CN113399319B - 一种晶体炉可视化清洁方法及设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种晶体炉可视化清洁方法及设备，方法包括：采集晶体炉内壁在洁净状态下的若干图像以及在非洁净状态下的若干图像，以得到晶体炉内壁图像特征库；基于预设程序，控制晶体炉清洁装置旋转升降组件以及套设在旋转升降组件上的清洁箱进行升降或旋转，以对晶体炉内壁进行清洁；其中，清洁箱顶部和侧面安装有清洁刷；清洁完毕后，采集晶体炉内壁的实时图像；对晶体炉内壁的实时图像进行特征提取，并与晶体炉内壁图像特征库中的若干图像进行特征匹配，以确定晶体炉内壁的洁净状态。解决了现有晶体炉清洁方法无法实现自动清洁且不能自动检测晶体炉是否清洁干净的问题。降低了晶体炉清洁的成本，提高了晶体炉清洁的效率。

Description

一种晶体炉可视化清洁方法及设备

技术领域

本申请涉及晶体炉清洁技术领域，尤其涉及一种晶体炉可视化清洁方法及设备。

背景技术

碳化硅在晶体生长阶段处在高温阶段，并且碳化硅晶体生长采用物理气相传输(Physical Vapor Transport，PVT)法。在碳化硅晶体生长炉内会产生很多粉尘颗粒，对于碳化硅晶体生长炉构成一定的污染，所以每次使用完后要进行清洁。现有技术中通常采用人工清洁的方式对晶体炉进行清洁，例如，清洁人员将清洁材料固定在木棍的顶端，蘸上无水乙醇后对晶体炉壁进行清理。但是采用人工清洁的方式成本较高，且清洁效率较低。不同清洁人员的清洁能力存在较大差异。此外，人工清洁的方式难以在清洁完成后根据统一的清洁标准对晶体炉进行自动检测，并且在晶体炉未清洁干净的情况下不能及时发现并对晶体炉重新清洁，从而影响晶体生长质量。

发明内容

本申请实施例提供了一种晶体炉可视化清洁方法及设备，用于解决如下技术问题：现有晶体炉清洁方法无法实现自动清洁且不能自动检测晶体炉是否清洁干净。

本申请实施例采用下述技术方案：

一方面，本申请实施例提供了一种晶体炉可视化清洁方法，方法包括：采集晶体炉内壁在洁净状态下的若干图像以及在非洁净状态下的若干图像，以得到晶体炉内壁图像特征库；基于预设程序，控制晶体炉清洁装置上的旋转升降组件以及套设在所述旋转升降组件上的清洁箱进行升降或旋转，以对所述晶体炉内壁进行清洁；其中，所述清洁箱顶部和侧面安装有清洁刷；清洁完毕后，采集所述晶体炉内壁的实时图像；对所述晶体炉内壁的实时图像进行特征提取，并与所述晶体炉内壁图像特征库中的若干图像进行特征匹配，以确定所述晶体炉内壁的洁净状态。

本申请实施例通过在可编程控制器中编写预设程序，控制晶体炉清洁装置按照预设程序运行，实现了晶体炉的自动清洁，全过程无需人力参与。还通过图像采集装置采集清洁完成后的晶体炉内壁图像，通过图像分析技术分析晶体炉是否清洁干净，从而实现了晶体炉清洁情况的自动检测。

在一个可行的实施方式中，所述基于预设程序，控制晶体炉清洁装置上的旋转升降组件以及套设在所述旋转升降组件上的清洁箱进行升降或旋转，以对所述晶体炉内壁进行清洁，具体包括：在安装于所述晶体炉清洁装置的定位柱上的第一光电开关被触发后，控制所述旋转升降组件上升至所述旋转升降组件的第一限位部，进而控制套设在所述旋转升降组件上的清洁箱开始旋转；基于预设时间间隔，控制所述旋转升降组件下降第一预设距离，同时带动所述清洁箱下降所述第一预设距离，直到所述旋转升降组件下降至所述旋转升降组件的第二限位部；在所述旋转升降组件下降至所述第二限位部后，控制所述旋转升降组件以预设速度上升至所述第一限位部。

在一个可行的实施方式中，在所述在所述旋转升降组件下降至所述第二限位部后，控制所述旋转升降组件以预设速度上升至所述第一限位部之后，所述方法还包括：基于安装于所述第一限位部上的第二光电开关两次被触发，确定所述晶体炉内壁清洁完毕，并控制所述清洁箱停止旋转。

在一个可行的实施方式中，所述采集晶体炉内壁在洁净状态下的若干图像以及在非洁净状态下的若干图像，具体包括：控制所述旋转升降组件升降到预设高度，并控制安装于所述清洁箱侧面的图像采集装置采集当前面向的晶体炉内壁图像；控制所述清洁箱旋转预设角度；在所述清洁箱每次旋转所述预设角度后，均控制所述图像采集装置采集面向的晶体炉内壁图像，并记录采集的所述晶体炉内壁图像的采集高度与采集角度；在所述清洁箱旋转360度后，控制所述旋转升降组件下降第二预设距离，并控制所述清洁箱继续旋转以及控制所述图像采集装置继续采集面向的晶体炉内壁图像，直至所述旋转升降组件下降至所述第二限位部停止。

本申请实施例通过分别采集晶体炉不同高度不同角度的图像，更加全面地检测晶体炉内壁的干净程度。

在一个可行的实施方式中，所述得到晶体炉内壁图像特征库，具体包括：

对所述图像采集装置采集的晶体炉内壁在洁净状态下的若干图像以及在非洁净状态下的若干图像进行特征提取，得到所述晶体炉内壁的若干洁净图像特征以及非洁净图像特征，从而得到所述晶体炉内壁图像特征库。

在一个可行的实施方式中，所述对所述晶体炉内壁的实时图像进行特征提取，并与所述晶体炉内壁图像特征库中的若干图像进行特征匹配，以确定所述晶体炉内壁的洁净状态，具体包括：对所述晶体炉内壁的实时图像进行特征提取，得到所述晶体炉内壁实时图像的图像特征；在所述晶体炉内壁实时图像的图像特征与所述晶体炉内壁图库中的洁净图像特征相匹配的情况下，确定所述晶体炉内壁实时图像对应位置的晶体炉内壁处于洁净状态；在所述晶体炉内壁实时图像的图像特征与任一非洁净图像特征相匹配的情况下，确定所述晶体炉内壁实时图像对应位置的晶体炉内壁处于非洁净状态。

在一个可行的实施方式中，在确定所述晶体炉内壁实时图像对应位置的晶体炉内壁处于非洁净状态之后，所述方法还包括：基于所述实时图像的采集高度与采集角度，确定所述非洁净状态的实时图像对应的晶体炉内壁上的非洁净位置；控制所述旋转升降组件上升到所述非洁净位置，并控制所述清洁箱旋转预设时间，以对所述非洁净位置进行再次清洁；采集所述非洁净位置对应的晶体炉内壁图像并进行特征提取与特征匹配，以确定再次清洁后的所述非洁净位置的洁净状态。

在一个可行的实施方式中，所述采集所述非洁净位置对应的晶体炉内壁图像并进行特征提取与特征匹配，以确定再次清洁后的所述非洁净位置的洁净状态之后，所述方法还包括：在所述清洁箱旋转过程中，实时记录所述清洁箱旋转预设时间的次数；在第一清洁模式下，在所述清洁箱旋转预设时间的次数达到预设阈值且所述非洁净位置仍处于非洁净状态时，控制所述清洁箱停止旋转；以及，将所述非洁净位置对应的图像发送至清洁人员对应的移动终端上，以提醒清洁人员对所述非洁净位置进行人工清洁。

在一个可行的实施方式中，所述方法还包括：在第二清洁模式下，在所述清洁箱旋转预设时间的次数达到预设阈值且所述非洁净位置仍处于非洁净状态时，向所述清洁人员对应的移动终端发送告警信息，以提醒清洁人员检查所述晶体炉清洁装置是否出现故障；以及，控制所述清洁箱继续对所述非洁净位置进行清洁，直至所述非洁净位置处于洁净状态或所述晶体炉清洁装置被关闭。

本申请设置了两种清洁模式，一种是在检测到晶体炉内壁不洁净时，驱动清洁箱旋转预设时间，并重复检测和清洁的过程，直至晶体炉内壁清洁干净，但是清洁次数若超过预设阈值，需要向工作人员报警，提醒工作人员检查清洁刷是否老旧。另一种是在检测到晶体炉内壁不洁净时，驱动清洁箱旋转预设时间，并重复检测和清洁的过程，直至清洁箱旋转预设时间的次数达到预设阈值，停止清洁并触发语音报警，提醒工作人员检查晶体炉内是否出现问题。通过灵活选择以上两种清洁模式，可以在晶体炉内壁出现异常情况或者在清洁装置出现问题的时候，及时通知工作人员进行针对性的检查，快速明确故障位置，保证晶体炉清洁过程的顺利进行。

另一方面，本申请还提供了一种晶体炉可视化清洁设备，包括：至少一个处理器；以及，与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行如上述任一实施方式所述的一种晶体炉可视化清洁方法。

本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：

通过上述方案，本申请实现了晶体炉的自动化清洁与自动检测，节省了晶体炉清洁所需的人力，降低了晶体炉清洁的成本，提高了晶体炉清洁的效率，实现了统一的清洁标准，进而提升了晶体炉中晶体的生长质量。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1为本申请实施例提供的一种晶体炉可视化清洁方法流程图；

图2为本申请实施例提供的一种晶体炉清洁装置结构示意图；

图3为本申请实施例提供的一种晶体炉可视化清洁设备示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本说明书实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

本申请实施例为了解决现有晶体炉清洁方法无法实现自动清洁且不能自动检测晶体炉是否清洁干净的技术问题，提出了一种晶体炉可视化清洁方法，其执行流程图如图1所示。需要说明的是，本申请实施例中的晶体炉可视化清洁方法，通过如图2所示的晶体炉清洁装置实现。

如图2所示，晶体炉清洁装置包括驱动箱1、驱动轮2、第二限位部3、定位充电口4、旋转升降组件5、清洁箱6、清洁刷安装槽7、图像采集装置8、第一限位部9、固定销10、上吸尘口11、侧吸尘口12、伺服电机13、支撑架14、吊柱15、支撑柱16以及定位柱17。其中，旋转升降组件5用于带动清洁箱6上下移动，优选地，旋转升降组件5可以为丝杠。清洁箱6套设于旋转升降组件5上，上面和侧面安装有清洁刷，清洁箱6通过高速旋转带动清洁刷对晶体炉的上壁和侧壁进行清洁。图像采集装置8用于采集晶体炉内壁图像。第一限位部9即为旋转升降组件的顶端机械限位，第一限位部9的下表面上安装有第二光电开关，用于确定旋转升降组件以及清洁箱已到达最顶端。第二限位部3即为旋转升降组件的底端机械限位，第二限位部3的上表面安装有第三光电开关，用于确定旋转升降组件以及清洁箱已到达最底端。定位柱17上安装有第一光电开关，用于确定晶体炉清洁装置已达到指定位置。

图1为本申请实施例提供的一种晶体炉可视化清洁方法流程图，如图1所示，方法具体包括如下步骤：

S101、采集晶体炉内壁在洁净状态下的若干图像以及在非洁净状态下的若干图像，以得到晶体炉内壁图库。

在晶体炉清洁装置清洁之前，通过晶体炉清洁装置的清洁箱上的图像采集装置，采集晶体炉内壁在处于各种非洁净状态下不同位置以及不同角度的若干非洁净图像。在晶体炉清洁装置人工清洁之后，通过图像采集装置，采集晶体炉内壁在处于洁净状态下不同位置以及不同角度的若干洁净图像。

具体地，晶体炉清洁装置中的可编程控制器控制旋转升降组件升降到预设高度，然后控制图像采集装置采集摄像头当前面向的晶体炉内壁图像。然后控制清洁箱旋转预设角度。在清洁箱每次旋转预设角度后，均控制图像采集装置采集面向的晶体炉内壁图像，并记录采集的晶体炉内壁图像的采集高度与采集角度。在清洁箱旋转360度后，控制旋转升降组件下降第二预设距离，并循环上述过程，直至旋转升降组件下降至第二限位部停止。其中，预设角度可以是360度的任一因数。

在本申请的一个实施例中，晶体炉清洁装置中的可编程控制器将装置沿地面上的导轨驱动到晶体炉中。在定位柱上的第一光电开关被触发时，确定晶体炉清洁装置已运行到晶体炉腔内的指定位置。然后驱动晶体炉清洁装置的旋转升降组件上升到距离晶体炉的上密封组件20mm处，开始启动图像采集装置的摄像头采集当前视野范围内的晶体炉内壁图像。采集完成后，控制清洁箱旋转一圈，假设每次旋转120度，每次旋转之后都控制摄像头采集晶体炉内壁图像。清洁箱旋转360度之后，控制旋转升降组件下降40mm，再次以上述方法采集当前高度的晶体炉内壁各角度图像，直到旋转升降组件下降到最底端为止。

进一步地，将采集的若干洁净图像与非洁净图像发送到晶体炉清洁装置中的视觉识别处理器，保存在晶体炉内壁图库中。通过图像特征提取算法对图库中的图像进行特征提取，从而得到洁净图像与非洁净图像的特征图。

需要说明的是，本申请中的所有实施例中的数值，只是为便于理解举的例子，并不用于限定本方案实际应用中的具体数值。实际应用中，具体数值可在可编程控制器中灵活设置。

S102、基于预设程序，控制旋转升降组件以及套设在旋转升降组件上的清洁箱进行升降或旋转，以对晶体炉内壁进行清洁。

具体地，晶体炉清洁装置中的可编程控制器中保存有预设程序，可编程控制器执行预设程序以驱动晶体炉清洁装置运行。

首先，可编程控制器控制晶体炉清洁装置沿地面导轨移动，在接收到安装于晶体炉清洁装置的定位柱上的光电开关反馈的信号后，确定晶体炉清洁装置已到达晶体炉腔内的指定位置，控制晶体炉清洁装置停止移动。然后控制晶体炉清洁装置的旋转升降组件上升至第一限位部，即旋转升降组件的顶端机械限位部。此时可编程控制器接收到安装于第一限位部上的光电开关反馈的信号，确定旋转升降组件已上升到第一限位部，然后控制套设在旋转升降组件上的清洁箱开始旋转，以使带动清洁箱顶部和侧面的清洁刷与晶体炉内壁产生摩擦，从而清洁晶体炉内壁的污垢。

进一步地，基于预设时间间隔，可编程控制器控制旋转升降组件下降预设距离，同时带动清洁箱下降预设距离，直到旋转升降组件下降至旋转升降组件的第二限位部，即旋转升降组件的底端机械限位部。可编程控制器接收到安装于第二限位部上的光电开关反馈的信号，驱动旋转升降组件以预设速度上升至第一限位部。此时可编程控制器感应到安装于第一限位部的光电开关再次被触发，进而确定晶体炉内壁清洁过程已执行完毕，随后控制清洁箱停止旋转，并将旋转升降组件下降到底端。

在本申请的一个实施例中，可编程控制器控制旋转升降组件上升到第一限位部之后，控制清洁箱开始旋转，利用侧面清洁刷清洁晶体炉的侧壁，利用顶部清洁刷清洁晶体炉的上密封组件。同时控制清洁箱内的风机开始工作，从清洁箱的侧面吸尘口和上面吸尘口进行吸尘。在清洁箱清洁30秒后，可编程控制器控制旋转升降组件以及清洁箱向下移动，每移动40mm停留15秒，直到移动到第二限位部后，再控制旋转升降组件在10秒内快速上升至第一限位部，即快速清洁一遍晶体炉内壁。此时清洁过程完毕，控制清洁箱停止旋转和吸尘，并将旋转升降组件下降到最底端。

S103、清洁完毕后，采集晶体炉内壁的实时图像。

具体地，在晶体炉的清洁过程完毕后，可编程控制器控制旋转升降组件到达预设位置，然后控制图像采集装置采集摄像头当前面向的晶体炉内壁实时图像。然后控制清洁箱旋转预设角度。在清洁箱每次旋转预设角度后，均控制图像采集装置采集面向的晶体炉内壁实时图像，并记录采集的晶体炉内壁实时图像的采集高度与采集角度。在清洁箱旋转360度后，控制旋转升降组件下降第二预设距离，并循环上述过程，直至旋转升降组件下降至第二限位部停止。

在本申请的一个实施例中，晶体炉清洁过程完毕后，可编程控制器控制旋转升降组件上升到距离上密封组件20mm处，开始启动图像采集装置的摄像头采集当前视野范围内的晶体炉内壁实时图像，采集完成后，控制清洁箱每次旋转120度，并控制摄像头采集每次旋转后的晶体炉内壁实时图像。采集完当前高度晶体炉内壁各角度的实时图像后，控制旋转升降组件下降40mm，再次以上述方法采集当前高度的晶体炉内壁各角度实时图像，直到旋转升降组件下降到最底端为止。将以上采集的实时图像发送到视觉识别处理器中进行特征提取。其中，每张晶体炉内壁实时图像上都标记有这张图像的采集高度和采集角度，以定位这张图像所拍摄的晶体炉内壁的位置。

S104、对晶体炉内壁的实时图像进行特征提取，并与晶体炉内壁图像特征库中的若干图像进行特征匹配，以确定晶体炉内壁的洁净状态。

具体地，视觉识别处理器基于图像特征提取算法，提取接收到的晶体炉内壁实时图像的图像特征。然后将晶体炉内壁的实时图像特征与晶体炉内壁图像特征库中的图像特征进行对比分析。

在晶体炉内壁实时图像的图像特征与所述晶体炉内壁图像特征库中的洁净图像特征相匹配的情况下，确定晶体炉内壁实时图像对应位置的晶体炉内壁处于洁净状态；在晶体炉内壁实时图像的图像特征与任一非洁净图像特征相匹配的情况下，确定晶体炉内壁实时图像对应位置的晶体炉内壁处于非洁净状态。

在确认清洁后的晶体炉内壁处于洁净状态后，驱动晶体炉清洁装置沿地面导轨运行到下一个晶体炉，在清洁装置的第一光电开关再次被触发后，开始执行清洁过程。

S105、对于晶体炉内壁不洁净的位置重新进行清洁与检测。

具体地，基于检测出不洁净特征的晶体炉内壁实时图像的采集高度与采集角度，确定该实时图像对应的晶体炉内壁上的非洁净位置。可编程控制器接收到该非洁净位置的高度和角度后，控制旋转升降组件上升到该高度并驱动清洁箱旋转预设时间，再次对该高度的晶体炉进行清洁。到达预设时间后，控制清洁箱停止旋转，再次采集该角度对应的实时图像，并将图像发送到视觉识别处理器进行分析。

若分析结果为该位置仍处于非洁净状态，晶体炉清洁装置有两种报警机制可供选择：

1.可编程控制器继续控制清洁箱旋转预设时间，在清洁箱旋转过程中，实时记录清洁箱旋转预设时间的次数。在清洁箱旋转预设时间的次数达到预设阈值且非洁净位置仍处于非洁净状态时，控制清洁箱停止旋转。并将非洁净位置对应的图像发送至清洁人员对应的移动终端上，以提醒清洁人员对非洁净位置进行人工清洁。

例如：清洁箱每旋转40秒，摄像头采集一次当前位置的实时图像，并发送到视觉识别处理器中进行分析，若分析结果为不洁净，则清洁箱继续旋转40s。重复上述过程，并记录清洁箱旋转40s的实时次数，若预设阈值为5次，则在清洁箱旋转的次数达到5次的时候，就控制清洁箱停止旋转，同时将当前位置的实时图像发送至清洁人员对应的移动终端上，触发语音报警，提示清洁人员检查晶体炉内壁上是否出现不易清理的污垢，及时进行人工清理。

2.在清洁箱旋转预设时间的次数达到预设阈值且非洁净位置仍处于非洁净状态时，向清洁人员对应的移动终端发送告警信息，以提醒清洁人员检查晶体炉清洁装置是否出现故障。控制所述清洁箱继续对非洁净位置进行清洁，直至非洁净位置处于洁净状态或晶体炉清洁装置被人为关闭。

例如：清洁箱每旋转40秒，摄像头采集一次当前位置的实时图像，并发送到视觉识别处理器中进行分析，若分析结果为不洁净，则清洁箱继续旋转40s。若预设阈值为5次，则在清洁箱旋转的次数达到5次的时候，可编程控制器向清洁人员的终端发出报警信息，提示清洁人员检查清洁装置是否出现老化、故障的问题。并且继续对非洁净位置进行清洁和检测，直到该位置被清洁干净或者装置被人为关闭才停止。

以上为本申请提供的方法实施例，基于同样的发明构思，本申请实施例还提供了一种晶体炉可视化清洁设备，其内部结构示意图如图3所示。

如图3所示，设备包括：至少一个处理器；以及，与至少一个处理器通信连接的存储器；其中，存储器存储有可被至少一个处理器执行的指令，指令被至少一个处理器执行，以使至少一个处理器能够执行如上述任一实施例所述的一种晶体炉可视化清洁方法。

在本申请的一个实施例中，处理器用于，采集晶体炉内壁在洁净状态下的若干图像以及在非洁净状态下的若干图像，以得到晶体炉内壁图像特征库；基于预设程序，控制晶体炉清洁装置旋转升降组件以及套设在旋转升降组件上的清洁箱进行升降或旋转，以对晶体炉内壁进行清洁；其中，清洁箱顶部和侧面安装有清洁刷；清洁完毕后，采集晶体炉内壁的实时图像；对晶体炉内壁的实时图像进行特征提取，并与晶体炉内壁图像特征库中的若干图像进行特征匹配，以确定晶体炉内壁的洁净状态。

本申请中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于装置、设备、非易失性计算机存储介质实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

上述对本申请特定实施例进行了描述。其它实施例在所附权利要求书的范围内。在一些情况下，在权利要求书中记载的动作或步骤可以按照不同于实施例中的顺序来执行并且仍然可以实现期望的结果。另外，在附图中描绘的过程不一定要求示出的特定顺序或者连续顺序才能实现期望的结果。在某些实施方式中，多任务处理和并行处理也是可以的或者可能是有利的。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请的实施例可以有各种更改和变化。凡在本申请实施例的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (5)

1.一种晶体炉可视化清洁方法，其特征在于，包括晶体炉清洁装置，所述晶体炉清洁装置包括驱动箱、驱动轮、第一限位部、第二限位部、定位充电口、旋转升降组件、清洁箱、清洁刷安装槽、图像采集装置、固定销、上吸尘口、侧吸尘口、伺服电机、支撑架、吊柱、支撑柱以及定位柱；所述方法包括：

采集晶体炉内壁在洁净状态下的若干图像以及在非洁净状态下的若干图像，以得到晶体炉内壁图像特征库，具体包括：对所述图像采集装置采集的晶体炉内壁在洁净状态下的若干图像以及在非洁净状态下的若干图像进行特征提取，得到所述晶体炉内壁的若干洁净图像特征以及非洁净图像特征，从而得到所述晶体炉内壁图像特征库；

基于预设程序，控制晶体炉清洁装置上的旋转升降组件以及套设在所述旋转升降组件上的清洁箱进行升降或旋转，以对所述晶体炉内壁进行清洁，具体包括：通过可编程控制器将晶体炉清洁装置沿地面上的导轨驱动到晶体炉中，在定位柱上的第一光电开关被触发时，确定晶体炉清洁装置已运行到晶体炉腔内的指定位置；

在安装于所述晶体炉清洁装置的定位柱上的第一光电开关被触发后，控制所述旋转升降组件上升至所述旋转升降组件的第一限位部，进而控制套设在所述旋转升降组件上的清洁箱开始旋转；

基于预设时间间隔，控制所述旋转升降组件下降第一预设距离，同时带动所述清洁箱下降所述第一预设距离，直到所述旋转升降组件下降至所述旋转升降组件的第二限位部；

在所述旋转升降组件下降至所述第二限位部后，控制所述旋转升降组件以预设速度上升至所述第一限位部；其中，所述清洁箱顶部和侧面安装有清洁刷，通过高速旋转带动清洁刷对晶体炉的上壁和侧壁进行清洁；

基于安装于所述第一限位部上的第二光电开关两次被触发，确定所述晶体炉内壁清洁完毕，并控制所述清洁箱停止旋转；

清洁完毕后，采集所述晶体炉内壁的实时图像；

对所述晶体炉内壁的实时图像进行特征提取，并与所述晶体炉内壁图像特征库中的若干图像进行特征匹配，以确定所述晶体炉内壁的洁净状态，具体包括：

对所述晶体炉内壁的实时图像进行特征提取，得到所述晶体炉内壁实时图像的图像特征；

在所述晶体炉内壁实时图像的图像特征与所述晶体炉内壁图像特征库中的洁净图像特征相匹配的情况下，确定所述晶体炉内壁实时图像对应位置的晶体炉内壁处于洁净状态；

在所述晶体炉内壁实时图像的图像特征与任一非洁净图像特征相匹配的情况下，确定所述晶体炉内壁实时图像对应位置的晶体炉内壁处于非洁净状态；

在确定所述晶体炉内壁实时图像对应位置的晶体炉内壁处于非洁净状态之后，所述方法还包括：

基于所述实时图像的采集高度与采集角度，确定所述非洁净状态的实时图像对应的晶体炉内壁上的非洁净位置；

控制所述旋转升降组件上升到所述非洁净位置，并控制所述清洁箱旋转预设时间，以对所述非洁净位置进行再次清洁；

采集所述非洁净位置对应的晶体炉内壁图像并进行特征提取与特征匹配，以确定再次清洁后的所述非洁净位置的洁净状态。

2.根据权利要求1所述的一种晶体炉可视化清洁方法，其特征在于，所述采集晶体炉内壁在洁净状态下的若干图像以及在非洁净状态下的若干图像，具体包括：

控制所述旋转升降组件升降到预设高度，并控制安装于所述清洁箱侧面的图像采集装置采集当前面向的晶体炉内壁图像；

控制所述清洁箱旋转预设角度；

在所述清洁箱每次旋转所述预设角度后，均控制所述图像采集装置采集面向的晶体炉内壁图像，并记录采集的所述晶体炉内壁图像的采集高度与采集角度；

在所述清洁箱旋转360度后，控制所述旋转升降组件下降第二预设距离，并控制所述清洁箱继续旋转以及控制所述图像采集装置继续采集面向的晶体炉内壁图像，直至所述旋转升降组件下降至所述第二限位部停止。

3.根据权利要求1所述的一种晶体炉可视化清洁方法，其特征在于，采集所述非洁净位置对应的晶体炉内壁图像并进行特征提取与特征匹配，以确定再次清洁后的所述非洁净位置的洁净状态之后，所述方法还包括：

在所述清洁箱旋转过程中，实时记录所述清洁箱旋转预设时间的次数；

在第一清洁模式下，在所述清洁箱旋转预设时间的次数达到预设阈值且所述非洁净位置仍处于非洁净状态时，控制所述清洁箱停止旋转；

以及，将所述非洁净位置对应的图像发送至清洁人员对应的移动终端上，以提醒清洁人员对所述非洁净位置进行人工清洁。

4.根据权利要求3所述的一种晶体炉可视化清洁方法，其特征在于，所述方法还包括：

在第二清洁模式下，在所述清洁箱旋转预设时间的次数达到预设阈值且所述非洁净位置仍处于非洁净状态时，向所述清洁人员对应的移动终端发送告警信息，以提醒清洁人员检查所述晶体炉清洁装置是否出现故障；

以及，控制所述清洁箱继续对所述非洁净位置进行清洁，直至所述非洁净位置处于洁净状态或所述晶体炉清洁装置被关闭。

5.一种晶体炉可视化清洁设备，其特征在于，所述设备包括：

至少一个处理器；以及，

与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，

所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行如上述权利要求1-4任一项所述的一种晶体炉可视化清洁方法。