JP7381381B2 - 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置 - Google Patents
柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7381381B2 JP7381381B2 JP2020058378A JP2020058378A JP7381381B2 JP 7381381 B2 JP7381381 B2 JP 7381381B2 JP 2020058378 A JP2020058378 A JP 2020058378A JP 2020058378 A JP2020058378 A JP 2020058378A JP 7381381 B2 JP7381381 B2 JP 7381381B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- diffusion film
- honeycomb structure
- light diffusion
- columnar honeycomb
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 36
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 80
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 28
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 12
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 7
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 5
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 239000005338 frosted glass Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M15/00—Testing of engines
- G01M15/04—Testing internal-combustion engines
- G01M15/10—Testing internal-combustion engines by monitoring exhaust gases or combustion flame
- G01M15/102—Testing internal-combustion engines by monitoring exhaust gases or combustion flame by monitoring exhaust gases
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
- G01N15/0806—Details, e.g. sample holders, mounting samples for testing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
- G01N2015/084—Testing filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
- G01N2015/0846—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials by use of radiation, e.g. transmitted or reflected light
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Catalysts (AREA)
Description
柱状ハニカム構造体の検査方法であって、
柱状ハニカム構造体は、外周側壁と、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面が開口して第二底面に目封止部を有する複数の第1セルと、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面に目封止部を有し、第二底面が開口する複数の第2セルとを備え、複数の第1セルと複数の第2セルは隔壁を挟んで交互に隣接配置されており、
第一底面に対して光を照射することで得られる、第1セル及び第2セルの各目封止部の配置に応じた第二底面からの透過光のパターンを、第二底面と非接触の状態で、第二底面と平行に配置される光拡散フィルムを介して、カメラで撮像する工程と、
カメラによって撮像された透過光のパターンの画像に基づいて第2セルが有する目封止部の欠陥を検出する工程と、
を含む検査方法。
[2]
光拡散フィルムの拡散角度が10°~90°である[1]に記載の検査方法。
[3]
光拡散フィルムの厚みは、50mm以下である[1]又は[2]に記載の検査方法。
[4]
前記カメラで撮像する工程は、以下の(a)~(c)の少なくとも一つの条件下で実施する[1]~[3]の何れか一項に記載の検査方法。
(a)光拡散フィルムは引張応力が加えられている。
(b)光拡散フィルムが二枚の透明板で挟まれている。
(c)光拡散フィルムが透明板に貼り付けられている。
[5]
光拡散フィルムと第二底面の間の距離が1mm~100mmである[1]~[4]の何れか一項に記載の検査方法。
[6]
第一底面に対して照射される光は拡散光である[1]~[5]の何れか一項に記載の検査方法。
[7]
第一底面に対して照射される光は、第一底面に対向する光源であって、第一底面よりも大きな面積範囲で広がっている光源から照射される[1]~[6]の何れか一項に記載の検査方法。
[8]
第一底面に対して照射される光は、柱状ハニカム構造体に接触している光源から照射される[1]~[7]の何れか一項に記載の検査方法。
[9]
第一底面に対して照射される光は、柱状ハニカム構造体と光源の間に配置された半透明基板を介して照射される[1]~[7]の何れか一項に記載の検査方法。
[10]
柱状ハニカム構造体の検査装置であって、
柱状ハニカム構造体は、外周側壁と、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面が開口して第二底面に目封止部を有する複数の第1セルと、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面に目封止部を有し、第二底面が開口する複数の第2セルとを備え、複数の第1セルと複数の第2セルは隔壁を挟んで交互に隣接配置されており、
第一底面に対して光を照射するための光照射器と、
第二底面と非接触の状態で、第二底面と平行に配置するための光拡散フィルムと、
第一底面に対して光を照射することで得られる、第1セル及び第2セルの各目封止部の配置に応じた第二底面からの透過光のパターンを、光拡散フィルムを介して、撮像するためのカメラと、
を備えた検査装置。
[11]
光拡散フィルムの拡散角度が10°~90°である[10]に記載の検査装置。
[12]
光拡散フィルムの厚みは、50mm以下である[10]又は[11]に記載の検査装置。
[13]
以下の(a)~(c)の少なくとも一つの器具を備える[10]~[12]の何れか一項に記載の検査装置。
(a)光拡散フィルムに引張応力を加えるための、少なくとも一対の把持部を有する引張装置。
(b)光拡散フィルムを挟むための二枚の透明板。
(c)光拡散フィルムを貼り付けるための透明板。
[14]
光拡散フィルムと第二底面の間の距離を1mm~100mmとして、カメラが第二底面からの透過光のパターンを撮像するように構成されている[10]~[13]の何れか一項に記載の検査装置。
図2及び図3には、ウォールフロー型の自動車用排ガスフィルタ及び/又は触媒担体として適用可能な柱状ハニカム構造体(100)の模式的な斜視図及び断面図がそれぞれ例示されている。この柱状ハニカム構造体(100)は、外周側壁(102)と、外周側壁(102)の内周側に配置され、第一底面(104)から第二底面(106)まで延び、第一底面(104)が開口して第二底面(106)に目封止部(109)を有する複数の第1セル(108)と、外周側壁(102)の内周側に配置され、第一底面(104)から第二底面(106)まで延び、第一底面(104)に目封止部(109)を有し、第二底面(106)が開口する複数の第2セル(110)とを備える。この柱状ハニカム構造体(100)においては、第1セル(108)及び第2セル(110)が隔壁(112)を挟んで交互に隣接配置されている。
本発明の一実施形態によれば、柱状ハニカム構造体(100)の検査装置及び検査方法が提供される。図1A~図1Dには、本発明の実施形態に係る検査装置(10)の構成を説明するための模式的な側面図が示されている。
検査装置(10)は、
柱状ハニカム構造体(100)の第一底面(104)に対して光を照射するための光照射器(12)と、
第二底面(106)と非接触の状態で、第二底面(106)と平行に配置するための光拡散フィルム(14)と、
第一底面(104)に対して光を照射することで得られる、第1セル(108)及び第2セル(110)の各目封止部(109)の配置に応じた第二底面(106)からの透過光のパターンを、光拡散フィルム(14)を介して、撮像するためのカメラ(16)と、
を備える。
(a)光拡散フィルムに引張応力を加えるための、少なくとも一対の把持部を有する引張装置。
(b)光拡散フィルムを挟むための二枚の透明板。
(c)光拡散フィルムを貼り付けるための透明板。
12 光照射器
12a 光源
13 筐体
14 光拡散フィルム
15 遮光性環状部材
16 カメラ
17 レンズ
18 引張装置
19 透明板
20 透光性基板
21 遮光部材
100 柱状ハニカム構造体
102 外周側壁
104 第一底面
106 第二底面
108 第1セル
109 目封止部
110 第2セル
112 隔壁
200 バルーンチャック
210 第一開口
220 第二開口
230 中空部
240 バルーン
260 貫通孔
270 側壁
280 流体ポート
290 流路
Claims (14)
- 柱状ハニカム構造体の検査方法であって、
柱状ハニカム構造体は、外周側壁と、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面が開口して第二底面に目封止部を有する複数の第1セルと、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面に目封止部を有し、第二底面が開口する複数の第2セルとを備え、複数の第1セルと複数の第2セルは隔壁を挟んで交互に隣接配置されており、
第一底面に対して光を照射することで得られる、第1セル及び第2セルの各目封止部の配置に応じた第二底面からの透過光のパターンを、第二底面と非接触の状態で、第二底面と平行に配置される拡散角度が10°~30°の光拡散フィルムを介して、カメラで撮像する工程と、
カメラによって撮像された透過光のパターンの画像に基づいて第2セルが有する目封止部の欠陥を検出する工程と、
を含む検査方法。 - 光拡散フィルムの拡散角度が20°~30°である請求項1に記載の検査方法。
- 光拡散フィルムの厚みは、50mm以下である請求項1又は2に記載の検査方法。
- 前記カメラで撮像する工程は、以下の(a)~(c)の少なくとも一つの条件下で実施する請求項1~3の何れか一項に記載の検査方法。
(a)光拡散フィルムは引張応力が加えられている。
(b)光拡散フィルムが二枚の透明板で挟まれている。
(c)光拡散フィルムが透明板に貼り付けられている。 - 光拡散フィルムと第二底面の間の距離が1mm~100mmである請求項1~4の何れか一項に記載の検査方法。
- 第一底面に対して照射される光は拡散光である請求項1~5の何れか一項に記載の検査方法。
- 第一底面に対して照射される光は、第一底面に対向する光源であって、第一底面よりも大きな面積範囲で広がっている光源から照射される請求項1~6の何れか一項に記載の検査方法。
- 第一底面に対して照射される光は、柱状ハニカム構造体に接触している光源から照射される請求項1~7の何れか一項に記載の検査方法。
- 第一底面に対して照射される光は、柱状ハニカム構造体と光源の間に配置された半透明基板を介して照射される請求項1~7の何れか一項に記載の検査方法。
- 柱状ハニカム構造体の検査装置であって、
柱状ハニカム構造体は、外周側壁と、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面が開口して第二底面に目封止部を有する複数の第1セルと、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面に目封止部を有し、第二底面が開口する複数の第2セルとを備え、複数の第1セルと複数の第2セルは隔壁を挟んで交互に隣接配置されており、
第一底面に対して光を照射するための光照射器と、
第二底面と非接触の状態で、第二底面と平行に配置するための拡散角度が10°~30°の光拡散フィルムと、
第一底面に対して光を照射することで得られる、第1セル及び第2セルの各目封止部の配置に応じた第二底面からの透過光のパターンを、光拡散フィルムを介して、撮像するためのカメラと、
を備えた検査装置。 - 光拡散フィルムの拡散角度が20°~30°である請求項10に記載の検査装置。
- 光拡散フィルムの厚みは、50mm以下である請求項10又は11に記載の検査装置。
- 以下の(a)~(c)の少なくとも一つの器具を備える請求項10~12の何れか一項に記載の検査装置。
(a)光拡散フィルムに引張応力を加えるための、少なくとも一対の把持部を有する引張装置。
(b)光拡散フィルムを挟むための二枚の透明板。
(c)光拡散フィルムを貼り付けるための透明板。 - 光拡散フィルムと第二底面の間の距離を1mm~100mmとして、カメラが第二底面からの透過光のパターンを撮像するように構成されている請求項10~13の何れか一項に記載の検査装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020058378A JP7381381B2 (ja) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置 |
US17/128,392 US11796441B2 (en) | 2020-03-27 | 2020-12-21 | Inspection method and inspection system for pillar-shaped honeycomb structure |
CN202011525395.9A CN113447412A (zh) | 2020-03-27 | 2020-12-22 | 柱状蜂窝结构体的检查方法及检查装置 |
DE102021000133.8A DE102021000133A1 (de) | 2020-03-27 | 2021-01-14 | Prüfverfahren und Prüfsystem für säulenförmige Wabenstruktur |
JP2023019170A JP2023059911A (ja) | 2020-03-27 | 2023-02-10 | 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020058378A JP7381381B2 (ja) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023019170A Division JP2023059911A (ja) | 2020-03-27 | 2023-02-10 | 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021156774A JP2021156774A (ja) | 2021-10-07 |
JP7381381B2 true JP7381381B2 (ja) | 2023-11-15 |
Family
ID=77659050
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020058378A Active JP7381381B2 (ja) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置 |
JP2023019170A Pending JP2023059911A (ja) | 2020-03-27 | 2023-02-10 | 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023019170A Pending JP2023059911A (ja) | 2020-03-27 | 2023-02-10 | 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11796441B2 (ja) |
JP (2) | JP7381381B2 (ja) |
CN (1) | CN113447412A (ja) |
DE (1) | DE102021000133A1 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070132988A1 (en) | 2005-12-12 | 2007-06-14 | Gargano Patrick M | Collimated light method and system for detecting defects in honeycombs |
JP2014211366A (ja) | 2013-04-18 | 2014-11-13 | イビデン株式会社 | ハニカム構造体の製造方法 |
WO2015155993A1 (ja) | 2014-04-11 | 2015-10-15 | 株式会社クラレ | 光拡散パターン設計方法、光拡散板の製造方法および光拡散板 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3972749B2 (ja) * | 2002-07-03 | 2007-09-05 | 住友金属鉱山株式会社 | 検査装置および貫通孔の検査方法 |
JP4001855B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2007-10-31 | 日本碍子株式会社 | ハニカム構造体の隔壁表面の凹凸検査方法及び検査装置 |
US8234909B2 (en) * | 2009-08-26 | 2012-08-07 | Corning Incorporated | Method and apparatus for inspecting ceramic wall flow filters |
JP5879847B2 (ja) * | 2011-09-15 | 2016-03-08 | 凸版印刷株式会社 | 照明装置 |
JP2019040065A (ja) * | 2017-08-25 | 2019-03-14 | キヤノン株式会社 | 監視カメラ |
JP6853166B2 (ja) * | 2017-12-08 | 2021-03-31 | 日本碍子株式会社 | フィルタ |
JP7145904B2 (ja) * | 2020-03-27 | 2022-10-03 | 日本碍子株式会社 | 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置 |
-
2020
- 2020-03-27 JP JP2020058378A patent/JP7381381B2/ja active Active
- 2020-12-21 US US17/128,392 patent/US11796441B2/en active Active
- 2020-12-22 CN CN202011525395.9A patent/CN113447412A/zh active Pending
-
2021
- 2021-01-14 DE DE102021000133.8A patent/DE102021000133A1/de active Pending
-
2023
- 2023-02-10 JP JP2023019170A patent/JP2023059911A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070132988A1 (en) | 2005-12-12 | 2007-06-14 | Gargano Patrick M | Collimated light method and system for detecting defects in honeycombs |
JP2014211366A (ja) | 2013-04-18 | 2014-11-13 | イビデン株式会社 | ハニカム構造体の製造方法 |
WO2015155993A1 (ja) | 2014-04-11 | 2015-10-15 | 株式会社クラレ | 光拡散パターン設計方法、光拡散板の製造方法および光拡散板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210302298A1 (en) | 2021-09-30 |
JP2021156774A (ja) | 2021-10-07 |
JP2023059911A (ja) | 2023-04-27 |
US11796441B2 (en) | 2023-10-24 |
CN113447412A (zh) | 2021-09-28 |
DE102021000133A1 (de) | 2021-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7701570B2 (en) | Collimated light method and system for detecting defects in honeycombs | |
JP4001855B2 (ja) | ハニカム構造体の隔壁表面の凹凸検査方法及び検査装置 | |
JP2008519257A (ja) | 板ガラスの表面及び内部の欠陥を識別するための検査装置及び方法 | |
JPS6253767B2 (ja) | ||
JPWO2009028709A1 (ja) | 被検体の欠陥検査方法 | |
US11499921B2 (en) | Inspection method and inspection system for pillar-shaped honeycomb structure | |
JP2013033068A5 (ja) | ||
JP7381381B2 (ja) | 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置 | |
JP4707632B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2007114187A5 (ja) | ||
KR20100053038A (ko) | 웨이퍼 결함의 검사장치 및 검사방법 | |
US7701569B2 (en) | Dark field lighting testing device | |
JP4010726B2 (ja) | 透明パネル検査装置 | |
JPH10185829A (ja) | 透明平面体表面の欠陥検査方法及びその装置 | |
CN219737320U (zh) | 一种镀膜盖板检测装置 | |
JP7405479B1 (ja) | 外観検査装置 | |
CN211785186U (zh) | 一种多面向光学检测装置 | |
TWI654426B (zh) | Optical inspection equipment | |
JP2002243650A (ja) | セル詰まりの検査方法およびセル詰まり検査装置 | |
JP2005017232A (ja) | 外周面検査用照明装置 | |
JPS6353495B2 (ja) | ||
JP2000252334A (ja) | 表面検査装置および方法 | |
JPH08136465A (ja) | 板状部材の表面検査装置 | |
JPS62129745A (ja) | 拡散光照明装置 | |
JPH05209837A (ja) | 画像処理システムにおける照明光伝達装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211018 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220831 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20221122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230210 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20230210 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20230221 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20230228 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20230317 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20230322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231102 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7381381 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |