CN207183211U - 一种大束流注入机电弧室 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及大束流注入机技术领域，为解决螺纹孔绝缘子易破碎报销，难以重复使用的问题，公开了一种大束流注入机电弧室，其特点是：它包括两根反射极螺丝、单头通孔绝缘子A、单头通孔绝缘子B、单头通孔绝缘子C、双头绝缘子螺母、双头通孔绝缘子、灯丝护板、两根灯丝螺丝、反射极石墨、反射极护板、两个端板、后板、前板、灯丝、顶板和底板。本实用新型采用单头通孔绝缘子、双头通孔绝缘子和双头绝缘子螺母用于反射极螺丝和灯丝螺丝的绝缘保护，起到良好的绝缘保护作用，同时螺纹的去除能够防止其在高温条件下烧结至螺丝上，降低螺丝的使用寿命；拆接方便，能够保证绝缘材料的完整性，保证其重复使用性，增加使用寿命；降低了材料成本，同时也降低了返工率。

Description

一种大束流注入机电弧室

技术领域

本实用新型涉及大束流注入机技术领域，具体涉及一种大束流注入机电弧室。

背景技术

大束流注入机是利用高能量粒子轰击杂质原子或分子,使被掺杂的元素原子或分子电离,通过加速后，将离子直接打进半导体内部去，形成PN结。目前，较为常用的NV10-160、NV10-80以及GSD-A80大束流注入机，其电弧室采用多个单头螺丝陶瓷绝缘子和双头螺纹孔陶瓷绝缘子，在高达1200℃的电弧室高温下容易烧结在螺丝上，保养拆卸过程中极易出现碎裂报废，难以重复使用；碎裂的陶瓷附着在反射极螺丝上，造成反射极螺丝的不可重复使用。

实用新型内容

针对现有技术中的问题，本实用新型提供一种大束流注入机的电弧室，解决螺旋孔绝缘子易损坏，难以重复使用的问题，大大提高了拆接方便性，提高了使用寿命，降低了返工率。

为实现以上技术目的，本实用新型的技术方案是：一种大束流注入机电弧室，其特点是：它包括两根反射极螺丝、单头通孔绝缘子A、单头通孔绝缘子B、单头通孔绝缘子C、双头绝缘子螺母、双头通孔绝缘子、灯丝护板、两根灯丝螺丝、反射极石墨、反射极护板、两个端板、后板、前板、灯丝、顶板和底板；所述两个端板、后板和前板合围成矩形框架，所述矩形框架与顶板和底板形成电弧室框架，所述两个端板分为左侧端板和右侧端板，所述左侧端板右侧依次设置有反射极护板和反射极石墨，所述反射极护板两端卡接在后板和前板上，所述两根反射极螺丝均向左依次穿过左侧端板及反射极护板，与反射极石墨固定相接，所述反射极螺丝与左侧端板之间通过对接固定的单头通孔绝缘子A和单头通孔绝缘子B绝缘固定；所述右侧端板左侧设置有灯丝护板，所述灯丝螺丝包括第一灯丝螺丝和第二灯丝螺丝，所述第一灯丝螺丝依次穿过灯丝护板上部和右侧端板上部，所述第一灯丝螺丝位于右侧端板一侧的杆部套接有单头通孔绝缘子C，位于灯丝护板和右侧端板之间的杆部套接有双头绝缘子螺母，所述第二灯丝螺丝依次 穿过灯丝护板上部和右侧端板上部，所述第二灯丝螺丝位于右侧端板一侧的杆部套接有单头通孔绝缘子C，位于灯丝护板和右侧端板之间的杆部套接有双头通孔绝缘子，位于灯丝护板左侧的第一灯丝螺丝端部和第二灯丝螺丝端部之间连接有灯丝。

作为优选，所述反射极螺丝采用双头螺杆，所述双头螺杆的一端拧接在反射极石墨块上。

作为改进，所述双头螺杆中部沿外周面设有台阶，所述反射极护板和反射极石墨分别卡接在台阶的两侧，使得反射极护板与反射极石墨之间具有间隙。

进一步的改进，所述间隙的宽度为13.0-13.2mm。

作为优选，所述双头通孔绝缘子穿出灯丝护板的端部与灯丝护板之间的距离为1.5mm。

作为优选，所述端板与后板和前板之间均采用绝缘螺丝固定。

从以上描述可以看出，本实用新型具备以下优点：

(1)本实用新型采用单头通孔绝缘子、双头通孔绝缘子和双头绝缘子螺母用于反射极螺丝和灯丝螺丝的绝缘保护，起到良好的绝缘保护作用，同时螺纹的去除能够防止其在高温条件下烧结至螺丝上，降低螺丝的使用寿命；拆接方便，能够保证绝缘材料的完整性，保证其重复使用性，增加使用寿命；降低了材料成本，同时也降低了返工率。

(2)本实用新型采用反射极双头螺杆作为反射极螺丝，能够直接将反射极螺丝拧接在反射极石墨上，增加反射极螺丝与反射极石墨的连接稳固性；反射极螺丝上设置台阶，并采用台阶限定反射极石墨与端板之间的距离为13.0-13.2mm，定位更加精准，提高了成品的质量，降低返工率。

(3)本实用新型采用双头通孔陶瓷绝缘子穿过灯丝护板的固定长度来精确保证灯丝螺丝帽与灯丝护板间的间距，减少了安装过程中的繁琐调节，保证了安装的简便性以及低返工率。

附图说明

图1是本实用新型实施例的框架结构示意图；

图2是本实用新型实施例的俯视截面结构示意图；

图3是本实用新型实施例中的双头通孔绝缘子示意图；

图4是本实用新型实施例中的单头通孔绝缘子示意图；

图5是本实用新型实施例中的双头绝缘子螺母示意图；

图6是本实用新型实施例中的反射极螺丝示意图。

附图标记：1、反射极螺丝；1-1、台阶；2、单头通孔绝缘子A；3、单头通孔绝缘子B；4、单头通孔绝缘子C；5、双头绝缘子螺母；6、双头通孔绝缘子；7、灯丝护板；8、灯丝螺丝；8-1、第一灯丝螺丝；8-2、第二灯丝螺丝；9、反射极石墨；10、反射极护板；11、端板；11-1、左侧端板；11-2、右侧端板；12、后板；13、前板；14、灯丝；15、顶板；16、底板。

具体实施方式

结合图1至图6，详细说明本实用新型的一个具体实施例，但不对本实用新型的权利要求做任何限定。

如图1至图5所示，一种大束流注入机电弧室，其特点是：它包括两根反射极螺丝1、单头通孔绝缘子A2、单头通孔绝缘子B3、单头通孔绝缘子C4、双头绝缘子螺母5、双头通孔绝缘子6、灯丝护板7、两根灯丝螺丝8、反射极石墨9、反射极护板10、两个端板11、后板12、前板13、灯丝14、顶板15和底板16；所述两个端板11、后板12和前板13合围成矩形框架，所述矩形框架与顶板15和底板16形成电弧室框架，所述两个端板11分为左侧端板11-1和右侧端板11-2，所述左侧端板11-1右侧依次设置有反射极护板10和反射极石墨9，所述反射极护板10两端卡接在后板12和前板13上，所述两根反射极螺丝1均向左依次穿过左侧端板11-1及反射极护板10，与反射极石墨9固定相接，所述反射极螺丝1与左侧端板11-1之间通过对接固定的单头通孔绝缘子A2和单头通孔绝缘子B3绝缘固定；所述右侧端板11-2左侧设置有灯丝护板7，所述灯丝螺丝8包括第一灯丝螺丝8-1和第二灯丝螺丝8-2，所述第一灯丝螺丝8-1依次穿过灯丝护板7上部和右侧端板11-2上部，所述第一灯丝螺丝8-1位于右侧端板11-2一侧的杆部套接有单头通孔绝缘子C4，位于灯丝护板7和右侧端板11-2之间的杆部套接有双头绝缘子螺母5，所述第二灯丝螺丝8-2依次穿过灯丝护板7上部和右侧端板11-2上部，所述第二灯丝螺丝8-2位于右侧端板11一侧的杆部套接有单头通孔绝缘子C4，位于灯丝护板7和右侧端板11-2之间的杆部套接有双头 通孔绝缘子6，位于灯丝护板左侧的第一灯丝螺丝8-1端部和第二灯丝螺丝8-2端部之间连接有灯丝14。

所述双头通孔绝缘子6穿出灯丝护板7的端部与灯丝护板7之间的距离为1.5mm。

本实用新型采用双头通孔结构穿过灯丝护板的长度为1.5mm，通过单头通孔绝缘子拧紧即可精确保证了灯丝螺丝帽与灯丝护板之间的间隙为1.5mm，解决了现有技术中灯丝螺丝帽与灯丝护板间隙难以调节，容易造成灯丝与护板间的短路漏电的问题，降低了返工率。

如图6所示，所述反射极螺丝1采用双头螺杆，所述双头螺杆的一端拧接在反射极石墨块9上。

所述双头螺杆中部沿外周面设有台阶1-1，所述反射极护板10和反射极石墨9分别卡接在台阶的两侧，使得反射极护板10与反射极石墨9之间具有间隙。

所述间隙的宽度为13.0-13.2mm。

本实用新型采用具有台阶的反射极双头螺杆分别连接反射极石墨与端板，利用单头通孔绝缘子固定，台阶的间距为13.0-13.2mm，能够保证反射极石墨块与端板间的距离的精确度，解决了现有技术的间距调节繁琐，难以准确调节，易造成短路漏电，造成返工的问题，同时采用螺纹的方式连接，大大提高了安装的方便性和重复利用率。

所述端板11与后板12和前板13之间均采用绝缘螺丝固定。

综上所述，本实用新型具有以下优点：

1.采用单头通孔绝缘子、双头绝缘子螺母和双头通孔绝缘子用于护板和端板间的绝缘分离，拆接方便，完整性好，重复利用率高，降低了成本要求与返工率。

2.采用带有台阶的反射极双头螺杆能够精确定位反射极石墨与端板的距离，大大降低了装配繁琐性，解决短路问题，降低返工率。

3、本实用新型安装简便快捷，返工率低，材料成本低廉，可重复使用性高。

可以理解的是，以上关于本实用新型的具体描述，仅用于说明本实用新型而并非受限于本实用新型实施例所描述的技术方案。本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种大束流注入机电弧室，其特征在于：它包括两根反射极螺丝(1)、单头通孔绝缘子A(2)、单头通孔绝缘子B(3)、单头通孔绝缘子C(4)、双头绝缘子螺母(5)、双头通孔绝缘子(6)、灯丝护板(7)、两根灯丝螺丝(8)、反射极石墨(9)、反射极护板(10)、两个端板(11)、后板(12)、前板(13)、灯丝(14)、顶板(15)和底板(16)；所述两个端板(11)、后板(12)和前板(13)合围成矩形框架，所述矩形框架与顶板(15)和底板(16)形成电弧室框架，所述两个端板(11)分为左侧端板(11-1)和右侧端板(11-2)，所述左侧端板(11-1)右侧依次设置有反射极护板(10)和反射极石墨(9)，所述反射极护板(10)两端卡接在后板(12)和前板(13)上，所述两根反射极螺丝(1)均向左依次穿过左侧端板(11-1)及反射极护板(10)，与反射极石墨(9)固定相接，所述反射极螺丝(1)与左侧端板(11-1)之间通过对接固定的单头通孔绝缘子A(2)和单头通孔绝缘子B(3)绝缘固定；所述右侧端板(11-2)左侧设置有灯丝护板(7)，所述灯丝螺丝(8)包括第一灯丝螺丝(8-1)和第二灯丝螺丝(8-2)，所述第一灯丝螺丝(8-1)依次穿过灯丝护板(7)上部和右侧端板(11-2)上部，所述第一灯丝螺丝(8-1)位于右侧端板(11-2)一侧的杆部套接有单头通孔绝缘子C(4)，位于灯丝护板(7)和右侧端板(11-2)之间的杆部套接有双头绝缘子螺母(5)，所述第二灯丝螺丝(8-2)依次穿过灯丝护板(7)上部和右侧端板(11-2)上部，所述第二灯丝螺丝(8-2)位于右侧端板(11)一侧的杆部套接有单头通孔绝缘子C(4)，位于灯丝护板(7)和右侧端板(11-2)之间的杆部套接有双头通孔绝缘子(6)，位于灯丝护板左侧的第一灯丝螺丝(8-1)端部和第二灯丝螺丝(8-2)端部之间连接有灯丝(14)。

2.根据权利要求1所述的大束流注入机电弧室，其特征在于：所述反射极螺丝(1)采用双头螺杆，所述双头螺杆的一端拧接在反射极石墨块(9)上。

3.根据权利要求2所述的大束流注入机电弧室，其特征在于：所述双头螺杆中部沿外周面设有台阶(1-1)，所述反射极护板(10)和反射极石墨(9)分别卡接在台阶的两侧，使得反射极护板(10)与反射极石墨(9)之间具有间隙。

4.根据权利要求3所述的大束流注入机电弧室，其特征在于：所述间隙的宽度为13.0-13.2mm。

5.根据权利要求1所述的大束流注入机电弧室，其特征在于：所述双头通孔绝缘子(6)穿出灯丝护板(7)的端部与灯丝护板(7)之间的距离为1.5mm。

6.根据权利要求1所述的大束流注入机电弧室，其特征在于：所述端板(11)与后板(12)和前板(13)之间均采用绝缘螺丝固定。