JPS62129745A - 拡散光照明装置 - Google Patents
拡散光照明装置Info
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- JPS62129745A JPS62129745A JP26968085A JP26968085A JPS62129745A JP S62129745 A JPS62129745 A JP S62129745A JP 26968085 A JP26968085 A JP 26968085A JP 26968085 A JP26968085 A JP 26968085A JP S62129745 A JPS62129745 A JP S62129745A
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- optical fiber
- fiber plate
- angle
- diffusion
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/894—Pinholes
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、エツジピンホール検出装置あるいは形状検査
装置のバックライト光源等として利用される拡散光照明
装置に係わり、特に光拡散面に垂直な方向には弱い光を
出射し、光拡散面に垂直な方向以外の方向には強い光を
出射する光拡散特性を有する拡散光照明装置に関する。
装置のバックライト光源等として利用される拡散光照明
装置に係わり、特に光拡散面に垂直な方向には弱い光を
出射し、光拡散面に垂直な方向以外の方向には強い光を
出射する光拡散特性を有する拡散光照明装置に関する。
一般に、測定対客のシルエラｌ−像をテレビカメラなど
の光電変換装置を用いて１ａ倣し、その結果得られた画
像信号に所定の処理を施して上記測定対象の形状を検査
する形状検査装置においては、シルエット象を１ｑるた
めのバックライト光源として拡散光照明装置が利用され
ている。この拡散光照明装置は、一般に、発光光源から
の光をスリガラスやオパールガラス（完全拡散面）など
の拡散面にて散乱させて拡散光を出射させるものとなっ
ており、拡散面における各点の光拡散特性は、第８図（
ａ）に示すように拡散面としてスリガラス１を用いた場
合は楕円形状の特性を有し、同図（ｂ＞に示すように拡
散面としてオパールガラス２を用いた場合は円形状の特
性を有するものとなっている。
の光電変換装置を用いて１ａ倣し、その結果得られた画
像信号に所定の処理を施して上記測定対象の形状を検査
する形状検査装置においては、シルエット象を１ｑるた
めのバックライト光源として拡散光照明装置が利用され
ている。この拡散光照明装置は、一般に、発光光源から
の光をスリガラスやオパールガラス（完全拡散面）など
の拡散面にて散乱させて拡散光を出射させるものとなっ
ており、拡散面における各点の光拡散特性は、第８図（
ａ）に示すように拡散面としてスリガラス１を用いた場
合は楕円形状の特性を有し、同図（ｂ＞に示すように拡
散面としてオパールガラス２を用いた場合は円形状の特
性を有するものとなっている。
ところで、最近では、ｔ１４板、ブリ４：板等の帯状体
に発生するピンホール欠陥が製品の品質ｖｉ度において
致命的欠陥となるため、上記帯状体の特にエツジ部に形
成された微細なピンホール欠陥を高精度に検出する手段
として、第９図に示す如く、紙面表側から裏側に走行す
る帯状体３を挟んで拡散布４を有する拡散光照明装置５
と光電変換手段としてのテレビカメラ６とを対向配置し
、上記拡散光照明装置５から照射される拡散光による帯
状体３のシルエツト像をテレビカメラ６にて擾像し所定
の信号処理を施すことによりエツジ部近傍のピンホール
を検出するエツジピンホール検出装置が考えられている
。
に発生するピンホール欠陥が製品の品質ｖｉ度において
致命的欠陥となるため、上記帯状体の特にエツジ部に形
成された微細なピンホール欠陥を高精度に検出する手段
として、第９図に示す如く、紙面表側から裏側に走行す
る帯状体３を挟んで拡散布４を有する拡散光照明装置５
と光電変換手段としてのテレビカメラ６とを対向配置し
、上記拡散光照明装置５から照射される拡散光による帯
状体３のシルエツト像をテレビカメラ６にて擾像し所定
の信号処理を施すことによりエツジ部近傍のピンホール
を検出するエツジピンホール検出装置が考えられている
。
しかるに、この場合、テレビカメラ６の撮像面はピンホ
ールからの透過光と拡散光照明装＠５がらの直射光とを
同時に捕えるので、拡散光照明装置５として前記第８図
（ａ）（ｂ）に示すような拡散特性を有する照明装置を
適用すると、上記直射光の光ｄレベルはピンホール透過
光の光ωレベルよりも非常に高くなってしまい、充分な
Ｓ／Ｎ比をもってピンホール欠陥を検出することは困難
であった。
ールからの透過光と拡散光照明装＠５がらの直射光とを
同時に捕えるので、拡散光照明装置５として前記第８図
（ａ）（ｂ）に示すような拡散特性を有する照明装置を
適用すると、上記直射光の光ｄレベルはピンホール透過
光の光ωレベルよりも非常に高くなってしまい、充分な
Ｓ／Ｎ比をもってピンホール欠陥を検出することは困難
であった。
ところで、上記ピンホール透過光は、ピンホールに入射
後、ピンホール内面にて散乱、多重反射したのちテレビ
カメラ６の県像面に到達する。したがって、ピンホール
の軸に対して大きな角度をもって入ＯＪする光もその一
部はピンホール透過光として′＠像而面到達するものと
なっている。これに対し、直ｑ」光としてテレビカメラ
６の比像面に到達する光は、拡散光照明装置５の拡散面
４から上記テレビカメラ６の画角ψ以下の角度をもって
出射した光だけである。したがって、第１０図に示すよ
うに、拡散面４に対しテレビカメラ６の画角Φ以下の出
射角度については出射光ｍレベルが低く、画角Φ以上の
出射角度については出射光量レベルが高くなるような拡
散特性を有する拡散光照明装置を上記エツジピンホール
検出装置のバックライト光源として適用すれば、ピンホ
ール透過光の光量レベルを下げることなく直射光の光量
レベルを抑制することができるので、Ｓ ／ Ｎ比が良
好となりピンホール欠陥の検出開度向上をはかり得るも
のとなる。
後、ピンホール内面にて散乱、多重反射したのちテレビ
カメラ６の県像面に到達する。したがって、ピンホール
の軸に対して大きな角度をもって入ＯＪする光もその一
部はピンホール透過光として′＠像而面到達するものと
なっている。これに対し、直ｑ」光としてテレビカメラ
６の比像面に到達する光は、拡散光照明装置５の拡散面
４から上記テレビカメラ６の画角ψ以下の角度をもって
出射した光だけである。したがって、第１０図に示すよ
うに、拡散面４に対しテレビカメラ６の画角Φ以下の出
射角度については出射光ｍレベルが低く、画角Φ以上の
出射角度については出射光量レベルが高くなるような拡
散特性を有する拡散光照明装置を上記エツジピンホール
検出装置のバックライト光源として適用すれば、ピンホ
ール透過光の光量レベルを下げることなく直射光の光量
レベルを抑制することができるので、Ｓ ／ Ｎ比が良
好となりピンホール欠陥の検出開度向上をはかり得るも
のとなる。
そこで本発明は、光拡散面上の全ての場所にて拡散面垂
直方向については出射光量レベルが低く、拡散面垂直方
向以外の方向については出射光υレベルが高い拡散特性
を有する拡散光照明装置を提供することを目的とする。
直方向については出射光量レベルが低く、拡散面垂直方
向以外の方向については出射光υレベルが高い拡散特性
を有する拡散光照明装置を提供することを目的とする。
本発明は、上記問題点を解決し目的を達成するために、
オプティカルファイバプレートと、このオプティカルフ
ァイバプレートの入射光軸に対してＯｏでない入射角度
でオプティカルファイバプレー１−面に平行光を照射す
る平行光源とから構成するようにしたものである。
オプティカルファイバプレートと、このオプティカルフ
ァイバプレートの入射光軸に対してＯｏでない入射角度
でオプティカルファイバプレー１−面に平行光を照射す
る平行光源とから構成するようにしたものである。
〔作用）
このような手段を講じたことにより、オプティカルファ
イバプレートのプレート面からは光フアイバ光軸を軸と
して平行光入射角度の２倍の角度を有する円錐面上にほ
ぼ沿って拡散光が出射される。
イバプレートのプレート面からは光フアイバ光軸を軸と
して平行光入射角度の２倍の角度を有する円錐面上にほ
ぼ沿って拡散光が出射される。
第１図は本発明をエツジピンホール検出装置に適用した
一実施例を示す構成図である。なお、第９図と同一部分
には同一符号を付し、詳しい説明は省略する。第１図に
おいて、帯状体３は紙面表側から裏側に向かって走行す
るものとなっており、この帯状体３を挟んでテレビカメ
ラ６と本発明の拡散光照明装置１０が対向配置されてい
る。上記テレビカメラ６は、帯状体エツジ部３ａを視野
に含みかつ所定のピンホールを十分に検出しつるだけの
分解能を有するように視野サイズが設定されている。
一実施例を示す構成図である。なお、第９図と同一部分
には同一符号を付し、詳しい説明は省略する。第１図に
おいて、帯状体３は紙面表側から裏側に向かって走行す
るものとなっており、この帯状体３を挟んでテレビカメ
ラ６と本発明の拡散光照明装置１０が対向配置されてい
る。上記テレビカメラ６は、帯状体エツジ部３ａを視野
に含みかつ所定のピンホールを十分に検出しつるだけの
分解能を有するように視野サイズが設定されている。
能力、拡散光照明装置１０は、帯状体３に対して平行に
かつ帯状体３のエツジ部を跨いで配設されたオプティカ
ルファイバプレート１１を帯状体３に面する側の一部な
いし全部に取付け、このオプティカルファイバプレート
１１に平行光を照射するためのコリメーションレンズ１
２と、このコリメーションレンズ１２の焦点距離に配設
されたストロボ光源１３とを内蔵した構成となっている
。
かつ帯状体３のエツジ部を跨いで配設されたオプティカ
ルファイバプレート１１を帯状体３に面する側の一部な
いし全部に取付け、このオプティカルファイバプレート
１１に平行光を照射するためのコリメーションレンズ１
２と、このコリメーションレンズ１２の焦点距離に配設
されたストロボ光源１３とを内蔵した構成となっている
。
上記オプティカルファイバプレート１１の面サイズは前
記テレビカメラ６の視野サイズよりも十分に大きく、ま
た、コリメーションレンズ１２の面サイズもオプティカ
ルファイバプレーｌ〜１１の全面にわたって十分均一に
照射しうるように必要十分な大きさに設定されている。
記テレビカメラ６の視野サイズよりも十分に大きく、ま
た、コリメーションレンズ１２の面サイズもオプティカ
ルファイバプレーｌ〜１１の全面にわたって十分均一に
照射しうるように必要十分な大きさに設定されている。
また、上記コリメ−ジョンレンズ１２の光ＭＬは、オプ
ティカルファイバプレート１１の面に対しテレビカメラ
６の画角やよりも大ぎな角度θに設定されており、スト
ロボ光源１３からの出射光はこのコリメーションレンズ
１２にて平行光に変換された後、θなる角度でオプティ
カルファイバプレート１１に役割されるものとなってい
る。なお、拡散光照明装置１０の外面および内面は、外
光および迷光を防ぐために、つや消し等の黒色塗装が施
されている。
ティカルファイバプレート１１の面に対しテレビカメラ
６の画角やよりも大ぎな角度θに設定されており、スト
ロボ光源１３からの出射光はこのコリメーションレンズ
１２にて平行光に変換された後、θなる角度でオプティ
カルファイバプレート１１に役割されるものとなってい
る。なお、拡散光照明装置１０の外面および内面は、外
光および迷光を防ぐために、つや消し等の黒色塗装が施
されている。
ここで、上記オプティカルファイバプレート１１につい
て説明する。第２図は上記オプティカルファイバプレー
トの外観図であって、このファイバプレート］１は、直
径数μｍの光ファイバを故千万本ないし数億本にわたり
束ねて融着し、これを光フアイバ断面方向（第２図中矢
印α方向）に数ｍｍ程度の厚さでスライスし、このスラ
イスされた両端面を平１テに光学研磨して作製した光学
素子であり、直径Ｒは数十ｍｍ程度となる。そして、第
３図に示す如く上記オプティカルファイバプレー１・１
１の一方のプレート面に平行光！２０から入射角度θで
平１１光が入射すると、この入射光は、第４図に示す如
く各々の光フアイバ２１中を全反射しながらＰＪＦＪ状
に伝搬し、入射面と反対側のプレート面における各々の
点から光フアイバ光軸に対し頂角２θを有する円錐面に
沿って出射する。ただし、実際にはマイクロベンドと呼
ば机る光ファイバＦの内面に生じる微小な凹凸等の影響
により入射光が光ファイバＦ内を伝搬する際に多少の拡
散を生じるので、頂角２θの円錐面近傍にも出射光が漏
れる。したがって、上記オプティカルファイバプレート
１１から出射される光は、第５図（ａ）で示すような特
性を有することになり、これは第１０図に示したエツジ
ピンホール検出装置におけるバックライト光源として好
適な拡散光照明装置の拡散特性に極似したものとなる。
て説明する。第２図は上記オプティカルファイバプレー
トの外観図であって、このファイバプレート］１は、直
径数μｍの光ファイバを故千万本ないし数億本にわたり
束ねて融着し、これを光フアイバ断面方向（第２図中矢
印α方向）に数ｍｍ程度の厚さでスライスし、このスラ
イスされた両端面を平１テに光学研磨して作製した光学
素子であり、直径Ｒは数十ｍｍ程度となる。そして、第
３図に示す如く上記オプティカルファイバプレー１・１
１の一方のプレート面に平行光！２０から入射角度θで
平１１光が入射すると、この入射光は、第４図に示す如
く各々の光フアイバ２１中を全反射しながらＰＪＦＪ状
に伝搬し、入射面と反対側のプレート面における各々の
点から光フアイバ光軸に対し頂角２θを有する円錐面に
沿って出射する。ただし、実際にはマイクロベンドと呼
ば机る光ファイバＦの内面に生じる微小な凹凸等の影響
により入射光が光ファイバＦ内を伝搬する際に多少の拡
散を生じるので、頂角２θの円錐面近傍にも出射光が漏
れる。したがって、上記オプティカルファイバプレート
１１から出射される光は、第５図（ａ）で示すような特
性を有することになり、これは第１０図に示したエツジ
ピンホール検出装置におけるバックライト光源として好
適な拡散光照明装置の拡散特性に極似したものとなる。
なお、第５図（ｂ）（ｃ）は一般的な拡散板として用い
られるスリガラス１とオパールガラス２の平行光入射角
度θに対する拡散特性を示している。同図に示すように
スリガラス１の場合は平行光入射角度θと同一の出射角
度方向に対し楕円形状に光量レベルが広くなっており、
オパールカラス２の場合はガラス面垂直方向に対し円形
状に光量レベルが広がっている。
られるスリガラス１とオパールガラス２の平行光入射角
度θに対する拡散特性を示している。同図に示すように
スリガラス１の場合は平行光入射角度θと同一の出射角
度方向に対し楕円形状に光量レベルが広くなっており、
オパールカラス２の場合はガラス面垂直方向に対し円形
状に光量レベルが広がっている。
第６図は厚さ４ｍｍおよび１ｍｍのオプティカルファイ
バプレート１１（曲線ＡおよびＢ）、スリガラス１（曲
線Ｃ）、オパールガラス２（曲線Ｄ）について、入射角
度θ＝３０″に対するそれぞれの出射角度実測値（横軸
）と相対出射強度＜縦軸）との関係を示す一図である。
バプレート１１（曲線ＡおよびＢ）、スリガラス１（曲
線Ｃ）、オパールガラス２（曲線Ｄ）について、入射角
度θ＝３０″に対するそれぞれの出射角度実測値（横軸
）と相対出射強度＜縦軸）との関係を示す一図である。
同図からも明らかなように、オプティカルファイバプレ
ー１−１１は入射角度θに等しい出射角度±３０°近傍
にて最大の出射強度が得られており、前述したオプティ
カルファイバプレート１１の拡散特性が照明されている
。
ー１−１１は入射角度θに等しい出射角度±３０°近傍
にて最大の出射強度が得られており、前述したオプティ
カルファイバプレート１１の拡散特性が照明されている
。
また、第７図は厚さ４ｍｍのオプティカルファイバプレ
ート１１に対し入射される平行光の入射角度θを００〜
４５°まで１５°間隔で変化させた場合の出射角度（横
軸）と出射強度（縦軸）とを示す図である。同図に示す
ように、入射角度θの変化に対応して拡散光の広がりが
変化している。
ート１１に対し入射される平行光の入射角度θを００〜
４５°まで１５°間隔で変化させた場合の出射角度（横
軸）と出射強度（縦軸）とを示す図である。同図に示す
ように、入射角度θの変化に対応して拡散光の広がりが
変化している。
さて、本実施例における拡散光照明装置１０は、上述し
たような拡散特性を有するオプティカルファイバプレー
ト１１の一方のプレート面に、テレビカメラ６の画角ψ
よりも大きな入射角度θをもってストロボ光ＦＡ１３お
よびコリメーションレンズ１２により平行光を照射して
いる。したがって、この拡散光照明装置１０の全拡散面
から帯状体３に出射される拡散光は、上記画角ψよりも
大きな角度方向には高レベルで出射され、画角φよりも
小ざな角度方向には低レベルで出射される。その結果、
テレビカメラ６の画像面に到達する拡散光照明装置１０
からの直射光はピンホール透過光に比して強すぎること
はなく、良好なＳ 、／ Ｎ比でエツジピンホール欠陥
を検出することができる。
たような拡散特性を有するオプティカルファイバプレー
ト１１の一方のプレート面に、テレビカメラ６の画角ψ
よりも大きな入射角度θをもってストロボ光ＦＡ１３お
よびコリメーションレンズ１２により平行光を照射して
いる。したがって、この拡散光照明装置１０の全拡散面
から帯状体３に出射される拡散光は、上記画角ψよりも
大きな角度方向には高レベルで出射され、画角φよりも
小ざな角度方向には低レベルで出射される。その結果、
テレビカメラ６の画像面に到達する拡散光照明装置１０
からの直射光はピンホール透過光に比して強すぎること
はなく、良好なＳ 、／ Ｎ比でエツジピンホール欠陥
を検出することができる。
また、上記拡散光照明装置１０をエツジピンホール検出
装置に適用することにより、この検出装置の光学系の構
成を簡略化し得、かつ低コスト化をはかり１りるといっ
た効果をも奏する。かくして、本実施例の拡散光照明装
置１０は、エツジピンホール検出装置におけるバックラ
イト光源として大変好適である。
装置に適用することにより、この検出装置の光学系の構
成を簡略化し得、かつ低コスト化をはかり１りるといっ
た効果をも奏する。かくして、本実施例の拡散光照明装
置１０は、エツジピンホール検出装置におけるバックラ
イト光源として大変好適である。
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではない。
例えば、前記実施例ではエツジピンホール検出装置に適
用した場合を示したが、これに限定されるものではなく
、第１Ｑ図に示すような拡散特性を有する拡散光照明装
置を必要とする装置に適用できるのは言うまでもない。
用した場合を示したが、これに限定されるものではなく
、第１Ｑ図に示すような拡散特性を有する拡散光照明装
置を必要とする装置に適用できるのは言うまでもない。
また、前記実施例ではオプティカルファイバプレート１
１のプレート面に入射角θを有する平行光を照射する平
行光源としてストロボ光源１３とコリメーションレンズ
１２とを組合わせてなる１粗の平行光源を適用した場合
を示したが、オプティカルファイバプレート１１におけ
る光入射面の中心法線を軸として頂角２θを有する円錐
面上に、この円錐面に沿って頂角方向に平行光を照射す
る複数台の光源を配設するようにしてもよい。また、拡
散面垂直方向以外の角度において、より広い角度で強い
拡散光を得るために、オプティカルファイバプレー１・
１１に種々の角度から平行光が入射するように入射角度
θの異なる平行光源を複数台配設するよのほか本発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿
論である。
１のプレート面に入射角θを有する平行光を照射する平
行光源としてストロボ光源１３とコリメーションレンズ
１２とを組合わせてなる１粗の平行光源を適用した場合
を示したが、オプティカルファイバプレート１１におけ
る光入射面の中心法線を軸として頂角２θを有する円錐
面上に、この円錐面に沿って頂角方向に平行光を照射す
る複数台の光源を配設するようにしてもよい。また、拡
散面垂直方向以外の角度において、より広い角度で強い
拡散光を得るために、オプティカルファイバプレー１・
１１に種々の角度から平行光が入射するように入射角度
θの異なる平行光源を複数台配設するよのほか本発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿
論である。
以上詳述したように、本発明は、オプティカルファイバ
プレートと、このオプティカルファイバプレートの入射
光軸に対して００でない入射角度でオプティカルファイ
バプレート面に平行光を照射する平行光源とから構成す
るようにしたものである。
プレートと、このオプティカルファイバプレートの入射
光軸に対して００でない入射角度でオプティカルファイ
バプレート面に平行光を照射する平行光源とから構成す
るようにしたものである。
したがって、本発明によれば、オプティカルファイバプ
レートのプレート面からは光フアイバ光軸を軸として平
行光入射角度の２倍の角度を有する円錐面上にほぼ沿っ
て拡散光が出ｑ１されるので、光拡散面上の全ての場所
にて拡散面垂直方向については出射元旦レベルが低く、
拡散面垂直方向以外の方向については出射光りレベルが
高い拡散特性を有する拡散光照明装置を提供できる。
レートのプレート面からは光フアイバ光軸を軸として平
行光入射角度の２倍の角度を有する円錐面上にほぼ沿っ
て拡散光が出ｑ１されるので、光拡散面上の全ての場所
にて拡散面垂直方向については出射元旦レベルが低く、
拡散面垂直方向以外の方向については出射光りレベルが
高い拡散特性を有する拡散光照明装置を提供できる。
第１図は本発明をエツジピンホール検出装置に適用した
一実施例を示す構成図、第２図はオプティカルファイバ
プレートの構造図、第３図〜第７図はオプティカルファ
イバプレートの拡散特性を説明するための図であって、
第３図はオプティカルファイバプレートと平行光源との
関係を示す図、第４図は入射光に対する出射光の状態図
、第５図（ａ）〜（Ｃ）および第６図はオプティカルフ
ァイバプレート、スリガラス、オパールガラスそれぞれ
の拡散特性を示す図、第７図は入射角の変化に対する拡
散特性の変化を示す図、第８図（ａ）（ｂ）〜第１０図
は従来例を説明するための図であって、第８図＜ａ＞（
ｂ）は拡散板としてのスリガラス、オパールガラスの拡
散特性を示す図、第９図は従来のエツジピンホール検出
装置を説明するための図、第１０図はエツジビンボール
検出装置に使用される拡散光源の理想的な拡散特性を示
す図である。 ３・・・帯状体、６・・・テレビカメラ、１０・・・拡
散光照明装置、１１・・・オプティカルファイバプレー
ト、１２・・・コリメーションレンズ、１３・・・スト
ロボ光源、２０・・・平行光源、２１・・・光ファイバ
。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２因 第３図 第４図 （ａ） （ｂ） （ｃ）第
５図 工軒町友（０） 第６図 工財角及じ） 第７図 （ａ） 第８ 第９図 （ｂ） 図 第１０図
一実施例を示す構成図、第２図はオプティカルファイバ
プレートの構造図、第３図〜第７図はオプティカルファ
イバプレートの拡散特性を説明するための図であって、
第３図はオプティカルファイバプレートと平行光源との
関係を示す図、第４図は入射光に対する出射光の状態図
、第５図（ａ）〜（Ｃ）および第６図はオプティカルフ
ァイバプレート、スリガラス、オパールガラスそれぞれ
の拡散特性を示す図、第７図は入射角の変化に対する拡
散特性の変化を示す図、第８図（ａ）（ｂ）〜第１０図
は従来例を説明するための図であって、第８図＜ａ＞（
ｂ）は拡散板としてのスリガラス、オパールガラスの拡
散特性を示す図、第９図は従来のエツジピンホール検出
装置を説明するための図、第１０図はエツジビンボール
検出装置に使用される拡散光源の理想的な拡散特性を示
す図である。 ３・・・帯状体、６・・・テレビカメラ、１０・・・拡
散光照明装置、１１・・・オプティカルファイバプレー
ト、１２・・・コリメーションレンズ、１３・・・スト
ロボ光源、２０・・・平行光源、２１・・・光ファイバ
。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２因 第３図 第４図 （ａ） （ｂ） （ｃ）第
５図 工軒町友（０） 第６図 工財角及じ） 第７図 （ａ） 第８ 第９図 （ｂ） 図 第１０図
Claims (1)
- オプティカルファイバプレートと、このオプティカルフ
ァイバプレートの入射光軸に対して０°でない入射角度
でオプティカルファイバプレート面に平行光を照射する
平行光源とからなることを特徴とする拡散光照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26968085A JPS62129745A (ja) | 1985-11-30 | 1985-11-30 | 拡散光照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26968085A JPS62129745A (ja) | 1985-11-30 | 1985-11-30 | 拡散光照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62129745A true JPS62129745A (ja) | 1987-06-12 |
Family
ID=17475694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26968085A Pending JPS62129745A (ja) | 1985-11-30 | 1985-11-30 | 拡散光照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62129745A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009198241A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Yamatake Corp | 計測器 |
| JP2017504811A (ja) * | 2013-12-27 | 2017-02-09 | センソファー メディカル， エセ．エレ． | ステント状物体を光学的に検査・分析する装置および方法 |
-
1985
- 1985-11-30 JP JP26968085A patent/JPS62129745A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009198241A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Yamatake Corp | 計測器 |
| JP2017504811A (ja) * | 2013-12-27 | 2017-02-09 | センソファー メディカル， エセ．エレ． | ステント状物体を光学的に検査・分析する装置および方法 |
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