CN113044825A - 一种二氟磷酸锂的生产工艺及生产系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种二氟磷酸锂的生产工艺，所述生产工艺包括：氟磷酸制备工序：五氧化二磷与无水氟化氢反应生成氟磷酸溶液，所述氟磷酸溶液经减压蒸馏后获得无水氟磷酸溶液；反应工序：所述无水氟磷酸溶液与包含六氟磷酸锂的母液通入第三微通道反应器，获得包含二氟磷酸锂的产物流；后处理工序：过滤所述包含二氟磷酸锂的产物流，对滤液进行加热干燥或低温结晶后获得二氟磷酸锂产品。本发明具有产品纯度高、杂质少，生产效率高，适于产业化生产等优点。

Description

一种二氟磷酸锂的生产工艺及生产系统

技术领域

本发明涉及二氟磷酸锂的制备，特别涉及在微通道反应器中二氟磷酸锂的连续生产工艺及生产系统。

背景技术

锂离子电池自从商业化以来，由于它的比能量高、循环性能好，被广泛用于数码、储能、动力、军用航天和通讯设备等领域。随着锂离子电池的推广应用，对锂离子电池的容量、循环性能、倍率性能、充放电性能、循环寿命、安全性、保存性能等都提出了更高的要求。电解液包括电解质、溶剂和添加剂，是锂离子电池的重要组成部分，对电池的性能影响重大。

六氟磷酸锂是最为常见的电解质，应用于电解液中时对六氟磷酸锂的纯度要求特别高，其中的杂质含量必须严格控制，否则将导致电池内阻增大，电池容量衰减快，安全性降低。但是由于六氟磷酸锂制备难度较大、条件苛刻，而且六氟磷酸锂具有特定的性质，例如低的热稳定性、高的吸湿性和易水解性，获得高品质的六氟磷酸锂是非常困难的。

二氟磷酸锂(LiPO2F2，LiDFP)主要作为添加剂使用，也可作为电解质盐，与六氟磷酸锂相比，二氟磷酸锂使锂离子电池具有更高的电池循环性能，更为优异的高低温性能，更宽的适用温度范围。

二氟磷酸锂作为电解液添加剂，能够先于电解液在电极表面进行氧化还原反应，生成一层稳定致密的保护膜，避免电解液在正极材料表面的持续分解，从而提升锂电池的循环性能。但二氟磷酸锂的纯度对电池的性能有显著的影响，因此选择杂质少，纯度高的二氟磷酸锂作为电解液添加剂尤为重要。

专利JP4674444A公开了通过六氟磷酸锂和碳酸盐在非水溶剂中反应制备二氟磷酸锂的方法，但该方法并未测定二氟磷酸锂纯度，同时会生成副产物氟化锂，在电解液中无法溶解，会影响电解液的性能。

专利CN108910857A公开了六氟磷酸锂与氢氧化锂在有机溶剂中接触反应制备二氟磷酸锂的方法，但该方法得到的二氟磷酸锂产品中杂质含量多，尤其是游离酸和水分含量高，严重影响电解液的性能。

专利CN102036912A采用两种工序制备二氟磷酸锂，工序(1)：使(A)选自磷的含氧酸、磷的含氧酸酐和磷的卤氧化物中的至少1种与(B)六氟磷酸盐在氟化氢的存在下反应；工序(2)：使选自卤化碱金属、卤化碱土金属、卤化铝和卤化鎓中的至少1种卤化物与二氟磷酸在六氟磷酸盐的存在下反应，但该方法制备获得的二氟磷酸锂纯度也只有95％。

在上述现有技术中，二氟磷酸锂的制备工艺都是间歇式反应，其不仅生产效率低下，同时安全风险也较高，重要的是二氟磷酸锂纯度低，大大影响了其在锂离子电池中的各项应用性能。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提出了一种产品纯度高、杂质少，生产效率高，适于产业化生产的二氟磷酸锂连续生产工艺。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

一种二氟磷酸锂的生产工艺，所述生产工艺包括：

氟磷酸制备工序：五氧化二磷与无水氟化氢反应生成氟磷酸溶液，所述氟磷酸溶液经减压蒸馏除水，获得无水氟磷酸溶液；

反应工序：所述无水氟磷酸溶液与包含六氟磷酸锂的母液通入第三微通道反应器，获得包含二氟磷酸锂的产物流；

后处理工序：过滤所述包含二氟磷酸锂的产物流，除去机械杂质，过滤后的滤液进行加热干燥或低温结晶，获得二氟磷酸锂产品。当采用加热干燥法对滤液进行处理时，在加热干燥过程中可以除去产物流中的氟磷酸与氢氟酸，获得二氟磷酸锂产品；当采用低温结晶法对滤液进行处理时，析出二氟磷酸锂晶体后需要再次过滤，大部分氟磷酸与氢氟酸留在母液中未析出，少量会残留在晶体表面，再次通过加热干燥除去少量残留，获得二氟磷酸锂产品。加热干燥法或低温结晶法获得的二氟磷酸锂产品质量无明显差异。

在上述氟磷酸制备工序中，采用密闭且可计量的输送装置把五氧化二磷定量地输送至装有过量无水氟化氢的反应器，由于五氧化二磷与无水氟化氢的反应非常剧烈，并伴有大量的热量放出，为了缓和反应，在反应器的外夹套内通入冷冻盐水，控制氟磷酸制备工序反应温度为-30℃～15℃；作为优选，氟磷酸制备工序反应温度为-20℃～10℃。在生成氟磷酸的同时也伴有水分生成，为了减少水分对后续工序的影响，需进行减压蒸馏，除去氟磷酸溶液中的水分，获得无水氟磷酸溶液。

无水氟磷酸溶液与包含六氟磷酸锂的母液在第三微通道反应器中反应获得包含二氟磷酸锂的产物流，氟磷酸与六氟磷酸锂的摩尔配比为：0.9～1.8:1；作为优选，所述氟磷酸与六氟磷酸锂的摩尔配比为1.1～1.4：1。反应温度控制在-30℃～90℃；作为优选，反应温度为：-20℃～70℃。第三微通道反应器内的停留时间控制在4s～20s；作为优选，停留时间为6s～15s。

所述包含二氟磷酸锂的产物流中包括二氟磷酸锂、氟磷酸、氢氟酸，在经过0.1-10um的精密过滤器过滤后，在20℃～150℃温度下加热干燥滤液，优选加热干燥温度30℃～140℃；低沸点的氟磷酸和氢氟酸先行汽化，对其进行冷凝回收，作为反应原料回用，即环保又降低成本。

在上述反应工序中，所述包含六氟磷酸锂的母液中六氟磷酸锂的浓度为5％～20％；作为优选，六氟磷酸锂的浓度为8％～12％。所述包含六氟磷酸锂的母液通过以下方式获得：

将包含PF5的第一进料流和包含LiF和氢氟酸的第二进料流通入第一微通道反应器，第一微通道反应器产物中的气体部分通入第二微通道反应器，与包含LiPF6、LiF和氢氟酸的第三进料流进行反应，第一微通道反应器中氟化锂反应完全，产物中的液体部分经过结晶、过滤，晶体经干燥获得LiPF6，滤液为包含六氟磷酸锂的母液，经0.2μm的精密过滤器过滤后进入第三微通道反应器。

进一步地，第二微通道反应器产物中的液体部分作为第四进料流加入至第一微通道反应器。

第一进料流中还包括传质促进组分，所述传质促进组分为HCl，可提高反应物之间的传质效果，使PF5和LiF充分均匀反应。

第一进料流中还包括HF，HF气体来自通入PF5发生器但是未反应完的HF。本发明中，进入第一、第二微通道反应器的进料流中均包括液态或气态的HF。进料流混合的均匀性较高，反应效率提高。

第一微通道反应器和第二微通道反应器的反应温度控制在0℃～17℃，优选为3℃～10℃，进一步优选为5℃～7℃。

优选地，第一微通道反应器和第二微通道反应器的反应温度不同。进一步优选地，第二微通道反应器的反应温度高于第一微通道反应器。进一步优选地，第二微通道反应器的反应温度比第一微通道反应器的反应温度高1℃～10℃。进一步优选地，第二微通道反应器的反应温度比第一微通道反应器的反应温度高2℃～6℃。进一步优选地，第二微通道反应器的反应温度比第一微通道反应器的反应温度高2℃～5℃。控制第一微通道反应器和第二微通道反应器的反应温度在上述范围内，可以进一步提高反应效率和产物纯度。

第一微通道反应器和第二微通道反应器的停留时间为5s～120s，优选为5s～30s，进一步优选为10s～20s。

优选地，第一微通道反应器和第二微通道反应器的停留时间不同。进一步优选地，第二微通道反应器的停留时间长于第一微通道反应器。进一步优选地，第二微通道反应器的停留时间比第一微通道反应器的停留时间长1s～30s。进一步优选地，第二微通道反应器的停留时间比第一微通道反应器的停留时间长2s～20s。进一步优选地，第二微通道反应器的停留时间比第一微通道反应器的停留时间长2s～5s。

在六氟磷酸锂的制备过程中，结晶槽结晶为冷却状态下六氟磷酸锂结晶，固体结晶过滤后去干燥系统进行干燥除酸，过滤后的母液储存在母液槽，母液槽中的母液经分析定量确定其中的六氟磷酸锂含量后，一部分送至氟化锂溶解槽进行定量的氟化锂溶解液的制备，一部分经0.2μm的精密过滤器过滤后进入第三微通道反应器。

优选地，本发明包含PF5的第一进料流自PF5发生器生成后直接通入第一微通道反应器，中间无需经过分离过程，为连续反应。

相比现有技术中通过复杂反应和纯化过程制备纯净的PF5气体，然后将纯净的PF5气体通入微通道反应器中进行反应，本发明将来自PF5发生器的产物全部直接通入第一微通道反应器中，一方面降低了气体分离纯化成本，另一方面提高了传质和传热效果，并避免了微通道堵塞，实现了工业化大规模连续生产。

本发明中，包含LiF和氢氟酸的第二进料流中，LiF的质量分数为0.5-5.5％(wt)。

本发明中，第二微通道反应器产物中的液体部分含有氟化锂和六氟磷酸锂。

第一和第二微通道反应器产物通过气液分离器进行气体部分和液体部分的分离。

第一微通道反应器产物中的气体部分包括HCl和未反应完的PF5。

第一微通道反应器产物中的液体部分包括LiPF6和氢氟酸，不包含氟化锂。在结晶槽中，通过控制合成液的冷却速度和结晶槽中搅拌器的搅拌速度得到粒径均匀的LiPF6晶体。具体地，合成液的冷却速度为1.5℃～5℃/h，优选地为1.5℃～3℃/h；搅拌器的搅拌速度为0～50rpm，优选地为40rpm，进一步优选地为30rpm。合成液冷却的温度范围为由20℃～30℃降至-40℃～-48℃，冷却至-40℃～-48℃后保持6～12小时，然后进行过滤、干燥。

第二微通道反应器产物中的气体部分包括HCl和夹带的HF，通过分离系统进一步分离HCl，分离后的HCl可以制成工业盐酸使用，减少了三废的处理量；分离后的HF可以循环使用，氟化氢消耗量降低。

为了减少六氟磷酸锂产品中包裹的不溶物，提高产品纯度，本发明的第一微通道反应器中LiF完全反应，第二微通道反应器中PF5完全反应。故：

第一微通道反应器中五氟化磷与氟化锂的摩尔比为2～5:1，优选为2.5～4:1。第二微通道反应器中五氟化磷与氟化锂的摩尔比为1:1～2，优选为1:1.1～1.3，进一步优选为1:1.15～1.25。

本发明中，使用的原料氢氟酸均为无水氢氟酸，水分含量控制在10ppm以下，优选水分含量1～8ppm。

本发明还提供一种二氟磷酸锂的生产系统，所述生产系统包括：

依次连接的PCl₅固体输送机、PF₅发生器和第一微通道反应器，所述第一微通道反应器通过第一气液分离器与第二微通道反应器连通，所述第一气液分离器的液体部分出口依次连通合成液槽、结晶槽、母液槽、LiF溶解槽和第二微通道反应器；第二微通道反应器的出口经第二气液分离器连通第一微通道反应器；所述第二气液分离器的气体部分连接分离系统；

依次连接的P₂O₅固体输送机、氟磷酸反应器、减压蒸馏装置、氟磷酸槽、第三微通道反应器、二氟磷酸锂槽、干燥加热或结晶装置，所述第三微通道反应器的入口连接所述母液槽的出口。

本发明通过获得高质量的六氟磷酸锂母液，从而获得高质量的二氟磷酸锂产品。所述二氟磷酸锂产品的纯度为99.80％～99.99％，水分含量20ppm～80ppm，酸度为30ppm～90ppm，金属离子(K、Fe、Ca、Mg、Pb、Ni、)<2ppm，氯离子＜5ppm，硫酸根离子＜10ppm。优选地，二氟磷酸锂产品的纯度为99.85％～99.95％，水分含量30ppm～50ppm，酸度为40ppm～60ppm，金属离子(K、Fe、Ca、Mg、Pb、Ni、)<1ppm，氯离子＜2ppm，硫酸根离子＜5ppm。

本发明在制备获得六氟磷酸锂母液的工序中，同样可以获得高质量的六氟磷酸锂晶体，纯度高达99.99％以上(wt)，晶体颗粒粒径均匀，80％(wt)以上的晶体颗粒粒径为0.2～0.3mm，90％(wt)以上的晶体颗粒粒径为0.18～0.35mm。优选地，纯度高达99.995％以上(wt)，晶体颗粒粒径均匀，83％(wt)以上的晶体颗粒粒径为0.2～0.3mm，94％(wt)以上的晶体颗粒粒径为0.18～0.35mm。

与现有技术相比，本发明具有的有益效果如下：

本发明采用微通道反应器反应，解决了间歇式生产中原料单耗高、反应不彻底、产品批次不稳定、反应时间长的问题，不仅提高生产效率，提高安全性，有利于工业化生产，且实现了高质量六氟磷酸锂和高品质二氟磷酸锂的联产，产品纯度高、杂质少，作为电解液组分制备的锂离子电池性能优异，尤其是循环特性、保存性能和放电性能。

附图说明

图1为本发明二氟磷酸锂的生产工艺流程图。

图1中：1-PCl₅固体输送机；2-五氟化磷发生器；3-第一微通道反应器；4-第一气液分离器；5-合成液槽；6-第二微通道反应器；7-第二气液分离器；8-分离系统；9-结晶槽；10-干燥系统；11-母液槽；12-氟化锂溶解槽；13-P₂O₅固体输送机；14-氟磷酸反应器；15-减压蒸馏装置；16-氟磷酸槽；17-第三微通道反应器；18-二氟磷酸锂槽；19-过滤器；20-干燥加热或结晶装置。

具体实施方式

下面结合具体实施例来对本发明进行进一步说明，但并不将本发明局限于这些具体实施方式。本领域技术人员应该认识到，本发明涵盖了权利要求书范围内所可能包括的所有备选方案、改进方案和等效方案。

实施例1

包含六氟磷酸锂的母液制备：将五氯化磷通过带有计量装置的固体输送机1，输送到带有冷却夹套的储有氟化氢的五氟化磷发生器2中，控制温度为0℃左右，五氯化磷即与氟化氢反应生产五氟化磷和氯化氢。把混合气体五氟化磷、氯化氢和夹带的氟化氢气体通入到第一微通道反应器3中，构成第一进料流。在带有冷却夹套和搅拌器的溶解槽中，加入氟化氢，一边冷却一边用固体加料装置在溶解槽中加入氟化锂，控制溶解温度为0℃左右，氟化锂的质量分数为2wt％。用泵将溶有氟化锂的氟化氢溶液输送进第一微通道反应器3中，构成第二进料流。第一微通道反应器3的反应温度为3℃，停留时间为5秒。从第一微通道反应器3出来的气液混合物料进入第一气液分离器4中，第一气液分离器4中的液体输送到合成液槽5进行储存，第一气液分离器分离的气体中有未反应完的五氟化磷、氯化氢及夹带的氟化氢，这个混合气体输送到第二微通道反应器6中，与包含LiPF6、LiF和HF的第三进料流进行反应。第二微通道反应器6的反应温度为3℃，停留时间为5秒。第二微通道反应器中的气液混合物进入第二气液分离器7，第二气液分离器7分离出来的气体含有氯化氢和夹带的氟化氢，这个混合气体通过增压设备去氟化氢、氯化氢分离系统8。第二气液分离器7分离出来的液体含有原母液中的六氟磷酸锂、新反应生成的六氟磷酸锂及未反应完全的氟化锂。把这个混合液输送至第一微通道反应器3中，作为第四进料流。合成液槽5中的合成液输送至结晶槽9中进行六氟磷酸锂结晶，在冷却状态下六氟磷酸锂结晶。在结晶槽9中，合成液的冷却速度为2℃/h，搅拌器的搅拌速度为50rpm，合成液由20℃降至-45℃，冷却至-45℃后保持6小时。结晶后过滤，固体去干燥系统10进行干燥除酸，得到六氟磷酸锂晶体；滤液为包含六氟磷酸锂的母液，储存在母液槽11中。所述母液经分析定量确定六氟磷酸锂含量为10wt％，一部分送至氟化锂溶解槽12进行定量的氟化锂溶解液的制备，获得氟化锂的质量溶度是3％，将含有六氟磷酸锂、氟化锂的氟化氢溶液输送到第二微通道反应器6中进行反应，构成第三进料流；一部分通入第三微通道反应器进行二氟磷酸锂的制备。第一微通道反应器中五氟化磷与氟化锂的摩尔比为2:1，第二微通道反应器中五氟化磷与氟化锂的摩尔比为1:1。

氟磷酸的制备：将五氧化二磷通过带有计量装置的固体输送机13，输送到带有冷却夹套的储有氟化氢的氟磷酸反应器14中，五氧化二磷以2kg/min的速率进入氟磷酸反应器14中与过量的无水氟化氢反应生成氟磷酸溶液，直至五氧化二磷进料结束，温度控制在-5℃，其中五氧化二磷与无水氟化氢的摩尔比是：1：4.7。氟磷酸的制备过程中五氧化二磷充分反应，提高了原料的使用率，但反应过程中有水分产生，水分会导致后续的六氟磷酸锂及二氟磷酸锂的分解，需要除去氟磷酸中的水分，故将含水氟磷酸溶液通入到减压蒸馏装置15，温度在110℃，获得无水氟磷酸在氟磷酸槽16中储存。

二氟磷酸锂的制备：母液槽11中的包含六氟磷酸锂的母液与氟磷酸槽16中的无水氟磷酸在第三微通道17中反应，所述无水氟磷酸与六氟磷酸锂的摩尔比为1:1，停留时间为8s,温度为-15℃，制备获得的二氟磷酸锂溶液进入二氟磷酸锂槽18。

二氟磷酸锂的提纯：所述二氟磷酸锂溶液进入过滤器19，过滤除去机械杂质后进入干燥加热装置20，在130℃的温度下干燥加热，除去其中的氟磷酸和氟化氢，得到二氟磷酸锂产品。

经分析检测，本实施例二氟磷酸锂的质量如下：纯度99.86％，水分41ppm，酸度53ppm，金属离子(K、Fe、Ca、Mg、Pb、Ni、)<1ppm，氯离子<2ppm，硫酸根离子<5ppm。

实施例2

本实施例包含六氟磷酸锂的母液制备同实施例1。

氟磷酸的制备：将五氧化二磷通过带有计量装置的固体输送机13，输送到带有冷却夹套的储有氟化氢的氟磷酸反应器14中，五氧化二磷以1.5kg/min的速率进入所述氟磷酸反应器中与过量的无水氟化氢反应生成氟磷酸溶液，直至五氧化二磷进料结束，温度控制在-10℃，其中五氧化二磷与无水氟化氢的摩尔比是：1:5.1。将所述氟磷酸含水的混合溶液通入到减压蒸馏装置15中，温度在90℃，获得无水氟磷酸在氟磷酸槽16中储存。

二氟磷酸锂的制备：母液槽11中的包含六氟磷酸锂的母液与氟磷酸槽16中的无水氟磷酸在第三微通道17中反应，所述无水氟磷酸与六氟磷酸锂的摩尔比为1.2:1，停留时间为12s,温度为-15℃，制备获得的二氟磷酸锂溶液进入二氟磷酸锂槽18。

二氟磷酸锂的提纯：提纯工艺同实施例1，区别仅在于：过滤后的二氟磷酸锂溶液在140℃的温度下干燥加热得到二氟磷酸锂产品。

经分析检测，本实施例的二氟磷酸锂质量如下：

纯度99.93％，水分25ppm，酸度42ppm，金属离子(K、Fe、Ca、Mg、Pb、Ni、)<1ppm，氯离子<2ppm，硫酸根离子<5ppm。

对比例1

本对比例采用间歇式生产二氟磷酸锂，具体步骤如下：

六氟磷酸锂溶液的制备：将六氟磷酸锂通过带有计量装置的固体输送机，输送到带有冷却夹套的储有氟化氢的溶解釜中，定量的六氟磷酸锂晶体溶解在无水氟化氢中，温度控制在0℃，制备获得质量浓度为10％的六氟磷酸锂溶液。

氟磷酸的制备：本对比例氟磷酸的制备同实施例2。

二氟磷酸锂的制备：将无水氟磷酸溶液用泵打入二氟磷酸锂带搅拌的反应器内，然后将10wt％的六氟磷酸锂溶液慢慢地加入反应器内，两者反应生成二氟磷酸锂，反应器的温度是-15℃，整个反应中氟磷酸与六氟磷酸锂的摩尔比为1.2:1。

二氟磷酸锂的提纯：本对比例二氟磷酸锂的提纯同实施例2。

经分析检测，本对比例二氟磷酸锂的质量如下：

纯度99.53％，水分67ppm，酸度105ppm，金属离子(K、Fe、Ca、Mg、Pb、Ni、)<1ppm，氯离子<5ppm，硫酸根离子<10ppm。

本对比例1采用的10wt％六氟磷酸锂溶液，虽然六氟磷酸锂的浓度相同，但其杂质含量较低，也即本对比例六氟磷酸锂的质量会优于实施例1、2母液的质量。然而本对比例因采用间歇式反应，生成的二氟磷酸锂质量反而更差，由此更能说明采用微通道反应器的连续化生产制备获得质量更优的二氟磷酸锂。

Claims (13)

1.一种二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：所述生产工艺包括：

氟磷酸制备工序：五氧化二磷与无水氟化氢反应生成氟磷酸溶液，所述氟磷酸溶液经减压蒸馏后获得无水氟磷酸溶液；

反应工序：所述无水氟磷酸溶液与包含六氟磷酸锂的母液通入第三微通道反应器，获得包含二氟磷酸锂的产物流；

后处理工序：过滤所述包含二氟磷酸锂的产物流，滤液进行加热干燥或低温结晶，获得二氟磷酸锂产品。

2.根据权利要求1所述的二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：采用密闭且可计量的输送装置把五氧化二磷定量地输送至装有无水氟化氢的反应器，氟磷酸制备工序反应温度为-30℃～15℃。

3.根据权利要求1所述的二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：第三微通道反应器中氟磷酸与六氟磷酸锂的摩尔配比为：0.9～1.8:1。

4.根据权利要求1所述的二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：第三微通道反应器的反应温度控制在-30℃～90℃。

5.根据权利要求1所述的二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：第三微通道反应器的停留时间控制在4s～20s。

6.根据权利要求1所述的二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：所述包含六氟磷酸锂的母液中六氟磷酸锂的浓度为5％～20％。

7.根据权利要求1所述的二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：包含二氟磷酸锂的产物流的加热干燥温度为20℃～150℃。

8.根据权利要求1所述的二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：所述包含二氟磷酸锂的产物流经0.1-10um的精密过滤器过滤。

9.根据权利要求1-8任一所述的二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：所述包含六氟磷酸锂的母液通过以下方式获得：

将包含PF5的第一进料流和包含LiF和氢氟酸的第二进料流通入第一微通道反应器，第一微通道反应器产物中的气体部分通入第二微通道反应器，与包含LiPF6、LiF和氢氟酸的第三进料流进行反应，第一微通道反应器产物中的液体部分经过结晶、过滤，晶体经干燥获得LiPF6，滤液为包含六氟磷酸锂的母液。

10.根据权利要求9所述的二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：第二微通道反应器产物中的液体部分作为第四进料流加入至第一微通道反应器。

11.根据权利要求9或10所述的二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：包含六氟磷酸锂的母液经0.2μm的精密过滤器过滤后进入第三微通道反应器。

12.根据权利要求1-11任一所述的二氟磷酸锂的生产工艺，其特征在于：所述二氟磷酸锂产品的纯度为99.80％～99.99％，水分含量20ppm～80ppm，酸度为30ppm～90ppm。

13.一种二氟磷酸锂的生产系统，其特征在于：所述生产系统包括：

依次连接的PCl₅固体输送机、PF₅发生器和第一微通道反应器，所述第一微通道反应器通过第一气液分离器与第二微通道反应器连通，所述第一气液分离器的液体部分出口依次连通合成液槽、结晶槽、母液槽、LiF溶解槽和第二微通道反应器；第二微通道反应器的出口经第二气液分离器连通第一微通道反应器；所述第二气液分离器的气体部分连接分离系统；

依次连接的P₂O₅固体输送机、氟磷酸反应器、减压蒸馏装置、氟磷酸槽、第三微通道反应器、二氟磷酸锂槽、干燥加热或结晶装置，所述第三微通道反应器的入口连接所述母液槽的出口。

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