CN113279930B - 一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法 - Google Patents

一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113279930B
CN113279930B CN202110731821.2A CN202110731821A CN113279930B CN 113279930 B CN113279930 B CN 113279930B CN 202110731821 A CN202110731821 A CN 202110731821A CN 113279930 B CN113279930 B CN 113279930B
Authority
CN
China
Prior art keywords
grid
screen
ceramic base
thruster
ceramic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202110731821.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113279930A (zh
Inventor
杨鑫勇
魏立秋
李鸿
丁永杰
于达仁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN202110731821.2A priority Critical patent/CN113279930B/zh
Publication of CN113279930A publication Critical patent/CN113279930A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113279930B publication Critical patent/CN113279930B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F03—MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03H—PRODUCING A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03H1/00—Using plasma to produce a reactive propulsive thrust
    • F03H1/0006—Details applicable to different types of plasma thrusters

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

本发明公开一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法，包括陶瓷底座、屏栅、加速栅和陶瓷垫片，陶瓷底座通过螺栓固定在推力器主体上，屏栅和加速栅安装在陶瓷底座上；屏栅和加速栅均由圆形金属薄片经化学刻蚀加工而成，屏栅和加速栅的一面保持平整，另一面为刻蚀区域形成的凹槽，且屏栅和加速栅上的刻蚀区域与推力器主体的截面积相等；屏栅和加速栅上的刻蚀区域内加工有栅极孔；屏栅带有凹槽的一侧朝向推力器主体并直接放置在陶瓷底座上，陶瓷垫片设置于屏栅和加速栅之间，加速栅具有凹槽的一侧朝向外部；陶瓷垫片与屏栅的厚度之差即为两个栅极之间的距离。本发明能够简化栅极组件安装方式并避免各组件之间出现短路现象。

Description

一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法
技术领域
本发明涉及微型离子推力器技术领域，特别是涉及一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法。
背景技术
离子推力器通过施加数千伏特的电压产生强电场，加速离子产生推力。离子推力器中用于加速离子的装置称为栅极，常见的两栅极离子推力器使用一个屏栅和一个加速栅，电压施加在屏栅和加速栅之间，离子通过屏栅和加速栅上的多孔阵列喷出。离子推力器在运行过程中会产生一些金属溅射产物，容易沉积在屏栅和加速栅、屏栅和阳极之间，造成短路。此外，栅极是一组金属薄片，推力器运行过程中栅极边缘容易因为受热发生翘曲，导致屏栅和加速栅接触，发生短路。为了防止短路发生，对于常规的离子推力器，屏栅和加速栅通过复杂的绝缘结构安装在推力器上，而对于微型离子推力器，由于受到尺寸限制，栅极难以采用复杂的安装结构。因此，为微型离子推力器设计新的栅极组件和装配方法，对于简化推力器栅极安装、防止溅射产物沉积引起的短路具有重要的意义。
发明内容
本发明的目的是提供一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法，以解决上述现有技术存在的问题，能够简化栅极组件安装方式并避免各组件之间出现短路现象。
为实现上述目的，本发明提供了如下方案：本发明提供一种微型离子推力器的栅极组件装配结构，包括陶瓷底座、屏栅、加速栅和陶瓷垫片，所述陶瓷底座通过螺栓固定在推力器主体上，所述屏栅和加速栅安装在所述陶瓷底座上；所述屏栅和加速栅均由圆形金属薄片经化学刻蚀加工而成，屏栅和加速栅的一面保持平整，另一面为刻蚀区域形成的凹槽，且所述屏栅和加速栅上的刻蚀区域与推力器主体的截面积相等；所述屏栅和加速栅上的刻蚀区域内加工有栅极孔；所述屏栅带有凹槽的一侧朝向推力器主体并直接放置在所述陶瓷底座上，所述陶瓷垫片设置于所述屏栅和加速栅之间，所述加速栅具有凹槽的一侧朝向外部；所述陶瓷垫片与屏栅的厚度之差即为两个栅极之间的距离。
优选地，所述陶瓷底座上加工有4个直孔，4个直孔沿所述陶瓷底座的周向均匀分布，所述陶瓷底座上的4个直孔与推力器主体上的安装孔对齐并通过螺栓安装固定。
优选地，所述陶瓷底座上还加工有8个半开放的沉头孔，且相邻两直孔之间均布有两个半开放的沉头孔，用沉头内六角螺栓穿过沉头孔后将所述屏栅和加速栅安装在陶瓷底座上。
优选地，所述屏栅的未刻蚀部分为屏栅的法兰，所述加速栅的未刻蚀部分为加速栅的法兰。
优选地，所述屏栅和加速栅的法兰上各开一个小孔，两个小孔的设置用于两栅极的对齐。
优选地，所述陶瓷底座的内壁上加工有两道凹槽，每个凹槽的宽度为1mm，深度为2mm。
本发明还提供一种微型离子推力器的栅极组件装配方法，应用于上述的微型离子推力器的栅极组件装配结构，包括以下步骤：
a、将屏栅上有凹槽的一侧朝向推力器主体并直接座于陶瓷底座之上，然后将陶瓷垫片放置到所述屏栅上；
b、将加速栅有凹槽的一侧朝向外部，并使加速栅座于陶瓷垫片之上；
c、用沉头内六角螺栓顺次穿过陶瓷底座上的沉头孔、屏栅、陶瓷垫片和加速栅，且两个栅极的平面侧相向放置，将屏栅和加速栅安装到陶瓷底座上；
d、用螺栓穿过加速栅、陶瓷垫片、屏栅和沉头孔上的直孔后将陶瓷底座固定在所述推力器主体上；
e、陶瓷垫片与屏栅的厚度之差即为两个栅极之间的距离。
本发明相对于现有技术取得了以下有益技术效果：
本发明中的微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法，解决了现有微型离子推力器栅极组件安装复杂、各组件间易发生短路的缺点。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为陶瓷底座的侧视图；
图2为陶瓷底座的整体结构示意图；
图3为屏栅的结构示意图；
图4为加速栅的结构示意图；
图5为栅极组件的装配侧视图；
图6为栅极组件的装配俯视图；
图7为栅极组件的装配仰视图；
其中，1为陶瓷底座，2为螺栓，3为陶瓷垫片，4为螺母，5为屏栅，6为加速栅。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明的目的是提供一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法，以解决上述现有技术存在的问题，能够简化栅极组件安装方式并避免各组件之间出现短路现象。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
如图1-7所示，本实施例提供一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法，其中，将屏栅5和加速栅6安装在一个绝缘的陶瓷底座1上，再将陶瓷底座1安装在推力器上，实现栅极与推力器主体的装配。绝缘的陶瓷底座1开沉孔，屏栅5和加速栅6通过螺栓2安装在陶瓷底座1上，陶瓷底座1通过螺栓安装在推力器主体上。螺栓2头部沉到沉孔之内，防止螺栓与栅极和阳极发生干涉。在陶瓷底座1的内壁开两道凹槽，使溅射产物无法沉积到凹槽最深处，内壁金属沉积带不连续，无法将陶瓷底座1和阳极连通，防止发生短路。屏栅5和加速栅6制成中间薄、边缘厚的结构，在中间区域加工用于离子引出的栅极孔，在边缘加工安装孔，防止边缘受热翘曲引起的屏栅5和加速栅6短路问题。屏栅5直接放置在陶瓷底座1上，加速栅6隔着陶瓷垫片3安装在陶瓷底座1上，屏栅5和加速栅6通过陶瓷垫片3确定间距。
具体地，图1和2为陶瓷底座1，材料为可加工陶瓷，结构类似于圆环，加工4个直孔和8个半开放的沉头孔，直孔沿周向均匀分布，与推力器主体上的安装孔对齐，用螺栓将陶瓷底座1直接固定在推力器主体上，8个沉头孔分为两组，每4个一组，沿周向均匀分布，两组沉头孔呈30°角，并与直孔呈30°角。用沉头内六角螺栓穿过沉头孔以安装屏栅5和加速栅6；在陶瓷底座1内壁上加工两道宽1mm深2mm的凹槽，防止溅射产物沉积在整个底座的内壁。图3-4为屏栅5和加速栅6的结构，由圆形金属薄片经化学刻蚀加工而成，一侧保持平整，另一侧刻蚀出一定深度，使栅极的中间部分薄，边缘部分厚；刻蚀区域面积与推力器主体截面积相等，在此区域内刻蚀引出离子的多孔阵列；未刻蚀的部分为栅极的法兰，加工4个通孔，与陶瓷底座1上的沉头孔对齐，用螺栓2将栅极固定在陶瓷底座1上，加工8个半开放的大孔，用于避让安装栅极和底座的螺栓。图5-7为栅极组件与陶瓷底座1的装配方式，屏栅5有凹槽的一侧朝向推力器主体的放电室，直接座于陶瓷底座1之上，加速栅6有凹槽的一侧朝向外部，将陶瓷垫片3座于底座上，加速栅6座于陶瓷垫片3之上；两个栅极的平面侧相向，陶瓷垫片3与屏栅5的厚度之差即为两个栅极之间的距离，此外，屏栅5和加速栅6的法兰上各开一个小孔，用于两栅极的对齐。
需要说明的是，对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
本发明中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (6)

1.一种微型离子推力器的栅极组件装配结构，其特征在于：包括陶瓷底座、屏栅、加速栅和陶瓷垫片，所述陶瓷底座通过螺栓固定在推力器主体上，所述屏栅和加速栅安装在所述陶瓷底座上；所述屏栅和加速栅均由圆形金属薄片经化学刻蚀加工而成，屏栅和加速栅的一面保持平整，另一面为刻蚀区域形成的凹槽，且所述屏栅和加速栅上的刻蚀区域与推力器主体的截面积相等；所述屏栅和加速栅上的刻蚀区域内加工有栅极孔；所述屏栅带有凹槽的一侧朝向推力器主体并直接放置在所述陶瓷底座上，所述陶瓷垫片设置于所述屏栅和加速栅之间，所述加速栅具有凹槽的一侧朝向外部；所述陶瓷垫片与屏栅的厚度之差即为两个栅极之间的距离；所述陶瓷底座的内壁上加工有两道凹槽，每道凹槽的宽度为1mm，深度为2mm。
2.根据权利要求1所述的微型离子推力器的栅极组件装配结构，其特征在于：所述陶瓷底座上加工有4个直孔，4个直孔沿所述陶瓷底座的周向均匀分布，所述陶瓷底座上的4个直孔与推力器主体上的安装孔对齐并通过螺栓安装固定。
3.根据权利要求2所述的微型离子推力器的栅极组件装配结构，其特征在于：所述陶瓷底座上还加工有8个半开放的沉头孔，且相邻两直孔之间均布有两个半开放的沉头孔，用沉头内六角螺栓穿过沉头孔后将所述屏栅和加速栅安装在陶瓷底座上。
4.根据权利要求1所述的微型离子推力器的栅极组件装配结构，其特征在于：所述屏栅的未刻蚀部分为屏栅的法兰，所述加速栅的未刻蚀部分为加速栅的法兰。
5.根据权利要求4所述的微型离子推力器的栅极组件装配结构，其特征在于：所述屏栅和加速栅的法兰上各开一个小孔，两个小孔用于两栅极的对齐。
6.一种微型离子推力器的栅极组件装配方法，应用于权利要求1-5中任一项所述的微型离子推力器的栅极组件装配结构，其特征在于，包括以下步骤：
a、将屏栅上有凹槽的一侧朝向推力器主体并直接座于陶瓷底座之上，然后将陶瓷垫片放置到所述屏栅上；
b、将加速栅有凹槽的一侧朝向外部，并使加速栅座于陶瓷垫片之上；
c、用沉头内六角螺栓顺次穿过陶瓷底座上的沉头孔、屏栅、陶瓷垫片和加速栅，且两个栅极的平面侧相向放置，将屏栅和加速栅安装到陶瓷底座上；
d、用螺栓穿过加速栅、陶瓷垫片、屏栅和沉头孔上的直孔后将陶瓷底座固定在所述推力器主体上；
e、陶瓷垫片与屏栅的厚度之差即为两个栅极之间的距离。
CN202110731821.2A 2021-06-30 2021-06-30 一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法 Active CN113279930B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110731821.2A CN113279930B (zh) 2021-06-30 2021-06-30 一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110731821.2A CN113279930B (zh) 2021-06-30 2021-06-30 一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113279930A CN113279930A (zh) 2021-08-20
CN113279930B true CN113279930B (zh) 2022-07-12

Family

ID=77286286

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110731821.2A Active CN113279930B (zh) 2021-06-30 2021-06-30 一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113279930B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114135456A (zh) * 2021-11-24 2022-03-04 北京航空航天大学 一种微小型离子推力器多孔栅极的定位装置及方法
CN114562436B (zh) * 2022-02-28 2024-07-19 北京航空航天大学 一种耐溅射污染的绝缘增强型栅极系统

Citations (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003201957A (ja) * 2001-12-28 2003-07-18 Mitsubishi Electric Corp 多重グリッド光学システム及びその製造方法及びイオンスラスタ
EP2368039A2 (en) * 2008-12-23 2011-09-28 QinetiQ Limited Electric propulsion
CN104343651A (zh) * 2014-09-04 2015-02-11 兰州空间技术物理研究所 一种用于离子推力器栅极组件柔性绝缘体
CN204809644U (zh) * 2015-07-14 2015-11-25 中国计量学院 一种串列式电场力空气加速器
CN204961188U (zh) * 2015-09-14 2016-01-13 中国计量学院 一种串列式电场力飞行器推进装置
CN105649906A (zh) * 2015-12-25 2016-06-08 上海空间推进研究所 小孔阵列微型静电式电推力器
CN106271006A (zh) * 2016-08-31 2017-01-04 兰州空间技术物理研究所 一种焊接的离子推力器栅极组件
CN106378375A (zh) * 2016-08-30 2017-02-08 兰州空间技术物理研究所 一种离子推力器用钼栅极的液压成型装置
CN106545480A (zh) * 2016-12-07 2017-03-29 兰州空间技术物理研究所 一种铆接的离子推力器栅极部件及其制作方法
CN206774500U (zh) * 2017-05-02 2017-12-19 中山市博顿光电科技有限公司 一种新型的阵列式射频离子源装置
CN109755085A (zh) * 2018-12-06 2019-05-14 兰州空间技术物理研究所 一种便于维护和调节的射频离子源装置
CN109899263A (zh) * 2019-04-22 2019-06-18 南华大学 环形离子推力器栅极组件
CN110145446A (zh) * 2019-06-13 2019-08-20 哈尔滨工业大学 一种脉冲电励磁微牛推进装置
CN110230581A (zh) * 2019-06-13 2019-09-13 哈尔滨工业大学 一种涡旋共振电离的微牛级离子推进装置
CN110513260A (zh) * 2019-09-27 2019-11-29 哈尔滨工业大学（深圳） 一种射频等离子体推进器
CN110985323A (zh) * 2019-12-17 2020-04-10 大连理工大学 一种圆板天线交叉磁场微波电子回旋共振离子推进器
CN111140451A (zh) * 2019-12-26 2020-05-12 兰州空间技术物理研究所 一种热应力自适应栅极组件及其制作方法
CN111140454A (zh) * 2020-02-13 2020-05-12 哈尔滨工业大学 一种微型电子回旋共振离子推力器点火装置
CN111199099A (zh) * 2019-12-26 2020-05-26 兰州空间技术物理研究所 一种基于栅极腐蚀的离子推力器运行寿命评估方法
CN111237149A (zh) * 2020-02-23 2020-06-05 哈尔滨工业大学 一种涡旋共振多级会切场的微牛级离子推进装置
CN111646814A (zh) * 2020-06-23 2020-09-11 湖州师范学院 一种离子推进器c/c栅极的制作方法
CN112555113A (zh) * 2020-11-06 2021-03-26 兰州空间技术物理研究所 一种离子推力器栅极组件一体化绝缘结构
CN112696329A (zh) * 2020-12-14 2021-04-23 兰州空间技术物理研究所 一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法
CN113053709A (zh) * 2021-03-12 2021-06-29 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于离子源的条形栅网组件

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2299137B (en) * 1995-03-20 1999-04-28 Matra Marconi Space Uk Ltd Ion thruster
JP2003139044A (ja) * 2001-11-01 2003-05-14 Mitsubishi Electric Corp イオンスラスタ
JP5695246B1 (ja) * 2014-03-27 2015-04-01 日本電信電話株式会社 電界効果型トランジスタ及び電界効果型トランジスタの製造方法
CN104236426B (zh) * 2014-09-04 2017-06-13 兰州空间技术物理研究所 一种用于离子推力器栅极组件的栅间距测量方法和测量具
JP6448460B2 (ja) * 2015-05-15 2019-01-09 三菱電機株式会社 電気推進装置
EP3695118B1 (en) * 2017-10-10 2024-06-12 The George Washington University Micro-propulsion system
CN107966311B (zh) * 2017-11-24 2019-08-09 中国空间技术研究院 基于加速栅数据的极小子样离子推力器可靠度确定方法
CN111322213B (zh) * 2020-02-11 2021-03-30 哈尔滨工业大学 一种可变间距的压电栅极

Patent Citations (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003201957A (ja) * 2001-12-28 2003-07-18 Mitsubishi Electric Corp 多重グリッド光学システム及びその製造方法及びイオンスラスタ
EP2368039A2 (en) * 2008-12-23 2011-09-28 QinetiQ Limited Electric propulsion
CN104343651A (zh) * 2014-09-04 2015-02-11 兰州空间技术物理研究所 一种用于离子推力器栅极组件柔性绝缘体
CN204809644U (zh) * 2015-07-14 2015-11-25 中国计量学院 一种串列式电场力空气加速器
CN204961188U (zh) * 2015-09-14 2016-01-13 中国计量学院 一种串列式电场力飞行器推进装置
CN105649906A (zh) * 2015-12-25 2016-06-08 上海空间推进研究所 小孔阵列微型静电式电推力器
CN106378375A (zh) * 2016-08-30 2017-02-08 兰州空间技术物理研究所 一种离子推力器用钼栅极的液压成型装置
CN106271006A (zh) * 2016-08-31 2017-01-04 兰州空间技术物理研究所 一种焊接的离子推力器栅极组件
CN106545480A (zh) * 2016-12-07 2017-03-29 兰州空间技术物理研究所 一种铆接的离子推力器栅极部件及其制作方法
CN206774500U (zh) * 2017-05-02 2017-12-19 中山市博顿光电科技有限公司 一种新型的阵列式射频离子源装置
CN109755085A (zh) * 2018-12-06 2019-05-14 兰州空间技术物理研究所 一种便于维护和调节的射频离子源装置
CN109899263A (zh) * 2019-04-22 2019-06-18 南华大学 环形离子推力器栅极组件
CN110145446A (zh) * 2019-06-13 2019-08-20 哈尔滨工业大学 一种脉冲电励磁微牛推进装置
CN110230581A (zh) * 2019-06-13 2019-09-13 哈尔滨工业大学 一种涡旋共振电离的微牛级离子推进装置
CN110513260A (zh) * 2019-09-27 2019-11-29 哈尔滨工业大学（深圳） 一种射频等离子体推进器
CN110985323A (zh) * 2019-12-17 2020-04-10 大连理工大学 一种圆板天线交叉磁场微波电子回旋共振离子推进器
CN111140451A (zh) * 2019-12-26 2020-05-12 兰州空间技术物理研究所 一种热应力自适应栅极组件及其制作方法
CN111199099A (zh) * 2019-12-26 2020-05-26 兰州空间技术物理研究所 一种基于栅极腐蚀的离子推力器运行寿命评估方法
CN111140454A (zh) * 2020-02-13 2020-05-12 哈尔滨工业大学 一种微型电子回旋共振离子推力器点火装置
CN111237149A (zh) * 2020-02-23 2020-06-05 哈尔滨工业大学 一种涡旋共振多级会切场的微牛级离子推进装置
CN111646814A (zh) * 2020-06-23 2020-09-11 湖州师范学院 一种离子推进器c/c栅极的制作方法
CN112555113A (zh) * 2020-11-06 2021-03-26 兰州空间技术物理研究所 一种离子推力器栅极组件一体化绝缘结构
CN112696329A (zh) * 2020-12-14 2021-04-23 兰州空间技术物理研究所 一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法
CN113053709A (zh) * 2021-03-12 2021-06-29 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于离子源的条形栅网组件

Non-Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
基于IFE-PIC和MCC方法的离子推进器加速栅极孔壁腐蚀机理仿真;王二蒙等;《高电压技术》;20130731(第07期);全文 *
基于三维PIC数值模拟的2cm ECRIT推力控制计算;胡展等;《西北工业大学学报》;20200815(第04期);全文 *
基于探针诊断的HEMPT推力等效测量方法;孙强强等;《深空探测学报》;20170615(第03期);全文 *
小型化电子回旋谐振微波离子推进器研究;张红军等;《宇航学报》;20070731(第04期);全文 *
离子推力器栅极组件热态间距测量系统研制;袁杰红等;《国防科技大学学报》;20200203(第01期);全文 *
离子推进C/C栅极的设计与力学分析;陈等;《上海大学学报(自然科学版)》;20190430(第02期);全文 *
离子推进及其关键技术;朱毅麟;《上海航天》;20000225(第01期);全文 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN113279930A (zh) 2021-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN113279930B (zh) 一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法
CN112696329B (zh) 一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法
CN113606103B (zh) 一种阶梯栅极、栅极结构、阶梯栅极参数确定方法及系统
CN1153851C (zh) 控制电力线分布的装置及方法
CN111463101B (zh) 方形微通道板组件
US3777206A (en) Electrodes for gas plasma display panels and method of manufacture thereof
CN113236516B (zh) 微型离子推力器放电室防沉积的结构
KR102126475B1 (ko) 플라즈마 전해 산화 장치 및 방법
CN103820759A (zh) 一种提高矩形平面磁控溅射阴极靶材利用率的方法
US3328618A (en) High-voltage acceleration tube with inserts for the electrodes
JPH05211029A (ja) 電子放出素子及びその製造方法
JP5195171B2 (ja) イオンビーム処理装置
CN114323658A (zh) 一种等离子体推进羽流诊断探针
CN113982874B (zh) 一种微型离子推力器隔离电极电离室与离子光学引出结构
JP2008077857A (ja) イオン銃、イオン銃を備える真空加工装置を利用する方法
JPS627855A (ja) スパツタリング装置
CN112333910A (zh) 一种预电离式高效等离子体合成射流激励器
CN221747153U (zh) 一种新型射频离子源多层栅网
CN104715986B (zh) 一种悬浮式多爪栅极组合及其装配方法
CN115199496B (zh) 一种静电推力器栅极
CN218585922U (zh) 离子束设备、离子源装置及其栅极结构
KR930007877Y1 (ko) 플라즈마방전 디스플레이판넬의 전극설치구조
CN206921784U (zh) 具有多引出电极栅网的离子源
CN220862935U (zh) 一种阶梯式组合电极
CN113357110B (zh) 降低微型离子电推力器中原初电子损耗的方法及结构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant