CN113092826A - 扫描探针显微镜系统及其测量方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种扫描探针显微镜系统及其测量方法，首先根据实际工作模式向导电针尖自感应探针发送对应的探针激发信号使其振动，之后采集导电针尖自感应探针工作振动时的压电响应信号进行分析，得到探针本征机械振动频率变化量。最终进行反馈分析得到实际检测时所需的样品偏压信号和扫描控制信号发送至样品扫描组件，实现待测样品的测量操作。上述方案，采用带导电针尖的自感应探针来实现大气环境的扫描探针显微镜测量成像功能，并且在测量过程中利用探针本征机械振动频率变化量实现频率调制，可提高导电针尖自感应探针测量成像时的机械振动的稳定性，有利于减小导电针尖自感应探针与样品的间距，因而可用于提高静电力成像的空间分辨率。

Description

扫描探针显微镜系统及其测量方法

技术领域

本申请涉及扫描成像技术领域，特别是涉及一种扫描探针显微镜系统及其测量方法。

背景技术

扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope，SPM)采用尖锐的探针在样品表面扫描的方法来获取样品表面一些性质的设备，不同的SPM主要是针尖特性及针尖-样品相互作用的不同。其中，目前以原子力显微镜(Atomic ForceMicroscope，AFM)应用最为广泛。

原子力显微镜通常使用一个一端固定而另一端带有针尖的弹性微悬臂来检测样品表面形貌或其他表面性质，当样品或针尖扫描时，同距离有关的针尖样品间相互作用力就会引起微悬臂发生形变。基于原子力显微镜的测量成像技术主要包括静电力显微镜(EFM)、开尔文探针力显微镜(KPFM)、扫描电容显微镜(SCM)等，这些技术不仅具有原子力显微镜本身的高分辨的形貌成像的功能，还具有多种电学测量功能，能够同时对局域表面电势、电荷、载流子密度、导电性等进行高分辨的测量和成像。

目前，大气环境下的原子力显微镜通常采用基于激光位置检测的、针尖导电的微悬臂探针，采用“幅度调制”方式。现有理论和实验研究的结果表明，“幅度调制”EFM/KPFM的空间分辨率通常比“频率调制”EFM/KPFM要低。大气环境下探针机械振动的品质因子(Q值)比真空环境低1-2个数量级；受探针Q值的制约，频率调制方式在大气环境中的实现需要较大的探针振幅才能稳定工作。现有的商品化的自感应探针(如A-Probe)虽然可以实现“频率调制”方式的形貌成像，但其针尖并不导电，因此也不能用于EFM/KPFM/SCM。因此，目前大气环境EFM/KPFM通常采用“幅度调制”方式，在测量成像过程中，其探针-样品间距较大(通常10nm-30nm)。所导致的后果是，原子力显微镜产品在大气环境下成像的空间分辨率较低。

发明内容

基于此，有必要针对传统的原子力显微镜产品在大气环境下成像的空间分辨率较低的问题，提供一种扫描探针显微镜系统及其测量方法。

一种扫描探针显微镜系统，包括：导电针尖自感应探针，其针尖具备导电功能，能够实现自激发、自感应以及频率调制；频率调制控制器，连接所述导电针尖自感应探针，用于根据工作模式向所述导电针尖自感应探针发送相应的探针激发信号，以及根据所述导电针尖自感应探针振动时的压电响应信号得到探针本征机械振动频率变化量；显微镜控制器，连接所述频率调制控制器，用于根据所述探针本征机械振动频率变化量进行反馈分析得到样品偏压信号和扫描控制信号；样品扫描组件，连接所述显微镜控制器，用于放置待测样品，并根据所述样品偏压信号和所述扫描控制信号实现样品检测。

在一个实施例中，扫描探针显微镜系统还包括辅助检测装置，所述辅助检测装置连接所述频率调制控制器和所述显微镜控制器。

在一个实施例中，扫描探针显微镜系统还包括上位机，所述上位机连接所述显微镜控制器。

在一个实施例中，所述频率调制控制器包括前置放大电路、自激发信号发生电路、频率检测电路和探针激发信号选择电路，所述前置放大电路连接所述导电针尖自感应探针，所述前置放大电路连接所述自激发信号发生电路和所述频率检测电路，所述自激发信号发生电路连接所述探针激发信号选择电路，所述自激发信号发生电路、所述频率检测电路和所述探针激发信号选择电路分别连接所述显微镜控制器，所述探针激发信号选择电路连接所述导电针尖自感应探针。

在一个实施例中，所述自激发信号发生电路包括振幅检测电路、自动增益控制电路和相位控制电路，所述振幅检测电路连接所述前置放大电路，所述振幅检测电路连接所述自动增益控制电路，所述自动增益控制电路连接所述相位控制电路，所述相位控制电路连接所述探针激发信号选择电路，所述振幅检测电路和所述自动增益控制电路分别连接所述显微镜控制器。

在一个实施例中，扫描探针显微镜系统还包括偏压叠加电路，所述显微镜控制器通过所述偏压叠加电路连接所述样品扫描组件。

在一个实施例中，所述导电针尖自感应探针包括第一音叉叉股、第二音叉叉股、音叉支架、导电针尖、平衡装置、第一音叉电极和第二音叉电极，所述第一音叉叉股和所述第二音叉叉股的材料均具有压电特性，且分别设置于所述音叉支架，所述第一音叉电极设置于所述第一音叉叉股的特定电极区，同时也连接到所述第二音叉叉股的部分区域；所述第二音叉电极设置于所述第二音叉叉股的特定电极区，同时也连接到所述第一音叉叉股的部分区域，但与所述第一音叉电极是不同电极；所述导电针尖设置于所述第一音叉叉股的自由端，且与所述第一音叉电极连接，所述平衡装置设置于所述第二音叉叉股，所述第一音叉电极和所述第二音叉电极分别连接所述频率调制控制器。

在一个实施例中，所述显微镜控制器包括样品偏压处理器、静电力成像处理器和原子力反馈控制器，所述静电力成像处理器和所述原子力反馈控制器分别连接所述频率调制控制器，所述静电力成像处理器连接所述样品偏压处理器，所述样品偏压处理器和所述原子力反馈控制器分别连接所述样品扫描组件，所述样品偏压处理器连接所述导电针尖自感应探针。

一种如上述的扫描探针显微镜系统的测量方法，包括：同时将探针激发信号施加到导电针尖自感应探针的导电针尖以及放置于所述样品扫描组件的待测样品，实现表面形貌扫描；控制所述导电针尖与所述待测样品的距离增加预设高度；向所述导电针尖和所述待测样品之间施加偏置电压实现静电力的测量成像。

在一个实施例中，测量方法还包括：采用第一本征振动模式作为激发信号进行形貌成像测量；采用第二本征振动模式作为激发信号进行静电力有关的测量成像，所述第一本征振动模式对应的频率低于所述第二本征振动模式的频率。

上述扫描探针显微镜系统及其测量方法，在扫描探针显微镜系统中采用具备导电针尖的自感应探针实现样品测量，首先根据实际工作模式向导电针尖自感应探针发送对应的探针激发信号使其振动，之后采集导电针尖自感应探针工作振动时的压电响应信号进行分析，得到探针本征机械振动频率变化量。最终结合探针本征机械振动频率变化量进行反馈分析得到实际检测时所需的样品偏压信号和扫描控制信号发送至样品扫描组件，实现待测样品的测量操作。上述方案，采用带导电针尖的自感应探针来实现大气环境的扫描探针显微镜测量成像功能，并且在测量过程中利用探针本征机械振动频率变化量实现频率调制，可提高导电针尖自感应探针测量成像时的机械振动的稳定性，有利于减小导电针尖自感应探针与样品的间距，因而可用于提高静电力成像的空间分辨率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一实施例中扫描探针显微镜系统结构示意图；

图2为另一实施例中扫描探针显微镜系统结构示意图；

图3为又一实施例中扫描探针显微镜系统结构示意图；

图4为一实施例中激励信号检测示意图；

图5为一实施例中自激发信号发生电路结构示意图；

图6为一实施例中偏压信号叠加示意图；

图7为一实施例中扫描探针显微镜系统的测量方法流程示意图；

图8为一实施例中静电力显微镜工作模式示意图；

图9为一实施例中开尔文探针显微镜工作模式示意图；

图10为另一实施例中扫描探针显微镜系统的测量方法流程示意图；

图11为一实施例中双成像工作模式示意图。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳的实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容的理解更加透彻全面。

请参阅图1，一种扫描探针显微镜系统，包括：导电针尖自感应探针100，其针尖具备导电功能，能够实现自激发、自感应以及频率调制；频率调制控制器200，连接导电针尖自感应探针100，用于根据工作模式向导电针尖自感应探针100发送相应的探针激发信号，以及根据导电针尖自感应探针100振动时的压电响应信号得到探针本征机械振动频率变化量；显微镜控制器300，连接频率调制控制器200，用于根据探针本征机械振动频率变化量进行反馈分析得到样品偏压信号和扫描控制信号；样品扫描组件400，连接显微镜控制器300，用于放置待测样品，并根据样品偏压信号和扫描控制信号实现样品检测。

具体地，导电针尖自感应探针100即为针尖具备导电功能的自感应探针器件，具体类型并不是唯一的，在一个实施例中，可以采用石英为原材料进行制备得到，也即导电针尖自感应探针100为采用基于石英音叉、其针尖能够导电的自感应探针器件。样品扫描组件400即为用来固定待测样品以及实现根据输入信号实现待测样片扫描操作的器件，样品扫描组件400具体可以包括样品台410以及扫描器420等(可结合参阅图3)，其样品台410具备导电功能，导电的样品台410和扫描器420分别连接显微镜控制器300。在测量过程中，将待测样品固定在样品台410上，并将样品台410固定在扫描器420上。扫描器420具体可采用压电扫描管，通过在X、Y、Z三个方向分别施加扫描控制信号，可控制样品台410的位置，包括样品的高低(Z方向)，以及X、Y方向的扫描。样品偏压信号通过导电的样品台410施加在待测样品上，故此一般进行测量成像的待测样品通常需要具有一定的导电性，或者是非常薄的介电薄膜。

在测量成像时，导电针尖自感应探针100和样品通常是接触或者间隙接触的，导电针尖自感应探针100与样品间距非常小，如在几纳米至几十纳米的范围内。安装好导电针尖自感应探针100和待测样品后，需要通过步进马达等“粗调逼近”装置将导电针尖自感应探针100-样品间距调节到合适的范围内。之后通过显微镜控制器300的输出信号(Z方向的控制电压)来实现导电针尖自感应探针100-样品间距的细调。

而频率调制控制器200则主要用来实现导电针尖自感应探针100本征机械振动的频率调制，通过接收导电针尖自感应探针100振动时的压电响应信号，检测并输出探针本征机械振动频率变化(相对于探针没有受到外力作用时的频率)；并且还能够根据工作模式选择自激发信号或外激发信号作为探针激发信号。具体而言，在选择“Q曲线测量”模式时，采用外激发信号激发导电针尖自感应探针100的机械振动，同时测量振动的振幅并进行频率扫描测量振幅变化关系，从而获得探针的本征机械振动的中心频率、振幅和Q值。在选择“频率调制成像”模式时，采用自激发的信号激发导电针尖自感应探针100的机械振动，扫描时保持振幅不变、测量振动频率的变化，由于探针振动频率的变化与探针所受到的力有关，因而可用于力的测量并成像。

显微镜控制器300则用来接收频率调制控制器200的输出，采用一定的反馈算法进行分析，输出在导电针尖自感应探针100-样品方向(Z方向)的扫描管控制信号，以实现形貌成像。另外，还可输出外激发信号、接收导电针尖自感应探针100的压电响应信号振幅，实现导电针尖自感应探针100谐振特性的Q曲线测量。

在静电力检测或成像的模式下，显微镜控制器300通过一定的反馈算法产生样品的偏压(或针尖)信号并与其它信号叠加后输出到样品(或针尖)上，从而实现基于静电力的各种测量成像功能。样品(或针尖)的偏压信号，可以包含直流电压信号，也可以包含交流电压信号，或多个不同频率的信号的混合。需要说明的是，在导电针尖自感应探针100的测量应用中，实际产生作用的信号通常都是针尖和样品之间的电压差。如在EFM中，作用于针尖的静电力的大小通常与针尖和样品间的电压差(或局域电势差)的平方成正比。原理上，可采用样品偏压(针尖接地)或针尖偏压(样品接地)的形式，或二者均施加偏压(均不接地)的形式。

请参阅图2，在一个实施例中，扫描探针显微镜系统还包括辅助检测装置500，辅助检测装置500连接频率调制控制器200和显微镜控制器300。

具体地，一种扫描探针显微镜系统在进行测量成像时，根据扫描成像所采用的测量方法不同，所需的装置也会有所区别。在扫描探针显微镜系统采用“两遍扫描”的“抬起模式”进行测量成像，也即一遍扫描完成之后将导电针尖自感应探针100抬起一定高度，继续进行第二遍扫描成像的工作模式时，只需要通过上述频率调制控制器200以及显微镜控制器300即可实现测量操作。而当采用“一遍扫描”的“双模成像”工作方式时，则需要辅助检测装置500的参与，不需要将导电针尖自感应探针100抬起即可完成待测样品的测量成像操作。可以理解，辅助检测装置500的具体类型并不是唯一的，在一个实施例中可以采用频率调制电路或锁相电路，用于静电力信号的调制和检测。

进一步地，请继续参阅图2，在一个实施例中，扫描探针显微镜系统还包括上位机600，上位机600连接显微镜控制器300。

具体地，本实施例中，显微镜控制器300还连接有上位机600，通过上位机600可提供总体的测量控制功能的用户界面，便于用户完成测量操作。应当指出的是，上位机600的具体类型并不是唯一的，在一个实施例中，可以采用个人计算机等。

应当指出的是，频率调制控制器200的具体类型并不是唯一的，在一个实施例中，请结合参阅图3，频率调制控制器200包括前置放大电路210、自激发信号发生电路230、频率检测电路220和探针激发信号选择电路240，前置放大电路210连接导电针尖自感应探针100，前置放大电路210连接自激发信号发生电路230和频率检测电路220，自激发信号发生电路230连接探针激发信号选择电路240，自激发信号发生电路230、频率检测电路220和探针激发信号选择电路240分别连接显微镜控制器300，探针激发信号选择电路240连接导电针尖自感应探针100。

具体地，探针响应信号的前置放大将代表导电针尖自感应探针100振动情况的压电响应电流信号转变为电压信号并放大后输出。探针激发信号选择电路240通常采用单刀双掷开关，根据工作模式选择自激发信号或外激发信号作为探针激发信号输出。之后经频率检测电路220进行检测分析，即可得到探针本征机械振动频率变化量并输送至显微镜控制器300。可以理解，在一个实施例中，自激发信号发生电路230和频率检测电路220可采用锁相放大器或基于锁相技术的电路或模块来实现。

应当指出的是，在一个实施例中，请结合参阅图4，导电针尖自感应探针100的激发与检测部分电路(包括了前置放大部分)具体结构如图所示，本实施例中频率调制控制器200还进一步包括前级衰减电路250以及电容补偿电路260两部分，其中，探针激发信号选择电路240通过前级衰减电路250连接至导电针尖自感应探针100，用以输入对应的探针激发信号，而电容补偿电路260则连接前级衰减电路250和前置放大电路210，用以对导电针尖自感应探针100的寄生电容进行补偿。

导电针尖自感应探针100的机械振动通常采用电激发方式，可通过在导电针尖自感应探针100的两个电极之间施加电激发信号来实现。探针激发信号通常为正弦波电压信号，振幅通常为10mV-10V范围，频率通常与导电针尖自感应探针100的本征机械振动模式的中心频率相同或接近。导电针尖自感应探针100的振动偏转信号的检测则利用了石英晶体的压电效应，通过检测电极上的电荷来实现。其中导电针尖自感应探针100的一个电极用于施加探针激发信号，通过前级衰减电路250以及探针激发信号选择电路240连接至对应激发信号发生器件的输出级相连。导电针尖自感应探针100的另一个电极用于检测偏转信号(压电信号输出)，与前置放大电路210的输入端相连。另外，使用导电针尖自感应探针100在电激发驱动探针时，需要对导电针尖自感应探针100进行寄生电容补偿。导电针尖自感应探针100的寄生电容的主要来源于导电针尖自感应探针100的两电极的极间寄生电容。传统微悬臂探针的激励信号是施加在压电振荡器上，两电极电容的影响较小；而电激发导电针尖自感应探针100的激励信号是施加在电极上，极间电容的影响不可被忽略。

请结合参阅图5，在一个实施例中，自激发信号发生电路230包括振幅检测电路230、自动增益控制电路232和相位控制电路233，振幅检测电路230连接前置放大电路210，振幅检测电路230连接自动增益控制电路232，自动增益控制电路232连接相位控制电路233，相位控制电路233连接探针激发信号选择电路240，振幅检测电路230和自动增益控制电路232分别连接显微镜控制器300。自激发信号发生电路230用于在“激发选择”中将相位控制电路233的输出作为探针激发信号时，与导电针尖自感应探针100共同构成一个自激振荡电路，此时不需要外激发信号即可自行提供探针激发信号，从而使得导电针尖自感应探针100的机械振荡被激发。

可以理解，自激发信号发生电路230实际上就是一个正弦波的振荡电路，自激发信号发生电路230以及频率检测电路220的具体形式并不是唯一的，只要能够实现上述实施例中相应的功能均可。

在一个实施例中，扫描探针显微镜系统还包括偏压叠加电路，显微镜控制器300通过偏压叠加电路连接样品扫描组件400。

具体地，请结合参阅图6，为了避免探针激发信号对针尖和样品之间的电压差的影响，通常通过偏压叠加电路将探针激发信号叠加输出到样品上，这相当于在针尖和样品之间的增加一共模电压。

可以理解，导电针尖自感应探针100的具体类型并不是唯一的，在一个实施例中，请结合参阅图3，导电针尖自感应探针100包括第一音叉叉股130、第二音叉叉股120、音叉支架110、导电针尖160、平衡装置170、第一音叉电极150和第二音叉电极140，第一音叉叉股130和第二音叉叉股120的材料均具有压电特性，且分别设置于音叉支架110，第一音叉电极150设置于第一音叉叉股130的特定电极区，同时也连接到第二音叉叉股120的部分区域；第二音叉电极140设置于第二音叉叉股120的特定电极区，同时也连接到第一音叉叉股130的部分区域，但与第一音叉电极150是不同电极；导电针尖160设置于第一音叉叉股130的自由端，且与第一音叉电极150连接，平衡装置170设置于第二音叉叉股120，第一音叉电极150和第二音叉电极140分别连接频率调制控制器200。

具体地，本实施例中导电针尖自感应探针100是基于石英音叉(QTF)的、其针尖能够导电的探针器件。其包括2个音叉叉股(表面有电极薄膜，具体可为金属膜电极)、导电针尖160、平衡装置170、音叉支架110以及2个音叉上的金属膜电极的引出电极(第一音叉电极150和第二音叉电极140)。

本实施例中制备QTF探针(也即上述导电针尖自感应探针100)所用的石英音叉的原材料是圆柱形的、中心频率为32.768kHz的石英晶振，这种晶振常用于电子表。如可选择外径3mm、长度8mm的晶振。采用的是商用QTF(32.768kHz,10ppm，YT-38，YXC)以及钨制导电针尖160。QTF的2个音叉叉股上的2个表面电极(镀金属膜)的形状和大小是对称的(按照叉股轴向旋转180度对称)。也即第一音叉叉股130上的电极薄膜和第二叉股上120的电极薄膜是交叉连接的，使得音叉沿着轴向中心转动180度后，音叉的电极状态不变。导电针尖160可采用金属制作(如钨丝、铂铱丝等)，前端用化学方法或机械剪切方法做成尖锐的前端。导电针尖160也可采用微加工工艺制备的、硅/氮化硅或金刚石针尖，可表面镀金属导电膜以使针尖表面导电。

导电针尖160可通过导电胶与第一音叉叉股130上的金属膜电极相连，也可通过压接的方式直接与金属膜电极直接相连并进一步连接到第一音叉电极150。该电极通常同时用作音叉探针的驱动电极以及在探针-样品间施加的偏置电压信号的一个电极。第二音叉叉股120上的金属膜电极则用作音叉的压电响应信号的输出电极，并进一步连接到频率调制控制器200。这种探针结构可在不增加引出电极的情况下，实现导电针尖160的信号引出，从而可用于静电力显微镜的测量成像。

进一步地，了提高QTF探针的Q值，在第二音叉叉股120上设置了平衡装置170，使得在安装探针后两个叉股仍基本保持对称和平衡，提高Q值。另外，QTF探针及支架或其周围可以设置屏蔽体或屏蔽罩，该屏蔽体需要接地。

请结合参阅图3，在一个实施例中，显微镜控制器300包括样品偏压处理器310、静电力成像处理器320和原子力反馈控制器330，静电力成像处理器320和原子力反馈控制器330分别连接频率调制控制器200，静电力成像处理器320连接样品偏压处理器310，样品偏压处理器310和原子力反馈控制器330分别连接样品扫描组件400，样品偏压处理器310连接导电针尖自感应探针100。

具体地，本实施例中显微镜控制器300包括样品偏压处理器310、静电力成像处理器320和原子力反馈控制器330几部分，其中，样品偏压处理器310用于产生外激发信号，并在相应工作模式下将外激发信号输送至导电针尖自感应探针100进行探针激发。而静电力成像处理器320则用于接收频率调制控制器200输出的探针本征机械振动频率变化量以及自激发信号发生电路230输出的振动幅度，进行反馈控制，与样品偏压处理器310一起进行分析得到样品测量时所需的样品偏压信号。原子力反馈控制器330则用来根据探针本征机械振动频率变化量进行分析，得到测量所需的扫描控制信号。

应当指出的是，上述扫描探针显微镜系统在不同显微镜类型下，例如，EFM、KPFM和SCM三种不同类型，其测试系统的具体结构以及测试方法也会有一定的区别。例如采用“两遍扫描、抬起模式”的工作模式进行测试时，不需要辅助检测装置500的参与，而采用“一遍扫描，双模成像”的工作方式时，则需要辅助检测装置500的参与。故在一个实施例中，可结合实际使用场景，可将EFM和KPFM组合在一起，通过一个开关进行两者的选择切换，通过一个系统实现两种不同的显微镜功能；又如可以将EFM和SCM组合在一起并通过“双模成像”在一遍扫描中完成二者的测量成像等。

上述扫描探针显微镜系统，在扫描探针显微镜系统中采用具备导电针尖160的自感应探针实现样品测量，首先根据实际工作模式向导电针尖自感应探针100发送对应的探针激发信号使其振动，之后采集导电针尖自感应探针100工作振动时的压电响应信号进行分析，得到探针本征机械振动频率变化量。最终结合探针本征机械振动频率变化量进行反馈分析得到实际检测时所需的样品偏压信号和扫描控制信号发送至样品扫描组件400，实现待测样品的测量操作。上述方案，采用带导电针尖160的自感应探针来实现大气环境的扫描探针显微镜测量成像功能，并且在测量过程中利用探针本征机械振动频率变化量实现频率调制，可提高导电针尖自感应探针100测量成像时的机械振动的稳定性，有利于减小导电针尖自感应探针100与样品的间距，因而可用于提高静电力成像的空间分辨率。

请参阅图7，一种如上述的扫描探针显微镜系统的测量方法，包括步骤S100、步骤S200和步骤S300。

步骤S100，同时将探针激发信号施加到导电针尖自感应探针的导电针尖以及放置于样品扫描组件的待测样品，实现表面形貌扫描；步骤S200，控制导电针尖与待测样品的距离增加预设高度；步骤S300，向导电针尖和待测样品之间施加偏置电压实现静电力的测量成像。

具体地，扫描探针显微镜系统的具体结构如上述各个实施例及附图所示，以基于导电针尖自感应探针100的静电力显微镜的测量方法进行解释说明，请结合参阅图8，采用“两遍扫描、抬起模式”的工作模式，第一遍进行形貌扫描，形貌扫描时，音叉探针的机械振动采用“频率调制”方式。理论上，针尖所受力的梯度与本征振动的频率变化量成正比。参考点的频率变化量可以设置为正(频率变高，排斥力范围成像，类似与原子力显微镜中常见的轻敲模式，tappingmode)，也可以设置为负(频率变低，吸引力范围成像，即非接触模式原子力显微镜，NC-AFM)。为了获得音叉探针的机械振动特性，形貌扫描前需进行探针振动特性的测量，即“Q曲线测量”。在Q曲线测量时，采用抬起及偏压发生器产生的外激发信号对探针进行激发，并通过自激发信号发生电路230中的振幅检测电路230部分检测振动幅度。形貌成像时，需将探针激发切换成“自激发”，即将探针激发信号选择电路240的工作状态进行切换。

形貌扫描时，为了避免针尖-样品间的整体电势差异对形貌成像的影响，样品的偏压信号设置为零。因为针尖导电，且与第一音叉电极150是连通的，也就是探针激发信号实际上也施加到了导电针尖160上。所以，形貌扫描时需要将探针激发信号同时施加到样品上。这样，相当于在针尖和样品之间的增加一共模电压，实际的针尖-样品间的偏压为零。

将被测样品固定在扫描器的上方，并令针尖与被测样品之间的作用力的达到所设定的力梯度，显微镜控制器300输出电压控制信号控制扫描器进行三维移动，带动被测样品发生三维位置变化，获得被测样品的表面形貌图。

在完成第一遍的形貌扫描后，将探针抬起一定的高度(如5-20纳米，在本方案中实际通过将样品降低对应高度来实现)。将探针抬起的目的是避免“短程的”范德华力对静电力的测量成像的影响，因为相对于范德华力，静电力是“长程力”。静电力成像时，音叉探针的机械振动采用“频率调制”方式。理论上，针尖所受力的梯度与本征振动的频率变化量成正比。参考点的频率变化量可以设置为设置为负(频率变低，吸引力范围成像，因为针尖所受到的静电力的梯度为负。

在第二遍扫描实现基于静电力的测量成像时，在针尖-样品间需要施加一定的交流偏置电压，但直流的偏置电压则设置为零。因为针尖导电，且与第一音叉叉股130是连通的，也就是探针激发信号实际上也施加到了导电针尖160上，所以，静电力测量成像时只需将样品总的偏置电压设置为零；可通过将样品直接接地来实现。这时，实际的针尖-样品间的偏压的交流部分就等于探针激发的激发电压，而实际的针尖-样品间的偏压的直流部分就等于针尖与样品的表面电势(或局域功函数)之间的差异。探针所受到的静电力分量F(w)随着局域功函数的变化而变化。

请结合参阅图9，在另一个实施例中，当开尔文探针力显微镜(KPFM)采用“两遍扫描、抬起模式”的工作模式进行测量时，第一遍形貌扫描的具体操作与静电力显微镜的第一遍形貌扫描操作一致，主要不同之处在于第二遍扫描实现基于静电力的表面电势的测量成像。在KPFM扫描成像的每个测量位置点上，均需要施加一个直流偏置电压Udc以补偿探针-样品间局域的电势差异，从而使得针尖所受到的静电力在交流激发信号频率的分量F(w)为零。因此，可测量得到样品表面电势及其分布的图像。该直流偏置电压Udc是通过静电力成像处理器320产生的，并通过样品偏压处理器310输出到待测样品上。

进一步地，“两遍扫描、抬起模式”的工作模式还可用于扫描电容显微镜(SCM)，该测量方法与采用“两遍扫描、抬起模式”的EFM、KPFM的测量方法大致相同。其中，第一遍扫描形貌的方法完全相同。主要不同之处在于第二遍扫描实现基于静电力的电容的测量成像，SCM测量探针激发信号的二倍频信号F2w，所测得的成像信号为电容的梯度，与反映样品的介电性质有关。

在一个实施例中，请结合参阅图10，测量方法还包括步骤S400和步骤S500。

步骤S400，采用第一本征振动模式作为激发信号进行形貌成像测量；步骤S500，采用第二本征振动模式作为激发信号进行静电力有关的测量成像。

具体地，第一本征振动模式对应的频率低于第二本征振动模式的频率。请结合参阅图11，静电力显微镜(EFM，包括KPFM)的测量可“双模成像”方法实现形貌和静电力信号的“一遍扫描”成像。因为进行电学测量时无需再将探针抬起，因而能够减小探针-样品间距、提高其分辨率。和普通激光检测用的微悬臂探针一样，基于QTF的自感应探针存在多个不同频率的本征机械振动模式，如第一本征振动模式(设对应频率f1，频率较低)和第二本征振动模式(设对应频率为f2，频率较高)。这两个本征机械振动可同时使用，分别用于不同特性信号的测量成像。上述过程中用于形貌成像的原子间力的信号与静电力信号分别调制在不同频率的信号上，因而能够做到在一遍扫描中同时完成两种信号的测量成像。

为了提高探针振动的稳定性，探针的第一本征振动模式采用频率调制方式，进行形貌成像。第一本征振动由频率调制控制器200完成激发和检测；其中频率检测电路220可采用锁相技术。而第二本征振动模式的信号由辅助检测装置500完成激发和检测，实现静电力显微镜(EFM)/开尔文探针力显微镜(KPFM)的测量成像，采用锁相技术。其倍频信号也可由辅助检测装置500通过锁相技术处理，实现与扫描电容显微镜(SCM)有关的测量成像。

“双模成像”EFM中，为了避免音叉激励信号对针尖和样品之间的电压差的影响，通常通过样品偏压处理器310将探针激发信号(对应频率为f1)叠加输出到样品上。这相当于在针尖和样品之间的增加一共模电压。而静电力成像处理器320所产生的偏压信号则可能包含交流的偏压信号和直流的偏压信号。在“双模成像”EFM中，直流的偏压信号为0。在“双模成像”KPFM中，直流的偏压信号Vdc由静电力成像处理器320实时产生和调整。

应当指出的是，上述实施例中，形貌成像和静电力成像均采用了“频率调制”和“自激发”、“自感应”方式，在其它实施例中，形貌成像和静电力成像可分别单独或全部采用“幅度调制”的替代方案实现。同时，上述方案中通过施加样品偏压的方式实现检测，在其它实施例中，还可以是采用“探针偏压”的替代方案，基于相同的测试原理，同样可完成待测样品的测量操作。

上述扫描探针显微镜系统的测量方法，在扫描探针显微镜系统中采用具备导电针尖160的自感应探针实现样品测量，首先根据实际工作模式向导电针尖自感应探针100发送对应的探针激发信号使其振动，之后采集导电针尖自感应探针100工作振动时的压电响应信号进行分析，得到探针本征机械振动频率变化量。最终结合探针本征机械振动频率变化量进行反馈分析得到实际检测时所需的样品偏压信号和扫描控制信号发送至样品扫描组件400，实现待测样品的测量操作。上述方案，采用带导电针尖160的自感应探针来实现大气环境的扫描探针显微镜测量成像功能，并且在测量过程中利用探针本征机械振动频率变化量实现频率调制，可提高导电针尖自感应探针100测量成像时的机械振动的稳定性，有利于减小导电针尖自感应探针100与样品的间距，因而可用于提高静电力成像的空间分辨率。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种扫描探针显微镜系统，其特征在于，包括：

导电针尖自感应探针，其针尖具备导电功能，能够实现自激发、自感应以及频率调制；

频率调制控制器，连接所述导电针尖自感应探针，用于根据工作模式向所述导电针尖自感应探针发送相应的探针激发信号，以及根据所述导电针尖自感应探针振动时的压电响应信号得到探针本征机械振动频率变化量；

显微镜控制器，连接所述频率调制控制器，用于根据所述探针本征机械振动频率变化量进行反馈分析得到样品偏压信号和扫描控制信号；

样品扫描组件，连接所述显微镜控制器，用于放置待测样品，并根据所述样品偏压信号和所述扫描控制信号实现样品检测。

2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，还包括辅助检测装置，所述辅助检测装置连接所述频率调制控制器和所述显微镜控制器。

3.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，还包括上位机，所述上位机连接所述显微镜控制器。

4.根据权利要求1-3任一项所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述频率调制控制器包括前置放大电路、自激发信号发生电路、频率检测电路和探针激发信号选择电路，所述前置放大电路连接所述导电针尖自感应探针，所述前置放大电路连接所述自激发信号发生电路和所述频率检测电路，所述自激发信号发生电路连接所述探针激发信号选择电路，所述自激发信号发生电路、所述频率检测电路和所述探针激发信号选择电路分别连接所述显微镜控制器，所述探针激发信号选择电路连接所述导电针尖自感应探针。

5.根据权利要求4所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述自激发信号发生电路包括振幅检测电路、自动增益控制电路和相位控制电路，所述振幅检测电路连接所述前置放大电路，所述振幅检测电路连接所述自动增益控制电路，所述自动增益控制电路连接所述相位控制电路，所述相位控制电路连接所述探针激发信号选择电路，所述振幅检测电路和所述自动增益控制电路分别连接所述显微镜控制器。

6.根据权利要求1-3任一项所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，还包括偏压叠加电路，所述显微镜控制器通过所述偏压叠加电路连接所述样品扫描组件。

7.根据权利要求1-3任一项所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述导电针尖自感应探针包括第一音叉叉股、第二音叉叉股、音叉支架、导电针尖、平衡装置、第一音叉电极和第二音叉电极，所述第一音叉叉股和所述第二音叉叉股的材料均具有压电特性，且分别设置于所述音叉支架，所述第一音叉电极设置于所述第一音叉叉股的特定电极区，同时也连接到所述第二音叉叉股的部分区域；所述第二音叉电极设置于所述第二音叉叉股的特定电极区，同时也连接到所述第一音叉叉股的部分区域，但与所述第一音叉电极是不同电极；所述导电针尖设置于所述第一音叉叉股的自由端，且与所述第一音叉电极连接，所述平衡装置设置于所述第二音叉叉股，所述第一音叉电极和所述第二音叉电极分别连接所述频率调制控制器。

8.根据权利要求1-3任一项所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述显微镜控制器包括样品偏压处理器、静电力成像处理器和原子力反馈控制器，所述静电力成像处理器和所述原子力反馈控制器分别连接所述频率调制控制器，所述静电力成像处理器连接所述样品偏压处理器，所述样品偏压处理器和所述原子力反馈控制器分别连接所述样品扫描组件，所述样品偏压处理器连接所述导电针尖自感应探针。

9.一种如权利要求1-8任一项所述的扫描探针显微镜系统的测量方法，其特征在于，包括：

同时将探针激发信号施加到导电针尖自感应探针的导电针尖以及放置于所述样品扫描组件的待测样品，实现表面形貌扫描；

控制所述导电针尖与所述待测样品的距离增加预设高度；

向所述导电针尖和所述待测样品之间施加偏置电压实现静电力的测量成像。

10.根据权利要求8所述的测量方法，其特征在于，还包括：

采用第一本征振动模式作为激发信号进行形貌成像测量；

采用第二本征振动模式作为激发信号进行静电力有关的测量成像，所述第一本征振动模式对应的频率低于所述第二本征振动模式的频率。

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