CN113227709A - 具有微机械的时钟发生系统部件的系统 - Google Patents

具有微机械的时钟发生系统部件的系统 Download PDF

Info

Publication number
CN113227709A
CN113227709A CN201980084865.1A CN201980084865A CN113227709A CN 113227709 A CN113227709 A CN 113227709A CN 201980084865 A CN201980084865 A CN 201980084865A CN 113227709 A CN113227709 A CN 113227709A
Authority
CN
China
Prior art keywords
odr
time base
clock frequency
sensor
frequency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201980084865.1A
Other languages
English (en)
Inventor
T·吉塞尔曼
G·拉梅尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of CN113227709A publication Critical patent/CN113227709A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5776—Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C25/00—Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass
    • G01C25/005—Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass initial alignment, calibration or starting-up of inertial devices
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

一种系统(100)，所述系统具有：时钟发生系统部件(1)，所述时钟发生系统部件具有：微机械振动元件，所述微机械振动元件能够激励以固有频率(f_osc)振动；第一电路装置(2)，所述第一电路装置由所述振动元件的固有频率(f_osc)生成时钟频率(f_odr)，所述时钟频率预先调整为预给定的期望时钟频率(f_odr_nom)；存储装置(4)，所述存储装置用于所述时钟频率(f_odr)与所述期望时钟频率(F_odr_nom)的剩余的偏差(a_odr)，其中，对于所述时钟发生系统部件已单独确定所述偏差(a_odr)；处理装置(10)，所述处理装置基于所生成的时钟频率(f_odr)和所存储的偏差(a_odr)，为所述系统(100)的至少一部分生成参考时基。

Description

具有微机械的时钟发生系统部件的系统
技术领域
本发明涉及一种具有微机械的时钟发生系统部件的系统，尤其是传感器系统。本发明还涉及一种用于运行传感器系统的方法。
背景技术
对于在此讨论的系统来说，重要的是它们包括微机械的时钟发生系统部件。在此，例如这可能涉及微镜，该微镜在投影模块的范畴中被激励成共振振动。在这种情况下，投影模块可以被称为本发明意义上的系统。微机械的时钟发生系统部件的另一示例是微机械的旋转速率传感器，其具有探测质量，探测质量被激励成固有频率振动，以达到测量目的。传感器围绕平行于激励平面和垂直于激励方向定向的轴线的旋转运动可以被检测为垂直于该激励平面的震动质量(seismischen Masse)的偏移，因为这种旋转运动产生相应取向的科里奥利力。这种旋转速率传感器与传感器信号的处理单元一起已经构成本发明意义上的系统。然而，它也可以包括另外的传感器部件和/或具有另外的功能的系统部件。
由振动质量和其弹簧悬挂装置组成的振荡器通常设计为具有高品质(Güte)，以便使用于驱动的能量最小化，并且使振动的稳定性最大化。该振荡器的振动频率随温度和老化非常稳定。然而，结构相同的传感器的固有频率由制造决定地遭受非常大的数值分散(Streuung)。
通常使用振荡器的固有频率以便借此推导输出采样率。在此，通常使用一个分数锁相环(英语：fractional PLL)，其由振荡器的固有频率f_osc以n/m的比例产生一个频率为f_odr(英语：output data rate，输出数据速率)的时钟：
f_odr＝f_osc*n/m
值n和m优选选择为整数，并且通常在旋转速率传感器的调整(英语：trimming)中单独地确定，其方式是：测量f_osc并且计算合适的值n和m，以便使f_odr在期望时钟频率(Soll-Taktfrequenz)f_odr_nom附近的容差带内。所述值通常存储在非易失性存储器中，用于传感器中的调整参数。
由结构决定地，因子n和除数m的绝对大小是有限的，因为大的数值会导致过高的电流消耗和大的芯片面积。然而，n和m的有限值也意味着只能以有限的准确性来设置输出采样率，即与期望时钟频率或者说期望采样频率f_odr_nom有一定的偏差a_odr，例如在一位数的百分比范围内。
例如，对于固有频率f_osc＝25kHz和期望时钟频率f_odr_norm＝6.4kHz，将根据以下公式确定取决于值n的值m：
m＝round(f_osc*n/f_odr_nom)
在该示例中，对于所选择的值n＝8得到值m：
m＝round(25kHz*8/6.4kHz)＝round(31.25)＝31
然而，值m＝31导致实际输出采样率f_odr＝6.452kHz，其比期望采样率高约0.8％。偏差a_odr定义如下：
a_odr＝f_odr/f_odr_nom
在上述示例中，
a_odr＝6.452kHz/6.4kHz＝1.008
在处理所测量的旋转速率信号时，通常会对旋转速率测量值进行积分，例如作为通过角位置确定空间中定向的算法的一部分。例如，该定向可以通过横摇角、俯仰角和航向角(英语：roll,pitch,heading)来描述。如果通过将旋转率测量值与时间间隔1/f_odr_nom的乘积求和(aufsummieren)来进行积分，但实际采样率f_odr与f_odr_nom不同，则这会导致积分值遭受误差因子a_odr。
虽然该误差在传统上是可以接受的，但它的缺点是积分结果的不准确性。
为了避免该问题，在实践中，例如使用另一时间标准(例如石英振荡器)来测量传感器采样率与期望值的偏差，以便将此偏差考虑在内作为传感器值的积分中对时间常数的校正。其缺点是需要单独的频率标准，测量提高系统的复杂性且部分地本身也具有不准确性。
发明内容
本发明所基于的构思在于使用微机械时钟发生系统部件，以便为系统或系统的至少一部分生成部分独立的、高准确的参考时基。该参考时基有利地与时钟发生系统部件的部件单独的固有频率独立，并且也与借助电路装置由固有频率生成的时钟频率f_odr独立。为此，根据本发明，提供时钟频率f_odr与预给定的期望时钟频率f_odr_nom的部件单独的偏差a_odr。该偏差a_odr通常在时钟发生系统部件的制造过程结束时确定。
根据第一方面，该任务通过一种具有时钟发生系统部件的系统来实现，所述系统具有时钟发生系统部件，
-所述时钟发生系统部件具有微机械振动元件，所述微机械振动元件可被激励成以固有频率进行振动，
-所述时钟发生系统部件具有第一电路装置，所述第一电路装置由振动元件的固有频率生成时钟频率，该时钟频率被预先调整到预给定的期望时钟频率；
-存储装置，所述存储装置用于时钟频率与期望时钟频率的剩余的偏差，其中，对于时钟发生系统部件已单独确定偏差；
-处理装置，所述处理装置基于所生成的时钟频率和所存储的偏差生成用于系统的至少一部分的参考时基。
根据第二方面，该任务通过一种用于运行具有微机械旋转速率传感器的传感器系统的方法来实现，在该微机械旋转速率传感器的传感器结构中构造有至少一个振动元件，
-其中，振动元件被激励成以固有频率进行振动，用于进行测量信号检测，
-其中，由振动元件的固有频率生成时钟频率，该时钟频率被预先调整到预给定的期望时钟频率，并且确定用于旋转速率传感器的传感器数据的输出采样率，
其特征在于，
-提供对于旋转速率传感器而言单独的、时钟频率与期望时钟频率的剩余的偏差，
-基于所生成的时钟频率和所存储的偏差生成用于传感器系统的至少一部分的参考时基。
该系统的有利的扩展方案是每个从属权利要求的主题。
该系统的一种有利的扩展方案的特征在于，系统构造为传感器系统，其中，具有微机械传感器结构的旋转速率传感器用作时钟发生系统部件，
-其方式是：在传感器结构中构造至少一个振动元件，所述至少一个振动元件被激励成以固有频率进行振动，用于进行测量信号检测；
-其方式是：设置电路装置，该电路装置由固有频率生成时钟频率，该时钟频率确定用于旋转速率传感器的传感器数据的输出采样率；
-处理装置设计用于，基于参考时基处理传感器数据。
该系统的另一有利的扩展方案的特征在于，用于生成时钟频率的电路装置包括至少一个锁相环。以这种方式能够产生具有高准确性的时钟频率。
该系统的另一有利的扩展方案的特征在于，时钟发生系统部件和/或处理装置配备有用于偏差的存储装置。由此能够为后续的使用提供该偏差。
该系统的另一有利的扩展方案的特征在于，时钟发生系统部件和/或处理装置能够访问用于偏差的外部存储装置。以这种方式，偏差构造成有利地为也能够从外部访问。
该系统的另一有利的扩展方案的特征在于，设置至少一个另外的系统部件，所述至少一个另外的系统部件生成独立的时基，并且另外的系统部件的独立的时基能够基于参考时基来校准和/或校正。由此能够有利地以非常高的准确性运行另外的系统部件。
该系统的另一有利的扩展方案的特征在于，设置具有第二电路装置的至少一个振荡器部件，第二电路装置用于生成具有预给定频率的输出信号，其中，电路装置的设计以参考时基为基础。以这种方式，能够非常准确地生成具有预给定频率的输出信号。
该方法的另一有利的扩展方案的特征在于，基于参考时基处理旋转速率传感器的传感器数据，尤其是求取旋转速率传感器的相对空间定向，其方式是：在考虑时钟频率和偏差的情况下对旋转速率传感器的传感器数据求积分(aufintegriert)。由此，能够有利地提供传感器的非常准确的传感性能。
该方法的另一有利的扩展方案的特征在于，使用参考时基以便校准和/或校正由另外的系统部件生成的独立的时基。由此能够非常准确地构造由另外的系统部件生成的独立的时基。
该方法的另一有利的扩展方案的特征在于，独立的时基的校准和/或校正在旋转速率传感器的传感器运行期间的可选的时刻进行。由此支持旋转速率传感器的省电的运行。
该方法的另一有利的扩展方案的特征在于，旋转速率传感器被激活专门用于独立的时基的校准和/或校正。以这种方式同样支持旋转速率传感器的省电的运行。
该系统的另一有利的扩展方案的特征在于，使用参考时基，以便调节振荡器部件的输出信号的频率。由此能够非常准确地提供振荡器部件的输出信号的频率。
附图说明
以下基于多个附图详细描述本发明以及本发明的其他特征和优点。相同或功能相同的元件在附图中具有相同的附图标记。
公开的方法特征类似地由相应的公开的设备特征得出，反之亦然。这尤其意味着，与系统相关的特征、技术优点和实施方式以类似的方式由关于系统的实施方式、特征、优点，由关于用于运行传感器系统的方法的实施方式、特征、优点得出，反之亦然。为简单起见，图中仅阐述相对先前附图的变化。
在附图中示出：
图1示出常规的系统；
图2示出所提出的系统的第一实施方式；
图3示出所提出的系统的第二实施方式；
图4示出所提出的系统的第三实施方式。
具体实施方式
借助根据本发明的系统有利地实现，在处理旋转速率测量值时，考虑通过分数锁相环产生采样率时出现的偏差因子，而为此无需另外的频率标准。在此应能够使用MEMS振荡器的高准确性和稳定性。
借助本发明有利地能够实现，在制造期间在调整旋转速率传感器时已经确定和存储部件单独的偏差aodr，其中，该值能够提供给传感器数据处理中的后续的使用。
所提出的系统和方法的优点在于，
-提高传感器数据处理的准确性，为此无需另外的时间标准，
-通过MEMS振荡器，还能够为传感器数据处理或时间/频率测量的另外的目的提供高准确的时基，而无需附加的成本。
图1示出传感器系统形式的常规的系统100。系统100包括旋转速率传感器元件1作为时钟发生系统部件1，其配备有第一电路装置2，其中，第一电路装置2包括PLL，并且还包括具有用于PLL的值的寄存器，由此，由时钟发生系统部件的振动频率产生时钟频率或者说输出数据速率f_odr，其应理解为传感器信号的采样率。
将信号借助输出元件4以输出数据速率f_odr输出给处理装置10。
图2示出构造为传感器系统的根据本发明的系统100的第一实施方式。在该变型中，可以看到第一存储装置5，偏差a_odr存储在该存储装置中并且可以被提供给处理装置10。在图2所示的实施例中，所述存储装置是时钟发生系统部件1(即旋转速率传感器元件)的组成部分。处理装置10可以构造为主机系统(例如应用处理器)，其将旋转速率信号与输出数据速率同步地求积分，即求和，并借助偏差a_odr对其进行校正。
偏差a_odr是在旋转速率传感器的制造过程中一次性地求取的部件单独的因子。
旋转速率传感信号例如可以用于确定定位，其方式是：在时间上将传感器信号的采样值相加。如果实际采样周期Δt_real＝1/f_odr在此偏离期望采样周期Δt_nom＝1/f_odr_nom，则会导致误差，该误差能够通过已知的偏差a_odr以下述方式进行校正。
算法中的校正例如在空间轴中以下述方式进行：
Figure BDA0003120882770000061
Δt_real＝1/f_odr
Δt_nom＝1/f_odr_nom
f_odr＝f_odr_nom*a_odr
Figure BDA0003120882770000071
Figure BDA0003120882770000072
其中，
Figure BDA0003120882770000073
一定量的旋转速率值ω的角度和
Δt_real 实际采样周期
Δt_nom 期望采样周期
f_odr 实际采样频率
f_odr_nom 期望采样频率
a_odr 采样频率的偏差因子。
图3示出所提出的系统100的另一实施方式。
在这种情况下，设置外部的第二存储装置20，借助该第二存储装置能够存储偏差a_odr，并且能够将所述偏差提供给处理装置10。外部存储装置20可以涉及例如处理装置10的或主机系统的存储器，或涉及具有调整参数的、由制造商提供的数据库，或涉及传感器系统的用户能够访问的云。
图4示出所提出的系统100的另一实施方式。可以看出，在该变型中，同样设置第二外部构造的存储装置20用于保存偏差a_odr。在该实施例中，使用旋转速率传感器1的输出数据速率f_odr，以便借助振荡器30生成时基，该时基用作旋转速率传感器信号的处理的基础，但也能够在系统的其他部位使用。附加地，偏差a_odr被提供给振荡器30，使得由振荡器30生成的时基虽然从旋转速率传感器元件的部件单独的固有频率推导出，但与此独立。振荡器30的时基被提供给处理装置10，其中，处理装置10使得旋转速率传感器信号的积分以如此校正的振荡器频率为基础。
偏差a_odr不是在进行传感器数据处理的算法中直接使用，而是用于校准或补偿独立的时基，例如用于校准以传感器集线器(Sensorhub)(例如用于处理传感器数据的微控制器)形式的下游的处理设备10中的不准确的RC振荡器。
这具有如下优点：时基的准确性不仅可以用于旋转速率信号的处理，还可以用于其他传感器数据的处理。
必要时，振荡器30还可以为另外的系统部件、例如传感器或处理单元40供给独立的时基。
振荡器30也可以构造为具有分频比n1/m1的准确的分数PLL或FLL(英语Frequencylocked Loop，锁频环)，以便为下游的构件40提供具有高准确频率的输出信号。在这种情况下，使用偏差a_odr，以便基于传感器的输出采样率f_odr和偏差a_odr来产生准确的频率信号。在此，对准确的分数PLL或FLL的分频比n1/m1以值a_odr校正。
以这种方式，例如能够产生用于无线电发射器和/或无线电接收器(例如蓝牙)的频率标准，或用于串行接口模块(UART、USB等)的运行的频率标准，而为此无需另外的石英(Quarze)。
在构造为传感器系统的系统100的另一实施方式中，独立的时基仅在旋转速率传感器接通时才被校准。当旋转速率传感器关断时，独立的时基继续以其固有的准确性运行。这种变型是有利的，因为旋转速率传感器具有相对较高的电流消耗(例如950μA)，这比基于RC振荡器的时基的电流消耗(例如300nA)高几个数量级。此外，如果要处理旋转速率传感器信号，然后由此优先地提供时基的高准确性。
根据应用情况，在随便什么时候需要高准确性时，即使这不一定用于旋转速率信号的处理，也能够选择性地接通旋转速率传感器以便校准独立的时基。
尽管系统100通常一直被公开为以下旋转速率传感器系统：借助旋转速率传感器系统能够补偿调整误差以确定用于传感器信号的处理的高准确的时基；但也可以设想，时钟发生系统部件1是微镜，且系统100构造为光学系统，例如微投影仪系统。

Claims (13)

1.一种系统(100)，所述系统具有：
时钟发生系统部件(1)，所述时钟发生系统部件具有微机械振动元件和第一电路装置(2)，其中，所述微机械振动元件能够被激励以固有频率(f_osc)进行振动，且所述第一电路装置由所述振动元件的固有频率(f_osc)生成如下的时钟频率(f_odr)：所述时钟频率被预先调整到预给定的期望时钟频率(f_odr_nom)；
存储装置(4)，所述存储装置用于所述时钟频率(f_odr)与所述期望时钟频率(f_odr_nom)的剩余的偏差(a_odr)，其中，对于所述时钟发生系统部件已单独地确定所述偏差(a_odr)；
处理装置(10)，所述处理装置基于所生成的时钟频率(f_odr)和所存储的偏差(a_odr)生成用于所述系统(100)的至少一部分的参考时基。
2.根据权利要求1所述的系统(100)，其特征在于，所述系统(100)构造为传感器系统，其中，具有微机械传感器结构的旋转速率传感器用作所述时钟发生系统部件(1)，
其方式是：在所述传感器结构中构造有至少一个振动元件，所述至少一个振动元件被激励成以固有频率(f_osc)进行振动，用于进行测量信号检测；
其方式是：设置所述第一电路装置(2)，所述第一电路装置由所述固有频率(f_osc)生成时钟频率(f_odr)，所述时钟频率确定用于所述旋转速率传感器的传感器数据的输出采样率，并且所述处理装置(10)设计用于基于所述参考时基处理所述传感器数据。
3.根据权利要求1或2所述的系统(100)，其特征在于，用于生成所述时钟频率(f_odr)的所述第一电路装置(2)包括至少一个锁相环(PLL)。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的系统(100)，其特征在于，所述时钟发生系统部件(1)和/或所述处理装置(10)具有用于所述偏差(a_odr)的第一存储装置(5)。
5.根据以上权利要求中任一项所述的系统(100)，其特征在于，所述时钟发生系统部件(1)和/或所述处理装置(10)能够访问用于所述偏差(a_odr)的外部的第二存储装置(20)。
6.根据以上权利要求中任一项所述的系统(100)，其特征在于，设有至少一个另外的系统部件，所述另外的系统部件生成独立的时基，并且所述另外的系统部件的独立的时基能够基于所述参考时基来校准和/或校正。
7.根据以上权利要求中任一项所述的系统(100)，其特征在于，设有具有第二电路装置的至少一个振荡器部件，所述第二电路装置用于生成具有预给定频率的输出信号，其中，所述电路装置的设计以所述参考时基为基础。
8.一种用于运行具有微机械旋转速率传感器的传感器系统的方法，在所述微机械旋转速率传感器的传感器结构中构造有至少一个振动元件，
其中，将所述振动元件激励成以固有频率(f_osc)进行振动，用于进行测量信号检测，
其中，由所述振动元件的固有频率(f_osc)生成如下的时钟频率(f_odr)：所述时钟频率被预先调整到预给定的期望时钟频率(f_odr_nom)并且所述时钟频率确定用于所述旋转速率传感器的传感器数据的输出采样率，
其特征在于，
提供对于所述旋转速率传感器而言单独的、所述时钟频率(f_odr)与所述期望时钟频率(f_odr_nom)的剩余的偏差(a_odr)，
基于所生成的时钟频率(f_odr)和所存储的偏差(a_odr)生成用于所述传感器系统的至少一部分的参考时基。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，基于所述参考时基处理所述旋转速率传感器的传感器数据，尤其是求取所述旋转速率传感器的相对空间定向，其方式是：在考虑所述时钟频率(f_odr)和所述偏差(a_odr)的情况下对所述旋转速率传感器的传感器数据求积分。
10.根据权利要求8或9中任一项所述的方法，其特征在于，使用所述参考时基，以便校准和/或校正由另外的系统部件生成的独立的时基。
11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述独立的时基的校准和/或所述独立的时基的校正在所述旋转速率传感器的传感器运行期间的可选的时刻进行。
12.根据权利要求10或11所述的方法，其特征在于，所述旋转速率传感器被激活专门用于所述独立的时基的校准和/或所述独立的时基的校正。
13.根据权利要求8至12中任一项所述的方法，其特征在于，使用所述参考时基，以便调节振荡器部件的输出信号的频率。
CN201980084865.1A 2018-12-20 2019-12-03 具有微机械的时钟发生系统部件的系统 Pending CN113227709A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018222608.3 2018-12-20
DE102018222608.3A DE102018222608B4 (de) 2018-12-20 2018-12-20 System mit mikromechanischer taktgebender Systemkomponente
PCT/EP2019/083395 WO2020126454A1 (de) 2018-12-20 2019-12-03 System mit mikromechanischer taktgebender systemkomponente

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113227709A true CN113227709A (zh) 2021-08-06

Family

ID=68808336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201980084865.1A Pending CN113227709A (zh) 2018-12-20 2019-12-03 具有微机械的时钟发生系统部件的系统

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11959747B2 (zh)
JP (1) JP7212782B2 (zh)
KR (1) KR20210105944A (zh)
CN (1) CN113227709A (zh)
DE (1) DE102018222608B4 (zh)
TW (1) TW202026598A (zh)
WO (1) WO2020126454A1 (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002185312A (ja) * 2000-12-14 2002-06-28 Citizen Watch Co Ltd Ｐｌｌ圧電発振器の発振周波数調整方法および装置
JP2008507713A (ja) * 2004-07-26 2008-03-13 ビーイーアイ テクノロジーズ インコーポレイテッド 電子的に構成可能な速度センサ回路及び方法
WO2009116262A1 (ja) * 2008-03-18 2009-09-24 パナソニック株式会社 シンセサイザと受信装置
US20120169387A1 (en) * 2010-12-30 2012-07-05 Susumu Hara Oscillator with external voltage control and interpolative divider in the output path
CN105375921A (zh) * 2014-08-27 2016-03-02 硅谷实验室公司 使用基于mems的振荡器的准确频率控制
TW201727261A (zh) * 2016-01-26 2017-08-01 羅伯特博斯奇股份有限公司 以感應器系統計算定位的方法及感應器系統
JP2017227591A (ja) * 2016-06-24 2017-12-28 セイコーエプソン株式会社 信号処理回路、物理量検出装置、姿勢演算装置、電子機器及び移動体

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10062347A1 (de) * 2000-12-14 2002-06-20 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Abgleichen des Phasenregelkreises einer elektronischen Auswertevorrichtung sowie eine elektronische Auswertevorrichtung
JP2010049010A (ja) 2008-08-21 2010-03-04 Kyocera Mita Corp 検査装置及び画像形成装置
US9506757B2 (en) * 2013-03-14 2016-11-29 Invensense, Inc. Duty-cycled gyroscope
US9621170B2 (en) * 2013-08-13 2017-04-11 Silicon Laboratories Inc. Accurate frequency control using a MEMS-based oscillator
DE102015200944A1 (de) * 2015-01-21 2016-07-21 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Berechnung einer Orientierung mit einem Sensorsystem und Sensorsystem

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002185312A (ja) * 2000-12-14 2002-06-28 Citizen Watch Co Ltd Ｐｌｌ圧電発振器の発振周波数調整方法および装置
JP2008507713A (ja) * 2004-07-26 2008-03-13 ビーイーアイ テクノロジーズ インコーポレイテッド 電子的に構成可能な速度センサ回路及び方法
WO2009116262A1 (ja) * 2008-03-18 2009-09-24 パナソニック株式会社 シンセサイザと受信装置
US20120169387A1 (en) * 2010-12-30 2012-07-05 Susumu Hara Oscillator with external voltage control and interpolative divider in the output path
CN105375921A (zh) * 2014-08-27 2016-03-02 硅谷实验室公司 使用基于mems的振荡器的准确频率控制
TW201727261A (zh) * 2016-01-26 2017-08-01 羅伯特博斯奇股份有限公司 以感應器系統計算定位的方法及感應器系統
JP2017227591A (ja) * 2016-06-24 2017-12-28 セイコーエプソン株式会社 信号処理回路、物理量検出装置、姿勢演算装置、電子機器及び移動体

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022513504A (ja) 2022-02-08
DE102018222608B4 (de) 2021-06-10
US11959747B2 (en) 2024-04-16
DE102018222608A1 (de) 2020-06-25
JP7212782B2 (ja) 2023-01-25
WO2020126454A1 (de) 2020-06-25
KR20210105944A (ko) 2021-08-27
US20210364294A1 (en) 2021-11-25
TW202026598A (zh) 2020-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4437699B2 (ja) センサ
US7755441B1 (en) Frequency and temperature compensation synthesis for a MEMS resonator
US20120043999A1 (en) Mems stabilized oscillator
RU2390728C1 (ru) Способ настройки инерциальной навигационной системы с осесимметричным вибрационным датчиком и соответствующая инерциальная навигационная система
EP2482458B1 (en) Oscillation device
US9103845B2 (en) System and method for reducing offset variation in multifunction sensor devices
US20100253437A1 (en) Method and system for using a mems structure as a timing source
KR101302846B1 (ko) 진동 자이로스코프의 작동 방법 및 센서 장치
JP6623616B2 (ja) 回路装置、物理量センサー、発振器、電子機器及び移動体
US20220282971A1 (en) Method for determining, measuring and/or monitoring properties of a sensor system
KR20080045744A (ko) 센서 장치를 모니터링하기 위한 방법 및 시스템
WO2019007337A1 (zh) 频率器件补偿方法、装置、系统及计算机可读存储介质
CN113227709A (zh) 具有微机械的时钟发生系统部件的系统
EP3213030B1 (en) Digital controlled vco for vibrating structure gyroscope
EP2572162B1 (en) Angular rate sensor with improved ageing properties
KR101829027B1 (ko) 코리올리 자이로스코프의 스위치 온 시간의 최적화 방법 및 그에 적합한 코리올리 자이로스코프
CN114894221B (zh) 一种半球谐振陀螺正交耦合误差标定方法
TWI690716B (zh) 以感應器系統計算定向的方法及感應器系統
JP2008309531A (ja) 同期検波信号処理方法および振動ジャイロモジュール
KR101458837B1 (ko) 듀얼매스 자이로스코프의 진동 제어방법
US10466065B2 (en) Method and system for correcting driving amplitude of gyro sensor
KR20060084746A (ko) 통신 시스템에서 알씨 슬립 발진기 보정 방법 및 장치
CN111780735A (zh) Mems陀螺仪驱动幅度校正装置及方法
CN114902014A (zh) 传感器布置以及用于运行传感器布置的方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination