有封孔部的柱状蜂窝结构体的检查装置，该检查装置有助于提高异常隔室的检测精度。
本发明的发明人为了解决上述课题而进行了潜心研究，结果发现，通过向柱状蜂窝结构体的底面照射光并对来自该底面的反射光的图案进行拍摄，能够将与外周侧壁相邻的隔室的位置和比该隔室更靠内周侧的隔室的位置容易地区别开。在此基础上发现，通过针对与外周侧壁相邻的隔室和比该隔室更靠内周侧的隔室(即、不与外周侧壁相邻的隔室)采用不同的基准，利用来自该底面的透过光的强度，检查有无异常隔室，能够提高异常隔室的检测精度。本发明是基于上述见解而完成的，以下进行例示。
[1]一种检查方法，其是柱状蜂窝结构体的检查方法，
所述检查方法的特征在于，
柱状蜂窝结构体具备：外周侧壁；多个第一隔室，该第一隔室配置于外周侧壁的内周侧，从第一底面延伸至第二底面，且第一底面呈开口而在第二底面具有封孔部；以及多个第二隔室，该第二隔室配置于外周侧壁的内周侧，从第一底面延伸至第二底面，且在第一底面具有封孔部而第二底面呈开口，多个第一隔室和多个第二隔室夹着隔壁而交替地相邻配置，
所述检查方法包括以下工序：
向第二底面照射第一光，利用相机，对与第一隔室及第二隔室的各封孔部的配置相对应的来自第二底面的反射光的图案进行拍摄，生成反射光的图案的图像数据；
基于所生成的反射光的图案的图像数据，将与外周侧壁相邻的第二隔室及不与外周侧壁相邻的第二隔室各自的位置信息区别开并储存于存储装置；
向第一底面照射第二光，利用相机，对与第一隔室及第二隔室的各封孔部的配置相对应的来自第二底面的透过光的图案进行拍摄，生成透过光的图案的图像数据；
基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置中的所述位置信息，对来自与外周侧壁相邻的第二隔室的各透过光的强度进行测定，将用于识别具有异常的封孔部的与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的或基于该测定的结果而确定的与透过光的强度相关的至少一个第一基准和该透过光的强度进行比较，由此检测具有异常的封孔部的与外周侧壁相邻的第二隔室；以及
基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置中的所述位置信息，对来自不与外周侧壁相邻的第二隔室的各透过光的强度进行测定，与用于识别具有异常的封孔部的不与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的或基于该测定的结果而确定的与透过光的强度相关的至少一个第二基准进行比较，由此检测具有异常的封孔部的不与外周侧壁相邻的第二隔室。
[2]根据[1]中记载的检查方法，其特征在于，
第一基准包括：用于识别具有异常的封孔部且与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的与透过光的强度相关的第一基准、以及基于所述测定的结果而确定的与透过光的强度相关的第一基准这两者，
第二基准包括：用于识别具有异常的封孔部且不与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的与透过光的强度相关的第二基准、以及基于所述测定的结果而确定的与透过光的强度相关的第二基准。
[3]根据[1]或[2]中记载的检查方法，其特征在于，
使第一光及第二光为波长不同的光，利用相机，对所述反射光的图案及所述透过光的图案同时进行拍摄。
[4]一种检查装置，其是柱状蜂窝结构体的检查装置，
所述检查装置的特征在于，
柱状蜂窝结构体具备：外周侧壁；多个第一隔室，该第一隔室配置于外周侧壁的内周侧，从第一底面延伸至第二底面，且第一底面呈开口而在第二底面具有封孔部；以及多个第二隔室，该第二隔室配置于外周侧壁的内周侧，从第一底面延伸至第二底面，且在第一底面具有封孔部而第二底面呈开口，多个第一隔室和多个第二隔室夹着隔壁而交替地相邻配置，
所述检查装置具备：
用于向第二底面照射第一光的光照射器、
用于向第一底面照射第二光的光照射器、
用于对来自第二底面的反射光的图案及透过光的图案进行拍摄的相机、以及
计算机，
该计算机构成为：
能够生成通过相机所拍摄到的反射光的图案的图像数据及透过光的图案的图像数据，
能够基于所生成的反射光的图案的图像数据，将与外周侧壁相邻的第二隔室及不与外周侧壁相邻的第二隔室各自的位置信息区别开并储存于存储装置中，
能够基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置中的所述位置信息，对来自与外周侧壁相邻的第二隔室的各透过光的强度进行测定，将用于识别具有异常的封孔部的与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的或基于该测定的结果而确定的与透过光的强度相关的至少一个第一基准和该透过光的强度进行比较，由此检测具有异常的封孔部的与外周侧壁相邻的第二隔室，
并且，能够基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置中的所述位置信息，对来自不与外周侧壁相邻的第二隔室的各透过光的强度进行测定，与用于识别具有异常的封孔部的不与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的或基于该测定的结果而确定的与透过光的强度相关的至少一个第二基准进行比较，由此检测具有异常的封孔部的不与外周侧壁相邻的第二隔室。
[5]根据[4]中记载的检查装置，其特征在于，
第一基准包括：用于识别具有异常的封孔部且与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的与透过光的强度相关的第一基准、以及基于所述测定的结果而确定的与透过光的强度相关的第一基准，
第二基准包括：用于识别具有异常的封孔部且不与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的与透过光的强度相关的第二基准、以及基于所述测定的结果而确定的与透过光的强度相关的第二基准。
[6]根据[4]或[5]中记载的检查装置，其特征在于，
用于照射第一光的光照射器能够照射与用于照射第二光的光照射器不同的波长的光。
发明效果
根据本发明的一个实施方式，在对具有封孔部的柱状蜂窝结构体进行检查时，能够提高异常隔室的检测精度。
附图说明
图1A是用于说明本发明的第一实施方式所涉及的检查装置的构成的示意性的侧视图。
图1B是用于说明本发明的第二实施方式所涉及的检查装置的构成的示意性的侧视图。
图1C是用于说明本发明的第二实施方式所涉及的检查装置的另一构成的示意性的侧视图。
图1D是用于说明本发明的第二实施方式所涉及的检查装置的又一构成的示意性的侧视图。
图1E是用于说明本发明的第一实施方式所涉及的检查装置的另一构成的示意性的侧视图。
图2是示意性地表示壁流型的陶瓷烧成体的立体图。
图3是从与隔室延伸的方向正交的方向来观察壁流型的陶瓷烧成体时的示意性的截面图。
图4是表示气球卡盘的结构例的示意图。
图5是透过光的图案的图像例(左)及反射光的图案的图像例(右)。
附图标记说明
10、20…检查装置，12a、12b…光照射器，13…壳体，14…光扩散膜，15…遮光性环状部件，16…相机，17…镜头，18…拉伸装置，18a…把持部，19…透明板、21…遮光部件，100…柱状蜂窝结构体，102…外周侧壁，104…第一底面，106…第二底面，108…第一隔室，109…封孔部，110…第二隔室，112…隔壁，200…气球卡盘，210…第一开口，220…第二开口，230…中空部，240…气球，260…贯通孔，270…侧壁，280…流体口，290…流路，300…计算机，301…图像处理部，302…存储装置，303…运算部，304…显示部。
具体实施方式
接下来，参照附图，对本发明的实施方式详细地进行说明。本发明并不限定于以下的实施方式，应当理解：可以在不脱离本发明的主旨的范围内，基于本领域技术人员的通常知识，加以适当设计的变更、改良等。
(1.柱状蜂窝结构体)
在图2及图3中分别例示了：能够作为壁流型的汽车用废气过滤器和/或催化剂载体应用的柱状蜂窝结构体(100)的示意性的立体图及截面图。该柱状蜂窝结构体(100)具备：多个第一隔室(108)，它们配置于外周侧壁(102)的内周侧，从第一底面(104)延伸至第二底面(106)，且第一底面(104)呈开口而在第二底面(106)具有封孔部(109)；以及多个第二隔室(110)，它们配置于外周侧壁(102)的内周侧，从第一底面(104)延伸至第二底面(106)，且在第一底面(104)具有封孔部(109)而第二底面(106)呈开口。在该柱状蜂窝结构体(100)中，第一隔室(108)及第二隔室(110)夹着隔壁(112)而交替地相邻配置。
第一隔室(108)可以分为：与外周侧壁(102)相邻的第一隔室(108a)及不与外周侧壁(102)相邻的第一隔室(108b)。同样地，第二隔室(110)可以分为：与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110a)及不与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110b)。
如果向柱状蜂窝结构体(100)的上游侧的第一底面(104)供给包含烟灰等粒子状物质的废气，则废气被导入于第一隔室(108)，并在第一隔室(108)内朝向下游前进。由于第一隔室(108)的下游侧的第二底面(106)被封孔，所以，废气从将第一隔室(108)和第二隔室(110)区划开的多孔质的隔壁(112)透过而向第二隔室(110)流入。粒子状物质无法通过隔壁(112)，因此，在第一隔室(108)内被捕集，进行堆积。粒子状物质被除去后流入至第二隔室(110)的清洁废气在第二隔室(110)内朝向下游前进，从下游侧的第二底面(106)流出。
柱状蜂窝结构体的底面形状没有限制，例如，可以采用圆形、椭圆形、跑道形状、长圆形、三角形、大致三角形、四边形及大致四边形状等多边形或不规则形状。图示的柱状蜂窝结构体(100)的底面形状为圆形，整体为圆柱状。
与隔室的流路方向垂直的截面中的隔室的形状没有限制，优选为四边形、六边形、八边形或它们的组合。其中，优选为正方形及六边形。通过使隔室形状为这样的形状，使得流体向蜂窝烧成体流动时的压力损失减小，催化剂的净化性能优异。
隔室密度(每单位截面积的隔室数)也没有特别限制，例如可以为6～2000隔室/平方英寸(0.9～311隔室/cm2)。此处，通过一个底面中的隔室数(被封孔的隔室也计算在内。)除以除了外周侧壁以外的该底面的面积，计算出隔室密度。
隔壁(112)的厚度也没有特别限制，例如可以为50μm～330μm。
柱状蜂窝结构体的高度(第一底面至第二底面的长度)也没有特别限制，例如可以为40mm～300mm。
具有封孔部的柱状蜂窝结构体可以利用公知的制作方法进行制作，以下，例示性地进行说明。首先，对含有陶瓷原料、分散介质、造孔剂及粘合剂的原料组合物进行混炼，形成坯土后，将坯土挤出成形，由此成型为所期望的柱状蜂窝结构体。将柱状蜂窝结构体干燥后，在柱状蜂窝结构体的两个底面形成封孔部，之后，将封孔部干燥，得到具有封孔部的柱状蜂窝结构体。通常，之后对柱状蜂窝结构体实施脱脂及烧成，从而以陶瓷烧成体的形式进行提供。对封孔部的检查可以针对烧成前的柱状蜂窝结构体来实施，也可以针对烧成后的柱状蜂窝结构体来实施。
(2.第一实施方式)
图1A中示出了：用于说明本发明的第一实施方式所涉及的检查装置(10)的构成的示意性的侧视图。
检查装置(10)具备：
光照射器(12a)，其用于向第二底面(106)照射第一光；
光照射器(12b)，其用于向第一底面(104)照射第二光；以及
相机(16)，其用于对来自第二底面(106)的反射光的图案及透过光的图案进行拍摄。
另外，检查装置(10)具备计算机(300)，该计算机(300)具有：图像处理部(301)、存储装置(302)、运算部(303)及显示部(304)。
图像处理部(301)能够生成利用相机(16)所拍摄到的反射光的图案的图像数据及透过光的图案的图像数据。
存储装置(302)能够基于所生成的反射光的图案的图像数据，将与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110a)及不与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110b)各自的位置信息区别开并进行储存。
运算部(303)能够基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置(302)中的所述位置信息，对来自与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110a)的各透过光的强度进行测定，将用于识别具有异常的封孔部(109)且与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110a)的预先设定的或基于该测定的结果而确定的与透过光的强度相关的至少一个第一基准和该透过光的强度进行比较，由此检测具有异常的封孔部(109)且与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110a)。
另外，运算部(303)能够基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置(302)中的所述位置信息，对来自不与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110b)的各透过光的强度进行测定，与用于识别具有异常的封孔部(109)且不与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110b)的预先设定的或基于该测定的结果而确定的与透过光的强度相关的至少一个第二基准进行比较，由此检测具有异常的封孔部(109)且不与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110b)。
显示部(304)能够基于通过图像处理部(301)而生成的反射光的图案的图像数据及透过光的图案的图像数据，对反射光的图案的图像及透过光的图案的图像进行显示。显示部可以由LCD、有机EL等显示器构成。
在一个实施方式中，检查装置(10)可以具备：用于对光照射器(12a、12b)、相机(16)以及柱状蜂窝结构体(100)进行收纳的壳体(13)。壳体(13)可以构成为：能够遮挡来自外部的光。据此，能够在较暗的环境下进行检查，从而能够提高检查精度。
光照射器(12a)设置于能够向柱状蜂窝结构体(100)的第二底面(106)照射第一光的位置。在图示的实施方式所涉及的检查装置(10)中，光照射器(12a)构成为：设置于比柱状蜂窝结构体(100)的第二底面(106)更靠上方的位置，并能够朝下照射第一光。来自光照射器(12a)的光优选各向同性地向第二底面(106)照射。因此，例如优选为：作为光照射器(12a)采用环形照明或同轴照明等并从第二底面(106)的正上方照射光的方法、以及如图所示采用一对以上的光照射器(12a)并以柱状蜂窝结构体(100)的中心轴为对称中心对称地向第二底面照射光的方法。
光照射器(12b)设置于能够向柱状蜂窝结构体(100)的第一底面(104)照射第二光的位置。在图示的实施方式所涉及的检查装置(10)中，光照射器(12b)构成为：能够朝上照射第二光。并且，柱状蜂窝结构体(100)构成为：使第一底面(104)位于下侧，从而能够配置于光照射器(12b)的光源的正上方。关于光源，虽然还取决于来自光源的光的扩散角度和自第一底面(104)起算的距离，不过，从朝向第一底面(104)均匀地照射光的观点考虑，优选为，与第一底面(104)对置的光源在比第一底面(104)大的面积范围内扩展开。例如，能够以第一底面(104)的照度为10，000lx以上这样的输出来照射光。
作为光照射器(12a、12b)的光源，没有特别限制，可以举出：LED、白炽灯、卤素灯等。这些光源通常能够照射扩散光。待照射的光的波长为：相机具有受光灵敏度的波长即可，也没有特别限制。因此，也可以照射白色光。对待照射的光的输出也没有特别限制，但是在柱状蜂窝结构体(100)的高度较大的情况下、以及封孔部较深的情况下，为了能够以较短的曝光时间来确保透过光强度、或者能够缓和干扰的影响，优选为，以强光照射。
在专利文献1中，将准直透镜配置于光照射器(12b)与柱状蜂窝结构体(100)之间，以得到准直光，不过，在本实施方式中，不需要使用准直光。因此，在本发明的一个实施方式中，没有在光照射器(12b)与柱状蜂窝结构体(100)之间配置准直透镜。因此，在一个实施方式中，柱状蜂窝结构体(100)可以按照与光照射器(12b)接触的方式进行载放(参照图1A～图1D)。从透过光的强度及光的均匀性的观点考虑，使柱状蜂窝结构体(100)与光源接触这样的配置是有利的。
另外，在另一实施方式中，柱状蜂窝结构体(100)可以配置成：不与光照射器(12b)接触，例如，在两者之间夹着透光性基板(20)(参照图1E)。作为透光性基板(20)，可以举出透明基板及半透明基板，优选为毛玻璃等半透明基板，以消除来自光源的光的不均匀性。可以在将柱状蜂窝结构体(100)载放于透光性基板(20)的状态下向第一底面(104)进行光照射。另外，也可以设置环状的遮光部件(21)，该环状的遮光部件(21)包围相对于蜂窝结构体(100)的外周侧壁(102)突出出来的透光性基板(20)的外周部，以防止从透光性基板(20)通过的光照射到蜂窝结构体(100)的外周侧壁(102)。无论有无后述的气球卡盘那样的遮光性环状部件(15)，遮光部件(21)都是有效的。
如后所述，有时利用相机(16)对反射光的图案及透过光的图案同时进行拍摄。这种情况下，优选使第一光及第二光为波长不同的光，以使得相机(16)能够将两者区别开进行识别。虽然也根据相机侧的灵敏度处于哪个波长带或待照射的光的波长是否与每种颜色的图像发生干扰而不同，不过，在使用RGB相机等彩色相机的情况下，使一个光为红色400～500nm且使另一光为蓝色600～800nm在可见光的范围内是容易实现的组合。
相机(16)配置于：能够对反射光的图案进行拍摄的位置。在从光照射器(12a)向柱状蜂窝结构体(100)的第二底面(106)照射第一光时，相机(16)能够对与第一隔室(108)及第二隔室(110)的各封孔部(109)的配置相对应的来自第二底面(106)的反射光的图案进行拍摄。在图示的实施方式所涉及的检查装置(10)中，相机(16)配置于柱状蜂窝结构体(100)的第二底面(106)的上方，优选配置于正上方，并使镜头(17)朝向第二底面(106)、即下方。用于对反射光的图案进行拍摄的相机(16)可以为面阵相机(area camera)及线阵相机(area camera)中的任一者，根据拍摄节奏较快、照明宽度较宽及能够使设备尺寸变小等理由，优选为面阵相机。从提高检查精度的观点考虑，用于对反射光的图案进行拍摄的相机优选具有40μm/pix以下的像素分辨率(一个像素的水平方向及垂直方向上的长度为40μm以下)，典型地可以具有20～40μm/pix的像素分辨率。
基于相机(16)的拍摄结果，计算机(300)能够生成反射光的图案的图像数据。将所生成的反射光的图案的图像的例子示于图5。接下来，计算机(300)基于该图像数据而将与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110a)及不与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110b)各自的位置信息区别开并储存于存储装置中。位置信息可以包括例如构成各第二隔室的轮廓的二维坐标的信息，据此，能够确定各第二隔室的位置、形状及大小。
另外，相机(16)配置于：能够对透过光的图案进行拍摄的位置。在从光照射器(12b)向柱状蜂窝结构体(100)的第一底面(104)照射了第二光时，相机(16)能够对与第一隔室(108)及第二隔室(110)的各封孔部(109)的配置相对应的来自第二底面(106)的透过光的图案进行拍摄。在图示的实施方式所涉及的检查装置(10)中，相机(16)配置于柱状蜂窝结构体(100)的第二底面(106)的上方，优选配置于正上方，并使镜头(17)朝向第二底面(106)、即下方。用于对透过光的图案进行拍摄的相机可以为面阵相机及线阵相机中的任一者，根据拍摄节奏较快、照明宽度较宽及能够使设备尺寸变小等理由，优选为面阵相机。从提高检查精度的观点考虑，用于对透过光的图案进行拍摄的相机优选具有40μm/pix以下的像素分辨率(一个像素的水平方向及垂直方向上的长度为40μm以下)，典型地可以具有20～40μm/pix的像素分辨率。
对透过光的图案进行拍摄的相机可以与对反射光的图案进行拍摄的相机相同，也可以不同。不过，在将对透过光的图案进行拍摄的相机和对反射光的图案进行拍摄的相机进行切换的情况下，当两个相机的角度不同时，需要通过图像处理进行位置校正，以使由两个相机识别到的隔室位置一致。在图示的实施方式所涉及的检查装置中，对透过光的图案进行拍摄的相机和对反射光的图案进行拍摄的相机相同。
基于相机(16)的拍摄结果，计算机(300)能够生成透过光的图案的图像数据。将所生成的透过光的图案的图像的例子示于图5。
计算机(300)基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置(302)中的各第二隔室的所述位置信息，对来自与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110a)的各透过光的强度进行测定，将用于识别具有异常的封孔部(109)且与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110a)的预先设定的或基于该测定的结果而确定的与透过光的强度相关的至少一个第一基准和该透过光的强度进行比较，由此检测具有异常的封孔部(109)且与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110a)。
另外，计算机(300)基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置(302)中的各第二隔室的所述位置信息，对来自不与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110b)的各透过光的强度进行测定，与用于识别具有异常的封孔部(109)且不与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110b)的预先设定的或基于该测定的结果而确定的与透过光的强度相关的至少一个第二基准进行比较，由此检测具有异常的封孔部(109)且不与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110b)。
待与第一或第二基准进行比较的来自各第二隔室的透过光的强度为代表该第二隔室的透过光的强度的值即可，没有特别限制。例如，可以将在所生成的透过光的图案的图像上处于各第二隔室内的像素的亮度的平均值作为该第二隔室的透过光的强度。作为另一方法，也可以将在所生成的透过光的图案的图像上处于各第二隔室内的像素的亮度的总和作为该第二隔室的透过光的强度。
即便在与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110a)和不与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110b)形成有相同深度的封孔部(109)，来自两者的透过光的强度也容易产生差异。因此，改变判断与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110a)有无异常的封孔部(109)的第一基准和判断不与外周侧壁(102)相邻的第二隔室(110b)有无异常的封孔部(109)的第二基准，采用各自适用的基准，由此能够提高异常的封孔部(109)的检测精度。
如果第二隔室(110)的封孔部(109)(即、位于第一底面(104)那侧的封孔部)存在开有孔或者深度不足的缺陷(以下称为“浅封孔部”。)，则在透过光的图案的图像上，具有该缺陷的第二隔室(110)与具有正常的封孔部(109)的第二隔室(110)相比，亮度升高。反之，封孔部(109)形成得过深的第二隔室(110)与具有正常的封孔部(109)的第二隔室(110)相比，亮度降低。因此，可以预先设定具有正常的封孔部(109)的第二隔室(110)中的亮度基准(例如特定的亮度范围)，将不满足该基准的第二隔室(110)判断为具有异常的封孔部(109)。
与透过光的强度相关的第一基准及第二基准分别基于经验进行适当设定以使异常隔室的检测精度提高即可。另外，也可以基于通过机器学习而使计算机进行学习的结果来进行设定。第一基准及第二基准分别可以具有一个基准，或者可以具有多个基准。
以下，对检测有无具有浅封孔部的异常隔室时的基准的设定方法例示性地进行说明。作为异常隔室的检测模式之一，可以举出通过对作为检查对象的柱状蜂窝结构体所具有的第二隔室彼此的透过光的强度进行比较来监测异常的第一检查模式。
按照第一检查模式，对与外周侧壁相邻的第二隔室中的具有异常的封孔部的第二隔室进行检测的情况下，基于作为检查对象的柱状蜂窝结构体所具有的与外周侧壁相邻的第二隔室的透过光的强度的测定结果来确定第一基准，对具有异常的封孔部的第二隔室进行检测。例示而言，可以计算出与外周侧壁相邻的第二隔室的规定数量(例如彼此相邻的10个以上)的透过光的强度的平均值，基于该平均值来设定第一基准。另外，可以计算出与外周侧壁相邻的第二隔室的一半以上、或3/4以上、或全部第二隔室的透过光的强度的平均值，基于该平均值来设定第一基准。例如，来自与外周侧壁相邻的特定的第二隔室的透过光的强度与透过光的强度的平均值相比大得超过预先确定的容许范围(超过规定的阈值)的情况下，可以判断为该第二隔室为具有浅封孔部的异常隔室。
同样地，按照第一检查模式，对不与外周侧壁相邻的第二隔室中的具有异常的封孔部的第二隔室进行检测的情况下，基于作为检查对象的柱状蜂窝结构体所具有的不与外周侧壁相邻的第二隔室的透过光的强度的测定结果来确定第二基准，对具有异常的封孔部的第二隔室进行检测。例示而言，可以计算出不与外周侧壁相邻的第二隔室的规定数量(例如2000个以上)的透过光的强度的平均值，基于该平均值来设定第二基准。另外，可以计算出不与外周侧壁相邻的第二隔室的一半以上、或3/4以上、或全部第二隔室的透过光的强度的平均值，基于该平均值来设定第二基准。例如，来自不与外周侧壁相邻的特定的第二隔室的透过光的强度与透过光的强度的平均值相比大得超过预先确定的容许范围(超过规定的阈值)的情况下，可以判断为该第二隔室为具有浅封孔部的异常隔室。
在平均值代表正常的第二隔室的情况下，换言之，在具有异常的封孔部的第二隔室较少的情况下，第一检查模式是有效的。然而，在具有异常的封孔部的第二隔室较多的情况下，检查精度有可能会降低。因此，作为异常隔室的另一检测模式，优选实施下述的第二检查模式来代替上述的第一检查模式，或者优选除了实施第一检查模式以外，还实施下述的第二检查模式，该第二检查模式为：将作为检查对象的柱状蜂窝结构体所具有的第二隔室的透过光的强度和与检查对象不同的至少一个、优选多个其他柱状蜂窝结构体所具有的第二隔室的透过光的强度进行比较，由此监测异常。
对第二检查模式的顺序例示性地进行说明。首先，采用与检查对象不同的柱状蜂窝结构体，对与外周侧壁相邻的第二隔室，测定以规定条件照射了第二光时来自具有正常的封孔部的第二隔室的透过光的强度。基于该测定的结果，预先设定第一基准。具体而言，针对与外周侧壁相邻的第二隔室预先设定来自具有正常的封孔部的第二隔室的透过光的强度的容许范围或阈值。例如，可以基于来自具有正常的封孔部的第二隔室的透过光的强度的平均值来确定该容许范围或阈值。
同样地，采用与检查对象不同的柱状蜂窝结构体，对不与外周侧壁相邻的第二隔室，测定以规定条件照射了第二光时来自具有正常的封孔部的第二隔室的透过光的强度。基于该测定的结果，预先设定第二基准。具体而言，针对不与外周侧壁相邻的第二隔室预先设定来自具有正常的封孔部的第二隔室的透过光的强度的容许范围或阈值。例如，可以基于来自具有正常的封孔部的第二隔室的透过光的强度的平均值来确定该容许范围或阈值。
接下来，以与上述相同的条件照射第二光，对作为检查对象的柱状蜂窝结构体所具有的与外周侧壁相邻的第二隔室及不与外周侧壁相邻的第二隔室的各透过光的强度进行测定。并且，对第二隔室的各透过光的强度是否超过上述预先确定的容许范围或阈值进行判定。透过光的强度大得超过预先确定的容许范围或阈值(超过规定的阈值的)第二隔室可以判断为是具有浅封孔部的异常隔室。
在具有异常的封孔部的第二隔室较多的情况下，能够以高精度检测出具有异常的封孔部的第二隔室，就这一点而言，第二检查模式是有利的。然而，即便以相同条件向具有正常的封孔部的柱状蜂窝结构体照射第二光，产品彼此之间的透过光的强度也有可能产生偏差。在工业上制造的柱状蜂窝结构体存在尺寸误差时，直角度发生变化，由此导致透过光的强度有可能产生偏差。因此，第二检查模式中设定的用于判别有无封孔部的基准也不是万能的。
因此，从提高检查精度的观点考虑，优选将第一检查模式及第二检查模式进行组合。将第一检查模式及第二检查模式进行组合的情况下，第一基准存在第一检查模式中的第一基准和第二检查模式中的第一基准这2个基准。第二基准也存在第一检查模式中的第二基准和第二检查模式中的第二基准这2个基准。因此，与外周侧壁相邻的各第二隔室在满足第一检查模式中的第一基准和第二检查模式中的第一基准这2个基准时，判断为是具有正常的封孔部的第二隔室。同样地，不与外周侧壁相邻的各第二隔室在满足第一检查模式中的第二基准和第二检查模式中的第二基准这2个基准时判断为是具有正常的封孔部的第二隔室。
像这样，通过将第一检查模式和第二检查模式进行组合，无论局部存在具有异常的封孔部的第二隔室的情况还是整体存在具有异常的封孔部的第二隔室的情况下，都能够以高精度实施检查。
关于对反射光的图案及透过光的图案进行拍摄的顺序，例如可以考虑：先对反射光的图案进行拍摄，之后对透过光的图案进行拍摄的方法；先对透过光的图案进行拍摄，之后对反射光的图案进行拍摄的方法；以及对反射光的图案及透过光的图案同时进行拍摄的方法。从提高检查速度的观点考虑，优选利用相机对反射光的图案及透过光的图案同时进行拍摄。不过，在这种情况下，如上所述，优选使第一光及第二光为波长不同的光，以便相机能够区别反射光的图案和透过光的图案来进行识别。
在利用相机(16)对来自第二底面(106)的透过光的图案进行拍摄时，如果柱状蜂窝结构体(100)的外周侧面(102)被来自光照射器(12b)的光或者来自检查装置外部的光照射，则外周侧面(102)附近的封孔部的亮度容易变亮，检查精度有可能降低。因此，在利用相机(16)对来自第二底面(106)的透过光的图案进行拍摄时，优选将柱状蜂窝结构体(100)的外周侧面(102)利用遮光性环状部件(15)进行环绕被覆。遮光性环状部件(15)优选由橡胶及弹性体等弹性材料构成，以便能够灵活地应对柱状蜂窝结构体(100)的大小。
作为遮光性环状部件(15)，可以优选使用气球卡盘。如果采用气球卡盘，则来自气球的按压力容易朝向与柱状蜂窝结构体(100)接触的整个接触面分散，不易局部施加较大的压力，因此，在固定时，柱状蜂窝结构体(100)不易破损。图4中示出了气球卡盘(200)的结构例。气球卡盘(200)具备：第一开口(210)、第二开口(220)、第一开口(210)与第二开口(220)之间的中空部(230)、以及在中空部(230)的周围所设置的气球(240)。气球(240)设置成环绕中空部(230)，也可以根据需要设置多个。
在图示的实施方式所涉及的气球卡盘(200)中，在气球(240)的外周侧设置有：已被设置多个贯通孔(260)的侧壁(270)，此外，在其外周侧形成有：能够通过流体口(280)进行出入的流体(典型的为空气等气体)的流路(290)。
对气球卡盘(200)的使用方法进行说明。将柱状蜂窝结构体(100)从第一开口(210)或第二开口(220)朝向中空部(230)插入。接下来，将流体(典型的为空气等气体)从流体口(280)朝向流路(290)供给，此时，流体通过贯通孔(260)而被注入于气球(240)。据此，气球(240)朝向被插入于中空部(230)的柱状蜂窝结构体(100)膨胀，从而柱状蜂窝结构体(100)通过来自气球(240)的按压力而被固定于气球卡盘(200)。
从提高遮光性的观点考虑，遮光性环状部件(15)优选为，在柱状蜂窝结构体(100)的高度(第一底面至第二底面的长度)方向上建立坐标轴，当将第二底面(106)的坐标值设为0，将第一底面(104)的坐标值设为100时，在至少0～50中的任一坐标值、优选为至少0～20中的任一坐标值、更优选为至少0～10中的任一坐标值处，将外周侧面(102)进行环绕被覆。通过将靠近第二底面(106)那侧的外周侧面(102)利用遮光性环状部件(15)进行环绕被覆，在利用相机(16)对来自第二底面(106)的透过光的图案进行拍摄时，能够有效地抑制来自光照射器(12b)的光迂回进入。此外，遮光性环状部件(15)更优选在至少50～100中的任一坐标值、优选为至少80～100中的任一坐标值、更优选为至少90～100中的任一坐标值处，将外周侧面(102)环绕被覆。此外，本说明书中，所谓遮光性，是包含减光性的概念，关于遮光性环状部件(15)，优选JIS L1055：2009中规定的遮光率为60％以上，更优选为80％以上，进一步优选为99％以上。
此外，在将柱状蜂窝结构体(100)的外周侧面(102)利用遮光性环状部件(15)环绕被覆的状态下，也可以利用相机(16)对来自第二底面(106)的反射光的图案进行拍摄，不过，这不是特别需要的。
利用上述方法，采用本发明的第一实施方式所涉及的检查装置(10)，能够进行柱状蜂窝结构体(100)的一个底面中的封孔部(109)的检查。为了实施另一个底面中的封孔部(109)的检查，使柱状蜂窝结构体(100)上下颠倒并进行同样的检查即可。
(3.第二实施方式)
图1B～图1D中示出了用于说明本发明的第二实施方式所涉及的检查装置(20)的构成的示意性的侧视图。第二实施方式所涉及的检查装置(20)与第一实施方式所涉及的检查装置(10)的不同点在于：前者还具备用于与第二底面(106)平行地配置的光扩散膜(14)。此外，利用与第一实施方式相同的附图标记表示的构成要素如上述所说明，因此省略重复的说明。
在从光照射器(12b)向柱状蜂窝结构体(100)的第一底面(104)照射第二光并利用相机(16)对与第一隔室(108)及第二隔室(110)的各封孔部(109)的配置相对应的来自第二底面(106)的透过光的图案进行拍摄时，可利用光扩散膜(14)。通过隔着光扩散膜(14)对来自第二底面(106)的透过光的图案进行拍摄，可得到如下优点：即便在因尺寸误差的影响而导致柱状蜂窝结构体(100)的直角度较差、即第一底面(104)和隔室(108、110)延伸的方向不是成直角、第二底面(106)和隔室(108、110)延伸的方向不是成直角、或者隔室延伸的方向弯曲而不是直线状的情况下，也容易检测封孔部(109)的缺陷。
利用相机(16)隔着光扩散膜(14)对来自第二底面(106)的反射光的图案进行拍摄比较困难。因此，在对反射光的图案进行拍摄时，优选预先使光扩散膜(14)避开第二底面(106)，以使其不会妨碍拍摄。因此，在利用光扩散膜(14)的情况下，通常对反射光的图案和透过光的图案分别进行拍摄。
在第二实施方式中，光扩散膜(14)构成为：能够以与柱状蜂窝结构体(100)的第二底面(106)不接触的状态，与第二底面(106)平行地配置。光扩散膜(14)也可以与第二底面(106)接触，不过，如果以不接触的状态进行配置，则扩散膜(14)不会因为与第二底面(106)接触而受损，故优选。所谓光扩散膜(14)与第二底面(106)“平行”地配置是：不仅包括数学上的严格的平行、还包括对检查精度没有实质性的影响的范围内的大致平行的概念。作为示例，光扩散膜(14)与第二底面(106)所成的平均角度为0°～5°的情形包含在此处所说的平行的概念中。
从提高检查效率的观点考虑，光扩散膜(14)优选配置成：将第二底面(106)整体被覆。因此，在一个实施方式中，光扩散膜(14)的主表面的面积大于柱状蜂窝结构体(100)的第二底面(106)的面积。
光扩散膜(14)与第二底面(106)之间的距离没有特别限制，如果过近，则有可能因振动等而接触，因此，该距离的下限优选为1mm以上，更优选为2mm以上，进一步优选为3mm以上。另外，如果光扩散膜与第二底面之间的距离过远，则相邻隔室的透过光重叠，导致检查精度降低，因此，该距离的上限优选为100mm以下，更优选为30mm以下，进一步优选为15mm以下。在本说明书中，光扩散膜(14)与第二底面(106)之间的距离是指：从第二底面(106)的重心至沿法线方向延伸的直线与光扩散膜(14)接触为止的长度。
从使检查变得容易的观点考虑，光扩散膜(14)的扩散角度优选为10°～90°，更优选为20°～60°，进一步优选为20°～30°。例如，可以通过在膜内部添加光散射介质的方法、调整表面粗糙度的方法等来调整光扩散膜(14)的扩散角度。在本说明书中，光扩散膜(14)的扩散角度定义为：在与膜表面垂直地照射白色光时，相对于呈现最大亮度(照度)的方向(膜表面的法线方向)而言，亮度(照度)减半的角度。使用前方具备与白色光的照射范围相比足够小的针孔的照度计，使朝向光扩散膜(14)照射白色光的照射位置及测定距离相同，寻找亮度减半的角度，由此能够确定亮度(照度)减半的角度。
光扩散膜(14)的厚度没有特别限制，如果过厚，则相邻的隔室的透过光重叠，导致检查精度降低，因此，优选为50mm以下，更优选为3mm以下，进一步优选为1mm以下。如果光扩散膜(14)的厚度过薄，则强度不足，容易产生褶皱、挠曲或者破损，因此，优选为0.2mm以上，更优选为0.5mm以上。
光扩散膜(14)的材质没有特别限制，从实施稳定的检查的观点考虑，优选为硬质材料，以使其不会产生褶皱、挠曲。例如，可以列举出玻璃、塑料(聚碳酸酯等)等。
在一个实施方式中，检查装置可以具备以下的(a)～(c)中的至少一个器具，以便将光扩散膜(14)稳定地固定在装置内。
(a)用于对光扩散膜施加拉伸应力的具有至少一对把持部的拉伸装置。
(b)用于夹着光扩散膜的两张透明板。
(c)供光扩散膜粘贴的透明板。
在图1B中记载的实施方式中，检查装置(20)具备：具有一对把持部(18a)的拉伸装置(18)。例如，拉伸装置(18)可以构成为：一对把持部(18a)能够夹着光扩散膜(14)的对置的端部，并彼此向相反方向拉伸。通过对光扩散膜(14)施加拉伸应力，即便在光扩散膜(14)较薄或软质的情况下，也能够防止褶皱、挠曲的产生，因此，能够实施稳定的检查。另外，拉伸装置(18)还可以进一步具备一对把持部(18a)，以便在与一对把持部(18a)的拉伸方向正交的面内方向上也能够同时进行拉伸。据此，光扩散膜(14)在四个方向上被拉伸，因此，能够更稳定地保持光扩散膜(14)。
在图1B所示的实施方式中，各把持部(18a)具有：上下具备彼此对置的一对把持板的夹紧机构。在一个实施方式中，拉伸装置(18)可以具备：将用于把持光扩散膜(14)的按压力、以及用于将光扩散膜(14)向外侧拉伸的拉伸应力向把持部(18a)传递的驱动单元。作为驱动单元，采用公知的任意单元即可，例如，作为用于传递按压力的驱动单元，可以使用弹簧或电动缸等，作为用于传递拉伸应力的驱动单元，可以使用螺旋扣(turnbuckle)或电动缸等。
在图1C所示的实施方式中，光扩散膜(14)由两张透明板(19)上下夹着。通过将光扩散膜(14)利用两张透明板(19)夹着，即便光扩散膜(14)较薄或软质的情况下，也能够防止褶皱、挠曲的产生。作为透明板(19)，没有特别限制，例如，可以举出透明玻璃板、透明塑料板(透明聚碳酸酯板等)等。通常，透明板(19)的厚度比光扩散膜要厚，例如，可以为0.5～15mm。透明板(19)的扩散角度通常为5°以下，典型的为1°以下。
在图1D所示的实施方式中，光扩散膜(14)被粘贴于透明板(19)。通过将光扩散膜(14)粘贴于透明板(19)，即便光扩散膜(14)较薄或软质的情况下，也能够防止褶皱、挠曲的产生。作为将光扩散膜(14)粘贴于透明板(19)的方法，例如，可以举出使用透明的粘接剂的方法。另外，在光扩散膜(14)具有强度且能够确保保形性的情况下，可以不使用粘接剂，只要在将光扩散膜(14)与透明板(19)贴合的状态下通过将它们的端部利用保持件夹着等来施加外力而按压于透明板(19)即可。此外，在图1D所示的实施方式中，透明板(19)配置于光扩散膜的下侧，不过，透明板(19)也可以配置于光扩散膜(14)的上侧。
Claims (6)
1.一种检查方法，其是柱状蜂窝结构体的检查方法，
所述检查方法的特征在于，
柱状蜂窝结构体具备：外周侧壁；多个第一隔室，该第一隔室配置于外周侧壁的内周侧，从第一底面延伸至第二底面，且第一底面呈开口而在第二底面具有封孔部；以及多个第二隔室，该第二隔室配置于外周侧壁的内周侧，从第一底面延伸至第二底面，且在第一底面具有封孔部而第二底面呈开口，多个第一隔室和多个第二隔室夹着隔壁而交替地相邻配置，
所述检查方法包括以下工序：
向第二底面照射第一光，利用相机，对与第一隔室及第二隔室的各封孔部的配置相对应的来自第二底面的反射光的图案进行拍摄，生成反射光的图案的图像数据；
基于所生成的反射光的图案的图像数据，将与外周侧壁相邻的第二隔室及不与外周侧壁相邻的第二隔室各自的位置信息区别开并储存于存储装置中；
向第一底面照射第二光，利用相机，对与第一隔室及第二隔室的各封孔部的配置相对应的来自第二底面的透过光的图案进行拍摄，生成透过光的图案的图像数据；
基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置中的所述位置信息，对来自与外周侧壁相邻的第二隔室的各透过光的强度进行测定，将与透过光的强度相关的至少一个第一基准和该透过光的强度进行比较，由此检测具有异常的封孔部的与外周侧壁相邻的第二隔室，所述至少一个第一基准用于识别具有异常的封孔部的与外周侧壁相邻的第二隔室，是预先设定的和/或基于该测定的结果而确定的；以及
基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置中的所述位置信息，对来自不与外周侧壁相邻的第二隔室的各透过光的强度进行测定，同与透过光的强度相关的至少一个第二基准进行比较，由此检测具有异常的封孔部的不与外周侧壁相邻的第二隔室，所述至少一个第二基准用于识别具有异常的封孔部的不与外周侧壁相邻的第二隔室，是预先设定的和/或基于该测定的结果而确定的。
2.根据权利要求1所述的检查方法，其特征在于，
第一基准包括：用于识别具有异常的封孔部且与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的与透过光的强度相关的第一基准、以及基于所述测定的结果而确定的与透过光的强度相关的第一基准这两者，
第二基准包括：用于识别具有异常的封孔部且不与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的与透过光的强度相关的第二基准、以及基于所述测定的结果而确定的与透过光的强度相关的第二基准这两者。
3.根据权利要求1或2所述的检查方法，其特征在于，
使第一光及第二光为波长不同的光，利用相机，对所述反射光的图案及所述透过光的图案同时进行拍摄。
4.一种检查装置，其是柱状蜂窝结构体的检查装置，
所述检查装置的特征在于，
柱状蜂窝结构体具备：外周侧壁；多个第一隔室，该第一隔室配置于外周侧壁的内周侧，从第一底面延伸至第二底面，且第一底面呈开口而在第二底面具有封孔部；以及多个第二隔室，该第二隔室配置于外周侧壁的内周侧，从第一底面延伸至第二底面，且在第一底面具有封孔部而第二底面呈开口，多个第一隔室和多个第二隔室夹着隔壁而交替地相邻配置，
所述检查装置具备：
用于向第二底面照射第一光的光照射器、
用于向第一底面照射第二光的光照射器、
用于对来自第二底面的反射光的图案及透过光的图案进行拍摄的相机、以及
计算机，
该计算机构成为：
能够生成利用相机所拍摄到的反射光的图案的图像数据及透过光的图案的图像数据，
能够基于所生成的反射光的图案的图像数据，将与外周侧壁相邻的第二隔室及不与外周侧壁相邻的第二隔室各自的位置信息区别开并储存于存储装置中，
能够基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置中的所述位置信息，对来自与外周侧壁相邻的第二隔室的各透过光的强度进行测定，将与透过光的强度相关的至少一个第一基准和该透过光的强度进行比较，由此检测具有异常的封孔部的与外周侧壁相邻的第二隔室，所述至少一个第一基准用于识别具有异常的封孔部的与外周侧壁相邻的第二隔室，是预先设定的和/或基于该测定的结果而确定的，
并且，能够基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置中的所述位置信息，对来自不与外周侧壁相邻的第二隔室的各透过光的强度进行测定，同与透过光的强度相关的至少一个第二基准进行比较，由此检测具有异常的封孔部的不与外周侧壁相邻的第二隔室，所述至少一个第二基准用于识别具有异常的封孔部的不与外周侧壁相邻的第二隔室，是预先设定的和/或基于该测定的结果而确定的。
5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，
第一基准包括：用于识别具有异常的封孔部且与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的与透过光的强度相关的第一基准、以及基于所述测定的结果而确定的与透过光的强度相关的第一基准，
第二基准包括：用于识别具有异常的封孔部且不与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的与透过光的强度相关的第二基准、以及基于所述测定的结果而确定的与透过光的强度相关的第二基准这两者。
6.根据权利要求4或5所述的检查装置，其特征在于，
用于照射第一光的光照射器能够照射与用于照射第二光的光照射器不同的波长的光。
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