CN112696329A - 一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法 - Google Patents

一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112696329A
CN112696329A CN202011464133.6A CN202011464133A CN112696329A CN 112696329 A CN112696329 A CN 112696329A CN 202011464133 A CN202011464133 A CN 202011464133A CN 112696329 A CN112696329 A CN 112696329A
Authority
CN
China
Prior art keywords
insulator
grid
shielding cap
concave
cap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202011464133.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112696329B (zh
Inventor
李建鹏
李毅军
赵以德
耿海
李娟�
郭德洲
张兴民
王彦龙
杨福全
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lanzhou Institute of Physics of Chinese Academy of Space Technology
Original Assignee
Lanzhou Institute of Physics of Chinese Academy of Space Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lanzhou Institute of Physics of Chinese Academy of Space Technology filed Critical Lanzhou Institute of Physics of Chinese Academy of Space Technology
Priority to CN202011464133.6A priority Critical patent/CN112696329B/zh
Publication of CN112696329A publication Critical patent/CN112696329A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112696329B publication Critical patent/CN112696329B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

本发明公开了一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法。本发明包括:屏蔽帽A、屏蔽帽B、凹形绝缘子A、凸形绝缘子和连接螺栓;其中,屏蔽帽A和屏蔽帽B的开口相对,凹形绝缘子A放置在屏蔽帽A内;屏栅固定在屏蔽帽A开口端面,加速栅固定在凹形绝缘子A的端面;凸形绝缘子放置在屏蔽帽B内,且凸形绝缘子的凸起与凹形绝缘子A的凹槽相配合;减速栅固定在屏蔽帽B开口端面。栅极栅网之间通过一套绝缘装置实现三栅的绝缘连接,减少了多套绝缘安装造成的累积误差,同时可有效减少栅极热变形造成栅极孔对中精度差的问题,且结构简单,装配工艺好。

Description

一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法
技术领域
本发明涉及航天电推进技术、真空电子技术领域,具体涉及一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法。
背景技术
栅极组件是离子推力器的关键组件,离子推力器主要依靠引出由电离室产生的离子进行静电加速来工作的,通过在多个栅极之间施加电压实现对离子的加速引出产生推力。栅极组件的性能直接影响推力器的性能和寿命。
目前离子推力器栅极组件栅极的安装多采用多组栅极绝缘子安装在栅极支撑环上,这种连接方式对零件的加工精度和装配人员要求高,结构复杂,容易产生累积误差。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种离子推力器栅极绝缘连接结构,能够通过一次装配实现各个栅网之间可靠绝缘,栅极间距一致性好,栅孔对中性高。本发明结构简单,装配工艺好。
本发明的离子推力器栅极绝缘连接结构,所述栅极包括屏栅、加速栅和减速栅,连接结构包括:屏蔽帽A、屏蔽帽B、凹形绝缘子A、凸形绝缘子和连接螺栓;其中,屏蔽帽A和屏蔽帽B采用导电材料制成;凹形绝缘子A和凸形绝缘子采用绝缘材料制成;
其中,屏蔽帽A开口朝上,凹形绝缘子A放置在屏蔽帽A内;屏栅固定在屏蔽帽A开口端面,加速栅固定在凹形绝缘子A的端面;
屏蔽帽B开口朝下,减速栅固定在屏蔽帽B开口端面;凸形绝缘子放置在屏蔽帽B内,且凸形绝缘子的凸起与凹形绝缘子A的凹槽相配合;
连接螺栓贯穿屏蔽帽A、屏蔽帽B、凹形绝缘子A和凸形绝缘子并绝缘固定。
较优的,在凹形绝缘子A与屏蔽帽A之间设有栅间距调整垫A,凸形绝缘子与屏蔽帽B之间设有栅间距调整垫B,用于调整栅间距。
较优的,还包括凹形绝缘子B,采用绝缘材料制成;所述凹形绝缘子B放置在屏蔽帽A或屏蔽帽B的外侧,连接螺栓贯穿凹形绝缘子B并固定。
较优的,所述凹形绝缘子B材料为氧化铝陶瓷或氧化锆陶瓷。
较优的,所述屏蔽帽A、屏蔽帽B采用与栅极热膨胀系数相近的材料制成。
较优的,所述屏蔽帽A、屏蔽帽B材料为不锈钢或铜。
较优的,所述凹形绝缘子A、凹形绝缘子B材料为氧化铝陶瓷或氧化锆陶瓷。
本发明还提供了一种采用上述离子推力器栅极绝缘连接结构的栅极装配方法,首先对屏栅与屏蔽帽A,减速栅与屏蔽帽B分别进行固定连接,然后将屏蔽帽A凹面内腔朝上,在屏蔽帽A凹槽放入凹形绝缘子A,再依次放加速栅、凸形绝缘子、减速栅与屏蔽帽B固接组件,最后用连接螺栓贯穿以上部件,并绝缘固定。
有益效果:
(1)本发明结构设计简单,安装方便、经济,能够实现各个栅网之间可靠绝缘,提高栅极使用寿命。栅极栅网之间通过一套绝缘装置实现三栅的绝缘连接,减少了多套绝缘安装造成的累积误差,同时可有效减少栅极热变形造成栅极孔对中精度差的问题。
(2)通过更换栅间距调整垫,易于实现栅间距调整,通用性好。
附图说明
图1为本发明专利连接部位结构剖面示意图。
图2为本发明专利总体示意图。
图3为本发明专利屏蔽帽示意图。
图4为本发明专利凹形绝缘子A示意图。
图5为本发明专利凸形绝缘子示意图。
其中:1-屏栅、2-加速栅、3-减速栅、4-栅间距调整垫B、5-连接螺栓、6-凹形绝缘子B、7-凸形绝缘子、8-屏蔽帽B、9-屏蔽帽A、10-凹形绝缘子A、11-螺母、12-栅间距调整垫A。-
具体实施方式
下面结合附图并举实施例,对本发明进行详细描述。
本发明提供了一种离子推力器栅极绝缘连接结构,如图1和图2所示,离子推力器栅极包括屏栅1、加速栅2、减速栅3;绝缘连接结构包括:屏蔽帽A9、屏蔽帽B8、凹形绝缘子A10、凸形绝缘子7和连接螺栓5。
其中,屏蔽帽A9、屏蔽帽B8帽顶开有1个大安装孔用于安装连接螺栓5,边缘开有4个小安装孔,用于安装屏栅1和减速栅3;屏蔽帽A9、屏蔽帽B8采用导电材料制成,优选与栅极热膨胀系数相近的材料,优选不锈钢或铜。
凹形绝缘子A10、凸形绝缘子7外形成圆柱状,中间都设有连接螺栓5安装用的通孔;凹形绝缘子A10、凸形绝缘子7采用绝缘材料制成,优选氧化铝陶瓷或氧化锆陶瓷。凹形绝缘子A10凹下深度大于凸形绝缘子7凸起尺寸,二者凹凸部位相互配合。
屏蔽帽A9开口朝上,凹形绝缘子A10放置在屏蔽帽A9内;屏栅1固定在屏蔽帽A9的开口端面,加速栅2固定在凹形绝缘子A10的端面;凹形绝缘子A10的高度要高于屏蔽帽A9,其高度差即为屏栅1与加速栅2之间的间距;屏蔽帽B8开口朝下,减速栅3固定在屏蔽帽B8开口端面;凸形绝缘子7放置在屏蔽帽B8内;凸形绝缘子7的凸起与凹形绝缘子A10的凹槽相配合,并压紧加速栅2;凸形绝缘子7的高度要高于屏蔽帽B 8,其高度差即为加速栅2与减速栅3之间的间距。
其中,在凹形绝缘子A10与屏蔽帽A9之间可设置栅间距调整垫A12,凸形绝缘子7与屏蔽帽B8之间可设置栅间距调整垫B4,用于调整栅间距,从而可适用于栅间间距不同的电推力器。
连接螺栓5贯穿屏蔽帽A9、屏蔽帽B8、凹形绝缘子A10和凸形绝缘子7并绝缘固定。
其中,还可以在屏蔽帽A9或屏蔽帽B8的外侧安装凹形绝缘子B6,凹形绝缘子B6采用绝缘材料制成;连接螺栓5贯穿凹形绝缘子B6并固定,实现连接螺栓5与栅极之间的绝缘。
装配时,首先将屏栅1与屏蔽帽A9,减速栅3与屏蔽帽B8分别通过4个小安装孔螺栓固定连接;然后将屏栅1与屏蔽帽A9固接组件的屏蔽帽A9凹面内腔朝上,在屏蔽帽A9凹面内腔依次放入栅间距调整垫A12、凹形绝缘子A10,再依次放加速栅3、凸形绝缘子7、栅间距调整垫B4、减速栅3与屏蔽帽B8固接组件、凹形绝缘子B6;最后用连接螺栓5和螺母11将以上部件连接固定。
综上所述,以上仅为本发明的较佳实施例而已,并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种离子推力器栅极绝缘连接结构,所述栅极包括屏栅(1)、加速栅(2)和减速栅(3),其特征在于,包括:屏蔽帽A(9)、屏蔽帽B(8)、凹形绝缘子A(10)、凸形绝缘子(7)和连接螺栓(5);其中,屏蔽帽A(9)和屏蔽帽B(8)采用导电材料制成;凹形绝缘子A(10)和凸形绝缘子(7)采用绝缘材料制成;
其中,屏蔽帽A(9)和屏蔽帽B(8)的开口相对,凹形绝缘子A(10)放置在屏蔽帽A(9)内;屏栅(1)固定在屏蔽帽A(9)开口端面,加速栅(2)固定在凹形绝缘子A(10)的端面;凸形绝缘子(7)放置在屏蔽帽B(8)内,且凸形绝缘子(7)的凸起与凹形绝缘子A(10)的凹槽相配合;减速栅(3)固定在屏蔽帽B(8)开口端面;
连接螺栓(5)贯穿屏蔽帽A(9)、屏蔽帽B(8)、凹形绝缘子A(10)和凸形绝缘子(7)并绝缘固定。
2.如权利要求1所述的连接结构,其特征在于,在凹形绝缘子A(10)与屏蔽帽A(9)之间设有栅间距调整垫A(12),凸形绝缘子(7)与屏蔽帽B(8)之间设有栅间距调整垫B(4),用于调整栅间距。
3.如权利要求1或2所述的连接结构,其特征在于,还包括凹形绝缘子B(6),采用绝缘材料制成;所述凹形绝缘子B(6)放置在屏蔽帽A(9)或屏蔽帽B(8)的外侧,连接螺栓(5)贯穿凹形绝缘子B(6)并固定。
4.如权利要求3所述的连接结构,其特征在于,所述凹形绝缘子B(6)材料为氧化铝陶瓷或氧化锆陶瓷。
5.如权利要求1所述的连接结构,其特征在于,所述屏蔽帽A(9)、屏蔽帽B(8)采用与栅极热膨胀系数相近的材料制成。
6.如权利要求5所述的连接结构,其特征在于,所述屏蔽帽A(9)、屏蔽帽B(8)材料为不锈钢或铜。
7.如权利要求1所述的连接结构,其特征在于,所述凹形绝缘子A(10)、凹形绝缘子B(6)材料为氧化铝陶瓷或氧化锆陶瓷。
8.一种采用如权利要求1~7任一项所述的离子推力器栅极绝缘连接结构的栅极装配方法,其特征在于,首先对屏栅(1)与屏蔽帽A(9),减速栅(3)与屏蔽帽B(8)分别进行固定连接,然后将屏蔽帽A(9)凹面内腔朝上,在屏蔽帽A(9)凹槽放入凹形绝缘子A(10),再依次放加速栅(3)、凸形绝缘子(7)、减速栅(3)与屏蔽帽B(8)固接组件,最后用连接螺栓(5)贯穿以上部件,并绝缘固定。
CN202011464133.6A 2020-12-14 2020-12-14 一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法 Active CN112696329B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011464133.6A CN112696329B (zh) 2020-12-14 2020-12-14 一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011464133.6A CN112696329B (zh) 2020-12-14 2020-12-14 一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112696329A true CN112696329A (zh) 2021-04-23
CN112696329B CN112696329B (zh) 2022-06-10

Family

ID=75507628

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011464133.6A Active CN112696329B (zh) 2020-12-14 2020-12-14 一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112696329B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113279930A (zh) * 2021-06-30 2021-08-20 哈尔滨工业大学 一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法
CN113982874A (zh) * 2021-11-24 2022-01-28 北京航空航天大学 一种微型离子推力器隔离电极电离室与离子光学引出结构
CN114135456A (zh) * 2021-11-24 2022-03-04 北京航空航天大学 一种微小型离子推力器多孔栅极的定位装置及方法

Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003201957A (ja) * 2001-12-28 2003-07-18 Mitsubishi Electric Corp 多重グリッド光学システム及びその製造方法及びイオンスラスタ
CN1577703A (zh) * 2003-07-22 2005-02-09 株式会社村田制作所 电子束加工装置
CN1661762A (zh) * 2004-02-26 2005-08-31 Tdk株式会社 离子束辐照装置和用于该装置的绝缘隔离物
JP2006079924A (ja) * 2004-09-09 2006-03-23 Tdk Corp イオンビーム照射装置及び当該装置用絶縁スペーサ
US20090309042A1 (en) * 2006-07-20 2009-12-17 Gary Proudfoot Ion sources
JP2010272334A (ja) * 2009-05-21 2010-12-02 Japan Ae Power Systems Corp 電子線照射装置用電子線源
US20120248322A1 (en) * 2011-03-28 2012-10-04 Tokyo Electron Limited Methods of electrical signaling in an ion energy analyzer
CN104343651A (zh) * 2014-09-04 2015-02-11 兰州空间技术物理研究所 一种用于离子推力器栅极组件柔性绝缘体
CN105649906A (zh) * 2015-12-25 2016-06-08 上海空间推进研究所 小孔阵列微型静电式电推力器
US20160260585A1 (en) * 2011-07-11 2016-09-08 Hariharakeshava Sarpangala Hegde Multi-grid assembly in plasma source system and methods for improving same
CN106271006A (zh) * 2016-08-31 2017-01-04 兰州空间技术物理研究所 一种焊接的离子推力器栅极组件
JPWO2014097576A1 (ja) * 2012-12-19 2017-01-12 キヤノンアネルバ株式会社 グリッドアセンブリおよびイオンビームエッチング装置
US20170345964A1 (en) * 2009-06-23 2017-11-30 Intevac, Inc. Ion implant system having grid assembly
CN109755085A (zh) * 2018-12-06 2019-05-14 兰州空间技术物理研究所 一种便于维护和调节的射频离子源装置
CN109899263A (zh) * 2019-04-22 2019-06-18 南华大学 环形离子推力器栅极组件
CN110993474A (zh) * 2019-12-06 2020-04-10 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 用于离子源的栅网装置
CN111005849A (zh) * 2019-11-28 2020-04-14 兰州空间技术物理研究所 一种环形磁钢环切场离子推力器放电室等离子体密封结构
CN113053709A (zh) * 2021-03-12 2021-06-29 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于离子源的条形栅网组件

Patent Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003201957A (ja) * 2001-12-28 2003-07-18 Mitsubishi Electric Corp 多重グリッド光学システム及びその製造方法及びイオンスラスタ
CN1577703A (zh) * 2003-07-22 2005-02-09 株式会社村田制作所 电子束加工装置
CN1661762A (zh) * 2004-02-26 2005-08-31 Tdk株式会社 离子束辐照装置和用于该装置的绝缘隔离物
JP2006079924A (ja) * 2004-09-09 2006-03-23 Tdk Corp イオンビーム照射装置及び当該装置用絶縁スペーサ
US20090309042A1 (en) * 2006-07-20 2009-12-17 Gary Proudfoot Ion sources
JP2010272334A (ja) * 2009-05-21 2010-12-02 Japan Ae Power Systems Corp 電子線照射装置用電子線源
US20170345964A1 (en) * 2009-06-23 2017-11-30 Intevac, Inc. Ion implant system having grid assembly
US20120248322A1 (en) * 2011-03-28 2012-10-04 Tokyo Electron Limited Methods of electrical signaling in an ion energy analyzer
US20160260585A1 (en) * 2011-07-11 2016-09-08 Hariharakeshava Sarpangala Hegde Multi-grid assembly in plasma source system and methods for improving same
JPWO2014097576A1 (ja) * 2012-12-19 2017-01-12 キヤノンアネルバ株式会社 グリッドアセンブリおよびイオンビームエッチング装置
CN104343651A (zh) * 2014-09-04 2015-02-11 兰州空间技术物理研究所 一种用于离子推力器栅极组件柔性绝缘体
CN105649906A (zh) * 2015-12-25 2016-06-08 上海空间推进研究所 小孔阵列微型静电式电推力器
CN106271006A (zh) * 2016-08-31 2017-01-04 兰州空间技术物理研究所 一种焊接的离子推力器栅极组件
CN109755085A (zh) * 2018-12-06 2019-05-14 兰州空间技术物理研究所 一种便于维护和调节的射频离子源装置
CN109899263A (zh) * 2019-04-22 2019-06-18 南华大学 环形离子推力器栅极组件
CN111005849A (zh) * 2019-11-28 2020-04-14 兰州空间技术物理研究所 一种环形磁钢环切场离子推力器放电室等离子体密封结构
CN110993474A (zh) * 2019-12-06 2020-04-10 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 用于离子源的栅网装置
CN113053709A (zh) * 2021-03-12 2021-06-29 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于离子源的条形栅网组件

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
YONG-SUNG CHO;: "Analysis of Ion Beam Generated from Sheath Field of Grid Electrode and Its Application", 《 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLASMA SCIENCE》 *
周志成等: "20cm口径离子推力器寿命模型及评估", 《真空科学与技术学报》 *
孙明明等: "不同环境温度对30cm离子推力器三栅极组件的离子刻蚀速率影响分析", 《推进技术》 *
袁杰红等: "离子推力器栅极组件热态间距测量系统研制", 《国防科技大学学报》 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113279930A (zh) * 2021-06-30 2021-08-20 哈尔滨工业大学 一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法
CN113279930B (zh) * 2021-06-30 2022-07-12 哈尔滨工业大学 一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法
CN113982874A (zh) * 2021-11-24 2022-01-28 北京航空航天大学 一种微型离子推力器隔离电极电离室与离子光学引出结构
CN114135456A (zh) * 2021-11-24 2022-03-04 北京航空航天大学 一种微小型离子推力器多孔栅极的定位装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN112696329B (zh) 2022-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112696329B (zh) 一种离子推力器栅极绝缘连接结构及装配方法
JP4865815B2 (ja) かご型避雷器
US3324272A (en) Termination of insulators
US3809795A (en) Means for adjusting a conductor in high voltage electrical equipment
CN101924328B (zh) 堆栈式多间隙气体开关
US4700069A (en) Mass spectrometer of a quadrupole electrode type comprising a divided electrode
EP2618341A2 (en) High voltage bushing assembly
CN201364781Y (zh) 750kV交流超高压户外棒形支柱瓷绝缘子
US6849846B2 (en) Precision multiple electrode ion mirror
CN116733704A (zh) 一种离子推力器力学增强型碳碳栅极组件
CN111140451B (zh) 一种热应力自适应栅极组件及其制作方法
EP2626869A2 (en) Corona resistant high voltage bushing assembly
JPH0384839A (ja) 多段加速方式荷電粒子線加速装置
CN107795445A (zh) 一种环形磁钢环切场离子推力器结构和主支撑环
US4054813A (en) Triggered spark-gap discharger
US3252038A (en) Spark gap devices
CN205489002U (zh) 一种阵列微空心阴极放电触发的气体开关
US4232244A (en) Compact, maintainable 80-KeV neutral beam module
CN215815424U (zh) 用于气体绝缘系统的间隔组件以及气体绝缘系统
US11955781B2 (en) Switching device with reduced partial discharge and improved triple point characteristics
CN113482870B (zh) 一种双栅极结构的碳纳米管气体场电离推力器
CN108493080A (zh) 用于降低电子截获的场发射高精度双栅结构及其加工方法
CN207183211U (zh) 一种大束流注入机电弧室
CN217767996U (zh) 一种特高压套管用屏蔽装置
CN115000814A (zh) 用于高功率气体开关的绝缘外壳及其成型模具、制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant