CN113086552A - 输送机系统和输送机系统中的对准方法 - Google Patents

输送机系统和输送机系统中的对准方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113086552A
CN113086552A CN202110023026.8A CN202110023026A CN113086552A CN 113086552 A CN113086552 A CN 113086552A CN 202110023026 A CN202110023026 A CN 202110023026A CN 113086552 A CN113086552 A CN 113086552A
Authority
CN
China
Prior art keywords
group
target
conveyor system
node
limit sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202110023026.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113086552B (zh
Inventor
朴炯珍
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semes Co Ltd
Original Assignee
Semes Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semes Co Ltd filed Critical Semes Co Ltd
Publication of CN113086552A publication Critical patent/CN113086552A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113086552B publication Critical patent/CN113086552B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G15/00—Conveyors having endless load-conveying surfaces, i.e. belts and like continuous members, to which tractive effort is transmitted by means other than endless driving elements of similar configuration
    • B65G15/30—Belts or like endless load-carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
    • B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B65G43/10—Sequence control of conveyors operating in combination
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B65G47/26—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles
    • B65G47/30—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles during transit by a series of conveyors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B65G47/26—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles
    • B65G47/30—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles during transit by a series of conveyors
    • B65G47/31—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles during transit by a series of conveyors by varying the relative speeds of the conveyors forming the series
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02—Control or detection
    • B65G2203/0208—Control or detection relating to the transported articles
    • B65G2203/0233—Position of the article
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04—Detection means
    • B65G2203/047—Switches

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)

Abstract

提供了一种用于移动多个目标的输送机系统。所述输送机系统包括用于输入所述目标的至少一个输入组、用于输出所述目标的至少一个输出组、以及用于将所述输入组与所述输出组连接的至少一个桥接组。所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的每一者包括多个节点，所述多个节点的大小与一个目标的大小相对应。所述输送机系统进一步包括用于对准在所述输送机系统上移动的所述目标的控制单元。

Description

输送机系统和输送机系统中的对准方法
背景技术
本文描述的本发明构思的实施方式涉及一种输送机系统和一种输送机系统中的对准方法。
提供一种输送机系统以移动多个目标。输送机系统的目标可以是容纳晶片的容器。根据一个实施方式，输送机系统的目标可以是前开式晶片盒(FOUP)。目标可以沿着输送机系统上的特定路径移动。因此，多个目标沿着输送机系统中的路径移动。在这种情况下，可以跟踪多个目标的位置。
然而，当在输送机系统的操作期间发生停电或系统故障时，输送机系统的操作停止。尽管在输送机系统的操作停止时必须再次快速地操作输送机系统，但是在可能无法跟踪设置在输送机系统上的目标的位置的状态下再次操作输送机系统可能是困难的。因此，需要一种对准输送机系统上的目标以跟踪在输送机系统上移动的目标的位置的方式。
发明内容
本发明构思的实施方式提供了一种用于自动地对准存在于未跟踪目标的位置处的多个目标以使得目标是易处理的方法。
有待由发明构思解决的技术问题不限于上文所提及的问题，且发明构思所属的本领域的技术人员根据以下描述将清楚地理解本文中未提及的任何其它技术问题。
根据示例性实施方式，公开了一种用于移动多个目标的输送机系统。所述输送机系统可以包括用于输入所述目标的至少一个输入组、用于输出所述目标的至少一个输出组、以及用于将所述输入组与所述输出组连接的至少一个桥接组。所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的每一者可以包括多个节点，所述多个节点的大小与一个目标的大小相对应。所述输送机系统可以进一步包括用于对准在所述输送机系统上移动的所述目标的控制单元。
根据一个实施方式，每个节点可以包括正确位置传感器；第一极限传感器，所述第一极限传感器用于感测所述目标是否位于所述节点的一端处；第二极限传感器，所述第二极限传感器用于感测所述目标是否位于所述节点的另一端处；以及驱动马达，所述驱动马达用于驱动所述节点。
根据一个实施方式，所述控制单元可以首先对准所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的一些组之间的所述目标；并且当对准在所述输送机系统上移动的所述目标时，其次对准所述输入组、所述输出组或所述桥接组内部的所述目标。
根据一个实施方式，为了首先对准所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的一些组之间的所述目标，可以确定在所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的每一者的相对端中的节点处是否感测到所述目标，并且指定其中设置有所感测目标的第一组和第二组，并且当感测到所述目标时，确定所述第一组和所述第二组是否在输送机的前进方向上彼此成一直线连接。
根据一个实施方式，可以在所述输送机的所述前进方向上驱动在所述第一组中的最后一个节点处的驱动马达和在所述第二组中的第一节点处的驱动马达。
根据一个实施方式，当关闭所述第一组中的所述最后一个节点处的所述正确位置传感器时，并且当打开所述第二组的所述第一节点处的所述正确位置传感器且关闭所述第一极限传感器和所述第二极限传感器时，所述控制单元可以执行控制操作以停止驱动所述驱动马达。
根据一个实施方式，为了其次对准所述输入组、所述输出组或所述桥接组内部的所述目标，可以确定在所述输入组、所述输出组和所述桥接组中所包括的所述节点之间是否感测到所述目标，并且验证是否在感测到所述目标的所述组中的最后一个节点处关闭所述第一极限传感器。
根据一个实施方式，当关闭所述第一极限传感器时，可以在所述第一极限传感器的方向上驱动所述组中所有节点处的驱动马达。
根据一个实施方式，当在两个节点中的感测到所述目标的一个节点处关闭所述正确位置传感器时，并且当在所述两个节点中的其余节点处打开所述正确位置传感器且关闭所述第一极限传感器和所述第二极限传感器时，可以停止驱动所述驱动马达。
根据一个实施方式，当在预设时间内未感测到所述目标时，可以停止驱动在所述组中的所有节点处的所述驱动马达。
根据一个实施方式，当所有目标在所述输送机系统中完全对准时，所述控制单元可以重新操作所述输送机系统。
根据一个实施方式，所述对准可以对应于在包括在所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的所有节点中的每个节点处关闭所述第一极限传感器和所述第二极限传感器的情况。
根据一个实施方式，所述目标可以是容纳晶片的容器。
根据一个实施方式，公开了一种使用所述输送机系统的对准方法。
所述对准方法可以包括：首先对准所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的一些组之间的所述目标；以及其次对准所述输入组、所述输出组或所述桥接组内部的所述目标。
附图说明
根据以下参考附图的描述，上述和其他目的和特征将变得显而易见，其中，除非另有说明，否则相同附图标记在各个附图中是指相同部分，并且其中：
图1是详细地展示了根据本发明构思的输送机系统中的组的视图；
图2是展示了根据本发明构思的组包括输送机系统中的节点的视图；
图3是展示了根据本发明构思的节点的配置的视图；
图4至图6是展示了根据本发明构思的执行一次对准的视图；
图7至图9是展示了根据本发明构思的执行二次对准的视图；
图10是展示了根据本发明构思的实施方式的在输送机系统中执行对准的视图；
图11是展示了在图10的实施方式中执行根据本发明构思的对准时获得的结果的视图；
图12是仅展示了根据本发明构思的对准方法的流程图；并且
图13是展示了根据本发明构思的输送机系统中的对准方法的流程图。
具体实施方式
从以下参考附图的描述以及将参考附图详细描述的实施方式，本发明构思的优点和特征及其实现方法将变得显而易见。然而，本发明构思可以以各种不同的形式来体现，并且不应被解释为仅限于所展示的实施方式。相反，提供这些实施方式作为示例以使得本公开将彻底且完整，并且将本发明的构思完全传达给本领域的技术人员。本发明构思可以由权利要求书的范围限定。
除非另外指定，否则本文所用的所有术语(包括技术或科学术语)具有本发明构思所属领域的普通技术人员通常所理解的相同的含义。将进一步理解，本文使用的术语应被解释为具有与其在本公开和相关领域的背景下的含义一致的含义，并且将不会以理想化或过度正式的意义来解释，除非本发明构思明确定义。
提供本发明构思中所用的术语是出于说明性目的，但是本发明构思不限于此。如本文所用，单数术语旨在也包括复数形式，除非上下文另有明确说明。此外，将进一步理解，术语“包含”和/或各种形式(诸如“包括”、“含有”和/或“包含有”)在本文中使用时指明存在所陈述的组成、成分、部件、步骤、操作和/或元件，但是不排除存在或添加一个或多个其他组成、成分、部件、步骤、操作和/或元件。在本说明书中，术语“和/或”指示所公开的每个部件或这些部件的组合。
虽然术语“第一”、“第二”等可以在本文中用于描述各种部件，但是这些部件不应受这些术语的限制。这些术语用来将一个部件与另一个部件区分开。例如，在不脱离本发明构思的技术范围的情况下，下面讨论的第一部件可以被称为第二部件。类似地，第二部件可以被称为第一部件。
除非上下文另有明确说明，否则单数形式旨在包括复数形式。此外，为了更清楚地描述，附图中的元件的形状和大小将被放大。
在整个说明书中通篇使用的术语“～单元”可以用作处理至少一种功能或操作的单元，并且可以指例如诸如现场可编程门阵列(FPGA)或专用集成电路(ASIC)的软件或硬件。否则，术语“～单元”不限于软件或硬件。术语“～单元”可以配置成存在于将被分配地址的存储介质中，并且可以配置成再现一个或多个处理器。
例如，部件“～单元”可以包括部件(诸如软件部件、面向对象的软件部件、类部件和任务部件)、过程、功能、属性、规程、子例程、程序代码片段、驱动程序、固件、微代码、电路、数据、数据库、数据结构、表、数组以及参数。由部件和“～单元”提供的功能可以由多个部件和“～单元”一起执行，并且可以与另一附加部件集成。
图1是详细地展示了根据本发明构思的输送机系统中的组的视图。
在描述根据本发明构思的输送机系统之前，将在下面定义在本发明构思中使用的术语。
根据本发明构思，输送机系统1可以包括一个或多个输入组10a和10b、一个或多个输出组30a、30b和30c、以及一个或多个桥接组20a、20b和20c。
输入组可以指用于输入目标的组。输出组可以指用于输出目标的组。桥接组是指将输入组与输出组连接的组。可以在一个输送机系统上提供多个输入组、输出组和桥接组。一组可以指多条输送线路之一。
可以基于输送线路的分割点对组进行分类。
参见图1，输入组可以包括输送线路10a和10b，输出组可以包括输送线路30a、30b和30c，并且桥接组可以包括输送线路20a、20b和20c。
输入组可以是用于从外部输入目标的输送线路。
输入组的起点可以在用于从外部输入目标的线路上。输入组的终点可以是一条线路的分割点。替代地，输入组的终点可以是用于将目标输入到另一条线路的点。
输出组可以是用于将目标输出到外部的输送线路。
输出组的端点可以是用于将目标输出到外部的线路的端点。输出组的起点可以是桥接组的终点或者是收集多个分割点的点。
桥接组可以是用于将输入组与输出组连接的组。
在目标沿输送机方向移动时产生分支点的情况下，可以对输入组、输出组和桥接组进行分类。在这种情况下，当对组进行分类时，可以基于用作分割点的旋转节点来对输入组、输出组和桥接组进行分类。旋转节点可以指改变输送机中的前进方向的节点。
旋转节点可以被视为在单独的桥接组中。
输入组、输出组和桥接组可以设置为多个。在输送机系统中，目标可以通过桥接组从输入组移动到输出组。目标可以从一个输入组移动到多个输出组。
图2是展示了根据本发明构思的输送机系统中的组包括节点的视图。这是对应于图1的视图。
输入组、输出组和桥接组的全部可以包括一个或多个节点100。节点100可以以相等的大小形成。可以将节点100的大小设置为大于目标的大小。根据一个实施方式，所有组可以包括输入节点、输出节点和多个桥接节点。
在图2中，标记在节点100上的三角形指示输送机的方向。
参见图2，在节点100上提供了两个圆圈重叠的节点。节点是旋转节点40a至40h。旋转节点40a至40h可以改变输送带上的前进方向。
旋转节点可以被视为在单独的桥接组中。
图3是展示了根据本发明构思的节点100的配置的视图。
节点100可以包括驱动马达140以驱动节点100。驱动马达140可以提供驱动力，使得设置在节点100的上部部分处的目标移动到另一个节点。
节点100可以包括正确位置传感器130以感测目标是否设置在节点100上。
当目标被设置在节点100上时，正确位置传感器130可以被处理成打开。当目标未设置在节点100上时，正确位置传感器130可以被处理成关闭。正确位置传感器130可以设置在节点100的中心处。
节点100可以包括第一极限传感器110和第二极限传感器120以感测目标是否设置在节点100的相对端处。
第一极限传感器110可以是正极限传感器。第二极限传感器120可以是负极限传感器。第一极限传感器110可以设置在节点100的右端处。第二极限传感器120可以设置在节点100的左端处。
当目标设置在节点100的右端或左端处时，第一极限传感器110或第二极限传感器120可以打开。当目标设置在节点100的中心处而不干扰节点100的相对端时，第一极限传感器110和第二极限传感器120可以被关闭。
换句话说，取决于极限传感器是打开还是关闭，可以确定目标是否位于节点的边缘处。
尽管图3展示了第一极限传感器110和第二极限传感器120与节点100的端部部分地分开，但是第一极限传感器110和第二极限传感器120可以更接近于节点100的相对端定位。
假设节点在输送带上移动到右侧，则节点100中的第一极限传感器110可以是位于右侧的传感器。第二极限传感器120可以是位于左侧的传感器。
第一极限传感器可以是定位在当节点在输送带上移动时稍后与节点接触的侧表面上的传感器。第二极限传感器可以是定位在当节点在输送带上移动时节点首先通过的侧表面上的传感器。
旋转节点中的第一极限传感器和第二极限传感器可以根据旋转节点的前进方向而变化。
当将目标设置在节点的正确位置上时，可以跟踪目标，并且可以再次操作输送机系统。在这种情况下，正确位置可以指在所有组中所包括的节点中关闭第一极限传感器和第二极限传感器的情况。在这种情况下，由于输送机系统上的目标被设置在任何节点处而没有干扰相对端，或者另一个节点处于完全空的状态，因此目标可以被认为处于正确位置并且可以被自动地对准。
根据本发明构思，输送机系统可以进一步包括控制单元。
当目标可能未对准时，控制单元可控制输送机系统上的目标自动地对准。根据本发明构思，控制单元可以首先在互不相同的组之间执行对准，然后在一组内部执行对准。将参考附图描述对准方法的细节。
为了说明性目的而提供了图3所示的节点的配置，并且可以在包括要执行相同功能的部件的条件下以不同的结构来提供一些部件。
图4至图6是展示了根据本发明构思的执行一次对准的视图。
参见图4至图6，在旋转节点40的左侧、右侧和下侧公开了三个组。尽管在旋转节点40的右侧和下侧中的每一者处公开了仅一个节点，但是为了清楚起见将省略其细节。根据一个实施方式，多个节点彼此连接以形成组。
参见图4，公开了一个实施方式，其中当输送机系统停止时，目标A停止在输入组11与旋转节点40之间的边界上。如上所述，旋转节点40可以被视为一个桥接组。输入组11包括节点11a和节点11b。
根据图4的实施方式，当输入组11中的最后一个节点11b的第一极限传感器打开并且旋转节点(组)40的第二极限传感器打开时，目标A对应于互不相同的组之间的一次对准的目标。
首先，可以指定其中设置有目标A的两个组。参见图4，两个组对应于输入组11和旋转节点40。在指定两个组之后，在输送机的前进方向上顺序地指定第一组和第二组。因此，假设输送带沿向右方向前进，则第一组是输入组11，而第二组是旋转节点40。
输入组11和旋转节点40可以布置成一条线路，并且可以对准，因为没有另外的障碍物。
图5是展示了以一次对准驱动马达的视图。
参见图5，驱动第一组(即，输入组11)中的最后一个节点11b处的马达和第二组(即，旋转节点40)中的第一节点处的马达。在图5中，由于第二组仅包括一个节点，因此尽管旋转节点40被驱动，但是第一节点可以在包括多个节点的第二组中被驱动。
图6是展示了通过完成组内部的目标的对准而获得的结果的视图。参见图6，当驱动第一组中的最后一个节点11b的马达和旋转节点40处的马达时，目标在向右方向(即，输送带的前进方向)上移动。根据移动结果，当节点11b处的正确位置传感器被关闭时，旋转节点40处的正确位置传感器被打开，并且旋转节点40处的第一极限传感器和第二极限传感器被关闭，可能会停止马达的驱动。
通过该规程，目标可以在彼此不同的第一组与第二组之间对准。
图7至图9是展示了根据本发明构思的执行二次对准的视图。
参见图7至图9，公开了一种结构，其中旋转节点40设置在相对端处，并且一个桥接组12连接在旋转节点40之间。桥接组12可以包括四个节点12a、12b、12c和12d。
参见图7，公开了一种结构，其中目标A设置在组内部的节点12b和12c之间的边界上。
在图7中，可以根据组内部多个节点中的每个节点中的第一极限传感器和第二极限传感器的感测状态来确定在组内部的节点处是否感测到目标。
在图7中，可以确认节点12b处的第一极限传感器和节点12c处的第二极限传感器已打开。
图8展示了在图7的实施方式中驱动马达以进行对准。
用于对准组内部的目标的方法可以驱动组内部所包括的所有节点处的马达。换句话说，根据图8的实施方式，可以驱动节点12a、12b、12c和12d中的马达。
图9是展示了通过完成组内部的目标的对准而获得的结果的视图。参见图9，当驱动组内部的马达时，目标沿向右方向移动。换句话说，当节点12b处的正确位置传感器被关闭时，节点12c处的正确位置传感器被打开，并且节点12c处的第一极限传感器和第二极限传感器被关闭，可能会停止马达的驱动。
可以通过该规程执行组内部的目标的对准。
本发明构思可以应用于输送机系统在驱动之后停止的情况。输送机系统的驱动停止的情况可能是输送机系统发生停电或系统故障的情况。为了恢复输送机系统的驱动，必须将目标对准输送机节点的正确位置。这是因为当将目标设置在输送机节点的正确位置处时可以跟踪目标。根据本发明构思，可以自动地对准目标，使得目标被设置在节点上的正确位置处。根据本发明构思，可以如本发明构思所定义的那样，通过首先执行组之间的对准并且其次执行组内部的对准来实现自动对准逻辑。
根据发明构思，目标可以是其中容纳晶片的容器。根据本发明构思，目标不限于此。例如，可以广泛地使用各种目标，只要目标可移动通过输送机即可。换句话说，本发明构思可以用于可移动通过输送机以跟踪位置的系统。位置的跟踪是指识别目标存在的位置。
图10是展示了根据本发明构思的实施方式的在输送机系统中执行对准的视图。
图10是展示了根据实施方式的在输送机系统上移动之后目标A1、A2和A3被停止的视图。将根据在图10中示出的实施方式的输送机系统上执行对准来进行以下描述。
参见图10，公开了两个输入组和四个旋转节点，公开了四个桥接组以将输入组与旋转节点连接，并且公开了两个输出组。公开了目标A1、A2和A3。
关于对准顺序，应在组之间的对准之后执行组内部的对准。当在组之间的对准之前首先执行组内部的对准时，在组内部的对准规程期间可能对在组之间的边界上的目标施加影响。因此，可以首先执行在广义上的组之间的对准。
为了首先执行组之间的对准并且其次执行组内部的对准，首先考虑目标是否在组之间的边界上。
考虑所有组的相对端的节点处的极限传感器的感测状态。在图10中，目标由第一组中的最后一个节点处的第一极限传感器感测，并且目标由第二组的第二极限传感器感测。因此，可以首先执行针对目标A3的对准。
指定一个组，在该组中设置用作组之间的边界上的目标的目标A3。参见图10，可以指定第一组和第二组。在图10中，确定第一组和第二组是否彼此成一直线连接。由于第一组和第二组成一直线连接，因此执行下一阶段。在这种情况下，确定首先设置在输送机的前进方向上的组。参见图10，将第二组设置在第一组之后。
当指定了组时，将第一组中的最后一个节点与第二组中的第一节点进行比较，以检查对准是否是可能的。当除目标之外还存在另一故障时，通过仅驱动马达执行的对准可能会失败。因此，可以将通过仅驱动马达执行的对准可能失败的情况通知用户。当除设置目标之外没有特定物体时，可以确定对准是可能的，并且将在第一组中的最后一个节点和第二组中的第一节点处包括的马达沿输送机的前进方向驱动。根据驱动结果，当第一组中的最后一个节点处于空状态，第二组中的第一节点处的正确位置传感器打开，并且第一极限传感器和第二极限传感器在第二组的第一节点处关闭时，确定对准已经完成，并且可以停止在第一组的最后一个节点和第二组的第一节点处包括的马达的驱动。在以上规程之后，可以确定针对目标A3的对准已经完成。
当组之间的对准完成时，执行二次对准，该对准是组内部的对准。
为了执行二次对准，确定所有组中的最后一个节点处的第一极限传感器是否被关闭。由于第一极限传感器与输送机的前进方向相关联，因此确定最后一个节点处的第一极限传感器已关闭。
当在输送机的前进方向上在组内部的最后一个节点的端部处打开极限传感器时，并且当驱动组内部的马达时，可能引起组之间的干扰。当在输送机的前进方向上在组内部的最后一个节点的端部处打开极限传感器时，可以执行组之间的对准，即，一次对准。
当关闭所有组中最后一个节点处的第一极限传感器时，可以在输送机的前进方向上在组中所有节点处驱动马达。参见图10，可以在第一组中所包括的所有节点处驱动马达。当在驱动所有节点处的马达之后关闭节点处的正确位置传感器时，当打开另一节点处的正确位置传感器时，以及当打开相关节点处的第一极限传感器和第二极限传感器时，可以停止马达的驱动。当在第一组中的所有节点处的马达被驱动之后，在预定时间内没有目标通过相关节点时，可以停止相关马达的驱动。通过以上方式可以有效地使用马达。预设时间可以在五秒或十秒的范围内。
因此，当目标A1和A2在第一组中对准时，所有目标A1、A2和A3可以在输送机系统中完全对准。因此，可以跟踪输送机系统中的所有目标，并且可以再次执行输送机系统的驱动。
图11是展示了在图10的实施方式中执行根据本发明构思的对准时获得的结果的视图。
作为在图10的实施方式中执行根据本发明构思的对准所获得的结果，所有目标都被设置在节点上的正确位置处，因此可以再次操作输送机系统。
图12是仅展示了根据本发明构思的对准方法的流程图。
参见图12，可以停止根据本发明构思的输送机系统的操作。由于各种原因，操作可以停止。根据一个实施方式，由于停电或系统故障，操作可以停止。当输送机系统的操作停止时，输送机系统的控制单元可以确定输送机系统是否再次操作。
为了再次操作输送机系统，应当完成在输送机系统上移动的目标的对准。当对准完成时，可以跟踪目标，因此重新操作输送机系统。
尽管输送机系统的操作被停止，但是当目标的对准完成作为重新操作的检查结果时，可以执行重新操作。
当目标未完全对准作为重新操作的检查结果时，必须在执行目标对准之后检查对准是否完成。当对准未完成时，将再次执行对准。目标的对准可以按照一次对准和二次对准的顺序进行。
将参考图13描述用于目标的对准方法。
图13是展示了根据本发明构思的输送机系统中的对准方法的流程图。
在执行图13所示的对准方法之前，根据本发明构思的输送机系统可以将其上的框架(rails)分类成输入组、输出组和桥接组。这些组可以包括具有与目标的大小相对应的大小的多个节点。由于上面已经详细描述了组的分类方式，因此将省略其细节。
根据本发明构思，输送机系统可以确定在输送机系统停止的状态下是否感测到输送机系统中所包括的所有组中的相对端的节点处的目标。更详细地，可以确定是否通过在前进方向上的每组中的端部的节点处的第一极限传感器和在反向方向上的每组中的反向端部的节点处的第二极限传感器来感测目标。可以针对所有组做出该确定。
在这种情况下，当在所有组中的相对端的节点处感测到目标时，执行一次对准。在这种情况下，指定彼此不同的第一组和第二组，其中所感测目标在第一组与第二组之间的边界上。在指定了第一组和第二组之后，确定第一组和第二组是否成一直线布置。
当第一组和第二组成一直线布置时，指定组，以使得第二组在输送机的前进方向上在第一组之后对准。
在指定了第一组和第二组之后，确定在第一组与第二组之间是否不存在另一障碍物，并且确定是否可以通过马达的驱动来对准。
当可以对准时，可以在输送机的前进方向上同时驱动用于在第一组中的最后一个节点处驱动的马达和用于在第二组中的第一节点处驱动的马达。当在输送机的前进方向上观察时，第一组中的最后一个节点可以指在第一组中的最后一个位置处的节点。当在输送机的前进方向上观察时，第二组中的第一节点可以指在第二组中的第一位置处的节点。
当在同时驱动用于在第一组中的最后一个节点处驱动的马达和用于在第二组中的第一节点处驱动的马达之后将目标放置在节点的正确位置处时，完成一次对准。
在这种情况下，正确位置可以指在所有组中所包括的所有节点中关闭第一极限传感器和第二极限传感器的情况。在这种情况下，目标位于第一极限传感器和第二极限传感器在节点处关闭的状态。因此，当在所有节点中都满足条件时，对准完成。
将关于二次对准进行以下描述。
当在所有组中的相对端的节点处未感测到目标时，确定在位于所有组内部的多个节点处是否感测到目标。
更详细地，可以确定包括在位于每组内部的多个节点中的第一极限传感器和第二极限传感器是否感测到目标。可以针对所有组做出该确定。
当在位于组内部的多个节点处感测到目标时，执行二次对准，该对准是每组内部的对准。
在二次对准时，确定是否在组内部的最后一个节点处关闭第一极限传感器。当在输送机的前进方向上观察时，组内部的最后一个节点可以指在组中的最后一个位置处的节点。当确定是否在组内部的最后一个节点处关闭第一极限传感器时，可以确定是否应执行组之间的对准。
在确定是否在组内部的最后一个节点处关闭第一极限传感器之后，可以在第一极限传感器的方向上驱动组内部所有节点处的马达。
驱动组内部所有节点处的马达以防止已经对准的其他目标之间的碰撞，该碰撞可能是由于仅在一些节点中驱动马达以进行对准而引起的。
因此，当组内部的目标对准在正确位置处时，二次对准完成。
如上所述，在执行一次对准和二次对准之后，包括在输送机系统中的所有目标被设置在节点的正确位置处。因此，由于在所有节点处的目标都是易处理的，因此可以再次操作输送机系统。
根据本发明构思，存在于未跟踪目标的位置处的多个目标可以自动地对准，使得目标是易处理的。
根据本发明构思，由于能够快速地执行对准，因此输送机系统可以再次快速地操作。
本发明构思所产生的效果不限于上述效果，并且本发明构思所属领域的技术人员可以从具体实施方式和附图中清楚地理解本文未提及的任何其他效果。
虽然已经参考示例性实施方式描述了本发明构思，但是对于本领域技术人员将显而易见的是，在不脱离本发明构思的精神和范围的情况下，可以进行各种改变和修改。因此，应当理解，上述实施方式不是限制性的而是说明性的。本发明构思中提供的附图仅展示了本发明构思的最佳模式。因此，本发明构思的技术范围不限于本说明书的详细描述，而应由权利要求书限定。应当理解，本发明构思的技术保护范围不限于权利要求书本身的文学描述，而是实际上，技术价值甚至扩展到相同范围的发明。

Claims (20)

1.一种用于移动多个目标的输送机系统，所述输送机系统包括：
至少一个输入组，所述至少一个输入组配置成输入所述目标；
至少一个输出组，所述至少一个输出组配置成输出所述目标；以及
至少一个桥接组，所述至少一个桥接组配置成将所述输入组与所述输出组连接，
其中所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的每一者包括多个节点，所述多个节点的大小与一个目标的大小相对应，并且
其中所述输送机系统进一步包括：
控制单元，所述控制单元配置成对准在所述输送机系统上移动的所述目标。
2.根据权利要求1所述的输送机系统，其中每个节点包括：
正确位置传感器；
第一极限传感器，所述第一极限传感器配置成感测所述目标是否位于所述节点的一端处；
第二极限传感器，所述第二极限传感器配置成感测所述目标是否位于所述节点的另一端处；以及
驱动马达，所述驱动马达配置成驱动所述节点。
3.根据权利要求2所述的输送机系统，其中所述控制单元配置成：
首先对准所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的一些组之间的所述目标；并且
当对准在所述输送机系统上移动的所述目标时，其次对准所述输入组、所述输出组或所述桥接组内部的所述目标。
4.根据权利要求3所述的输送机系统，其中，为了首先对准所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的一些组之间的所述目标，
确定在所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的每一者的相对端中的节点处是否感测到所述目标，并且
指定其中设置有所感测目标的第一组和第二组，并且当感测到所述目标时，确定所述第一组和所述第二组是否在输送机的前进方向上彼此成一直线连接。
5.根据权利要求4所述的输送机系统，其中在所述第一组中的最后一个节点处的驱动马达和在所述第二组中的第一节点处的驱动马达是在所述输送机的所述前进方向上驱动的。
6.根据权利要求5所述的输送机系统，其中所述控制单元配置成：
当关闭所述第一组中的所述最后一个节点处的所述正确位置传感器时，并且当打开所述第二组的所述第一节点处的所述正确位置传感器且关闭所述第一极限传感器和所述第二极限传感器时，执行控制操作以停止驱动所述驱动马达。
7.根据权利要求3所述的输送机系统，其中，为了其次对准所述输入组、所述输出组或所述桥接组内部的所述目标，
确定在所述输入组、所述输出组和所述桥接组中所包括的所述节点之间是否感测到所述目标，并且验证是否在感测到所述目标的所述组中的最后一个节点处关闭所述第一极限传感器。
8.根据权利要求7所述的输送机系统，其中当关闭所述第一极限传感器时，在所述第一极限传感器的方向上驱动所述组中所有节点处的驱动马达。
9.根据权利要求8所述的输送机系统，其中当在两个节点中的感测到所述目标的一个节点处关闭所述正确位置传感器时，并且当在所述两个节点中的其余节点处打开所述正确位置传感器且关闭所述第一极限传感器和所述第二极限传感器时，停止驱动所述驱动马达。
10.根据权利要求9所述的输送机系统，其中当在预设时间内未感测到所述目标时，停止驱动在所述组中的所有节点处的所述驱动马达。
11.根据权利要求5至10中任一项所述的输送机系统，其中所述控制单元配置成：
当所有目标在所述输送机系统中完全对准时，重新操作所述输送机系统。
12.根据权利要求11所述的输送机系统，其中所述对准对应于在包括在所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的所有节点中的每个节点处关闭所述第一极限传感器和所述第二极限传感器的情况。
13.根据权利要求12所述的输送机系统，其中所述目标是容纳晶片的容器。
14.一种使用根据权利要求2所述的输送机系统的对准方法，所述对准方法包括：
首先对准所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的一些组之间的所述目标；并且
其次对准所述输入组、所述输出组或所述桥接组内部的所述目标。
15.根据权利要求14所述的对准方法，其中所述目标的所述一次对准包括：
确定在所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的每一者的相对端中的节点处是否感测到所述目标；并且
指定其中设置有所感测目标的第一组和第二组，并且当在所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的每一者的所述相对端中的所述节点处感测到所述目标时，确定所述第一组和所述第二组是否在输送机的前进方向上彼此成一直线连接。
16.根据权利要求15所述的对准方法，进一步包括：
在所述输送机的所述前进方向上驱动在所述第一组中的最后一个节点处的驱动马达和在所述第二组中的第一节点处的驱动马达。
17.根据权利要求16所述的对准方法，进一步包括：
当关闭所述第一组中的所述最后一个节点处的所述正确位置传感器时，并且当打开所述第二组的所述第一节点处的所述正确位置传感器且关闭所述第一极限传感器和所述第二极限传感器时，停止驱动所述驱动马达。
18.根据权利要求14所述的对准方法，其中所述目标的所述二次对准包括：
确定在所述输入组、所述输出组和所述桥接组中所包括的所述节点之间是否感测到所述目标；
当在所述输入组、所述输出组和所述桥接组中所包括的所述节点之间感测到所述目标时，验证是否在所述组中的最后一个节点处关闭所述第一极限传感器；并且
当关闭所述第一极限传感器时，在所述第一极限传感器的方向上驱动所述组中所有节点处的驱动马达。
19.根据权利要求18所述的对准方法，进一步包括：
当在两个节点中的感测到所述目标的一个节点处关闭所述正确位置传感器时，并且当在所述两个节点中的其余节点处打开所述正确位置传感器且关闭所述第一极限传感器和所述第二极限传感器时，停止驱动所述驱动马达；并且
当在预设时间内未感测到所述目标时，停止驱动在所述组中的所有节点处的所述驱动马达。
20.根据权利要求14至权利要求19中一项所述的对准方法，进一步包括：
当所有目标在所述输送机系统中完全对准时，重新操作所述输送机系统，
其中所述所有目标的所述对准对应于在包括在所述输入组、所述输出组和所述桥接组中的所有节点中的每个节点处关闭所述第一极限传感器和所述第二极限传感器的情况。
CN202110023026.8A 2020-01-08 2021-01-08 输送机系统和输送机系统中的对准方法 Active CN113086552B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200002416A KR102319196B1 (ko) 2020-01-08 2020-01-08 컨베이어 시스템 및 컨베이어 시스템에서의 정렬 방법
KR10-2020-0002416 2020-01-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113086552A true CN113086552A (zh) 2021-07-09
CN113086552B CN113086552B (zh) 2023-03-07

Family

ID=76655466

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110023026.8A Active CN113086552B (zh) 2020-01-08 2021-01-08 输送机系统和输送机系统中的对准方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11501988B2 (zh)
KR (1) KR102319196B1 (zh)
CN (1) CN113086552B (zh)

Citations (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR900014122U (ko) * 1989-01-31 1990-08-01 박용태 부채걸이구
JPH06127659A (ja) * 1992-10-14 1994-05-10 Okura Yusoki Co Ltd 搬送装置
JP2003292146A (ja) * 2002-04-02 2003-10-15 Tokyo Autom Mach Works Ltd 製品の整列装置
CN1496220A (zh) * 2002-09-20 2004-05-12 富士机械制造株式会社 电子回路部件供给装置及电子回路部件供给·取出装置
WO2007055112A1 (ja) * 2005-11-09 2007-05-18 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 整列コンベア装置
CN101056807A (zh) * 2004-09-27 2007-10-17 莱特拉姆有限责任公司 使用辊顶输送带的分类系统
US20090288930A1 (en) * 2006-12-05 2009-11-26 Schaefer Gerhard Intelligent accumulation conveyor track
CN101875406A (zh) * 2009-04-29 2010-11-03 克罗内斯股份公司 将捆扎物和/或捆扎物组以限定的方式结合的装置和方法
CN101932517A (zh) * 2008-02-04 2010-12-29 霍尼韦尔国际公司 带内传送带托辊状况监控设备和方法
CN101978488A (zh) * 2008-03-17 2011-02-16 东京毅力科创株式会社 控制装置以及控制方法
CN102341079A (zh) * 2009-03-02 2012-02-01 尤妮佳股份有限公司 制造吸收性物品的设备和方法
US20120175225A1 (en) * 2010-12-07 2012-07-12 Breen Derrick A Sequential controlled start-up for zoned conveyor systems
CN102969263A (zh) * 2006-07-31 2013-03-13 温泰克工业有限公司 将预定元件置于目标平台的装置和方法
JP2013199359A (ja) * 2012-03-26 2013-10-03 Ito Denki Kk コンベア装置、並びに、ゾーンコントローラ
US20130259610A1 (en) * 2012-03-30 2013-10-03 Primestar Solar, Inc. System and method for gapping conveyed substrates
CN103369941A (zh) * 2012-04-02 2013-10-23 三星电子株式会社 用于制造基板的装置和方法
US20150314965A1 (en) * 2014-05-02 2015-11-05 Delkor Systems, Inc. Handling Systems and Methods
CN106414280A (zh) * 2014-01-27 2017-02-15 莱特拉姆有限责任公司 上包输送带
KR20170019238A (ko) * 2015-08-11 2017-02-21 칼텍주식회사 물품 자동분류시스템용 초고속 자동 정렬기
CN107531427A (zh) * 2014-12-31 2018-01-02 费孚内部物流公司 基于视觉的输送机包装件管理系统
KR20180098776A (ko) * 2017-02-27 2018-09-05 크린팩토메이션 주식회사 반송 경로 분산 제어형 컨베이어 장치 및 그에 사용되는 반송 경로 분산 제어 방법
CN109311599A (zh) * 2016-07-21 2019-02-05 克朗斯股份公司 用于处理运动的成件货物的设备和方法，具有用于处理运动的成件货物的设备的输送、处理和/或包装机组
CN109791905A (zh) * 2017-09-15 2019-05-21 应用材料公司 用于确定载体悬浮系统的对准的方法
CN110581090A (zh) * 2018-06-08 2019-12-17 细美事有限公司 基板传送设备、包括所述基板传送设备的基板处理设备以及基板未对准补偿方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7578382B2 (en) * 2007-02-07 2009-08-25 Cnm Acquisition Llc Virtual lug loader
JP4508233B2 (ja) * 2007-12-06 2010-07-21 村田機械株式会社 仕分け装置
US9136149B2 (en) * 2012-11-16 2015-09-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Loading port, system for etching and cleaning wafers and method of use
KR101793932B1 (ko) 2016-06-13 2017-11-07 주식회사 가치소프트 화물 정렬 시스템
KR20180134217A (ko) 2017-06-08 2018-12-18 주식회사 가치소프트 방향 전환이 가능한 물품 운반장치
US10948905B2 (en) * 2018-06-11 2021-03-16 Middlesex Industries, SA. High volume autonomous material handling system to improve IC factory throughput and cycle time
US11591166B2 (en) * 2018-11-02 2023-02-28 Murata Machinery, Ltd. Conveyor system

Patent Citations (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR900014122U (ko) * 1989-01-31 1990-08-01 박용태 부채걸이구
JPH06127659A (ja) * 1992-10-14 1994-05-10 Okura Yusoki Co Ltd 搬送装置
JP2003292146A (ja) * 2002-04-02 2003-10-15 Tokyo Autom Mach Works Ltd 製品の整列装置
CN1496220A (zh) * 2002-09-20 2004-05-12 富士机械制造株式会社 电子回路部件供给装置及电子回路部件供给·取出装置
CN101056807A (zh) * 2004-09-27 2007-10-17 莱特拉姆有限责任公司 使用辊顶输送带的分类系统
CN101304934A (zh) * 2005-11-09 2008-11-12 株式会社安川电机 排列输送器装置
WO2007055112A1 (ja) * 2005-11-09 2007-05-18 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 整列コンベア装置
CN102969263A (zh) * 2006-07-31 2013-03-13 温泰克工业有限公司 将预定元件置于目标平台的装置和方法
US20090288930A1 (en) * 2006-12-05 2009-11-26 Schaefer Gerhard Intelligent accumulation conveyor track
CN101932517A (zh) * 2008-02-04 2010-12-29 霍尼韦尔国际公司 带内传送带托辊状况监控设备和方法
CN101978488A (zh) * 2008-03-17 2011-02-16 东京毅力科创株式会社 控制装置以及控制方法
CN102341079A (zh) * 2009-03-02 2012-02-01 尤妮佳股份有限公司 制造吸收性物品的设备和方法
CN101875406A (zh) * 2009-04-29 2010-11-03 克罗内斯股份公司 将捆扎物和/或捆扎物组以限定的方式结合的装置和方法
US20120175225A1 (en) * 2010-12-07 2012-07-12 Breen Derrick A Sequential controlled start-up for zoned conveyor systems
JP2013199359A (ja) * 2012-03-26 2013-10-03 Ito Denki Kk コンベア装置、並びに、ゾーンコントローラ
US20130259610A1 (en) * 2012-03-30 2013-10-03 Primestar Solar, Inc. System and method for gapping conveyed substrates
CN103369941A (zh) * 2012-04-02 2013-10-23 三星电子株式会社 用于制造基板的装置和方法
CN106414280A (zh) * 2014-01-27 2017-02-15 莱特拉姆有限责任公司 上包输送带
US20150314965A1 (en) * 2014-05-02 2015-11-05 Delkor Systems, Inc. Handling Systems and Methods
CN107531427A (zh) * 2014-12-31 2018-01-02 费孚内部物流公司 基于视觉的输送机包装件管理系统
KR20170019238A (ko) * 2015-08-11 2017-02-21 칼텍주식회사 물품 자동분류시스템용 초고속 자동 정렬기
CN109311599A (zh) * 2016-07-21 2019-02-05 克朗斯股份公司 用于处理运动的成件货物的设备和方法，具有用于处理运动的成件货物的设备的输送、处理和/或包装机组
KR20180098776A (ko) * 2017-02-27 2018-09-05 크린팩토메이션 주식회사 반송 경로 분산 제어형 컨베이어 장치 및 그에 사용되는 반송 경로 분산 제어 방법
CN109791905A (zh) * 2017-09-15 2019-05-21 应用材料公司 用于确定载体悬浮系统的对准的方法
CN110581090A (zh) * 2018-06-08 2019-12-17 细美事有限公司 基板传送设备、包括所述基板传送设备的基板处理设备以及基板未对准补偿方法

Also Published As

Publication number Publication date
US11501988B2 (en) 2022-11-15
US20230029892A1 (en) 2023-02-02
KR102319196B1 (ko) 2021-10-29
KR20210089356A (ko) 2021-07-16
CN113086552B (zh) 2023-03-07
US20210210367A1 (en) 2021-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10832499B2 (en) System including base stations connectable with mobile bodies, base station in system, and control method for controlling base station in system
KR100437926B1 (ko) 재료 이송 시스템용 분산 제어 시스템 구조 및 방법
CN104916560B (zh) 晶片检测系统、反应腔室及晶片检测方法
CN107390685B (zh) 一种机器人的回充控制方法、机器人及机器人系统
US10790549B2 (en) Method for management of energy storage systems, and related method of operation for smart energy storage cells
CN113086552B (zh) 输送机系统和输送机系统中的对准方法
JP6083469B2 (ja) モータ駆動システム、モータ駆動装置、多軸モータ駆動システム及び多軸モータ駆動装置
WO2022268112A1 (zh) 自动装卸机控制方法、装置、控制设备及可读存储介质
US12125724B2 (en) Conveyor system
CN116918054A (zh) 机器人系统以及滑动判定方法
CN104425328A (zh) 托盘原点定位系统及托盘原点定位方法
KR101838868B1 (ko) 버스 네트워크 연결 회로 및 동작 방법
JP2580757B2 (ja) ウェーハ搬送装置およびそれの原点復帰方法
JP5375807B2 (ja) 自動変速機のレンジ位置検出装置
WO2020203476A1 (ja) コンベヤシステム、異常診断装置、異常診断プログラム、及び異常診断プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
US20170300397A1 (en) Device with low-ohmic circuit path
US20240053151A1 (en) Method of determining route of automated guided vehicle and route determining system of automated guided vehicle for performing the same
Ginsberg Optimizing multi-robot localization with Extended Kalman Filter feedback and collaborative laser scan matching
JP2004127010A (ja) 自動搬送装置、自動搬送システム、自動搬送方法および自動搬送プログラム
CN113671359A (zh) 数字微流控制芯片及其故障检测方法
KR100245653B1 (ko) 노광설비의 웨이퍼 로더의 웨이퍼 돌출 감시 장치
Tzanov Distributed area search with a team of robots
CN115230737A (zh) 一种确定自动驾驶关键道路的方法、控制器及车辆
CN115939037A (zh) 芯片切割方法、装置、设备及存储介质
BR112021006774A2 (pt) método para manter o alinhamento de um sistema de irrigação

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant