CN113050564A - 核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，包括核孔膜蚀刻线本体装置、蚀刻液残渣自动处理单元，被配置为对蚀刻液浓度进行监测，并对残渣进行清洗；蚀刻液温度自动监测单元，被配置为对蚀刻液温度进行监测，通过温度监测与自动加热实现蚀刻液温度平衡；蚀刻膜孔密度探测单元，被配置为通过对显微镜下的蚀刻膜图像进行分析，实现蚀刻膜孔密度探测；自反馈自动化生产单元，被配置为通过对蚀刻膜厚度测量，利用蚀刻膜厚度与卷膜机速度关系实现核孔膜蚀刻的自动化生产。本发明的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置能够以自动化的生产方式显著提高核孔膜蚀刻的生产效率，降低残次率。
Description
技术领域
本发明是关于一种核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，涉及核孔膜蚀刻线的生产自动化控制领域。
背景技术
核孔膜主要是靠离子在塑料薄膜上打孔，再经过特殊的化学液体进行蚀刻，从而形成小孔。核孔膜材料因为具有众多的优点，广泛应用于电子、生物、食品、医疗及化工领域，核孔膜的生产具有重大的经济价值与社会意义。
核孔膜辐照完成后只是初始的膜，还需要经过蚀刻才能成为成品膜，这个过程是缺一不可的。核孔膜的蚀刻是一个复杂的过程，核孔膜蚀刻生产的流程为：将辐照后的核孔膜原膜在设定浓度的碱液里浸泡，再在清水池里进行清洗，最后风干成为标准的核孔膜，现有的核孔膜蚀刻面临以下几个问题：
(1)蚀刻液的残渣问题
核孔膜实现原理主要是利用重离子或裂变碎片在绝缘物质薄膜上打孔然后化学蚀刻扩孔而成。在进行蚀刻机的设计时，一定要考虑到薄膜在化学蚀刻后所散落到蚀刻液中的薄膜屑，如果液体中集聚过多的薄膜屑会影响到蚀刻效果。
(2)蚀刻液温度问题
核孔膜蚀刻液用到的主要是碱液，在生产中对这种碱液温度的要求很高，要保持在一定的范围内，既不能过高也不能过低，否则会影响核孔膜蚀刻的效果。
(3)蚀刻膜的孔密度探测问题
当辐照膜在蚀刻液中蚀刻后，这时并不能认为它就是一个合格的核孔膜，要对其进行孔径的检验，达到所要求孔的密度和数量后，才能最终成功。目前所采用的方法是人工在显微镜下数孔的个数和观察孔密度，这样既费时费力，又不精准。
(4)自反馈自动化生产问题
在核孔膜蚀刻生产中，由于不能实时知晓蚀刻效果，需要不停地在显微镜下化验后，才能知道最终实验效果，直到蚀刻膜卷膜机的速度调校合适，这样会浪费大量的时间。
(5)生产故障回溯与诊断问题
在生产中会出现各种各样的问题，现有技术中没有故障回溯功能，不能及时分析判断出产生故障的原因，也不能进行及时的故障诊断。
综上所述，现有核孔膜蚀刻生产中存在费时、费力以及不精准等问题，影响到最终生产的核孔膜的蚀刻效果。
发明内容
针对上述问题，本发明的目的是提供一种能够通过自动化的生产方式显著提高核孔膜蚀刻的生产效率，且能够降低残次率的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置。
为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：一种核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，包括：
核孔膜蚀刻线本体装置，被配置为完成辐照原膜的蚀刻，所述核孔膜蚀刻线本体装置包括放料装置、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、测厚装置和收料装置；
蚀刻液残渣自动处理单元，被配置为对蚀刻液浓度进行监测，并对残渣进行清洗；
蚀刻液温度自动监测单元，被配置为对蚀刻液温度进行监测，通过温度监测与自动加热实现蚀刻液温度平衡；
蚀刻膜孔密度探测单元，被配置为通过对蚀刻膜显微图像进行分析，实现蚀刻膜孔密度检测；
自反馈自动化生产单元，被配置为通过对蚀刻膜厚度测量，利用蚀刻膜厚度与卷膜机速度关系实现核孔膜蚀刻的自动化生产。
进一步地，所述蚀刻液残渣自动处理单元包括浓度传感器、清洗装置、数据采集模块和控制分析单元；
所述浓度传感器设置在蚀刻槽内，用于对蚀刻槽内的蚀刻液浓度实时监测；
所述数据采集模块用于将采集的蚀刻液浓度数据发送到所述控制单元；
所述控制单元对浓度数据进行分析，如果残渣浓度值超过预设阈值则触发连锁报警，发送信号控制核孔膜蚀刻线本体装置进行紧急制动，停止生产，同时启动所述清洗装置进行残渣的清洗；
所述清洗装置，用于对蚀刻液内残渣进行清洗。
进一步地，所述清洗装置包括金属网、运动导轨、垂直牵引电机、水平牵引电机和清洗喷头；
所述金属网覆盖在蚀刻槽底部；
所述运动导轨固定连接金属网，用于使所述金属网能够升降和平移；
所述垂直牵引电机和水平牵引电机固定连接所述运动导轨，使所述运动导轨能够进行垂直和水平的运动；
所述清洗喷头，用于清洗所述金属网的蚀刻残渣；其中，
所述垂直牵引电机、水平牵引电机和清洗喷头均通过所述控制分析单元控制启停。
进一步地，所述蚀刻液温度自动监测与加热单元包括温度传感器、加热棒、数据采集模块和控制分析单元；
所述温度传感器放置在蚀刻槽内，用于对蚀刻液的温度进行实时监测；
所述加热棒设置在蚀刻槽的底部，用于对蚀刻液温度进行加热；
所述数据采集模块用于将采集的温度数据发送到所述控制分析单元；
所述控制分析单元对温度数据进行分析，如果温度值超过预设阈值则触发连锁报警，同时启动所述加热棒，开始加热，如果温度值低于预设阈值则关闭连锁报警，并关闭所述加热棒，停止加热。
进一步地，所述蚀刻膜孔密度探测单元包括显微单元、图像采集模块和控制分析单元；
蚀刻膜设置在所述显微单元的物镜下方；
所述图像采集模块设置在所述显微单元的目镜上方，用于拍摄蚀刻膜的显微成像；
所述控制分析单元获取图像采集模块采集的蚀刻模显微成像，并将获取蚀刻膜显微成像图像识别蚀刻膜的实际孔数，通过蚀刻孔数判定进而判断出该核孔膜的密度。
进一步地，所述自反馈自动化生产单元包括激光测厚仪和控制分析单元；
所述激光测厚仪用于测量蚀刻模的实际厚度；
所述控制分析单元根据膜厚度推算膜蚀刻是否合格，如果膜厚度高于设定值则被判定为核孔膜蚀刻不到位，则需要降低卷膜机速度让膜再多蚀刻一会，如果测定数据低于设定值，则被判定为核孔膜蚀刻过度，则要加快卷膜机的速度。
进一步地，还包括核孔膜蚀刻生产故障回溯与诊断单元，被配置为对蚀刻生产中的数据存储与分析实现生产故障的回溯，实现故障的自动化诊断。
进一步地，所述核孔膜蚀刻生产故障回溯与诊断单元包括控制分析单元和数据库；
所述数据库用于存储生产中历史数据和实时数据；
所述控制分析单元通过关联分析算法对数据库数据进行关联分析，判断所出故障是设备故障还是人为操作故障，获得故障诊断结果。
进一步地，所述膜蚀刻线本体装置还包括卷膜装置、清洗槽、烘干槽和若干传动轴；所述卷膜装置包括卷膜放料装置和卷膜收料装置，所述卷膜放料装置包括放料卷和放料电机，所述卷膜收料装置包括收料卷和收料电机，所述放料卷的转轴连接所述放料电机，所述收料卷的转轴连接所述收料电机；所述放料卷、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、激光测厚装置以及收料卷顺序依次间隔设置，所述蚀刻槽、清洗槽及烘干槽的底部均设置有传动轴，且相邻两槽之间上方也设置有传动轴；所述放料卷与蚀刻槽之间以及所述烘干槽与测厚装置之间均设置传动轴；所述激光测厚仪底部平行间隔设置有两个传动轴。
本发明由于采取以上技术方案，其具有以下优点：由于蚀刻是核孔膜从辐照原膜到工业应用膜的一个必备过程，本发明的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，包括核孔膜蚀刻线本体装置，蚀刻残渣的自动化清洗，蚀刻液恒温控制系统，核孔膜孔密度的自动化探测，核孔膜蚀刻的自反馈生产，核孔膜蚀刻生产的故障回溯与诊断系统，能够以自动化的生产方式显著提高核孔膜蚀刻的生产效率，降低残次率。
附图说明
通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。在整个附图中，用相同的附图标记表示相同的部件。在附图中：
图1是本发明实施例的核孔膜蚀刻流程图；
图2是本发明实施例的核孔膜蚀刻本体装置结构图；
图3是本发明实施例中蚀刻槽浓度自动监测流程图；
图4是本发明实施例的清洗装置结构示意图；
图5是本发明实施例蚀刻槽温度自动监测流程图；
图6是本发明实施例孔密度自动识别流程图；
图7是本发明实施例自反馈生产流程图；
图8是本发明实施例的核孔膜蚀刻生产故障回溯与诊断流程。
具体实施方式
下面将参照附图更详细地描述本发明的示例性实施方式。虽然附图中显示了本发明的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本发明而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本发明，并且能够将本发明的范围完整的传达给本领域的技术人员。
应理解的是，文中使用的术语仅出于描述特定示例实施方式的目的，而无意于进行限制。除非上下文另外明确地指出，否则如文中使用的单数形式“一”、“一个”以及“所述”也可以表示包括复数形式。术语“包括”、“包含”、“含有”以及“具有”是包含性的，并且因此指明所陈述的特征、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但并不排除存在或者添加一个或多个其它特征、步骤、操作、元件、部件、和/或它们的组合。文中描述的方法步骤、过程、以及操作不解释为必须要求它们以所描述或说明的特定顺序执行，除非明确指出执行顺序。还应当理解，可以使用另外或者替代的步骤。
为了便于描述，可以在文中使用空间相对关系术语来描述如图中示出的一个元件或者特征相对于另一元件或者特征的关系，这些相对关系术语例如为“内部”、“外部”、“内侧”、“外侧”、“下面”、“上面”等。这种空间相对关系术语意于包括除图中描绘的方位之外的在使用或者操作中装置的不同方位。
本发明提供的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，包括核孔膜蚀刻线本体装置，还包括：蚀刻液残渣自动处理单元，被配置为对蚀刻液浓度进行监测，并对残渣进行清洗；蚀刻液温度自动监测单元，被配置为对蚀刻液温度进行监测，通过温度监测与自动加热实现蚀刻液温度平衡；蚀刻膜孔密度探测单元，被配置为通过对蚀刻膜显微图像进行分析，实现蚀刻膜孔密度探测；自反馈自动化生产单元，被配置为通过对蚀刻膜厚度测量，利用蚀刻膜厚度与卷膜机速度关系实现核孔膜蚀刻的自动化生产。本发明能够以自动化的生产方式显著提高核孔膜蚀刻的生产效率，降低残次率。
本发明实施例提供的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，包括核孔膜蚀刻线本体装置、蚀刻液残渣自动处理单元、蚀刻液温度自动加热单元、蚀刻膜孔密度探测单元、自反馈自动化生产单元以及核孔膜蚀刻生产故障回溯与诊断单元。
核孔膜蚀刻线本体装置，用于通过控制辐照原膜的蚀刻过程；
蚀刻液残渣自动处理单元，用于对蚀刻液的浓度进行监测，并对残渣进行清洗。针对蚀刻液的残渣特性，当蚀刻液里的残渣越来越多时，蚀刻液的浓度也会相应地增加，利用这一特点可对蚀刻液的浓度进行监测并进行自动清洗。
蚀刻液温度自动监测单元，用于对蚀刻液的温度进行监测，通过温度自动监测与自动加热系统实现蚀刻液的温度平衡。
蚀刻膜孔密度探测单元，用于实现在显微镜下的蚀刻膜图像采集，再利用图像识别算法实现蚀刻膜的孔密度的自动探测。
自反馈自动化生产单元，利用激光测厚仪实现蚀刻膜的精确厚度测量，再利用蚀刻膜与卷膜机的速度关系实现核孔膜蚀刻的自动化生产。
核孔膜蚀刻生产故障回溯与诊断单元，利用对蚀刻生产中的数据存储与分析实现生产故障的回溯功能，进而实现故障的自动化诊断。
本发明一些实施例中，根据图1、图2所示，核孔膜蚀刻线本体装置包括卷膜装置1、蚀刻槽2、清洗槽3、烘干槽4、测厚装置5和若干传动轴；卷膜装置1包括卷膜放料装置11和卷膜收料装置12；卷膜放料装置11包括放料卷111和放料电机112，卷膜收料装置12包括收料卷121和收料电机122。放料卷111的转轴连接放料电机112；收料卷121的转轴连接收料电机122；放料卷111、蚀刻槽2、清洗槽3、烘干槽4、测厚装置5以及收料卷121顺序依次间隔设置，蚀刻槽2、清洗槽3及烘干槽4的底部均设置有传动轴，且相邻两槽之间上方也设置有传动轴；放料卷111与蚀刻槽2之间以及烘干槽4与测厚装置5之间均设置传动轴；测厚装置5底部也平行间隔设置有两个传动轴，测厚装置5可以采用激光测厚仪，其中，辐照原膜的运动方向是从左向右即从放料卷111到收料卷121，依次通过传动轴进行运动，传动轴的作用是能够保持膜的正常运行，改变膜的运行方向。本发明的一些实施例中，蚀刻槽2内还设置有温度传感器和加热棒，温度传感器放置在蚀刻槽2内，用于对蚀刻液的温度进行实时的监测；加热棒设置在蚀刻槽的底部，用于对蚀刻液的温度进行加热。蚀刻槽2内还设置浓度传感器，用于对蚀刻槽内的蚀刻液浓度进行实时监测。蚀刻槽2内设置有蚀刻液，用于将核孔膜上的辐照孔扩大，使孔周围的残屑脱落；清洗槽3内设置有纯水，用于清洗蚀刻后的膜。烘干槽4内设置有烘干设备，用于烘干蚀刻膜。测厚装置5可以采用激光测厚仪，用于测量蚀刻后膜的厚度。核孔膜的辐照原膜经卷膜装置1首先通过蚀刻槽2进行蚀刻，然后进入清洗槽3进行清洗，其次进入烘干槽4进行烘干，最后再经卷膜装置1进行收卷，核孔膜蚀刻线生产装置的具体使用过程为：核孔膜的辐照原膜的一端从放料卷111放出，辐照原膜的一端通过是收料卷121回收，放料卷111和收料卷121的转动均通过相应电机进行控制配合，完成核孔膜蚀刻的收料与放料。放料卷111放出的辐照原膜通过第一传动轴61传送到第二传动轴62，第二传动轴62设置在蚀刻槽2底部，第二传动轴62将经蚀刻后的膜经第三传动轴63传动到第四传动轴64，第四传动轴64设置在清洗槽3底部，第四传动轴64将清洗后的膜经第五传动轴65传动到第六传动轴66，第六传动轴66设置在烘干槽4底部，第六传动轴66将烘干后的膜通过第七传动轴67传动到第八传动轴68和第九传动轴69，第八传动轴68和第九传动轴69设置在测厚装置5下方，经测厚完成的膜被收料卷121回收，完成核孔膜的蚀刻生产。
本发明一些实施例中，根据图3所示，蚀刻液残渣自动处理单元包括浓度传感器、清洗装置、数据采集模块和控制分析单元；
浓度传感器放置在蚀刻槽内，用于对蚀刻槽内的蚀刻液浓度进行实时监测，数据采集模块采集浓度传感器的数据通过控制分析单元进行监测；控制分析单元对数据进行分析，如果残渣浓度值超过预设阈值则触发连锁报警装置，例如设置有一定的连锁阈值，比如阈值是2，只要收到大于2的数据，并持续一定的时间10S，就可认为是超过报警阈值，立刻发送信号到卷膜机控制单元控制系统进行紧急制动，停止生产，同时控制分析单元启动清洗装置进行残渣的清洗。清洗装置设置在蚀刻槽内，用于对蚀刻液内残渣进行清洗。
根据图4所示，清洗装置包括金属细网21、运动导轨22、水平牵引电机23、垂直牵引电机24和清洗喷头25。金属细网21覆盖在蚀刻槽底部，它的作用是过滤残渣；运动导轨22分布在蚀刻槽的四个边角固定连接金属细网21，用于使所连接的金属细网21垂直上升到蚀刻槽的顶部，水平牵引电机23和垂直牵引电机24通过控制运动导轨22进行垂直和水平运动，使得使金属网能自动升降到顶部并平移到蚀刻槽外部，设置在蚀刻槽外部的清洗喷头24用于清洗金属网上的蚀刻残渣，可以通过残渣流通管使清洗的残渣顺利被排走，整个运动控制与清洗过程，均通过控制分析单元控制完成。
本发明一些实施例中，根据图5所示，蚀刻液温度自动监测与加热单元包括温度传感器、加热棒、数据采集模块和控制分析单元；
温度传感器放置在蚀刻槽内，用于对蚀刻液的温度进行实时的监测；
加热棒设置在蚀刻槽的底部，用于对蚀刻液的温度进行加热；
数据采集模块用于将监测的温度数据发送到控制分析单元；
控制分析单元对温度数据进行分析，温度值如果超过预设阈值则触发连锁报警装置，同时开启加热棒进行加热，温度值如果低于阈值则关闭连锁报警装置，并关闭加热棒停止加热。
本发明一些实施例中，根据图6所示，蚀刻膜孔密度探测单元包括显微单元、图像采集模块和数据分析单元；
蚀刻膜设置在显微单元的物镜下方；
图像采集单元可以采用高清摄像头，高清摄像头设置在显微单元的目镜上方，用于拍摄蚀刻膜的显微成像视频图像；
控制分析单元通连接图像采集模块，获取蚀刻膜的显微成像图像通过图像识别算法识别蚀刻膜的实际孔数，例如图像识别算法是采用改进的边缘检测算法，根据点的边缘亮度的不同可判定具体的蚀刻孔数，进而可判断出该核孔膜的密度，以此为例，不限于此。
本发明一些实施例中，自反馈自动化生产单元用于根据膜厚度推算膜蚀刻程度，进而控制卷膜的速度，实现自动化生产。自反馈自动化生产原理是根据原始的辐照膜在经过蚀刻液的浸泡与清水液的清洗后，由于残屑的脱落，所以膜的厚度会有轻微的变化，根据这一变化就可推算出膜蚀刻的是否合格，进而可让卷膜的电机速度是变快还是变慢。根据图7所示，自反馈自动化生产单元包括上述激光测厚仪和控制分析单元；激光测厚仪用于测量膜的实际厚度发送到控制分析单元；控制分析单元根据膜厚度推算膜蚀刻是否合格，例如正常的核孔膜辐照原膜的厚度是20um，经蚀刻后合格的蚀刻膜的厚度是15um，所以设置上下1um的误差，如果激光测厚仪测得的数据高于16um则被判定为核孔膜蚀刻的不到位，则需要降低卷膜机的速度，让膜再多蚀刻一会，如果测定的数据低于14um，则被判定为核孔膜蚀刻过度，则要加快卷膜机的速度，加速和减速的具体标准就是依据膜厚度的变化，可以通过所拟合的速度公式V＝Kh+s，V就是指速度，K是指矫正系数，h就是厚度，s是调整误差值。
本发明一些实施例中，根据图8所示，核孔膜蚀刻生产故障回溯与诊断单元包括控制分析单元和数据库；数据库用于存储生产中历史数据和实时数据；控制分析单元通过关联分析算法对数据库数据进行关联分析，判断所出故障是设备故障还是人为操作故障，获得故障诊断结果。
具体地，控制分析单元采集到的数据存储到数据库中，用关联分析算法进行分析，判断出所出现的故障是设备本身产生的故障还是人为的操作故障，对于设备的故障又可细分为是卷膜机的故障、蚀刻槽的故障或者还是其它设备的故障等等。而对于人为的故障又可分为很多种，比如数值给定过大或过小了等，判断这些的依据就是根据数据的关联分析，实现原理是通过采集到的数据与数据库里设置的关联规则相比对，比如关联规则设定的是当温度小于30度，浓度大于20fm，而清洗与加热并没有启动就可以判定为蚀刻槽出现了故障，将数据汇集到一起的时候进行分析，可以获得故障诊断结果。
需要说明的是，本发明实施例的控制分析单元均可以采用控制计算机实现。
最后应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (9)
1.一种核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于包括：
核孔膜蚀刻线本体装置，被配置为完成辐照原膜的蚀刻，所述核孔膜蚀刻线本体装置包括蚀刻槽；
蚀刻液残渣自动处理单元，被配置为对蚀刻液浓度进行监测，并对残渣进行清洗；
蚀刻液温度自动监测单元，被配置为对蚀刻液温度进行监测，通过温度监测与自动加热实现蚀刻液温度平衡；
蚀刻膜孔密度探测单元，被配置为通过对蚀刻膜显微图像进行分析，实现蚀刻膜孔密度探测；
自反馈自动化生产单元，被配置为通过对蚀刻膜厚度测量，利用蚀刻膜厚度与卷膜机速度关系实现核孔膜蚀刻的自动化生产。
2.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述蚀刻液残渣自动处理单元包括浓度传感器、清洗装置、数据采集模块和控制分析单元；
所述浓度传感器设置在蚀刻槽内，用于对蚀刻槽内的蚀刻液浓度实时监测；
所述数据采集模块用于将采集的蚀刻液浓度数据发送到所述控制单元；
所述控制单元对浓度数据进行分析，如果残渣浓度值超过预设阈值则触发连锁报警，发送信号控制核孔膜蚀刻线本体装置进行紧急制动，停止生产，同时启动所述清洗装置进行残渣的清洗；
所述清洗装置，用于对蚀刻液内残渣进行清洗。
3.根据权利要求2所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述清洗装置包括金属网、运动导轨、垂直牵引电机、水平牵引电机和清洗喷头；
所述金属网覆盖在蚀刻槽底部；
所述运动导轨固定连接金属网，用于使所述金属网能够升降和平移；
所述垂直牵引电机和水平牵引电机固定连接所述运动导轨，使所述运动导轨能够进行垂直和水平的运动；
所述清洗喷头，用于清洗所述金属网的蚀刻残渣；其中，
所述垂直牵引电机、水平牵引电机和清洗喷头均通过所述控制分析单元控制启停。
4.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述蚀刻液温度自动监测与加热单元包括温度传感器、加热棒、数据采集模块和控制分析单元；
所述温度传感器放置在蚀刻槽内，用于对蚀刻液的温度进行实时监测；
所述加热棒设置在蚀刻槽的底部，用于对蚀刻液温度进行加热；
所述数据采集模块用于将采集的温度数据发送到所述控制分析单元；
所述控制分析单元对温度数据进行分析，如果温度值超过预设阈值则触发连锁报警，同时启动所述加热棒，开始加热，如果温度值低于预设阈值则关闭连锁报警，并关闭所述加热棒，停止加热。
5.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述蚀刻膜孔密度探测单元包括显微单元、图像采集模块和控制分析单元；
蚀刻膜设置在所述显微单元的物镜下方；
所述图像采集模块设置在所述显微单元的目镜上方，用于拍摄蚀刻膜的显微成像；
所述控制分析单元获取图像采集模块采集的蚀刻模显微成像，并将获取蚀刻膜显微成像图像识别蚀刻膜的实际孔数，通过蚀刻孔数判定进而判断出该核孔膜的密度。
6.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述自反馈自动化生产单元包括激光测厚仪和控制分析单元；
所述激光测厚仪用于测量蚀刻模的实际厚度；
所述控制分析单元根据膜厚度推算膜蚀刻是否合格，如果膜厚度高于设定值则被判定为核孔膜蚀刻不到位，则需要降低卷膜机速度让膜再多蚀刻一会，如果测定数据低于设定值，则被判定为核孔膜蚀刻过度，则要加快卷膜机的速度。
7.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，还包括核孔膜蚀刻生产故障回溯与诊断单元，被配置为对蚀刻生产中的数据存储与分析实现生产故障的回溯，实现故障的自动化诊断。
8.根据权利要求7所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述核孔膜蚀刻生产故障回溯与诊断单元包括控制分析单元和数据库；
所述数据库用于存储生产中历史数据和实时数据；
所述控制分析单元通过关联分析算法对数据库数据进行关联分析，判断所出故障是设备故障还是人为操作故障，获得故障诊断结果。
9.根据权利要求6所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述膜蚀刻线本体装置还包括卷膜装置、清洗槽、烘干槽和若干传动轴；
所述卷膜装置包括卷膜放料装置和卷膜收料装置，所述卷膜放料装置包括放料卷和放料电机，所述卷膜收料装置包括收料卷和收料电机，所述放料卷的转轴连接所述放料电机，所述收料卷的转轴连接所述收料电机；所述放料卷、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、激光测厚仪以及收料卷顺序依次间隔设置，所述蚀刻槽、清洗槽及烘干槽的底部均设置有传动轴，且相邻两槽之间上方也设置有传动轴；所述放料卷与蚀刻槽之间以及所述烘干槽与测厚装置之间均设置传动轴；所述激光测厚仪底部平行间隔设置有两个传动轴。
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