CN113286755B - 用于非接触式支撑平台的端口布置 - Google Patents

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Abstract

一种非接触式支撑平台系统，被配置为支撑工件并且包括散布在工作台的顶表面上的多个压力端口和多个真空端口。这些端口沿多个列布置，使得压力端口与真空端口沿每列交替。这些列包括至少一个纵列，该纵列基本上平行于工件的运动方向定向。相互平行的旋转列各自与运动方向成斜角定向。至少一个过渡列位于纵列与其近侧旋转列之间，并且具有在与该过渡列相邻的两列之间的中间的取向。每个真空端口和压力端口位于一列与一行的交点处，该行基本上垂直于运动方向定向。

Description

用于非接触式支撑平台的端口布置
技术领域
本发明涉及非接触式支撑平台。更具体地，本发明涉及用于在非接触式支撑平台的工作台上的空气流入和流出的端口的布置。
背景技术
非接触式支撑平台在需要支撑和运输薄且通常易碎的工件的过程中是有用的，其中要避免工件与固体表面的接触。例如，薄工件可以包括薄玻璃板，例如，用于并入显示屏；或另一种薄材料。该过程可包括将物质或工具应用于工件，或检查工件。
典型的非接触式支撑平台包括工作台，其水平顶表面被制成非常平坦。工作台顶部包括开口布置。一些开口(例如，大约一半的开口)是压力开口，空气从其中吹出以形成气垫，工件可在该气垫上支撑在工作台顶部上方。其余的开口是空气回流开口，空气可以通过这些开口从气垫流入工作台。
当不需要精确控制工件和工作台顶部之间的距离时，空气回流开口可以打开至大气压力。然而，在工件和工作台顶部之间的距离需要精确控制的情况下，可以对空气回流开口应用真空。工作台顶部上方的各种空气开口分布的均匀性可有助于精确测量工件的高度。此外，此类均匀性还可以实现整个工件的均匀对流热传递，从而促进工件所有部分处的均匀温度。
发明内容
因此，根据本发明的实施例，提供了一种非接触式支撑平台系统，其被配置为支撑工件，该系统包括：散布在工作台的顶表面上的多个压力端口和多个真空端口，每个压力端口被配置为连接到空气压力源以使得空气能够通过该压力端口流出，并且每个真空端口被配置为连接到抽吸源以使得空气能够通过该真空端口流入，压力端口和真空端口沿多个列布置，使得多个压力端口中的压力端口与多个真空端口中的真空端口沿多个列的每一列交替，其中，多个列包括：至少一个纵列，其被定向成基本上平行于工件在工作台上的运动方向；相互平行的多个旋转列，这些旋转列各自与运动方向成斜角定向；以及至少一个过渡列，该至少一个过渡列位于至少一个纵列和多个旋转列中的与所述至少一个纵列最接近的其近侧旋转列之间，该至少一个过渡列的每个过渡列被定向在这样的取向处：该取向是在多个列中的与该过渡列相邻的两列之间的中间，其中，每个真空端口和每个压力端口位于多个列中的一列与多个行中的一行的交点处，该多个行各自基本上垂直于运动方向定向，使得多个压力端口中的压力端口与多个真空端口中的真空端口沿着多个行中的每一行交替。
此外，根据本发明的实施例，多个旋转列中的一对相邻旋转列之间的距离R基本上等于多个旋转列中的任何其它对相邻旋转列之间的距离。
此外，根据本发明的实施例，至少一个纵列与多个行中的端行的交点与多个旋转列的近侧旋转列与该端行的交点之间的距离等于整数倍的距离R。
此外，根据本发明的实施例，至少一个过渡列中的每个过渡列与多个行中的端行的交点和多个列中与该过渡列相邻的一列与该端行的交点之间的最小距离受到相邻端口之间的最小允许间距的限制。
此外，根据本发明的实施例，多个旋转列位于至少一个纵列的两个边界纵列之间。
此外，根据本发明的实施例，两个边界纵列中的一个边界纵列与多个旋转列中的其近侧旋转列之间的过渡列的数量等于另一个边界纵列与多个旋转列中的其近侧旋转列之间的过渡列的数量。
此外，根据本发明的实施例，两个边界纵列中的一个边界纵列与多个旋转列中的其近侧旋转列之间的过渡列的数量不同于另一个边界纵列与多个旋转列中的其近侧旋转列之间的过渡列的数量。
此外，根据本发明的实施例，多个行中的第一端行与两个边界纵列中的一个边界纵列的交点和第一端行与多个旋转列中靠近所述一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离等于多个行中的第二端行与两个边界纵列中的另一个边界纵列的交点和第二端行与多个旋转列中靠近另一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离。
此外，根据本发明的实施例，多个行中的第一端行与两个边界纵列中的一个边界纵列的交点和第一端行与多个旋转列中靠近所述一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离不同于多个行中的第二端行与两个边界纵列中的另一个边界纵列的交点和第二端行与多个旋转列中靠近另一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离。
此外，根据本发明的实施例，多个旋转列中的一些旋转列位于至少一个纵列中的一个纵列的一侧，并且多个旋转列中的其它旋转列位于该纵列的另一侧。
此外，根据本发明的实施例，至少一个纵列包括多个相邻的纵列。
根据本发明的实施例，还提供了一种用于设计非接触式支撑平台系统的方法，该系统被配置为支撑工件，该系统的工作台包括散布在工作台的顶表面上的多个压力端口和多个真空端口，每个压力端口被配置为使得空气通过该压力端口流出，并且每个真空端口被配置为使得空气通过该真空端口流入，压力端口和真空端口沿着多个行布置，所述多个行各自基本上垂直于工件在工作台上方的运动方向，并且使得多个压力端口中的压力端口与多个真空端口中的真空端口沿着多个行中的每一行交替，该方法包括：确定多个列在工作台上的放置，使得每个真空端口和每个压力端口位于多个行中的一行与多个列中的一列的交点处，使得多个压力端口中的压力端口与多个真空端口中的真空端口沿着多个列的每一列交替，放置的确定包括：确定多个列中的至少一个纵列的放置，该至少一个纵列基本上平行于运动方向定向；确定相互平行的多个旋转列的每对旋转列之间的恒定列间距，所述多个旋转列各自与运动方向成斜角定向；确定沿着多个行中的端行的相邻压力端口和真空端口之间的最小间距；以及确定位于至少一个纵列和多个旋转列中的近侧旋转列之间的至少一个过渡列的放置，至少一个过渡列中的每个过渡列被定向成如下取向：该取向是在多个列中的与该过渡列相邻的两列之间的中间，其中，至少一个过渡列中的每个过渡列与多个行中的每一行的交点和多个列中的与该过渡列相邻的列与该行的交点之间的距离至少与已确定的最小间距一样大。
此外，根据本发明的实施例，确定至少一个纵列的放置包括将至少一个纵列中的纵列定位在距工作台横向侧预定距离处。
此外，根据本发明的实施例，确定至少一个纵列的放置包括将至少一个纵列中的纵列定位在工件的横向边缘的预期位置处。
此外，根据本发明的实施例，确定至少一个纵列的放置包括定位该至少一个纵列中的纵列，使得至少一个纵列与多个行的端行的交点和多个旋转列中的近侧旋转列与该端行的交点之间的距离等于整数倍的恒定列间距。
此外，根据本发明的实施例，确定至少一个纵列的放置包括将至少一个纵列中的两个纵列定位在多个旋转列的相对两侧上。
此外，根据本发明的实施例，确定至少一个纵列的放置包括将至少一个纵列定位在多个旋转列中的旋转列之间。
此外，根据本发明的实施例，确定至少一个纵列的放置包括将至少一个纵列中的多个纵列定位成彼此相邻。
根据本发明的一个实施例，进一步提供了一种被配置为支撑工件的非接触式支撑平台系统，该系统包括：散布在工作台的顶表面上的多个压力端口和多个抽空端口，每个压力端口被配置为连接到空气压力源以使得空气能够通过该压力端口流出，并且每个抽空端口被配置为打开至环境大气压力以使得空气能够通过该抽空端口流入，压力端口和抽空端口沿多个列布置，这样使得多个压力端口中的压力端口与多个抽空端口中的抽空端口沿每一列交替，每一个抽空端口和每一个压力端口位于多个列中的一列与多个行中的一行的交点处，该多个行各自基本上垂直于运动方向定向，其中，多个列包括：至少一个纵列，其基本上平行于工件在工作台上的运动方向定向；相互平行的多个旋转列，其各自与运动方向成斜角定向；以及至少一个过渡列，该至少一个过渡列位于至少一个纵列和多个旋转列中的其近侧旋转列之间，该至少一个过渡列的每个过渡列被定向成以下取向：该取向是在与该过渡列相邻的多个列中的两列之间的中间，其中，沿着多个行中的与至少一个过渡列的所有过渡列相交的的一行，多个压力端口中的压力端口与多个抽空端口中的抽空端口交替。
此外，根据本发明的实施例，至少一个过渡列中的过渡列不与多个行中的至少一行相交。
附图说明
为了更好地理解本发明并理解其实际应用，在下文中提供并参考以下附图。应当注意，附图仅作为示例给出，决不限制本发明的范围。相同的部件由相同的附图标记表示。
图1示意性地示出根据本发明的实施例的在非接触式支撑平台的工作台顶部上的压力端口和真空端口的布置。
图2示意性地示出图1中所示的非接触式支撑平台的工作台顶部的变体，其中两个过渡列插入在每个纵列和旋转列之间。
图3示意性地示出图2中所示的非接触式支撑平台工作台的变体，其中相邻行之间的间隔距离不是恒定的。
图4A示意性地示出图3中所示的非接触式支撑平台工作台的变体，其中在工作台的不同横向侧处插入了不同数量的过渡列。
图4B示意性地示出图4A中所示的非接触式支撑平台工作台的变体。
图5示意性地示出图1中所示的非接触式支撑平台的工作台顶部的变体，其中多于一个的纵列位于工作台的每个横向侧。
图6示意性地示出图1中所示的非接触式支撑平台的工作台顶部的变体，其中旋转列和过渡列位于纵列的两侧。
图7示意性地示出图1中所示的非接触式支撑平台的工作台顶部的变体，具有不平行的横向侧。
图8是描绘根据本发明的实施例的设计在非接触式支撑平台的工作台顶部上的空气端口的布置的方法的流程图。
图9示意性地示出根据本发明的实施例的在非接触式支撑平台的工作台顶部上的压力端口和抽空端口的布置。
具体实施方式
在以下详细描述中，阐述了许多具体细节以提供对本发明的透彻理解。然而，本领域普通技术人员将理解，可以在没有这些具体细节的情况下实践本发明。在其它情况下，没有详细描述众所周知的方法、过程、部件、模块、单元和/或电路，以免混淆本发明。
虽然本发明的实施例在这方面不受限制，但是使用例如“处理”、“计算”、“筹算”、“确定”、“建立”、“分析”、“检查”等术语的讨论，可以指计算机、计算平台、计算系统或其它电子计算设备的操作和/或过程，该操作和/或过程将在计算机寄存器和/或存储器中表示为物理(例如，电子)量的数据操纵和/或转换为同样表示为物理量的其它数据，其存储在计算机寄存器和/或存储器或可存储执行操作和/或过程的指令的其它信息的非暂态存储介质(例如，存储器)内。尽管本发明的实施例在这方面不受限制，但是如本文所使用的术语“多个”和“多种”可以包括例如“若干个”或“两个或更多个”。在整个说明书中可以使用术语“多个”或“多种”来描述两个或更多个部件、设备、元件、单元、参数等。除非明确说明，否则本文描述的方法实施例不限于特定顺序或序列。此外，所描述的方法实施例中的一些或其元素可以同时、在同一时间点或并发发生或执行。除非另有说明，本文所用的连词“或”应理解为包含性的(任何或所有所述选项)。
根据本发明的实施例，非接触式支撑平台被配置为当工件沿预定行进方向行进时将薄工件支撑在气垫上。非接触式支撑平台包括平坦的工作台顶部，在该工作台顶部上布置有多个交替压力端口和真空端口，这些压力端口和真空端口布置成基本上垂直于行进方向的平行行。当非接触式支撑平台运行以支撑工件时，空气从工作台流出并通过压力端口中的每一个压力端口进入气垫。类似地，空气从气垫吸入并通过每个真空端口进入工作台。
本文对运动方向的引用应被理解为是指工件沿工作台的标称或预期的大致运动方向。在一些情况下，工件的实际运动可能包括与大致运动方向的有意或无意的横向偏差。
每行中的每个端口位于该行与多个列之一之间的交点处。每列可以基本上平行于行进方向或与行进方向成锐角倾斜。沿每列的端口也在压力端口和真空端口之间交替。因此，列和行的交点形成了非均匀网格，端口位于网格的节点或交点处。
应当理解，虽然典型的非接触式支撑平台通过使空气流过压力端口和真空端口来操作，但是在一些情况下，可以使用其它气体或流体。本文对“空气”、“气流”、“气垫”或类似术语的引用应理解为包括任何其它此类气体或流体。
在工作台顶部的大多数区域中，列彼此平行并且相对于行进方向以斜角(诸如锐角)定向。在这些区域中，相邻列之间的距离是恒定的(如本文所用，任意类型的两个相邻列被认为是邻近的，此时在它们之间不存在任何类型的其它中间列)。这些列(在本文中称为旋转列)的该旋转定向可导致与所有列平行于运动方向的布置相比，工件上更均匀的力分布。
在工作台顶部的一些区域，一列或多个列是与运动方向基本上平行并且与行正交的纵列。例如，纵列可以位于工作台顶部的边缘附近，或者在工件边缘的预期位置处。在一些情况下，一个或多个纵列可以位于工作台顶部的中线处或工件中线的预期位置处，或位于工作台顶部或工件的另一内部位置(例如，不靠近边缘)处。相比于仅包括旋转列的布置，包括平行于运动方向的此类纵列可以实现在工件边缘处的工件上的更均匀的力的分布。
在纵列和相互平行旋转的列之间的过渡区域处，端口可以沿着一个或多个过渡列布置。这些过渡列处于纵列的取向和旋转列的取向之间的中间的取向处。单个过渡列的取向在与该过渡列相邻的两列之间的中间。相邻的列可以是另外两个过渡列，一个旋转列和一个纵列，或者另一个过渡列以及一个纵列或一个旋转列。
通常，每组旋转列在两个横向侧(例如，垂直于运动方向的侧)上由纵列界定，在本文中称为边界纵列。因此，在纵向侧(在本文中用于指垂直于运动方向(例如，在工件运动期间由工件穿过)的工作台顶部的一侧)，边界纵列侧之一比相对的边界纵列更接近于旋转列的端部。在相对的纵向侧，相对的边界纵列更靠近旋转列在具有旋转列的区域的相对横向侧处的端部。在以下讨论中，其端部最靠近边界纵列之一的旋转列被称为该边界纵列的近侧旋转列。
多个行由各自最靠近工作台顶部的相对纵向两侧中的每一个纵向侧的两个端行界定。边界纵列中的每个边界纵列与其近侧旋转列之间的距离在端行之一处最小，在本文中称为该边界纵列的起始端行。相对的边界纵列中的每一个边界纵列与在工作台顶部的相对纵向侧处的起始端行相关联。在每一端行处，过渡列的一个或多个端口位于边界纵列与其近侧旋转列之间。由于边界纵列在其起始端行最靠近近侧旋转列，可以在该边界纵列与其近侧旋转列之间插入的过渡列的最大端口数，或等效地，起始端行上相邻端口之间的最小距离，可能受到限制。例如，限制可能来自一个或多个考虑因素，包括几何考虑因素(例如，每个端口的半径或尺寸，或与端口相关的结构，诸如导管、阀门或其它结构的半径或尺寸)、工程考虑因素(例如，分隔端口的材料的强度和特性)、经济性(例如，精密机械加工成本)或其它考虑因素。
相邻旋转列之间的恒定间距可以例如基于非接触式支撑平台的气垫的期望均匀性来确定。类似地，可以例如基于预期由非接触式支撑平台支撑的工件的预期尺寸来确定纵列的数量和放置。
可以基于最小端口间距、恒定间距和纵列的放置的上述考虑因素来确定过渡列的数量。过渡列可以从插入在纵列与其近侧旋转列之间的端行处的端口延伸。过渡列的取向可以例如以纵列的取向与其近侧旋转列的取向之间的中间的取向从插入的端口呈扇形散开。
工作台顶部上的端口的配置可以由几个参数来参数化。表征参数可以包括边界纵列与工作台顶部的最近横向侧之间的距离d、相邻旋转列之间的间距R、边界纵列与近侧旋转列之间的过渡列的数量N、在边界纵列和近侧旋转列之间的距离D(在一些情况下，该距离可能是整数倍的间距R)，以及旋转列的取向S，该取向S表达为：在端行中的一个端行处的旋转列的一端相对于在相对端行处的旋转列的另一端的位置的横向位移(表达为R的倍数)。起始端行处的过渡列的端口(边界纵列和近侧旋转列之间)与相邻端口(例如，另一过渡列或边界纵列中任一者，或近侧旋转列)之间的距离可以在端行之一(例如，对于旋转列的一个横向侧上的过渡列)处表达为ai(i＝1,2,3...)，并在相对的端行(例如，对于旋转列的相对横向侧上的过渡列)处表达为bi。
包括纵列、相互平行的旋转列和过渡列的非接触式支撑平台的工作台顶部上的端口布置可能优于端口的其它布置。
例如，当端口仅沿平行于运动方向的列布置时，由于来自沿这些平行列的端口的撞击射流而导致的对流热传递率可能显著大于列之间层流或湍流中的对流热传递率。因此，覆盖在列上的那些区域(例如，条带)可能比覆盖在端口之间的工作台顶部区域上的那些区域经历更高的热传递率。所产生的工件温度在覆盖端口列的区域和覆盖没有端口的纵向区域的那些区域之间的可能差异可影响应用于工件的温度敏感过程。
另一方面，简单地旋转所有的列，虽然提供了更大的对流热传递的均匀性，但是可能导致区域，例如在被支撑的工件的边缘附近，其中没有端口或与两个或更多个单一类型(例如，压力或真空)端口最接近的端口。
如本文所述的端口布置，包括纵列、相互平行的旋转列、和过渡列，可提供均匀的对流热传递，同时消除或减少端口分布的区域不均匀性。
如本文所述的端口布置可以满足用于优选端口布置的一个或多个标准。此类标准可包括相邻端口之间距离的逐渐单调变化、避免端口之间区域的突然变化，以及端口类型之间的均匀交替的保持(从而避免工作台上被单一类型端口包围的区域)。
图1示意性地示出根据本发明的实施例的在非接触式支撑平台的工作台顶部上的压力端口和真空端口的布置。
非接触式支撑平台10被配置为在距非接触式支撑平台工作台12恒定距离处(通常在上方)(代表工作台的顶表面)保持平坦工件14。非接触式支撑平台10被配置为使工件14能够沿运动方向16传输。
非接触式支撑平台工作台12包括多个压力端口28，这些压力端口28各自连接到压力源(例如，鼓风机或其它加压空气源，例如，经由一个或多个导管或歧管)。多个真空端口26散布于压力端口28之间。每个真空端口26连接到真空源或抽吸源(例如，排气鼓风机或泵，例如，经由一个或多个导管或歧管)。
为了清楚起见，在图1中的非接触式支撑平台工作台12的下半部的大部分中没有示出端口(除了在端行18b中)。此外，应当理解，在典型的非接触式支撑平台10中，相对于非接触式支撑平台工作台12和工件14的大小，真空端口26和压力端口28的密度通常比图1中所示的大得多。相对于非接触式支撑平台工作台12和工件14的典型大小，真空端口26和压力端口28的典型大小可能比图1中所示的小得多。
应当注意，非接触式支撑平台工作台12可以表示非接触式支撑平台10的整个工作台、工作台的一部分、可以与类似模块相邻放置或连接到类似模块以形成单个工作台的模块，或其它方面。
压力端口28和真空端口26布置成多个行18，该多个行18基本上垂直于运动方向16定向。沿着每行18，压力端口28与真空端口26交替，使得沿行18的每对最近的真空端口26由压力端口28隔开，并且每对最近的压力端口28由真空端口26隔开。
端行18a和18b分别位于非接触式支撑平台工作台12的纵向侧12a和12b。在所示示例中，所有成对的相邻行18由相同的行间隔距离L隔开。在其它示例中，对于至少一些成对相邻的行18，行间隔距离可以变化。
每个真空端口26和压力端口28位于行18和列之间的交点处。列包括纵列22、旋转列20和过渡列24(例如，过渡列24a和24b)。沿着每列，压力端口28与真空端口26交替，使得沿着一列的每对最近的真空端口26由压力端口28隔开，并且每对最近的压力端口28由真空端口26隔开。
旋转列20相互平行且等距间隔，使得相邻的旋转列20以列间隔距离R隔开。每个旋转列20被定向成与运动方向16成斜角。旋转列20在位于最靠近非接触式支撑平台工作台12的横向侧12c的近侧旋转列20a与位于最靠近横向侧12d的近侧旋转列20b之间间隔开。每个旋转列20相对于运动方向16的取向、倾斜或斜率可由S参数化，即，旋转列20在端行12a处的交点相对于该旋转列20与端行12b的交点的位置沿平行于行18的轴线的位移。
在所示的示例中，纵列22a和22b中的每一个分别位于距非接触式支撑平台工作台12的相邻横向侧12c或12d的距离d处。在其它示例中，纵列22可以位于非接触式支撑平台工作台12上的其它地方。每个纵列22a或22b基本上平行于运动方向16取向。距离d可由特定非接触式支撑平台10的设计者例如基于各种设计考虑因素(例如加工精度、材料强度、工件14的预期尺寸范围、流体流动考虑因素或其它考虑因素)确定。
在所示示例中，单个过渡列24a或24b(N＝1)分别位于每个纵列22a或22b与其近侧旋转列20a或20b之间。在其它示例中，两个或更多个过渡列24可位于纵列与其近侧旋转列之间。
在所示示例中，在过渡列24a和端行18a(纵列22a的起始端行)的交点处的端部端口13a位于距纵列22a的过渡列间隔距离a1处，以及距其近侧旋转列20a(近侧旋转列到纵列22a)的过渡列间隔距离a2处。纵列22a与端行18a的交点位于距近侧旋转列20a与端行18a的交点的距离Da处。在所示示例中，a1+a2＝R(例如，Da＝R)。过渡列间隔距离a1和a2的最小长度可以根据一种或多种结构或其它考虑因素来确定，包括压力端口28和真空端口26的直径。过渡列24a和端行18b的交点处的端部端口13b与纵列22a和近侧旋转列20a中的每一个隔开列间隔距离R。因此，在端行18b处，相邻列之间的间隔与相邻旋转列20之间的间隔相同，而在端列18a处，间隔(在所示示例中)约为列间隔距离R的二分之一。
类似地，纵列22b与端行18b的交点位于距近侧旋转列20b与端行18b的交点的距离Db处。在所示示例中，在端行18b(纵列22b的起始端行)处的过渡列24b与纵列22b隔开过渡列间隔距离b1，并且与近侧旋转列20b隔开过渡列间隔距离b2，其中b1+b2＝Db＝R。在端行18a处，过渡列24b与纵列22b和近侧旋转列20b中的每一个隔开列间隔距离R。
这些配置的其它变体是可能的。
图2示意性地示出图1中所示的非接触式支撑平台的工作台顶部的变体，其中两个过渡列插入在每个纵列和旋转列之间。
为了清楚起见，在图2至图7中，未示出行和列之间交点处的端口。
在非接触式支撑平台工作台30中，两个过渡列24插入在每个纵列22和旋转列20之间(N＝2)。在所示示例中，每个纵列22与其近侧旋转列20之间在端行18a或18b处的距离Da或Db分别等于列间隔距离R的两倍。过渡列间隔距离的总和a1+a2+a3＝Da。在一些情况下，过渡列间隔距离可能彼此相等(a1＝a2＝a3)，而在其它情况下，它们不相等。在所示示例中，a1+a2+a3＝D＝2R。在其它情况下，D≠2R(例如，D<2R或D>2R)。
在一些情况下，相邻行18之间的间隔距离可以变化。
图3示意性地示出图2中所示的非接触式支撑平台工作台的变体，其中相邻行之间的间隔距离不是恒定的。
在非接触式支撑平台工作台32中，行间隔距离L1大于行间隔距离L2。其它成对的相邻行18显示为具有不同的行间隔距离。在平台工作台的其它示例中，可以使用相邻行18的其它配置。
在图1-图3的示例中，平台工作台的两个横向侧的过渡列24的数量和它们的间距相同。在一些情况下，过渡列24的数量N、纵列22与其近侧旋转列20之间的间隔距离D或两者在平台工作台的不同横向侧上可以不同。
图4A示意性地示出图3中所示的非接触式支撑平台工作台的变体，其中在工作台的不同横向侧处插入了不同数量的过渡列。
在非接触式支撑平台工作台34a上，两个过渡列24a插入在纵列22a和近侧旋转列20a之间(Na＝2)。单个过渡列24b插入在纵列22b和近侧旋转列20b之间(Nb＝1)。
在非接触式支撑平台工作台34a上，纵列22a与端行18a的交点和近侧旋转列20a与端行18a的交点之间的间隔距离Da等于列间隔距离R的两倍(Da＝2R)。因此，过渡列间隔距离a1+a2+a3＝2R。另一方面，纵列22b与端行18b的交点与近侧旋转列20b与端行18b的交点之间的间隔距离Db等于列间隔距离R(Db＝R)。因此，过渡列间隔距离b1+b2＝R。
图4B示意性地示出图4A中所示的非接触式支撑平台工作台的变体。
在非接触式支撑平台工作台34b上，三个过渡列24a插入在纵列22a和近侧旋转列20a(Na＝3)之间。两个过渡列24b插入在纵列22b和近侧旋转列20b之间(Nb＝2)。
在非接触式支撑平台工作台34b上，纵列22a与端行18a的交点和近侧旋转列20a与端行18a的交点之间的间隔距离Da等于列间隔距离R的两倍(Da＝2R)。因此，过渡列间隔距离a1+a2+a3+a4＝2R。另一方面，纵列22b与端行18b的交点与近侧旋转列20b与端行18b的交点之间的间隔距离Db等于列间隔距离R(Db＝R)。因此，过渡列间隔距离b1+b2+b3＝R。
在图1-图4B的示例中，纵列22包括靠近非接触式支撑平台工作台的每个横向侧的单个纵列22。在其它示例中，一个或多个纵列可以放置在其它位置。
图5示意性地示出图1中所示的非接触式支撑平台的工作台顶部的变体，其中多于一个的纵列22位于工作台的每个横向侧。
在非接触式支撑平台工作台36上，成对的相邻纵列22沿着非接触式支撑平台工作台36的每个横向侧定位。在其它示例中，可以存在多于两个的相邻过渡列24的布置。
在所示示例中，相邻纵列22之间的横向间隔距离L大约等于列间隔距离R。在其它示例中，L>R或L<R。一个或多个过渡列24(一个，在所示的示例中)可以放置在每对(或一组多于两个的)纵列22的最里面的纵列22和最近侧的旋转列20之间。在其它示例中，过渡列24的其它配置，例如图2-图4B中所示的配置的变体或其它配置可以位于非接触式支撑平台工作台36的每个横向侧上的最里面的纵列22和最外面的旋转列20之间。
图6示意性地示出图1中所示的非接触式支撑平台的工作台顶部的变体，其中旋转列和过渡列位于纵列的两侧。
非接触式支撑平台工作台38包括纵列22，该纵列22不位于非接触式支撑平台工作台38的任一横向侧附近(非接触式支撑平台工作台38的横向侧未在图6中示出，图6示意性地示出非接触式支撑平台工作台38的内部区域)。典型的非接触式支撑平台工作台38可以包括位于非接触式支撑平台工作台38上其它地方的一个或多个附加纵列(图6中未示出)。
例如，纵列22可以位于至少一种工件14的横向边缘的预期位置处，该工件14预期由非接触式支撑平台工作台38支撑，或者非接触式支撑平台工作台38为其支撑设计。可替代地或另外，纵列22可位于预期或设计成支撑工件14的内部纵向区域的位置处。通常，类似于非接触式支撑平台工作台38的非接触式支撑平台工作台可具有若干纵列，例如，靠近非接触式支撑平台工作台38的横向边缘，在一种或多种类型的工件14的预期边缘处，或其它地方。
在非接触式支撑平台工作台38上，旋转列20位于纵列22的两侧。因此，过渡列24也位于纵列22和旋转列20之间的纵列22的两侧。每个过渡列24可以类似于位于非接触式支撑平台工作台38的横向侧附近的过渡列来配置，例如图2-图4B中一个图中所示，或另一配置。
图7示意性地示出图1中所示的非接触式支撑平台的工作台顶部的变体，具有不平行的横向侧。
非接触式支撑平台工作台40包括不平行的横向侧42。在所示示例中，为了说明的目的，将不平行的横向侧42示为任意弯曲的。然而，在典型的非接触式支撑平台工作台中，不平行的横向侧42可以具有更规则的形状，例如倾斜的线段、圆弧、椭圆形或其它规则曲线的区段、多边形的周长区段或另一规则形状。
在所示示例中，纵列22位于工件14的横向边缘附近，而不管不平行的横向侧42的形状如何。每个纵列22和旋转列20之间的过渡列24的位置可以如图所示(类似于图1中过渡列24a和24b的位置)，或者可以是其它方面(例如，类似于图2-图4A中的任何一个图中的过渡列24的位置，或其它方面)。
图8是描绘根据本发明的实施例的在非接触式支撑平台的工作台顶部上设计空气端口的放置的方法的流程图。
应当理解，关于本文中引用的任何流程图，仅出于方便和清楚的目的，选择了将所示方法划分为由流程图的框表示的离散操作。将所示方法分成离散操作的替代划分是可能的，并且结果相同。所示方法到离散操作的此类替代划分应理解为表示所示方法的其它实施例。
类似地，应当理解，除非另外指明，否则仅为了方便和清楚而选择了由本文引用的任何流程图的框表示的操作的所示执行顺序。所示方法的操作可以以替代顺序执行，或同时执行，结果相同。所示方法的操作的此类重新排序应该被理解为表示所示方法的其它实施例。
非接触式支撑平台工作台设计方法100可以由处理器或设计者执行，其设计压力端口28和真空端口26在非接触式支撑平台工作台12的工作台顶部上的放置(应理解为表示非接触式支撑平台工作台的任何变体，例如，如图2-图7中所示，或以其它方式)。通常，沿着端口的每一行或列，压力端口28与真空端口26交替。
可以确定相邻端口之间的最小距离(例如，中心到中心)距离(框110)。例如，相邻端口之间(通常在压力端口28和相邻真空端口26之间)的最小距离可能受端口尺寸、形成相邻端口之间壁的材料的强度、将每个端口连接到压力源或抽吸源的导管布置或其它考虑因素限制。流体动力学计算表明，非接触式支撑平台工作台12和支撑工件14之间的气垫强度主要取决于端口的直径。因此，压力端口28和真空端口26的直径可以基于此类流体动力学考虑来选择，并且相邻端口之间的最小距离同样可以基于根据直径的各种工程或设计考虑因素来确定。最小距离可用于确定可插入纵列22和近侧旋转列20之间的过渡列24的最大数量。
可以确定相邻端口列之间(例如，相邻旋转列20之间)的标称间隔距离(框120)。间距可以基于流体动力学计算、成本考虑因素(例如，加工端口的成本)或其它考虑因素来确定。可以在整个非接触式支撑平台工作台12中(例如，除了在过渡列24附近，或在平台中的其它特殊特征附近，例如，在平台中供传感器或工件提升机构使用的开口附近)尽可能多地遵守该标称间距(例如，列间隔距离R)。
在一些情况下，可以类似地确定相邻行18之间的距离。
可以确定用于放置纵列22的位置(框130)。例如，纵列22可以放置在非接触式支撑平台工作台12的横向边缘附近、工件14的预期横向边缘附近或非接触式支撑平台工作台12上的其它地方。在端行18a和18b处的纵列22和近侧旋转列20之间的距离可以是或可以不是(例如，列间隔距离R的)标称列间距的整数倍。
可以确定过渡列24在每个纵列22和近侧旋转列20之间的放置(框140)。可插入纵列22和旋转列20之间的过渡列24的数量可受如下因素限制：最小端口间距(在框110的操作期间确定)，以及每个纵列22与其近侧旋转列20之间的间距D(例如，如在框130的操作期间确定)，该间距D例如在端行18a或18b之一处(在该端行中与纵列22的交点最接近与旋转列20的近侧旋转列的交点)。通常，相对端行18b或18a处的相邻列之间(例如，过渡列24和另一个过渡列24、纵列22或近侧旋转列20之间)的间距可分别设计为等于标称列间距，例如列间距R。因此，在框110-框130的操作中确定的间距值和放置可用于确定过渡列24的放置。
在一些情况下，在确定过渡列24的放置时可以利用其它考虑因素。
关于非接触式支撑平台工作台设计方法100，可以注意到，特别地，可以在不影响非接触式支撑平台工作台设计方法100的执行结果的情况下修改由框110-框130表示的操作的排序。
根据本发明的实施例，非接触式支撑平台工作台可包括压力端口，这些压力端口散布在抽空端口之间，这些抽空端口在不应用吸力的情况下对大气压力开放(PA非接触式支撑平台)。在此类工作台上，过渡列的放置可能比在带有压力端口和真空端口(PV非接触式支撑系统)的工作台上的约束更少。例如，过渡列不需要从一个端行延伸到另一端行，并且因此可以比相邻的纵列和旋转列更短。例如，过渡列的端部的位置可能受到一个或多个考虑因素限制，包括几何考虑因素(例如，每个端口的半径或尺寸，或结构，诸如导管、阀门或与端口有关的其它结构)、工程考虑因素(例如，分隔端口的材料的强度和特性)、经济性(例如，精密机械加工成本)或其它考虑因素。
图9示意性地示出根据本发明的实施例的在非接触式支撑平台的工作台顶部上的压力端口和抽空端口的布置。
非接触式支撑平台50的非接触式支撑平台工作台52包括多个压力端口28，这些压力端口各自连接到压力源。多个抽空端口54散布有压力端口28。每个抽空端口54例如经由一个或多个管、通道、导管、歧管或其它结构向环境大气开放。
压力端口28和抽空端口26布置成多个行18，该多个行18基本上垂直于工件14的运动方向16定向。沿着行18(可能除了沿着端行18a和18b以及与行18相邻的行18)，压力端口28与抽空端口54交替，这样使得沿行18的每对最近的抽空端口54由压力端口28隔开，并且每对最近的压力端口28由抽空端口54隔开。
端行18a和18b分别位于非接触式支撑平台工作台52的纵向侧52a和52b处。在所示示例中，所有成对的相邻行18以相同的行间隔距离L隔开。在其它示例中，对于至少一些成对相邻的行18，行间隔距离可以变化。
每个抽空端口54和压力端口28位于行18和列之间的交点处。列包括纵列22、旋转列20和过渡列56(例如，过渡列56a和56b)。沿着每个列，压力端口28与抽气端口26交替，这样使得沿着列的每对最近的抽空端口26由压力端口28隔开，并且每对最近的压力端口28由抽空端口26隔开。
旋转列20相互平行且等距间隔，这样使得相邻的旋转列20以列间隔距离R隔开。每个旋转列20被定向成与运动方向16成斜角。旋转列20在位于最靠近非接触式支撑平台工作台52的横向侧52c的近侧旋转列20a以及位于最靠近横向侧52d的近侧旋转列20b之间间隔开。
在所示示例中，纵列22a和22b中的每一个分别位于距非接触式支撑平台工作台52的相邻横向侧52c或52d的距离d处。在其它示例中，纵列22可以位于在非接触式支撑平台工作台52上的其它地方。每个纵列22a或22b被定向成基本上平行于运动方向16。
在所示示例中，单个过渡列56a或256b(N＝1)分别位于每个纵列22a或22b与其近侧旋转列20a或20b之间。在其它示例中，两个或更多个过渡列56可位于纵列与其近侧旋转列之间。每个过渡列56具有这样的取向：该取向是在该过渡列56和与该过渡列56相邻的两个列(例如，如所示示例中的纵列22和近侧旋转列20、两个其它过渡列56，或另一个过渡列56与旋转列20或纵向列22)之间的中间。
在所示示例中，过渡列56a终止于端口58并且不延伸至端行18a(旋转列20和纵列22也是如此)。类似地，过渡列56b不延伸到端行18b。每个过渡列56a或56b与端行18a或18b之间的间隙分别可能是各种设计考虑的结果。通常，此类间隙不会影响非接触式支撑平台50的性能(例如，非接触式支撑平台工作台52和工件14之间的气垫厚度的精度)(PA的性能，如上所述，在任何情况下精度不如PV支撑工作台的性能)。
可以注意到，沿着没有被过渡列56a或56b相交的行18，沿着此类行18的相邻端口可以包括两个相邻的压力端口28或两个相邻的抽气端口54。
应当理解，非接触式支撑平台工作台52的变体(例如，类似于图2-图7中示意性地示出的非接触式支撑平台工作台12的变体和如上所述的其它变体)关于非接触式支撑平台工作台52是可能的。在所有这些变体中，过渡列24不需要延伸到端行18a或18b。
本文公开了不同的实施例。某些实施例的特征可以与其它实施例的特征组合；因此，某些实施例可以是多个实施例的特征的组合。已经出于说明和描述的目的呈现了对本发明的实施例的前述描述。并不意在穷举或将本发明限制为所公开的精确形式。本领域技术人员应当理解，根据上述教导，许多修改、变化、替换、改变和等同物是可能的。因此，应当理解，所附权利要求旨在涵盖落入本发明的真正精神内的此类修改和变化。
虽然本文已经说明和描述了本发明的某些特征，但是本领域普通技术人员现在将想到许多修改、替换、改变和等同物。因此，应当理解，所附权利要求旨在涵盖落入本发明的真正精神内的所有此类修改和变化。

Claims (20)

1.一种非接触式支撑平台系统，被配置为支撑工件，所述系统包括：
散布在工作台的顶表面上的多个压力端口和多个真空端口，每个压力端口被配置为连接到空气压力源以使得空气能够通过该压力端口流出，并且每个真空端口被配置为连接到抽吸源以使得空气能够通过该真空端口流入，所述压力端口和所述真空端口沿多个列布置，使得所述多个压力端口中的压力端口与所述多个真空端口中的真空端口沿所述多个列的每一列交替，其中，所述多个列包括：
至少一个纵列，基本上平行于所述工件在所述工作台上的运动方向定向；
相互平行的多个旋转列，所述多个旋转列各自与所述运动方向成斜角定向；以及
至少一个过渡列，所述至少一个过渡列位于所述至少一个纵列和所述多个旋转列中的近侧旋转列之间，所述至少一个过渡列中的每个过渡列被定向在这样的取向处：该取向是在所述多个列中的与该过渡列相邻的两列之间的中间；
其中，所述真空端口中的每个真空端口和所述压力端口中的每个压力端口位于所述多个列中的一列与多个行中的一行的交点处，所述多个行各自基本上垂直于所述运动方向定向，这样使得所述多个压力端口中的压力端口与所述多个真空端口中的真空端口沿着所述多个行中的每一行交替。
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述多个旋转列中的一对相邻旋转列之间的距离R等于所述多个旋转列中的任何其它对相邻旋转列之间的距离。
3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述至少一个纵列与所述多个行中的端行的交点和所述多个旋转列中的近侧旋转列与该端行的交点之间的距离等于整数倍的所述距离R。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的系统，其中，所述至少一个过渡列中的每个过渡列与所述多个行中的端行的交点和所述多个列中与该过渡列相邻的一列与该端行的交点之间的最小距离受到相邻端口之间的最小允许间距的限制。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的系统，其中，所述多个旋转列位于所述至少一个纵列的两个边界纵列之间。
6.根据权利要求5所述的系统，其中，所述两个边界纵列中的一个边界纵列与所述多个旋转列中靠近该一个边界正交列的旋转列之间的所述过渡列的数量等于另一个边界纵列和所述多个旋转列中靠近另一个边界纵列的旋转列之间的所述过渡列的数量。
7.根据权利要求5所述的系统，其中，所述两个边界纵列中的一个边界纵列与所述多个旋转列中靠近该一个边界纵列的旋转列之间的所述过渡列的数量不同于另一个边界纵列和所述多个旋转列中靠近另一个边界正交列的旋转列之间的所述过渡列的数量。
8.根据权利要求5所述的系统，其中，所述多个行中的第一端行与所述两个边界纵列中的一个边界纵列的交点和所述第一端行与所述多个旋转列中靠近所述一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离等于所述多个行中的第二端行与所述两个边界纵列中的另一个边界纵列的交点和所述第二端行与所述多个旋转列中靠近另一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离。
9.根据权利要求5所述的系统，其中，所述多个行中的第一端行与所述两个边界纵列中的一个边界纵列的交点和所述第一端行与所述多个旋转列中靠近所述一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离不同于所述多个行中的第二端行与所述两个边界纵列中的另一个边界纵列的交点和所述第二端行与所述多个旋转列中靠近所述另一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离。
10.根据权利要求1至3中任一项所述的系统，其中，所述多个旋转列中的一些旋转列位于所述至少一个纵列中的一个纵列的一侧，并且所述多个旋转列中的其它旋转列位于该纵列的另一侧。
11.根据权利要求1至3中任一项所述的系统，其中，所述至少一个纵列包括多个相邻的纵列。
12.一种用于设计被配置为支撑工件的非接触式支撑平台系统的方法，所述系统的工作台包括散布在所述工作台的顶表面上的多个压力端口和多个真空端口，每个压力端口被配置为使得空气通过该压力端口流出，并且每个真空端口被配置为使得空气通过该真空端口流入，所述压力端口和所述真空端口沿着多个行布置，所述多个行各自基本上垂直于所述工件在所述工作台上方的运动方向，并且使得所述多个压力端口中的压力端口与所述多个真空端口中的真空端口沿着所述多个行中的每一行交替，所述方法包括：
确定多个列在所述工作台上的放置，这样使得每个真空端口和每个压力端口位于所述多个行中的一行与所述多个列中的一列的交点处，使得所述多个压力端口中的压力端口与所述多个真空端口中的真空端口沿着所述多个列的每一列交替，确定所述放置包括：
确定所述多个列中的至少一个纵列的放置，所述至少一个纵列基本上平行于所述运动方向定向；
确定相互平行的多个旋转列中的每对旋转列之间的恒定列间距，所述多个旋转列各自与所述运动方向成斜角定向；
确定沿着所述多个行中的端行的相邻压力端口和真空端口之间的最小间距；以及
确定位于所述至少一个纵列和所述多个旋转列中的近侧旋转列之间的至少一个过渡列的放置，所述至少一个过渡列的每个过渡列被定向成如下取向：该取向是在所述多个列中的与该过渡列相邻的两列之间的中间，其中，所述至少一个过渡列中的每个过渡列与所述多个行中的每一行的交点和所述多个列中的与该过渡列相邻的列与该行的交点之间的距离至少与已确定的所述最小间距一样大。
13.根据权利要求12所述的方法，其中，确定所述至少一个纵列的放置包括将所述至少一个纵列中的纵列定位在距所述工作台的横向侧预定距离处。
14.根据权利要求12或13所述的方法，其中，确定所述至少一个纵列的放置包括将所述至少一个纵列中的纵列定位在所述工件的横向边缘的预期位置处。
15.根据权利要求12或13所述的方法，其中，确定所述至少一个纵列的放置包括定位所述至少一个纵列中的纵列，这样使得所述至少一个纵列与所述多个行的端行的交点和所述多个旋转列中的近侧旋转列与该端行的交点之间的距离等于整数倍的所述恒定列间距。
16.根据权利要求12或13所述的方法，其中，确定所述至少一个纵列的放置包括将所述至少一个纵列的两个纵列定位在所述多个旋转列的相对两侧上。
17.根据权利要求12或13所述的方法，其中，确定所述至少一个纵列的放置包括将所述至少一个纵列定位在所述多个旋转列中的旋转列之间。
18.根据权利要求12或13所述的方法，其中，确定所述至少一个纵列的放置包括将所述至少一个纵列中的多个纵列定位成彼此相邻。
19.一种被配置为支撑工件的非接触式支撑平台系统，所述系统包括：
在工作台的顶表面上散布的多个压力端口和多个抽空端口，每个压力端口被配置为连接到空气压力源以使得空气能够通过该压力端口流出，并且每个抽空端口被配置为打开至环境大气压力以使得空气能够通过该抽空端口流入，所述压力端口和所述抽空端口沿多个列布置，使得所述多个压力端口中的压力端口与所述多个抽空端口中的抽空端口沿每一列交替，所述抽空端口中的每一个抽空端口和所述压力端口中的每一个压力端口位于所述多个列中的一列与多个行中的一行的交点处，所述多个行各自基本上垂直于运动方向定向，其中，所述多个列包括：
至少一个纵列，基本上平行于所述工件在所述工作台上的运动方向定向；
相互平行的多个旋转列，各自与所述运动方向成斜角定向；以及
至少一个过渡列，位于所述至少一个纵列和所述多个旋转列中的近侧旋转列之间，所述至少一个过渡列中的每个过渡列被定向成以下取向：该取向是在所述多个列中的与该过渡列相邻的两列之间的中间，其中，沿着所述多个行中的与所述至少一个过渡列中的所有过渡列相交的一行，所述多个压力端口中的压力端口与所述多个抽空端口中的抽空端口交替。
20.根据权利要求19所述的系统，其中，所述至少一个过渡列中的过渡列不与所述多个行中的至少一行相交。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9889995B1 (en) * 2017-03-15 2018-02-13 Core Flow Ltd. Noncontact support platform with blockage detection
JP7437186B2 (ja) * 2020-02-26 2024-02-22 Ｊｓｗアクティナシステム株式会社 浮上搬送装置、及びレーザ処理装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5122016A (en) * 1991-01-17 1992-06-16 Lenhart Ronald A High speed vertical single filer
US7269475B1 (en) * 1998-03-02 2007-09-11 Xerox Corporation Distributed control system with global contraints for controlling object motion with smart matter
AT409183B (de) * 2000-05-05 2002-06-25 Ebner Peter Dipl Ing Vorrichtung zum führen eines metallbandes auf einem gaskissen
KR20070006768A (ko) * 2004-03-17 2007-01-11 코레플로우 사이언티픽 솔루션스 리미티드 비접촉 열 플랫폼
WO2005099350A2 (en) * 2004-04-14 2005-10-27 Coreflow Scientific Solutions Ltd. Non-contact support platforms for distance adjustment
ATE476386T1 (de) * 2004-06-03 2010-08-15 Oerlikon Solar Ip Ag Truebbach Tisch zur aufnahme eines werkstücks sowie verfahren zur bearbeitung eines werkstücks auf einem solchen
DE102006002357B4 (de) * 2005-02-11 2022-02-17 Heidelberger Druckmaschinen Ag Vorrichtung zum Tragen oder Leiten eines Bedruckstoffbogens
JP4554397B2 (ja) * 2005-02-23 2010-09-29 東京エレクトロン株式会社 ステージ装置および塗布処理装置
KR101234473B1 (ko) * 2005-06-20 2013-02-18 엘지디스플레이 주식회사 비접촉 반송 장치에서의 지지플랫폼
JP4570545B2 (ja) 2005-09-22 2010-10-27 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法
JPWO2007145072A1 (ja) * 2006-06-14 2009-10-29 日本精工株式会社 支持装置
TW200845274A (en) * 2007-05-11 2008-11-16 Brooks Automation Inc Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
EP2250109B1 (en) * 2008-03-11 2015-01-14 Coreflow Ltd. Method and system for locally controlling support of a flat object
ITUD20110079A1 (it) * 2011-06-06 2012-12-07 Applied Materials Italia Srl Unita' di supporto e trasporto di un substrato di stampa per un impianto di deposizione di tracce di stampa, e relativo procedimento di deposizione
JP5998086B2 (ja) 2012-04-03 2016-09-28 オイレス工業株式会社 浮上用エアプレート
JP6226419B2 (ja) 2013-08-22 2017-11-08 オイレス工業株式会社 浮上搬送装置
NL2013739B1 (en) * 2014-11-04 2016-10-04 Asm Int Nv Atomic layer deposition apparatus and method for processing substrates using an apparatus.
EP3472077A4 (en) * 2016-06-21 2020-03-04 Coreflow Ltd NON-CONTACT SUPPORT PLATFORM WITH EDGE LIFTING
US9889995B1 (en) * 2017-03-15 2018-02-13 Core Flow Ltd. Noncontact support platform with blockage detection

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