CN113119441A - 脱泡装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种脱泡装置，包括：闸板部，提供用于对粘附有薄膜的基板进行脱泡的脱泡空间；下部框架，配置于闸板部的下侧，用于支撑所述闸板部；上部框架，配置于闸板部的上侧，用于支撑所述闸板部；升降部，使闸板部沿上下方向移动，以使所述闸板部在密闭所述脱泡空间的密闭位置与开放所述脱泡空间的开放位置之间移动；限制部，在限制位置与允许位置之间移动，在所述限制位置，所述限制部通过被所述上部框架支撑而在所述密闭位置限制所述闸板部移动，在所述允许位置，通过解除对所述上部框架的支撑而允许所述闸板部移动；移动部，结合于所述限制部，使所述限制部沿垂直于所述上下方向的方向在所述限制位置与所述允许位置之间移动。

Description

脱泡装置
技术领域
本发明涉及一种脱泡装置，该装置用于去除基板与薄膜之间的气泡。
背景技术
通常，液晶显示器(LCD，Liquid Crystal Display)、有机发光显示器(OLED，Organic Light Emitting Diodes)、等离子显示器(PDP，Plasma Display Panel)、电泳显示器(EPD，Electrophoretic Display)等显示装置以及太阳能电池等，通过各种工序制造而成。这些制造工序中包括在基板(Substrate)上粘附薄膜(Film)的薄膜粘附工序。例如，液晶显示器可以通过在基板上粘附偏光薄膜的薄膜粘附工序制造而成。
在完成这种薄膜粘附工序之后，会进行去除基板与薄膜之间存在的气泡的脱泡工序。在进行这种脱泡工序时，将使用脱泡装置。脱泡装置使通过薄膜粘附工序而粘附有薄膜的基板在高温高压下保持规定时间，从而去除基板与薄膜之间的气泡。
现有技术的脱泡装置包括闸板部和升降部。
所述闸板部提供用于对粘附有薄膜的基板进行脱泡的脱泡空间。所述闸板部能够支撑粘附有薄膜的基板。所述闸板部可以包括多个闸板。此时，所述脱泡空间可以分别位于所述多个闸板之间。
所述升降部用于移动所述闸板部。所述升降部能够使所述闸板部沿上下方向移动，以使所述闸板部在密闭所述脱泡空间的密闭位置与开放所述脱泡空间的开放位置之间移动。在所述开放位置，能够进行从所述脱泡空间卸载粘附有薄膜的基板的卸载工序及向所述脱泡空间装载所述粘附有薄膜的基板的装载工序。
其中，在进行所述脱泡工序时，所述脱泡空间的内部压力增加，所述内部压力沿所述上下方向作用。当所述闸板部受到所述内部压力的影响而在所述密闭位置沿上下方向移动时，会导致所述脱泡空间的密闭解除，因此，会导致完成所述脱泡工序的基板的品质下降。
为了防止该情况发生，现有技术的脱泡装置需要额外的用于限制所述闸板部移动的构件，以在所述密闭位置承受作用于所述脱泡空间的内部压力。然而，在现有技术的脱泡装置中，额外的构件承受所述内部压力的耐受力差，因此，难以为所述脱泡工序营造稳定的工艺环境。另外，在现有技术的脱泡装置中，额外的构件沿与所述闸板部的移动方向相同的所述上下方向移动，以限制所述闸板部的移动。因此，现有技术的脱泡装置在所述上下方向上的整体尺寸增加，因而难以实现小型化。
发明内容
技术问题
本发明旨在解决上述问题，其提供一种脱泡装置，该脱泡装置能够提高在密闭位置上承受作用于脱泡空间的内部压力的耐受力。
本发明用于提供一种脱泡装置，该脱泡装置便于实现小型化。
技术方案
为了解决上述技术问题，本发明可以包括如下结构。
本发明的脱泡装置可以包括：闸板部，提供用于对粘附有薄膜的基板进行脱泡的脱泡空间；下部框架，配置于所述闸板部的下侧，用于支撑所述闸板部；上部框架，配置于所述闸板部的上侧，用于支撑所述闸板部；升降部，使所述闸板部沿上下方向移动，以使所述闸板部在密闭所述脱泡空间的密闭位置与开放所述脱泡空间的开放位置之间移动；限制部，在限制位置与允许位置之间移动，其中，在所述限制位置，所述限制部通过被所述上部框架支撑而在所述密闭位置限制所述闸板部移动，在所述允许位置，通过解除对所述上部框架的支撑而允许所述闸板部移动；以及移动部，其结合于所述限制部，使所述限制部沿垂直于所述上下方向的方向在所述限制位置与所述允许位置之间移动。
有益效果
本发明能够实现如下效果。
本发明能够提高承受脱泡空间的内部压力的耐受力，从而实现脱泡工序所需的稳定的工艺环境。
本发明能够降低限制部损坏乃至破损的可能性，从而不仅能够减少所述限制部的维修成本，还能够提高所述限制部的运行率。
本发明能够减小上下方向上的整体尺寸，从而便于实现小型化。
附图说明
图1是示出本发明的脱泡装置的闸板部的密闭位置的立体图。
图2是示出本发明的脱泡装置的限制部的允许位置的立体图。
图3是示出本发明的脱泡装置的闸板部的开放位置的立体图。
图4是根据图1中的I-I剖面线示出闸板部的密闭位置的侧剖面图。
图5是根据图3中的II-II剖面线示出闸板部的开放位置的侧剖面图。
图6是本发明的脱泡装置的限制部的立体图。
图7是示出本发明的脱泡装置的限制部的限制位置的侧剖面图。
图8是示出本发明的脱泡装置的限制部的允许位置的侧剖面图。
图9是以图1为基准从侧面观察到的本发明的脱泡装置的侧视图。
图10是以图2为基准从侧面观察到的本发明的脱泡装置的侧视图。
图11是以图3为基准从侧面观察到的本发明的脱泡装置的侧视图。
图12是示出本发明的脱泡装置的连接部的立体图。
图13是示出本发明的脱泡装置的插入部的侧剖面图。
图14是以密闭位置为基准示出本发明的脱泡装置的连接部插入到插入部中的状态的侧剖面图。
图15是以开放位置为基准示出本发明的脱泡装置的连接部插入到插入部中的状态的侧剖面图。
图16示出在闸板部包括下部板的实施例中下侧闸板部件与所述下部板之间的连接结构的主剖面图。
图17是示出本发明的脱泡装置的闸板移动部件朝向前进方向移动的状态的立体图。
图18是示出本发明的脱泡装置的引导部件的局部立体图。
图19是根据图3的III-III剖面线示出的主剖面图。
图20是以图19为基准省略引导部件的图。
图21是为了对夹紧机构进行说明而放大示出图17的A部分的放大图。
附图标记：
1：脱泡装置 2：闸板部
21：上部板 22：闸板部件
221：闸板主体 222：闸板移动部件
223：引导部件 2231：第一引导主体
2232：第一引导滚轮 2233：第二引导主体
2234：第二引导滚轮 224：闸板引导槽
225：闸板引导面 226：闸板支撑槽
227：闸板支撑面 23：夹紧机构
24：下部板 3：升降部
4：限制部 41：限制部件
42：限制面 43：第一旋转部件
44：第二旋转部件 5：移动部
6：密闭部 7：连接部
71：第一连接部件 72：第二连接部件
73：第一支撑部件 74：第二支撑部件
8：插入部 81：第一连接插入孔
82：第二连接插入孔 83：第一连接支撑槽
84：第一连接支撑面 85：第二连接支撑槽
86：第二连接支撑面
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的脱泡装置的实施例进行详细说明。
参照图1至图3，本发明的脱泡装置1用于制造液晶显示器(LCD)、有机发光显示器(OLED)、等离子显示器(PDP)、电泳显示器(EPD)等显示装置、太阳能电池、照明装置等的制造工艺。本发明的脱泡装置1用于进行在所述制造工艺中去除彼此粘合的基板与薄膜之间存在的气泡的脱泡工序。例如，在制造液晶显示器的制造工艺中，本发明的脱泡装置1能够去除彼此粘合的基板与偏光薄膜之间存在的气泡。
为此，本发明的脱泡装置1包括：闸板部2，提供用于对粘附有薄膜的基板200(示于图17)进行脱泡的脱泡空间10(示于图4及图17)；下部框架1B，配置于所述闸板部2的下侧，用于支撑所述闸板部2；上部框架1A，配置于所述闸板部2的上侧，用于支撑所述闸板部2；升降部3，沿上下方向移动所述闸板部2，以使所述闸板部2在密闭所述脱泡空间10的密闭位置CP与开放所述脱泡空间10的开放位置OP之间移动；限制部4，在被所述上部框架1A支撑从而在所述密闭位置CP上限制所述闸板部2移动的限制位置LP与所述上部框架1A的支撑被解除从而允许所述闸板部2移动的允许位置AP之间移动；以及移动部5，使所述限制部4沿垂直于所述上下方向(Z轴方向)的方向在所述限制位置LP与所述允许位置AP之间移动。
所述脱泡空间10位于所述闸板部2。如图1至图5所示，当所述闸板部2包括一个上部板21和多个闸板部件22a、22b时，以上下方向(Z轴方向)为基准，所述脱泡空间10可以位于所述上部板21与所述多个闸板部件22中位于最上侧的上侧闸板部件22b之间的空间以及所述多个闸板部件22a、22b之间的各个空间。如图1所示，当所述闸板部2位于所述密闭位置CP时，所述闸板部2能够密闭所述脱泡空间10。如图3所示，当所述闸板部2位于所述开放位置OP时，所述闸板部2能够开放所述脱泡空间10。在所述开放位置OP，进行从所述脱泡空间10卸载所述粘附有薄膜的基板200的卸载工序以及向所述脱泡空间10装载所述粘附有薄膜的基板的装载工序。如图3所示，一个脱泡空间10能够收纳至少一张所述粘附有薄膜的基板200。所述上侧闸板部件22b可以是所述多个闸板部件22中与所述上部板21邻接的闸板部件。所述上侧闸板部件22b具有与各个所述闸板部件22所具有的所有结构相同的结构。
在本发明的脱泡装置1中，所述限制部4沿垂直于所述上下方向(Z轴方向)的方向在所述限制位置LP与所述允许位置AP之间移动。因此，本发明的脱泡装置1能够实现如下功能效果。
第一，即便在进行所述脱泡工序的过程中所述脱泡空间10的内部压力增加，本发明的脱泡装置1也能够通过所述上部框架1A来支撑所述限制部4，从而承受所述脱泡空间10的内部压力。因此，与所述限制部4直接承受所述脱泡空间10的内部压力的现有技术相比，本发明的脱泡装置1能够提高承受所述脱泡空间10的内部压力的耐受力，从而能够在所述密闭位置CP上为所述脱泡工序营造稳定的工艺环境。另外，本发明的脱泡装置1能够降低所述限制部4直接承受所述脱泡空间10的内部压力所导致的所述限制部4损坏乃至破损的可能性，从而不仅能够减少所述限制部4的维修成本，还能够提高所述限制部4的运行率。
第二，在本发明的脱泡装置1中，所述限制部4沿垂直于所述闸板部2的移动方向的方向移动。例如，当所述闸板部2在所述密闭位置CP与所述开放位置OP之间移动的过程中沿所述上下方向(Z轴方向)移动时，所述限制部4可以沿垂直于所述上下方向(Z轴方向)的前后方向(X轴方向)移动。因此，本发明的脱泡装置1能够减小在所述上下方向(Z轴方向)上的整体尺寸，从而便于实现小型化。
以下，参照附图对所述上部框架1A、所述下部框架1B、所述闸板部2、所述升降部3、所述限制部4以及所述移动部5进行详细说明。本说明书中所记载的术语“上下”、“左右”以及“前后”不是指代特定方向，而是本发明的脱泡装置1的结构的移动方向的一例。
所述上部框架1A(示于图9至图11)位于所述闸板部2的上侧。所述上部框架1A能够朝向下侧方向(DD箭头方向)支撑所述闸板部2。所述下侧方向(DD箭头方向)为本发明的脱泡装置1的整体高度减小的方向，可以是从所述上部框架1A朝向所述下部框架1B的方向。所述上部框架1A可以与所述升降部3结合。
所述下部框架1B(示于图9至图11)位于所述闸板部2的下侧。所述下部框架1B能够朝向上侧方向(UD箭头方向)支撑所述闸板部2。所述上侧方向(UD箭头方向)为本发明的脱泡装置1的整体高度增加的方向，可以是所述下侧方向(DD箭头方向)的反方向。所述下部框架1B可以位于所述多个闸板部件22中位于最下侧的下侧闸板部件22a的下侧。所述下侧闸板部件22a可以具有与各个所述闸板部件22所具有的所有结构相同的结构。
所述下部框架1B可以结合有下部连接板1B0(示于图1至图3)。所述下部连接板1B0从所述下部框架1B凸出地结合于所述下部框架1B。所述下部连接板1B0配置于所述下侧闸板部件22a的下侧。所述下部连接板1B0也可以与所述下部框架1B形成为一体。
虽未图示，但本发明的脱泡装置1可以包括侧面框架。所述侧面框架位于所述闸板部2的侧面。所述上部框架1A与所述下部框架1B能够通过所述侧面框架彼此连接。以所述上下方向(Z轴方向)为基准，所述侧面框架配置于所述上部框架1A与所述下部框架1B之间。
参照图1至图5，所述闸板部2提供用于对所述粘附有薄膜的基板200进行脱泡的脱泡空间10。所述脱泡空间10可以通过在各个所述闸板部件22的上表面加工出规定深度的槽的操作而形成。所述闸板部2可配置于所述上部框架1A与所述下部框架1B之间。所述闸板部2可以配置于所述上部框架1A的所述下侧方向(DD箭头方向)一侧并同时配置于所述下部框架1B的所述上侧方向(UD箭头方向)一侧。
虽未图示，但所述闸板部2上可以设置有加热部件。所述加热部件能够通过供电来发热而对所述粘附有薄膜的基板200进行加热。所述加热部件能够通过对所述脱泡空间10进行加热来对所述粘附有薄膜的基板200进行加热。当所述闸板部2包括多个闸板部件22时，所述加热部件可以设置在各个所述闸板部件22上。
虽未图示，但所述闸板部2可以设置有注入部。所述注入部用于向所述脱泡空间10注入空气(Air)等。当所述注入部向所述脱泡空间10注入空气时，能够增加所述脱泡空间10的内部压力。所述注入部可以设置在各个所述闸板部件22上。
参照图1至图16，所述闸板部2可包括上部板21以及多个闸板部件22。
所述上部板21配置于所述多个闸板部件22的所述上侧方向(UD箭头方向)一侧。所述上部板21能够朝向所述下侧方向(DD箭头方向)移动，从而位于所述密闭位置CP，还能够朝向所述上侧方向(UD箭头方向)移动，从而位于所述开放位置OP。所述上部框架1A整体可以呈四边形板状，但这是示例性的，只要能够提供所述脱泡空间10，也可以呈其它形状。
参照图1至图3，所述上部板21可以结合有上部连接板211。所述上部连接板211可以从所述上部板21凸出地结合于所述上部板21。所述上部连接板211整体可以呈长方体状。所述上部连接板211也可以与所述上部板21形成为一体。
所述多个闸板部件22彼此隔开配置以形成多个脱泡空间10。所述多个闸板部件22可以在所述上下方向(Z轴方向)上彼此隔开。所述多个闸板部件22可配置于所述上部板21的所述下侧方向(DD箭头方向)一侧。各个所述闸板部件22整体呈四边形板状，但这是示例性的，只要能够提供所述脱泡空间10，也可以呈其它形状。下文对所述闸板部2包括两个闸板部件22a、22b的实施例进行说明，但本领域技术人员明白能够由此导出所述闸板部2包括至少三个闸板部件22的实施例。当所述闸板部2包括至少三个闸板部件22时，所述闸板部2可以包括一个上侧闸板部件22b、一个下侧闸板部件22a以及位于所述上侧闸板部件22b与所述下侧闸板部件22a之间的至少一个中间闸板部件(未图示)。
在本发明的脱泡装置1中，所述上侧闸板部件22b能够朝向所述下侧方向(DD箭头方向)移动，从而位于所述密闭位置CP，所述上侧闸板部件22b还能够朝向所述上侧方向(UD箭头方向)移动，从而位于所述开放位置OP。所述上侧闸板部件22b可以是所述多个闸板部件22中与所述上部板21隔开的距离最短的闸板部件22。在所述开放位置OP，所述上侧闸板部件22b能够与所述上部板21和所述下侧闸板部件22a分别隔开。在所述开放位置OP，所述上侧闸板部件22b能够与所述下侧闸板部件22a隔开第一间距L1(示于图15)，还能够在所述开放位置OP上与所述上部板21隔开第二间距L2(示于图15)。所述第一间距L1和所述第二间距L2可以是在所述上下方向(Z轴方向)上的长度。
参照图1至图5，所述升降部3沿所述上下方向(Z轴方向)移动所述闸板部2，以使所述闸板部2在所述密闭位置CP与所述开放位置OP之间移动。所述升降部3可以与所述上部板21结合。所述升降部3分别与所述上部板21和所述上部框架1A结合。所述升降部3能够仅通过朝向所述下侧方向(DD箭头方向)移动所述上部板21来使所述闸板部2位于所述密闭位置CP。所述升降部3能够仅通过朝向所述上侧方向(UD箭头方向)移动所述上部板21来使所述闸板部2位于所述开放位置OP。这是因为，所述上部板21与所述上侧闸板部件22b之间以及所述上侧闸板部件22b与所述下侧闸板部件22a之间由后述的连接部7连接。所述升降部3也可通过朝向所述下侧方向(DD箭头方向)或所述上侧方向(UD箭头方向)分别移动所述上部板21和所述上侧闸板部件22b来使所述闸板部2位于所述密闭位置CP或所述开放位置OP。
所述升降部3能够通过利用液压缸或气压缸的方式、利用电动机的方式移动所述闸板部2。所述升降部3还能够通过利用滚珠螺杆(Ball Screw)和滚珠螺母(Ball Nut)等的滚珠螺杆方式、利用齿条(Rack Gear)和副齿轮(Pinion Gear)等的齿轮齿条方式、利用皮带轮(Pulley)和皮带(Belt)等的皮带方式、利用线圈和永磁铁等的线性电机(LinearMotor)方式、利用凸轮(Cam)等的凸轮方式移动所述闸板部2。
参照图1至图3以及图6至图11，在所述密闭位置CP上，所述限制部4在限制所述闸板部2移动的限制位置LP与允许所述闸板部2移动的允许位置AP之间移动。如图7所示，当所述限制部4在所述限制位置LP上被所述上部框架1A支撑时，能够限制所述闸板部2移动。如图8所示，在所述允许位置AP，当所述限制部4对所述上部框架1A的支撑被解除，从而能够允许所述闸板部2移动。所述限制部4可以配置于所述上部板21的所述上侧方向(UD箭头方向)一侧。所述限制部4能够沿垂直于所述上下方向(Z轴方向)的方向移动。例如，所述限制部4能够沿所述前后方向(X轴方向)移动。
参照图6至图11，所述限制部4可以包括限制部件41。
所述限制部件41在所述限制位置LP与所述允许位置AP之间移动。所述限制部件41可移动地配置于所述上部板21，以在所述上部板21的上表面21a(示于图7及图8)上移动。所述限制部件41的上表面可以是朝向所述上侧方向(UD箭头方向)的表面。所述限制部件41能够起到所述限制部4的主体的作用。
如图7所示，在所述限制位置LP，所述限制部件41被所述上部框架1A支撑。因此，在所述密闭位置CP，所述多个闸板部件22沿所述上下方向(Z轴方向)的移动被限制。因此，所述脱泡空间10能够保持密闭状态。
如图8所示，在所述允许位置AP上，所述上部框架1A对所述限制部件41的支撑被解除。所述限制部件41在所述前后方向(X轴方向)上从所述上部框架1A隔开，从而能够解除所述上部框架1A的支撑。因此，所述多个闸板部件22能够移动到所述开放位置OP上，从而能够开放所述脱泡空间10。
参照图8及图11，在所述允许位置AP，所述限制部件41的上表面位于比所述上部框架1A的下表面更靠上侧的位置。因此，在所述限制部件41从所述限制位置LP移动至所述允许位置AP的过程中，能够减小本发明的脱泡装置1在所述上下方向(Z轴方向)上的整体尺寸。因此，本发明的脱泡装置1便于实现小型化。所述限制部件41的上表面可以是所述限制部件41朝向所述上侧方向(UD箭头方向)的表面。所述上部框架1A的下表面可以是所述上部框架1A朝向所述下侧方向(DD箭头方向)的表面。
参照图6至图8，所述限制部4包括限制面42。
在所述限制位置LP，所述限制面42朝向所述上部框架1A。在所述限制位置LP，所述限制面42朝向所述上部框架1A的下表面。所述限制面42与所述限制部件41的上表面可以是同一平面。
参照图7及图8，所述限制面42可平行于所述上部框架1A的下表面。因此，和所述限制面42与所述上部框架1A的下表面呈倾斜的比较例相比，本发明的脱泡装置1能够更稳定地承受所述脱泡空间10的内部压力。这是因为在所述限制面42与所述上部框架1A的下表面呈倾斜的比较例中，所述限制部件41会在所述限制位置LP上沿倾斜表面移动。因此，本发明的脱泡装置1便于进行所述脱泡工序。所述限制面42可以是垂直于所述上下方向(Z轴方向)的平面。
参照图6至图8，所述限制部4包括第一旋转部件43和第二旋转部件44。
所述第一旋转部件43可旋转地结合于所述限制部件41的一侧。随着所述限制部件41移动，所述第一旋转部件43与所述闸板部2接触从而能够旋转。因此，本发明的脱泡装置1能够减少所述限制部件41与所述闸板部2之间所产生的摩擦力，从而降低所述限制部件41与所述闸板部2的磨损所导致的损坏乃至破损的可能性。因此，本发明的脱泡装置1能够提高所述限制部4和所述闸板部2的运行率，从而提高完成所述脱泡工序的基板的量产性。另外，本发明的脱泡装置1能够延长所述限制部4和所述闸板部2的使用周期，从而减少维修成本。随着所述限制部件41移动，所述第一旋转部件43与所述上部板21的上表面21a接触并旋转。所述限制部件41的一侧可以是所述限制部件41朝向所述上部板21的一部分。所述第一旋转部件43整体可以呈圆筒状。
在所述限制部件41的一侧可以结合有多个所述第一旋转部件43。图6至图11中示出了所述限制部件41的一侧结合有两个第一旋转部件43。此时，以所述上下方向(Z轴方向)为基准，多个所述第一旋转部件43以相同的高度结合于所述限制部件41的一侧。
所述第二旋转部件44可旋转地结合于所述限制部件41的另一侧。随着所述限制部件41移动，所述第二旋转部件44与所述上部框架1A接触以进行旋转。因此，本发明的脱泡装置1能够减小所述限制部件41与所述上部框架1A之间所产生的摩擦力，从而降低所述限制部件41与所述上部框架1A的磨损所导致的损坏乃至破损的可能性。因此，本发明的脱泡装置1能够提高所述限制部4和所述上部框架1A的运行率，从而提高完成所述脱泡工序的基板的量产性。另外，本发明的脱泡装置1能够延长所述限制部4和所述上部框架1A的使用周期，从而减少维修成本。随着所述限制部件41移动，所述第二旋转部件44与所述上部框架1A的下表面接触从而能够旋转。所述限制部件41的另一侧可以是所述限制部件41朝向所述上部框架1A的另一部分。所述限制面42可以位于所述限制部件41的另一侧。所述第二旋转部件44整体可以呈圆筒状。所述第二旋转部件44可以具有与所述第一旋转部件43相同的尺寸。
所述限制部件41的另一侧可以结合有多个所述第二旋转部件44。图6至图11中示出了所述限制部件41的另一侧结合有两个第二旋转部件44。此时，以所述上下方向(Z轴方向)为基准，多个所述第二旋转部件44以彼此相同的高度结合于所述限制部件41的另一侧。
如上所述，所述旋转部件43、44结合于所述限制部件41的彼此不同的部位，因此，本发明的脱泡装置1不仅便于移动所述限制部件41，还能够降低所述上部框架1A、所述上部板21以及所述限制部4的磨损所导致的损坏乃至破损的可能性。
如图1至图3所示，所述限制部4可包括多个限制部件41。此时，所述多个限制部件41彼此隔开配置，并且在所述限制位置LP上被所述上部框架1A的彼此不同的部位支撑。因此，本发明的脱泡装置1能够提高承受所述脱泡空间10的内部压力的耐受力。所述多个限制部件41可以沿所述上部框架1A的下表面形成的方向隔开配置。例如，所述多个限制部件41可以沿所述左右方向(Y轴方向)彼此隔开配置。各个所述限制部件41可包括多个旋转部件43、44。
所述多个限制部件41可排成多个列。其中，列可以是平行于所述左右方向(Y轴方向)的方向。排成多个列的所述多个限制部件41可以被所述上部框架1A的不同的部位支撑。多个列在所述前后方向(X轴方向)上彼此隔开。
参照图1至图11，所述移动部5使所述限制部4沿垂直于所述上下方向(Z轴方向)的方向在所述限制位置LP与所述允许位置AP之间移动。例如，所述移动部5能够沿所述前后方向(X轴方向)移动所述限制部4。在所述密闭位置CP，所述移动部5能够朝向所述上部框架1A移动所述限制部4，以使所述限制部4位于所述限制位置LP。因此，在所述密闭位置CP，所述闸板部2的移动受限，从而能够密闭所述脱泡空间10。所述移动部5还能够使所述限制部4从所述上部框架1A隔开，以使所述限制部4位于所述允许位置AP。因此，能够允许所述闸板部2从所述密闭位置CP移动至所述开放位置OP，从而开放所述脱泡空间10。所述移动部5可以结合于所述限制部4。所述移动部5可分别与所述限制部4和所述上部板21结合。
所述移动部5能够通过利用液压缸或气压缸的方式、利用电动机的方式移动所述限制部4。所述移动部5还能够通过利用滚珠螺杆(Ball Screw)和滚珠螺母(Ball Nut)等的滚珠螺杆方式、利用齿条(Rack Gear)和副齿轮(Pinion Gear)等的齿轮齿条方式、利用皮带轮(Pulley)和皮带(Belt)等的皮带方式、利用线圈和永磁铁等的线性电机(LinearMotor)方式、利用凸轮(Cam)等的凸轮方式移动所述限制部4。
参照图4及图17，本发明的脱泡装置1可以包括密闭部6。
所述密闭部6用于密闭所述脱泡空间10。在所述密闭位置CP，所述密闭部6能够密闭所述脱泡空间10。因此，本发明的脱泡装置1能够在所述闸板部2位于所述密闭位置CP时提高对于所述脱泡空间10的密闭性，从而提高所述脱泡工序的完成度。所述密闭部6可以以遮盖所述脱泡空间10的侧方的方式结合于所述闸板部件22的上表面。所述密闭部6由可伸缩的材料形成。例如，所述密闭部6可以由橡胶等形成。所述密闭部6可以是O形环(O-ring)。
参照图1至图3以及图12至图16，本发明的脱泡装置1可以包括连接部7和插入部8。
所述连接部7用于引导所述闸板部2，以使所述闸板部2在所述开放位置OP与所述密闭位置CP之间移动。所述连接部7可以结合于所述闸板部2。
所述插入部8用于插入所述连接部7。所述插入部8可以形成于所述闸板部2。在本发明的脱泡装置1中，所述连接部7插入到所述插入部8，以引导所述闸板部2移动。因此，在本发明的脱泡装置1中，即便在进行所述脱泡工序的过程中发生振动、晃动等，也能够使所述闸板部2在所述开放位置OP与所述密闭位置CP之间稳定地移动。因此，本发明的脱泡装置1能够提高移动所述闸板部2的移动操作的稳定性。
参照图12至图16，所述连接部7可以包括第一连接部件71和第二连接部件72。
所述第一连接部件71用于引导所述多个闸板部件22沿所述上下方向(Z轴方向)移动。所述第一连接部件71可以位于所述多个闸板部件22之间，以连接所述多个闸板部件22。当所述闸板部2包括两个闸板部件22a、22b时，所述第一连接部件71可以位于所述上侧闸板部件22b与所述下侧闸板部件22a之间。所述第一连接部件71分别与所述上侧闸板部件22b以及所述下侧闸板部件22a连接，从而能够使所述上侧闸板部件22b与所述下侧闸板部件22a彼此连接。所述上侧闸板部件22b与所述下侧闸板部件22a之间可以配置有多个第一连接部件71。此时，多个所述第一连接部件71配置在彼此隔开的位置。所述第一连接部件71整体可以呈圆柱状。
所述第二连接部件72用于引导所述上侧闸板部件22b沿所述上下方向(Z轴方向)移动。所述第二连接部件72可配置于所述上部板21与所述上侧闸板部件22b之间。所述第二连接部件72与所述上部板21以及所述上侧闸板部件22b分别连接，从而能够使所述上部板21与所述上侧闸板部件22b彼此连接。所述第二连接部件72分别与所述上部连接板211以及所述上侧闸板部件22b连接，从而能够使所述上部板21与所述上侧闸板部件22b彼此连接。所述上部板21与所述上侧闸板部件22b之间可以配置有多个第二连接部件72。此时，多个所述第二连接部件72配置在彼此隔开的位置。所述第二连接部件72整体可以呈圆柱状。
所述第二连接部件72与所述第一连接部件71以所述上下方向(Z轴方向)为基准具有相同的长度。因此，在本发明的脱泡装置1中，所述第一间距L1与所述第二间距L2可以在所述开放位置OP上具有相同的尺寸。所述第二连接部件72与所述第一连接部件71还可以以所述上下方向(Z轴方向)为基准具有彼此不同的长度。
参照图13，所述插入部8包括第一连接插入孔81和第二连接插入孔82。
所述第一连接插入孔81沿所述上下方向(Z轴方向)贯通所述闸板部件22形成，以用于插入所述第一连接部件71。所述第一连接插入孔81可以形成于所述上侧闸板部件22b和所述下侧闸板部件22a。所述第一连接插入孔81可以具有与所述第一连接部件71相对应的形状和尺寸，以用于插入所述第一连接部件71。当所述连接部7包括多个第一连接部件71时，所述插入部8可以包括多个第一连接插入孔81。
所述第二连接插入孔82贯通所述上部板21和所述上侧闸板部件22b形成，以插入所述第二连接部件72。所述第二连接插入孔82还可以形成于所述上部连接板211。所述第二连接插入孔82以所述前后方向(X轴方向)为基准与所述第一连接插入孔81隔开配置。所述第二连接插入孔82具有与所述第二连接部件72相对应的形状和尺寸，以插入所述第二连接部件72。当所述连接部7包括多个第二连接部件72时，所述插入部8可以包括多个第二连接插入孔82。
本发明的脱泡装置1能够在所述开放位置OP上将所述第一间距L1和所述第二间距L2限制在规定尺寸以下。为此，所述连接部7和插入部8可以包括如下结构。
参照图12至图15，所述连接部7可以包括第一支撑部件73和第二支撑部件74。
所述第一支撑部件73从所述第一连接部件71凸出。所述第一支撑部件73结合于所述第一连接部件71。所述第一支撑部件73分别结合于所述第一连接部件71的一侧与另一侧。所述第一支撑部件73还可以与所述第一连接部件71形成为一体。所述第一支撑部件73整体可以呈圆环状。
所述第二支撑部件74从所述第二连接部件72凸出。所述第二支撑部件74结合于所述第二连接部件72。所述第二支撑部件74分别结合于所述第二连接部件72的一侧与另一侧。所述第二支撑部件74还可以与所述第二连接部件72形成为一体。所述第二支撑部件74整体可以呈圆环状。所述第二支撑部件74可以具有与所述第一支撑部件73相同的尺寸。
参照图13，所述插入部8包括第一连接支撑槽83和第一连接支撑面84。
所述第一连接支撑槽83用于插入所述第一支撑部件73。所述第一支撑部件73的一侧与另一侧分别插入到所述第一连接支撑槽83中。所述第一支撑部件73的一侧与另一侧分别是朝向所述上侧方向(UD箭头方向)和所述下侧方向(DD箭头方向)的所述第一支撑部件73的一部分。所述第一连接支撑槽83与所述第一连接插入孔81连通。所述第一连接支撑槽83可通过从所述上侧闸板部件22b的上表面加工出规定深度的槽的操作而形成，也可通过从所述下侧闸板部件22a的下表面加工出规定深度的槽的操作而形成。
所述第一连接支撑面84朝向所述第一连接支撑槽83。如图15所示，所述第一支撑部件73可被所述第一连接支撑面84支撑，以在所述开放位置OP上限制所述闸板部件22a、22b之间的第一间距L1。所述第一连接支撑面84能够支撑所述第一支撑部件73的一侧与另一侧。所述第一连接支撑面84沿着垂直于所述上下方向(Z轴方向)的方向形成。
参照图13，可以包括第二连接支撑槽85和第二连接支撑面86。
所述第二连接支撑槽85用于插入所述第二支撑部件74。所述第二支撑部件74的一侧与另一侧分别插入到所述第二连接支撑槽85中。所述第二支撑部件74的一侧与另一侧分别是朝向所述上侧方向(UD箭头方向)和所述下侧方向(DD箭头方向)的所述第二支撑部件74的一部分。所述第二连接支撑槽85能够与所述第二连接插入孔82连通。所述第二连接支撑槽85可以通过从所述上部板21的上表面21a加工出规定深度的槽的操作而形成，也可通过从所述上侧闸板部件22b的下表面加工出规定深度的槽的操作而形成。
所述第二连接支撑面86朝向所述第二连接支撑槽85。如图15所示，所述第二支撑部件74被所述第二连接支撑面86支撑，以在所述开放位置OP上限制所述上部板21与所述上侧闸板部件22b之间的第二间距L2。所述第二连接支撑面86能够支撑所述第二支撑部件74的一侧与另一侧。所述第二连接支撑面86可以沿着垂直于所述上下方向(Z轴方向)的方向形成。
再次参照图1至图3，在本发明的一实施例的脱泡装置1中，所述闸板部2可以进一步包括下部板24。
所述下部板24位于所述闸板部件22与所述下部框架1B之间。在所述密闭位置CP，所述下部板24能够分别与所述下侧闸板部件22a和所述下部框架1B结合。在所述开放位置OP，所述下部板24能够从所述下侧闸板部件22a隔开。前述的所述下部连接板1B0还可以结合于所述下部板24。此时，所述下部连接板1B0可以从所述下部板24凸出。所述下部连接板1B0还可以与所述下部板24形成为一体。
以上，对所述上部板21与所述上侧闸板部件22b之间以及所述闸板部件22a、22b之间的连接结构进行了说明。以下，依次对所述下侧闸板部件22a与所述下部板24之间或所述下侧闸板部件22a与所述下部框架1B之间的连接结构进行说明。
首先，对所述闸板部2包括所述下部板24的实施例进行说明。图16是示出在所述闸板部2包括所述下部板24的实施例中所述下侧闸板部件22a与所述下部板24之间的连接结构的主剖面图。
在该实施例中，所述连接部7可以包括下部连接部件75，所述下部连接部件75用于引导所述下侧闸板部件22a沿所述上下方向(Z轴方向)移动。所述下部连接部件75分别与所述下侧闸板部件22a以及所述下部板24结合。所述下部连接部件75还分别与所述下侧闸板部件22a以及结合于所述下部板24的下部连接板1B0结合。所述下部连接部件75大致可以与所述第一连接部件71相同。
在该实施例中，所述插入部8可以包括用于插入所述下部连接部件75的下部连接孔(未图示)。所述下部连接孔分别形成于所述下侧闸板部件22a和所述下部板24。所述下部连接孔还可以形成于所述下侧闸板部件22a和结合于所述下部板24的下部连接板1B0。所述下部连接孔形成于以所述前后方向(X轴方向)为基准从所述第一连接插入孔81隔开的位置。所述下部连接孔大致可以与所述第一连接插入孔81相同。
在该实施例中，所述连接部7和所述插入部8分别包括如下结构，以限制所述下侧闸板部件22a与所述下部板24之间的间距。所述连接部7可以包括从所述下部连接部件75凸出的下部支撑部件(未图示)。所述下部支撑部件大致与第一支撑部件73相同。所述插入部8包括下部连接支撑槽(未图示)和下部连接支撑面(未图示)。所述下部连接支撑槽用于插入所述下部支撑部件。所述下部连接支撑槽可以通过在所述下侧闸板部件22a的上表面加工出槽的操作而形成，也可通过在所述下部板24的下表面加工出槽的操作而形成。所述下部连接支撑槽可通过在所述下侧闸板部件22a的上表面加工出槽的操作而形成，也可通过在结合于所述下部板24的所述下部连接板1B0的下表面加工出槽的操作而形成。所述下部连接支撑槽大致与所述第一连接支撑槽83相同。所述下部连接支撑面朝向所述下部连接支撑槽。所述下部支撑部件被所述下部连接支撑面支撑，以限制所述下侧闸板部件22a与所述下部板24之间的间距。所述下部连接支撑面大致与所述第一连接支撑面84相同。
然后，对所述闸板部2不包括所述下部板24的实施例进行说明。除了所述下部连接部件75的配置位置、所述下部连接孔的形成位置、所述下部连接支撑槽的形成位置以及所述下部连接支撑面的形成位置以外，该实施例与上述的所述闸板部2包括所述下部板24的实施例大致相同。以下，以不同点为主进行说明。
在该实施例中，所述下部连接部件75分别与所述下侧闸板部件22a以及所述下部框架1B结合。所述下部连接部件75还分别与所述下侧闸板部件22a以及结合于所述下部框架1B的下部连接板1B0结合。所述下部连接孔形成于所述下侧闸板部件22a和所述下部框架1B。所述下部连接孔还分别形成于所述下侧闸板部件22a以及结合于所述下部框架1B的下部连接板1B0。
所述下部连接支撑槽可以通过从所述下侧闸板部件22a的上表面加工出槽的操作而形成，还可通过在所述下部框架1B的下表面加工出槽的操作而形成。所述下部连接支撑槽还可以通过从所述下侧闸板部件22a的上表面加工出槽的操作而形成，还可通过在结合于所述下部框架1B的下部连接板1B0的下表面形成槽的操作而形成。所述下部连接支撑面朝向所述下部连接支撑槽。所述下部支撑部件被所述下部连接支撑面支撑，以限制所述下侧闸板部件22a与所述下部框架1B之间的间距。
以上，对所述闸板部2沿所述上下方向(Z轴方向)移动进行了说明，但本发明的脱泡装置1还能够使所述闸板部2沿所述前后方向(X轴方向)移动。为此，所述闸板部件22a、22b分别可以包括如下结构。
参照图17至图21，所述多个闸板部件22分别可以包括闸板主体221、闸板移动部件222以及引导部件223。
所述闸板主体221与所述连接部7连接。所述闸板主体221以能够沿所述上下方向(Z轴方向)移动的方式与所述连接部7连接。所述上侧闸板部件22b的闸板主体221通过所述第二连接部件72与所述上部板21连接。所述闸板主体221配置于所述闸板移动部件222和所述引导部件223的外侧。
在所述闸板主体221形成有前述的插入部8。以下，对形成于所述闸板主体221的插入部8依次进行说明。所述第一连接插入孔81贯通所述下侧闸板部件22a的闸板主体221和所述上侧闸板部件22b的闸板主体221。所述第二连接插入孔82贯通所述上侧闸板部件22b的闸板主体221和所述上部板21。所述第一连接支撑槽83可以通过从所述上侧闸板部件22b的闸板主体221的上表面加工出规定深度的槽的操作而形成，也通过从所述下侧闸板部件22a的闸板主体221的下表面加工出规定深度的槽的操作而形成。此时，所述第一连接支撑面84配置成朝向形成于所述上侧闸板部件22b的闸板主体221的第一连接支撑槽83，并朝向形成于所述下侧闸板部件22a的闸板主体221的第一连接支撑槽83。所述第二连接支撑槽85可以通过在所述上侧闸板部件22b的闸板主体221的下表面加工出规定深度的槽的操作而形成，也可通过在所述上部板21的上表面加工出规定深度的槽的操作而形成。此时，所述第二连接支撑面86配置成朝向形成于所述上侧闸板部件22b的闸板主体221的第二连接支撑槽85，并朝向形成于所述上部板21的第二连接支撑槽85。
所述闸板移动部件222能够沿所述前后方向(X轴方向)移动。所述闸板移动部件222可沿所述前后方向(X轴方向)移动地位于所述闸板主体221的内侧。如图17所示，所述闸板移动部件222上能够装载所述粘附有薄膜的基板200。所述闸板移动部件222能够分别朝向前进方向(FD箭头方向)和后退方向(BD箭头方向)移动。所述前进方向(FD箭头方向)可以是使所述闸板移动部件222以所述前后方向(X轴方向)为基准从所述上部板21隔开的移动方向。所述后退方向(BD箭头方向)可以是使所述闸板移动部件222以所述前后方向(X轴方向)为基准与所述上部板21重叠的移动方向。如图17所示，当所述闸板移动部件222朝向所述前进方向(FD箭头方向)移动时，能够对所述闸板部件22进行维修操作，或能够对所述闸板移动部件222进行基板的装载(Loading)操作及卸载(Unloading)操作。如图1至图3所示，当所述闸板移动部件222朝向所述后退方向(BD箭头方向)移动时，能够进行所述脱泡工序。所述闸板移动部件222整体呈四边形板状，但这只是示例性的，只要能够沿所述前后方向(X轴方向)移动，也可以呈其它形状。所述闸板移动部件222的上表面可以与所述密闭部6结合。
所述引导部件223用于引导所述闸板移动部件222沿所述前后方向(X轴方向)移动。所述引导部件223随着所述闸板移动部件222沿前后方向(X轴方向)移动一同移动。所述引导部件223位于所述闸板移动部件222与所述闸板主体221之间。所述引导部件223分别可移动地结合于所述闸板移动部件222和所述闸板主体221。所述闸板移动部件222的两侧各有一个所述引导部件223。虽未图示，但所述引导部件223收纳于形成在所述闸板移动部件222与所述闸板主体221之间的收纳部。所述收纳部可以是用于收纳所述引导部件223的槽(Groove)，并具有与所述引导部件223相对应的形状。
参照图18及图19，所述引导部件223可以包括第一引导主体2231和第一引导滚轮2232。
所述第一引导主体2231配置于所述闸板主体221与所述闸板移动部件222之间。所述第一引导主体2231起到所述引导部件223的主体的作用。所述第一引导主体2231能够随着所述闸板移动部件222沿所述前后方向(X轴方向)移动而一同移动。所述第一引导主体2231整体呈沿所述前后方向(X轴方向)延伸的四棱柱状。
所述第一引导滚轮2232可旋转地结合于所述第一引导主体2231。所述第一引导滚轮2232能够随着所述闸板移动部件222沿所述前后方向(X轴方向)移动而旋转。所述第一引导滚轮2232分别结合于所述第一引导主体2231的一表面与另一表面。所述第一引导主体2231的一表面可以是朝向所述闸板主体221的所述第一引导主体2231的表面。所述第一引导主体2231的另一表面可以是朝向所述闸板移动部件222的所述第一引导主体2231的表面。所述第一引导主体2231还结合有多个所述第一引导滚轮2232。此时，多个所述第一引导滚轮2232以沿所述前后方向(X轴方向)彼此隔开的方式分别结合于所述第一引导主体2231的一表面与另一表面。
参照图18及图19，所述引导部件223可以包括第二引导主体2233和第二引导滚轮2234。
所述第二引导主体2233结合于所述第一引导主体2231。所述第二引导主体2233结合于所述第一引导主体2231的上侧。所述第二引导主体2233还结合于所述第一引导主体2231的下侧。所述第二引导主体2233能够随着所述闸板移动部件222沿所述前后方向(X轴方向)移动而一同移动。所述第二引导主体2233整体呈沿所述前后方向(X轴方向)延伸的四棱柱状。所述第二引导主体2233还可以与所述第一引导主体2231形成为一体。
所述第二引导滚轮2234可旋转地结合于所述第二引导主体2233。所述第二引导滚轮2234随着所述闸板移动部件222沿所述前后方向(X轴方向)移动而旋转。所述第二引导滚轮2234旋转的旋转轴指向与所述第一引导滚轮2232旋转的旋转轴不同的方向。例如，当所述第一引导滚轮2232以平行于左右方向(Y轴方向)的旋转轴为中心旋转时，所述第二引导滚轮2234以平行于所述上下方向(Z轴方向)的旋转轴为中心旋转。所述左右方向(Y轴方向)是分别垂直于所述前后方向(X轴方向)和所述上下方向(Z轴方向)的方向。
所述第二引导滚轮2234分别结合于所述第二引导主体2233的一侧与另一侧。所述第二引导主体2233的一侧可以是朝向所述闸板主体221的所述第二引导主体2233的一部分。所述第二引导主体2233的另一侧可以是朝向所述闸板移动部件222的所述第二引导主体2233的一部分。所述第二引导主体2233还结合有多个所述第二引导滚轮2234。此时，多个所述第二引导滚轮2234以沿所述前后方向(X轴方向)彼此隔开的方式分别结合于所述第二引导主体2233的一侧与另一侧。
参照图19及图20，各个所述闸板部件22可以包括闸板引导槽224和闸板引导面225。
所述闸板引导槽224用于收纳所述第一引导滚轮2232。所述闸板引导槽224分别形成于所述闸板主体221和所述闸板移动部件222。形成于所述闸板主体221的闸板引导槽224能够对可旋转地结合于所述第一引导主体2231的一表面的第一引导滚轮2232进行收纳。形成于所述闸板移动部件222的闸板引导槽224能够对可旋转地结合于所述第一引导主体2231的另一表面的第一引导滚轮2232进行收纳。所述闸板引导槽224以所述上下方向(Z轴方向)为基准具有与所述第一引导滚轮2232相同的尺寸。以所述闸板移动部件222为中心，两侧各形成有一个所述闸板引导槽224。
所述闸板引导面225朝向所述闸板引导槽224，以使所述第一引导滚轮2232与其接触并旋转。所述闸板引导面225沿所述前后方向(X轴方向)延伸。此时，所述第一引导滚轮2232引导所述闸板移动部件222，以使所述闸板移动部件222沿所述前后方向(X轴方向)直线移动。所述第一引导滚轮2232能够在被所述闸板引导面225支撑的状态下旋转。所述闸板引导面225可以平行于所述左右方向(Y轴方向)。通过所述闸板引导面225支撑所述第一引导滚轮2232，所述闸板移动部件222能够被所述闸板主体221支撑。
参照图19及图20，各个所述闸板部件可以包括闸板支撑槽226和闸板支撑面227。
所述闸板支撑槽226用于收纳所述第二引导滚轮2234。所述闸板支撑槽226分别形成于所述闸板主体221和所述闸板移动部件222。所述闸板支撑槽226可以通过在所述闸板主体221的上表面和所述闸板移动部件222的上表面分别加工出规定深度的槽的操作而形成。形成于所述闸板主体221的闸板支撑槽226能够对可旋转地结合于所述第二引导主体2233的一侧的第二引导滚轮2234进行收纳。形成于所述闸板移动部件222的闸板支撑槽226能够对可旋转地结合于所述第二引导主体2233的另一侧的第二引导滚轮2234进行收纳。所述闸板支撑槽226以所述左右方向(Y轴方向)为基准具有与所述第二引导滚轮2234相同的尺寸。以所述闸板移动部件222为中心，两侧各形成有一个所述闸板支撑槽226。
所述闸板支撑面227朝向所述闸板支撑槽226，以使所述第二引导滚轮2234与其接触从而旋转。此时，所述第二引导滚轮2234能够在被所述闸板支撑面227支撑的状态下旋转。因此，即便在所述闸板移动部件222沿所述前后方向(X轴方向)移动的过程中产生振动、晃动，本发明的脱泡装置1也能够限制所述左右方向(Y轴方向)上的所述闸板移动部件222的移动。因此，本发明的脱泡装置1便于进行沿所述前后方向(X轴方向)移动所述闸板移动部件222的操作。所述闸板支撑面227可以沿所述前后方向(X轴方向)延伸。所述闸板支撑面227平行于所述上下方向(Z轴方向)。
在图19中，所述引导部件223在所述上下方向(Z轴方向)上具有比所述闸板部件22更大的尺寸，从而从所述闸板部件22凸出，但这只是示例性的，所述引导部件223可以在所述上下方向(Z轴方向)上具有与所述闸板部件22相同或比所述闸板部件22更小的尺寸。因此，所述引导部件223可以比所述闸板主体221和所述闸板移动部件222的厚度更薄。
虽未图示，但各个所述闸板部件22可以包括凹槽部。
所述凹槽部形成于所述闸板移动部件222。所述凹槽部可以通过在所述闸板移动部件222的下表面加工出规定深度的槽而形成。本发明的脱泡装置1通过包括所述凹槽部来减轻所述闸板移动部件222的重量。因此，本发明的脱泡装置1能够实现所述闸板部件22的轻量化。
参照图21，各个所述闸板部件22可以包括夹紧机构23。
所述夹紧机构23用于限制所述闸板移动部件222沿所述前后方向(X轴方向)移动。所述夹紧机构23可以结合于所述闸板主体221。
所述夹紧机构23可以包括结合部件231和移动限制部件232。
所述结合部件231结合于所述闸板主体221。所述结合部件231从所述闸板主体221向所述前进方向(FD箭头方向)凸出。所述结合部件231还可以与所述闸板主体221形成为一体。
所述移动限制部件232结合于所述结合部件231。所述移动限制部件232支撑所述闸板移动部件222的前表面以限制所述闸板移动部件222移动。所述移动限制部件232结合于所述结合部件231，并被所述闸板主体221支撑。
所述夹紧机构23可以包括操作部件233。
所述操作部件233用于接受所述移动限制部件232的操作力。所述操作部件233可分别与所述结合部件231和所述移动限制部件232结合。所述操作部件233能够接受操作力，以使所述移动限制部件232支撑所述闸板移动部件222的前表面或解除对所述闸板移动部件222的前表面的支撑。所述操作部件233以朝向所述闸板主体221的外侧凸出的方式结合于所述结合部件231。所述操作部件233还可以与操作驱动部(未图示)连接。所述操作驱动部用于向所述操作部件233提供操作力，以使其驱动。
以上说明的本发明不限于上述的实施例及附图，本领域技术人员能够在不脱离本发明的技术思想的范围内进行多种替换、变形以及变更。

Claims (14)

1.一种脱泡装置，其特征在于，包括：
闸板部，提供用于对粘附有薄膜的基板进行脱泡的脱泡空间；
下部框架，配置于所述闸板部的下侧，用于支撑所述闸板部；
上部框架，配置于所述闸板部的上侧，用于支撑所述闸板部；
升降部，使所述闸板部沿上下方向移动，以使所述闸板部在密闭所述脱泡空间的密闭位置与开放所述脱泡空间的开放位置之间移动；
限制部，其在限制位置与允许位置之间移动，其中，在所述限制位置，所述限制部通过被所述上部框架支撑而在所述密闭位置限制所述闸板部移动，在所述允许位置，通过解除对所述上部框架的支撑而允许所述闸板部移动；以及
移动部，其结合于所述限制部，使所述限制部沿垂直于所述上下方向的方向在所述限制位置与所述允许位置之间移动。
2.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，
所述限制部包括：限制部件，可移动地配置于所述闸板部所具备的上部板的上表面；以及第一旋转部件，可旋转地结合于所述限制部件的一侧，
其中，随着所述限制部件移动，所述第一旋转部件与所述上部板的上表面接触并进行旋转。
3.根据权利要求2所述的脱泡装置，其特征在于，
所述限制部进一步包括可旋转地结合于所述限制部件的另一侧的第二旋转部件，
其中，随着所述限制部件移动，所述第二旋转部件与所述上部框架接触并进行旋转。
4.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，
所述限制部包括：限制部件，可移动地配置于所述闸板部所具备的上部板的上表面；以及限制面，在所述限制位置朝向所述上部框架的下表面，
其中，所述限制面平行于所述上部框架的下表面。
5.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，
所述限制部包括多个限制部件，所述多个限制部件彼此隔开，并在所述限制位置被所述上部框架支撑，
其中，所述多个限制部件在所述限制位置被所述上部框架的彼此不同的部位支撑。
6.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，
所述限制部包括限制部件，当所述限制部件位于所述允许位置时，对所述上部框架的支撑被解除，
在所述允许位置，所述限制部件的上表面位于比所述上部框架的下表面更靠上侧的位置。
7.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，
进一步包括连接部，所述连接部引导所述闸板部，以使所述闸板部在所述开放位置与所述密闭位置之间移动，
所述闸板部包括：多个闸板部件，彼此隔开配置以形成多个脱泡空间；以及上部板，配置于所述多个闸板部件的上侧，
其中，所述连接部将所述上部板与所述多个闸板部件中邻接配置于所述上部板的上侧闸板部件相互连接，同时将所述多个闸板部件相互连接，
所述升降部使所述上部板朝向下侧方向移动，从而使所述闸板部位于所述密闭位置，另外，使所述上部板朝向上侧方向移动，从而使所述闸板部位于所述开放位置。
8.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，
进一步包括连接部，所述连接部引导所述闸板部，以使所述闸板部在所述开放位置与所述密闭位置之间移动，
所述闸板部包括多个闸板部件，所述多个闸板部件彼此隔开配置以形成多个脱泡空间，
所述多个闸板部件分别包括：闸板主体，与所述连接部连接；闸板移动部件，能够沿垂直于所述上下方向的前后方向移动；以及引导部件，配置于所述闸板主体与所述闸板移动部件之间，用于引导所述闸板移动部件沿所述前后方向移动。
9.根据权利要求8所述的脱泡装置，其特征在于，
所述引导部件包括：第一引导主体，配置于所述闸板主体与所述闸板移动部件之间；以及第一引导滚轮，可旋转地结合于所述第一引导主体，
所述多个闸板部件分别包括：闸板引导槽，形成于所述闸板主体和所述闸板移动部件，用于收纳所述第一引导滚轮；以及闸板引导面，配置成朝向所述闸板引导槽，以使所述第一引导滚轮与其接触并进行旋转，
其中，所述闸板引导面沿所述前后方向延伸，
所述第一引导滚轮引导所述闸板移动部件，以使所述闸板移动部件沿所述前后方向进行直线移动。
10.根据权利要求8所述的脱泡装置，其特征在于，
所述引导部件包括：第一引导主体，配置于所述闸板主体与所述闸板移动部件之间；第二引导主体，结合于所述第一引导主体；以及第二引导滚轮，可旋转地结合于所述第二引导主体，
所述多个闸板部件分别包括：闸板支撑槽，形成于所述闸板主体与所述闸板移动部件，用于收纳所述第二引导滚轮；以及闸板支撑面，配置成朝向所述闸板支撑槽，以使所述第二引导滚轮与其接触并进行旋转，
所述第二引导滚轮在被所述闸板支撑面支撑的状态下旋转，从而限制所述闸板移动部件在左右方向上的移动，其中，所述左右方向分别垂直于所述上下方向和所述前后方向。
11.根据权利要求8所述的脱泡装置，其特征在于，
所述闸板部进一步包括用于限制所述闸板移动部件的移动的夹紧机构，
所述夹紧机构包括：结合部件，结合于所述闸板主体；以及移动限制部件，结合于所述结合部件，支撑所述闸板移动部件的前表面，以限制所述闸板移动部件的移动。
12.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，包括：
连接部，用于引导所述闸板部，以使所述闸板部在所述开放位置与所述密闭位置之间移动；以及
插入部，形成于所述闸板部，用于插入所述连接部，
其中，所述连接部插入到所述插入部中，从而引导所述闸板部的移动。
13.根据权利要求12所述的脱泡装置，其特征在于，
所述闸板部包括：多个闸板部件，彼此隔开配置以形成多个脱泡空间；以及上部板，配置于所述多个闸板部件的上侧，
所述连接部包括：第一连接部件，配置于所述多个闸板部件之间，用于引导所述多个闸板部件沿所述上下方向移动；以及第二连接部件，配置在所述多个闸板部件中位于最上侧的上侧闸板部件与所述上部板之间，用于引导所述上部板沿所述上下方向移动，
所述插入部包括：第一连接插入孔，贯通所述多个闸板部件，用于插入所述第一连接部件；以及第二连接插入孔，分别贯通所述上侧闸板部件和所述上部板，用于插入所述第二连接部件。
14.根据权利要求13所述的脱泡装置，其特征在于，
所述连接部进一步包括：第一支撑部件，从所述第一连接部件凸出；以及第二支撑部件，从所述第二连接部件凸出，
所述插入部包括：第一连接支撑槽，与所述第一连接插入孔连通，用于分别插入所述第一支撑部件的一侧与另一侧；第一连接支撑面，朝向所述第一连接支撑槽；第二连接支撑槽，与所述第二连接插入孔连通，用于分别插入所述第二支撑部件的一侧与另一侧；以及第二连接支撑面，朝向所述第二连接支撑槽，
其中，所述第一支撑部件被所述第一连接支撑面支撑，以在所述开放位置限制所述多个闸板部件之间的间距，
所述第二支撑部件支撑所述第二连接支撑面，以在所述开放位置限制所述上部板与所述上侧闸板部件之间的间距。
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