CN1130128A - 薄膜形成装置及薄膜形成方法 - Google Patents

Abstract

本发明是在设置着有多个油墨槽的凹版辊(A)、带调节板(B2)并向油墨槽中充填油墨的供油墨装置(B)、在印版筒体表面上卷绕着把上述凹版辊上的油墨转移到其上的弹性印刷版(7)的印刷辊(C)及固定着把印刷辊上的油墨转移到其上的被印刷体(D2)的印刷台(D)的印刷装置的薄膜形成装置中，还设置多关节机器人(6)和安装在上述多关节机器人的臂(60)上的实现调节板的油墨擦拭动作和/或干燥动作的印刷准备作业实施装置。

Description

薄膜形成装置及薄膜形成方法

本发明涉及一种形成液晶定向膜等供电子器件用的高分子薄膜图案的装置，例如，一种具有带多个油墨槽的凹版辊、向上述油墨槽内充填油墨的供油墨装置、在印版筒体上有把上述凹版辊上的油墨转移到其上的弹性印刷板的印刷辊、固定着把上述印刷辊上的油墨转移到其上的被印刷体的印刷台、为使上述凹版辊的上述油墨槽内确实地充填油墨而设置的调节板、以及作用于上述印刷辊和凹版辊的机械手的薄膜形成装置，和使用该薄膜形成装置来形成薄膜的薄膜形成方法。更详细地说，本发明是关于一种调节板的擦拭和/或干燥是简单的、而且借助于擦拭器能以既定的夹持压力自动地夹住调节板把调节板自动均匀地擦拭和/或干燥之后，形成薄膜的薄膜形成装置及薄膜形成方法。

过去的薄膜形成装置中，在印刷前，弹性印刷板的装、卸、凹版辊与调节板的擦拭等印刷准备工作是由操作人员用手进行的。下面具体地说明这种作业。

在图9所示的上述薄膜形成装置中，为了把弹性印刷板安装在印刷辊筒上，首先要用人手和目视方法在弹性印刷板的多个位置上定出定位用记号，在印刷辊筒多个位置上定出基准记号并定位对准，然后用手张紧弹性印刷板将其卷绕在印刷辊筒体上。其后用手把安装在弹性印刷板两端上的印刷板夹持器悬挂固定在安装在印刷辊筒上的卡爪装置上。

然后，借助供油墨装置向凹版辊的多个油墨槽内充填油墨，把油墨从凹版辊转移到印刷辊的弹性印刷板上；再把油墨从印刷辊转移到固定在印刷台上的被印刷体上地进行印刷。

印刷后，为了从印刷辊筒上卸下弹性印刷板，还要用手把安装在弹性印刷板两端上的板夹持器从印刷辊筒的卡爪装置上卸下。

此外，在过去的薄膜形成装置中，通常是不能把凹版辊的油墨槽中所充填的油墨全部转移到印刷辊上的，凹版辊的油墨槽内残留有一部分油墨。如果就这样放置起来，残留的油墨就会干燥或硬化，成为油墨固态物而牢固地粘在油墨槽中。若使用这种有粘着物的凹版辊，则凹版辊中粘着的油墨会再次溶解到新油墨中，油墨固态物脱落并与供给凹版辊的新油墨混合，于是就成为用变质的油墨进行印刷的状况。此外，还由于粘在油墨槽内的油墨减少了油墨槽的容量，因而使得向印刷辊转移的油墨量少了相应的数量。

迄今，对残留在凹版辊的油墨槽内的油墨己采用擦试工序，但全是手工作业。即，先把浸透着溶解油墨的溶剂的擦拭器用手以一定接触压力压在凹版辊筒表面上，在此状态下一面使凹版辊转动，一面使擦拭器沿凹版辊轴向移动。

然后，为了除去凹版辊筒表面上残留的溶剂等，再对凹版辊进行干燥。即，首先用手把喷出凹版辊干燥用气体的喷气装置与凹版辊筒表面之间保持一定距离，在此状态下一面向转动的凹版辊筒表面喷气，一面转动凹版辊，并且手使喷气装置沿凹版辊的轴向移动。

然后，再借助供油墨装置向凹版辊的多个油墨槽内充填油墨，把油墨从凹版辊转移到印刷辊的弹性印刷板上，并把油墨从印刷辊转移到固定在印刷台上的被印刷体上地进行印刷。

又由于调节板为板状，它安装在调节板支持杆上，而支持杆是安装在齿条上的(参见图4)。调节板擦刮转动的凹版辊筒表面，具有把油墨可靠地充填到凹版辊的油墨槽内并加以计量功能，因而若把附着油墨的调节板放置不顾，则油墨会干燥、硬化而形成油墨固态物而粘牢在调节板上。若使用这种有粘着物的调节板，则由于粘牢在调节板上的油墨会再度溶解在新油墨中，或油墨固态物脱落混入供给凹版辊的新油墨中，就形成用变质油墨进行印刷的状况。又由于粘着的油墨使调节板的前端变得凹凸不平，因而会造成擦刮不匀、不能对凹版辊的全体油墨槽进行确实的充填和计量。

迄今，虽然对调节板上附着的油墨进行擦拭，但全都是手工作业。即，首先用手拿着浸透溶剂的擦拭器，以一定的夹持压力夹持着调节板，并在此状态下沿调节板长度方向移动擦拭器。

此后，为了除去残留在调节板上的溶剂，用手工作业对调节板进行干燥。即，用手使喷出调节板干燥用气体的喷气装置与调节板之间保持一定的距离，在向调节板表面喷出气体的同时用手沿调节板的长度方向移动喷气装置。

然后，用供油墨装置向凹版辊的多个油墨槽中充填油墨，把油墨从凹版辊转移到印刷辊的弹性印刷板上，并把油墨从印刷辊转移到固定于印刷台上的被印刷体上地进行印刷。

这种过去的薄膜形成装置存在着下述缺陷。

(1)在使用塑料制的调节板的场合下，由于用手进行的擦拭作业中，指甲等硬的部分偶然触及调节板的前端而使之凹凸不平，因而就会造成擦刮不匀、不能正确可靠地对凹版辊的全部油墨槽进行充填与计量。

(2)由于是用手拿着擦拭器，在夹住调节板同时进行擦拭，因而把擦拭器以一定接触压力压在调节板的前端上并沿调节板的长度方向上移动擦拭器时，维持上述的一定接触压力是极其困难的，接触压力会过强或过弱。结果，会使调节板前端与擦拭器脱开而使调节板前端擦拭不着、或使调节板前端与擦拭器过强的接触而弄破擦拭器，从而使工作性能变坏。此外，因人手会在调节板的前端受到擦伤，因而还有较高的危险性。

(3)由于用手拿着擦拭器，在夹住调节板同时进行擦拭，因而在用擦拭器以一定夹持压力夹住调节板并沿调节板的长度方向移动擦拭器时，维持一定的夹持压力是极困难的，夹持压力会或强或弱。结果，会出现擦拭得充分或不充分之处，就不能充分除去调节板上所粘牢的残留油墨。不能均匀地控拭调节板。

当用未能充分擦拭的调节板充填与计量油墨时，由于调节板上粘附的油墨与供给凹版辊的新油墨混合，因而当把油墨换成别的种类时，就会混合进另一种油墨。而且当调节板前端凹凸不平时，就会擦刮不均匀，不能向凹版辊的全部油墨槽中确实地充填油墨并予以计量。

另外，由于当不充分、不均匀地擦拭油墨时，粘附的油墨会使调节板前端形成凹凸状态，于是向油墨槽内充填油墨就有充得好的与充不到的，由于向油墨槽内充填的油置量就参差不一，因而就不能形成膜厚均匀的薄膜。这样，在例如形成液晶定向薄膜等高分子薄膜图案时，就会产生膜厚的均匀性变坏，造成显示不匀、从而降低薄膜性能等问题。

(4)由于用手拿着干燥用的喷气装置来进行调节板的干燥工作，因而在喷气装置与调节板之间保持距离一定并沿调节板的长度方向移动喷气装置时，很难保持一定的距离，距离或大或小。结果就有干燥得充分之处与不充分之处，就不能均匀地干燥调节板。

在使用未均匀干燥的调节板时，就会使擦拭用的溶剂等与供给凹版辊的新油墨混合。这样，使用这种油墨，例如在形成液晶定向膜等高分子薄膜图案时就使绝缘性下降，使膜厚不均与定向性不一致，就会发生使薄膜性能降低的问题。

因此，本发明的目的是提供一种能消除上述缺点，不用人手进行、而是自动地进行印刷准备作业的能提高薄膜性能与工作效率等的薄膜形成装置与薄膜形成方法。

为了达到上述目的，本发明做成以下的结构。

即，本发明是在设置着带有多个油墨槽的凹版辊、有调节板的并向油墨槽中充填油墨的供油墨装置、在印版筒体表面上卷绕着把上述凹版辊的油墨转移到其上的弹性印刷板的印刷辊以及固定着把印刷辊上的油墨转移到其上的被印刷体的印刷台的印刷装置的薄膜形成装置中，设置多关节机器人，及安装在上述多关节机器人的臂上，实施上述调节板的擦拭动作的印刷准备作业实施装置；

上述印刷准备作业实施装置是设置有擦拭上述调节板的擦拭器、安装有上述擦拭器并通过该擦拭器夹持住上述调节板的擦拭器夹持装置、以及把安装在上述多关节机器人臂的前端上的机械手的手本体一端上的上述擦拭器装置压向调节板一侧的推压装置的调节板自动擦拭装置；

上述多关节机器人中设有对上述调节板自动擦拭装置部分的动作进行控制的控制装置。

上述的结构可不用人手就能自动地进行印刷准备作业，并能提高薄膜的性能与工作效率。

通过下面的与附图有关的最佳实施例的说明可以明了本发明的目的与特征。附图中，

图1是表示本发明薄膜形成装置的一个实施例的透视图；

图2是表示上述薄膜形成装置的印刷装置部分的侧面图，是用于说明印刷装置部分动作的示意图；

图3是上述薄膜形成装置的调节板自动擦拭装置部分的侧视图；

图4是图3的顶视图；

图5是上述薄膜形成装置的调节板自动擦拭装置部分经改变的实施例的主要部分放大的侧视图；

图6是表示图5所示的调节板自动擦拭装置部分的上卡爪与下卡爪处于离开状态的正面图；

图7是表示图5所示的调节板自动擦拭装置部分的上卡爪与下卡爪相互接近状态的正面图；

图8是对薄膜形成装置进行控制的回路部分的方框图；

图9是表示过去的薄膜形成装置的图。

在继续描述本发明之前，先指出在所有附图中，同一部件是用同一序号表示的。

下面，参照着附图，说明本发明的一个实施例。

现将此实施例的薄膜形成装置及薄膜形成方法的概要说明如下。

在此实施例的薄膜形成装置及薄膜形成方法中，调节板自动擦拭装置部分是用安装在多关节机器人上的机械手，自动地进行调节板的擦拭与干燥工作的。这样在用印刷装置部分进行印刷工序的前后，能自动地对调节板进行擦拭与干燥，由于能使薄膜形成的一连串的工序顺利进行，因而可大大地提高薄膜形成的效率。

此外，由于使用机械手的反向推压装置使调节板的前端与擦拭器经常以一定接触压力接触着，因而既不会使调节板前端与擦拭器脱开，也不会因过强的接触而破坏擦拭器。这样，由于可以充分而均匀地对凹版辊进行擦拭和/或干燥，因而薄膜中不会混入异物，能形成膜厚均匀的薄膜。

又由于使用机械手的擦拭器夹持装置，借助于夹持力发生装置，以一定夹持压力，用上、下卡爪把调节板夹住，因而能用擦拭器经常地以一定的夹持压力夹住调节板。这样，由于能充分均匀地对凹版辊进行擦拭和/或干燥，因而薄膜中不会混入异物，能形成膜厚均匀的薄膜。

下面，首先说明本实施例的薄膜形成装置的调节板自动擦拭装置部分。反向推压装置303相当于权利要求中所述的推压装置，气缸本体323与杆361相当于权利要求中所述的驱动装置。擦拭装置部分。反向推压装置303相当于权利要求中所述的推压装置，气缸本体323与杆361相当于权利要求中所述的驱动装置。如图1和图3所示，上述调节板自动擦拭装置部分是把由机械手的手本体1与通过反向推压装置303安装在手本体1一端上的凹版辊擦拭用的擦拭器夹持装置302构成的机械手305安装在多关节机器人6的臂60上。

多关节机器人6是通用的工业用机器人，用关节61把多个臂60可水平、垂直地曲伸自如地连结在一起。即，多关节机器人6可以是水平多关节机器人、垂直型多关节机器人或正交型机器人。它是在集结着多个臂60的臂群的一端安装着机械手305，另一端支撑在机器人基台62上的结构。关节61是用油压、水压或电机使臂60作多级或无级曲伸的驱动部分。机器人基台62是用油压、水压或电机，在垂直方向上多级或无级地驱动臂群的部分。

手本体1是有适当厚度的方形板状体，在其表面的中央部位固定设置着多关节机器人6的臂60，由多关节机器人6的臂60的驱动，可自由地上下左右移动并能以臂60为中心地转动。

反向推压装置303，是为了在手本体1与后述的擦拭器夹持装置302的擦拭器夹持体320之间产生反推力，由弹簧330或气缸(图中未示)等产生反推力或拉伸力的装置构成。借助于这种反推力或位伸力，使擦拭器夹持装置302以一定接触压力压紧在调节板B2上。

具体地讲，如图5所示，在本实施例中，反向推压装置303设有一端固定在手本体1一侧面上的长方形板状的安装体331；可滑动地贯通该安装体331的两根安装杆332；以及分别系紧在固定于安装体331上的支销333与固定于安装杆332一端上的支销334的端部上，并把安装杆332拉向图的左方的弹簧330。安装杆332的另一端固定在擦拭器夹持体320的背面上。

擦拭器夹持装置302是设有借助于卡爪装置321把擦拭器308夹入，能夹持擦拭器308或解除其夹持的机构的。擦拭器夹持装置302是通过反向推压装置303而与手本体1之间相互反向推压，以一定接触压力把擦拭器308压紧在调节板B2前端上的(参看4、5)。擦拭器308是浸透有油墨的主溶剂、乙醇和丙酮等液体的无纺布，或什么也不浸的干燥的无纺布等。

具体地说，如图5、图6所示，在本实施例中，擦拭器夹持装置302是设有板状的擦拭器夹持体320、固定在突出地设置于擦拭器夹持体320上的座板上的由气体源供给驱动用气体的气缸本体323、被保持在擦拭器夹持体320的正面一侧上而且具有能滑动的上卡爪340与下卡爪350的卡爪装置321、以及转子325的。转子325是可转动地安装在贯通擦拭器夹持体320的背面与正面的转子轴324上的上述正面侧端部上的板状体，它与突出地设置在上卡爪340上的支销342及突出地设置在下卡爪350上的支销352相接。

另外，上卡爪340是做成由上部344、下部346及连接上部344与下部346的侧部345构成“C”字形的平面状，支销341突出地设置在上部344上，上述支销342则突出地设置在侧部345上。下卡爪350是做成由中间部354、下部355及连接中间部354和下部355的侧部356形成倒“F”字形的平面，在中间部354上突出地设置着支销351。这些上卡爪340及下卡爪350可分别相对于擦拭器夹持体320作上下相反方向的移动。

构成把持力发生装置322的弹簧360的两个端部与支销341、支销351接合，借助于弹簧360使上卡爪340的下部346与下卡爪350的下部355被拉向互相接近或接触的状态。气缸本体323的杆361的前端与转子325的一个端部相接，通过杆361的上下运动使上卡爪340的下部346与下卡爪350的下部355完成开关动作。从而在上卡爪340的下部346与下卡爪350的下部355之间夹住擦拭器308。擦拭器308是预先保持在上述下部346与下部355之间的。此外，擦拭器308也可以预先悬挂在调节板B2上的状态被保持着。

此外，作为把持力发生装置322的另外实施例也可由气缸来构成。

现在说明气缸的杆361与上卡爪340及下卡爪350的动作关系。当气缸杆361前进(向图中的下方行进)时，转子325的侧部受压，转子325以转子轴324为中心向顺时针方向转动，通过与转子325的一端相接的下卡爪350的支销352使下卡爪350整体向下移动。由于转子325向顺时针方向转动，通过与转子325的另一端相接的上卡爪340上的支销342使上卡爪340整体向上移动。结果使上卡爪340的下部346与下卡爪350的下部355脱开，上卡爪340与下卡爪350成打开状态(参见图6)。

反之，当从上卡爪340与下卡爪350的打开状态，使杆361相对于气缸本体323后退(向图中的上方行进)时，在上述后退过程中，在弹簧360的作用下，上卡爪340的支销341与下卡爪350的支销351被拉向一起。于是，上卡爪340的下部346与下卡爪350的下部355相互靠近，上卡爪340与下卡爪350成闭合状态。而且当杆361相对于气缸本体323后退时，在上卡爪340与下卡爪350保持其闭合原封不动状态下，成为卡爪装置321不受外力的自由状态，能相对于擦拭器夹持体320上下地滑动(参见图7)。

在机械手305上，还可以把调节板干燥用的喷气装置304与擦拭器夹持装置302合拼地设置。

氮气等气体可以用作干燥调节板的气体。喷气装置304是喷嘴等式样的的气体喷出装置，可以在擦拭器夹持装置302的侧部安装构成一对的向下喷气的喷嘴与向上喷气的喷嘴(参见图4、图7)，或者，也可以在上述卡爪装置321的上卡爪340的下部346的下面与下卡爪350的下部355的上面设置气体喷出孔343、353。(参看图6)。

也可通过反向推压装置303把弹性印刷板自动装卸装置和/或凹版辊擦拭用的擦拭器夹持装置202安装在装有调节板擦拭用的擦拭器夹持装置302的机械手本体1的别的位置上。

例如，如图6、图7所示，弹性印刷板自动装卸装置是由固定卡爪装置102与牵拉卡爪装置103以及弹性印刷板拉力调节装置104构成，固定卡爪装置102与弹性印刷板拉力调节装置104固定在机械手本体1的下面，用弹性印刷板拉力调节装置104来调节牵拉卡爪装置103与手本体1之间的间隔。

如图4所示，凹版辊擦拭用的擦拭器夹持装置202则通过反向推压装置203安装在手本体1或擦拭器夹持体320上。

另外，如图8所示，上述的调节板自动擦拭装置部分由多关节机器人6上所设的控制装置185控制其动作。在控制装置185中，则分别把多关节机器人6的臂60等的驱动部分186，牵拉卡爪装置103动作的卡爪动作部分187，弹性印刷板拉力调节装置104的气缸杆的驱动部分189，洗净调节板时实现气体吹出动作的动作部分190，洗净调节板时实现擦拭器把持动作的动作部分191，擦拭印刷辊时进行气体吹出动作的动作部分192，以及在擦拭印刷辊时实现擦拭器把持动作的动作部分193电气相连。

现在，说明本实施例薄膜形成装置的印刷装置部分。

如图2所示，上述印刷装置部分具有带多个油墨槽的凹版辊A、向油墨槽内充填油墨的供油墨装置B，其筒体上有接受凹版辊上的油墨的弹性印刷板的印刷辊C及固定着接受印刷辊上油墨的被印刷体的印刷台D。

印刷装置部分上在长方形基台E的中间部位上形成支持框F，支持框F上可自由转动地支承着凹版辊A和印刷辊C。凹版辊A的上面配置供油墨装置B。基台E上面配置有印刷台D。

凹版辊A的筒体固定在转轴上，筒体表面上有多个油墨槽。油墨槽的深度，例如，十到几十微米。筒体以一定压力与印刷辊C印版筒体的弹性印刷板的凸部相接。

供油墨装置B中有供油墨喷嘴B1及调节板B2。上述供油墨装置B在调整器和凹版辊A的相反一侧支持框的上端部位架设着一对导轨。导轨上面设有可自由移动的供墨体，同时使此供墨体的供油墨喷嘴B1在上述调整器的上方并沿凹版辊A的表面的上方延伸。上述供墨体通过图中未示出的电缆线等用电机或气缸驱动而沿上述一对导轨前后移动，使调节板B2和凹版辊A接触的部分形成积存着油墨状态地从供油墨喷嘴B1向凹版辊A上供给油墨。油墨的粘性可以是例如数十到三万C.P.S.，由合成树脂或树脂初始体及溶剂的混合物组成。调节板B2是板状的，安装在装在支持框F上的调节板支持杆B3上，借助于使调节板支持杆B3的转动，调节板B2或者与凹版辊A的表面接触或者脱开。

从供油墨喷嘴B1供出的油墨，用调节板B2进行油墨的计量充填。这样，供油墨装置B就把落在凹版辊A表面上的油墨扩展在凹版辊A表面上，充填在油墨槽中，在凹版辊A表面上形成高度均匀的油墨膜。

印刷辊C的筒体固定在它的转轴上、筒体上可拆卸地装有由异丁橡胶等橡胶或尼龙系列树脂等合成树脂或感光橡胶或感光树脂等构成的软质弹性印刷板7。凹版辊A的油墨被转移到弹性印刷板7上。

基台E上载放着印刷台D。在基台E的上面，在支持框F下方的印刷位置b与由支持框F下方移向被印刷体输入侧的被印刷体放置位置a与由支持框下方移向被印刷体输出侧的输出位置C之间的两侧上分别固定着导轨D1。印刷台D在基台E上沿导轨D1在a、b、c各个位置间移动。在基台E的被印刷体放置位置a上，被印刷体D2被放在印刷台D上，在基台E的印刷位置b上与印刷辊C接触，把印刷辊C的弹性印刷板7上的油墨转移到被印刷体D2上，由此进行印刷，在基台E的输出位置C上被印刷体D2被输出。

印刷台D上载放着板状的被印刷体D2，将被印刷体D2定位并保持此位置。在印刷台D的下面安装着与导轨D1平行的齿条D3。小齿轮D4与这齿条D3联动，其结构使得在该小齿轮D4正反向转动时印刷台D随齿条D3一起来回滑动地移动。

上述印刷装置部分的动作用图8所示的印刷装置侧的控制装置194进行控制。而且控制装置194与控制装置185电气相连，在它们之间相互交换信号的同时对薄膜形成装置的全部动作进行控制。也可以不把控制装置185与控制装置194这样分别地设置，用一个控制装置加以构成。而且在控制装置194中，印刷辊的转动动作部分195、印刷辊的第1卡爪装置180与第2卡爪装置181的驱动部分196、凹版辊转动的驱动部分197、调节板角度调节部分198等各个部分是电气相连的。

现在说明利用本实施例的薄膜形成装置动作的薄膜形成方法的一个例子。

首先，用调节板自动擦拭装置，用擦拭器308擦拭附着有不需要的油墨等的调节板B2，自动地除去不需要的油墨。

调节板B2为板状，其一端的前端370及靠近前端的上面或下面都附着有油墨。调节板B2是用由上板夹持器390及下板夹持器391构成的一对板夹持装置309夹住着。

先把擦拭器308保持在由调节板自动擦拭装置的上卡爪340与下卡爪350构成的擦拭器夹持装置302中。

就是说，使杆361相对于气缸323前进，使上卡爪340的下部346与下卡爪350的下部355适当地离开，把擦拭器308做成断面为“”字形，并使其保持在上卡爪340的下部346与下卡爪350的下部355之间(参看图5)。

然后，驱动多关节机器人6的臂60，使擦拭器夹持装置302移动到调节板B2的既定位置上，使上卡爪340或下卡爪350中至少一方的前端碰到上板夹持器390或下板夹持器391中至少一方的前端(参照图5)。

臂60的驱动是通过多关节机器人6的关节61使臂60作适宜的曲伸，或使机器人基台62作垂直移动来实现的。

在卡爪的前端碰到板夹持器前端的状态下，使调节板B2前端与擦拭器308在一定接触压力下保持经常接触。

上述一定的接触压力是既不会使调节板B2前端与擦拭器308脱开，也不会因过强的接触而使擦拭器破裂地进行接触时的压力。

然后，用把持力发生装置322产生的拉动上卡爪340与下卡爪350的力，由上卡爪340与下卡爪350所产生的既定夹持压力，用擦拭器308夹住调节板B2(参见图5)。

即，先使杆361相对于气缸本体323后退，由于上卡爪340与下卡爪350经常受弹簧360的拉力的作用，因而使保持着擦拭器308的上卡爪340的下部346与下卡爪350的下部355相互靠近，并以一定的夹持压力夹住调节板B2。这一定的夹持压力是用擦拭器308夹住调节板B2的上面与下面，使浸透到擦拭器308中的溶剂能充分溶解调节板B2上所附着的不需要的油墨，并进而借助于擦拭器308将其完全擦掉地夹持时的夹持压力。

然后，从以一定夹持压力夹住调节板B2的状态，使杆361相对于气缸本体323进一步后退，在保持上卡爪340与下卡爪350的闭合状态下，形成卡爪装置321在外力作用下能在适宜方向上自由移动的状态，使其相对于擦拭器夹持体320能上下滑动。

此后，通过驱动多关节机器人6的臂60，使机械手305沿调节板B2的长度方向(参见图4)移动。

就是说，如上述那样地使上卡爪340与下卡爪350中至少一方的前端与上板夹持器390与下板夹持器391中的至少一方的前端相碰，并且保持卡爪装置321能上下自由滑动的状态下，使其沿调节板B2的长度方向进行必要次数的往复移动。由于卡爪装置321处于自由状态，因而即使在机械手305移动过程中机械手305相对于调节板B2上下有偏差，此偏差部分也会由于卡爪装置321的上下滑动而把调节板B2夹持成既定的位置关系。

进而，通过驱动多关节机器人6的臂60把擦拭器308从调节板B2拉开，完成了对调节板B2的擦拭工作。

现在说明擦完调节板B2之后的自动干燥方法。

首先，从卡爪装置321中卸下擦拭器308，使上卡爪340的下部346的下面与下卡爪350的下部355的上面成分离状态，于是使上卡爪340的下部346的下面与调节板B2的上面及下卡爪350的下部355的上面与调节板B2的下面分别相对。从上卡爪340的下部346的下面及下卡爪350的下部355的上面的气体喷出孔343、353中喷出干燥调节板用的气体。

接着，通过一边喷出气体一边驱动多关节机器人，使机械手305沿调节板B2的长度方向上移动。

臂60的驱动，是通过多关节机器人6的关节61使臂60作适当的曲伸，或者是使机器人基台62垂直地移动来实现的。

调节板B2被擦拭/干燥之后，用印刷装置部分在被印刷体上形成薄膜。即如图2所示地，首先，用沿着凹版辊A的纵长方向进行往复移动的供油墨喷嘴B1向凹版辊A的表面上供油墨，再用调节板B2进行擦刮，向油墨槽内充填油墨并进行计量。

在使印刷台D从被印刷体载放的位置a移向输出位置C时，把被印刷体D2载放在印刷台D上之后，使印刷台D随齿条D3一起滑动，同时由于联动而使印刷台驱动轴转动，使印刷辊C与凹版辊A转动。即在印刷辊C转动的同时使印刷台D经印刷位置b向输出位置C移动。此时凹版辊A上的油墨就转移到印刷辊C的弹性印刷板7的凸部上，进而使油墨转移到被印刷体D2上。

反之，在把印刷台D从输出位置C移向被印刷体载放位置a时，借助于卡爪装置等切断印刷辊C的转动以及与印刷台D滑动之间的联动，于是印刷台D就与印刷辊C的转动无关地从输出位置C经印刷位置b而移向被印刷体载放位置a。

本发明的薄膜形成装置与薄膜形成方法由于有上述的结构与作用，因而可收到下述效果。

(1)由于使用多关节机器人进行调节板擦拭工作，人员无需出入，故无尘埃等飞起，使周围的清洁度较佳。而且，由于用机械手自动地保持擦拭器，故尘埃、灰尘不会附着在调节板上。从而使工作不费时又完全不污染调节板，有高的擦拭效率，印刷效率也得到提高。

(2)由于如上所述地使清洁度提高，故不会在油墨中混入尘埃、灰尘或油。从而在形成例如液晶定向膜等高分子薄膜图案时，能得到所要求的绝缘性与方向性，能得到稳定的高性能的薄膜。

(3)由于借助于安装在多关节机器人的臂上的机械手的反向推压装置，把擦拭器压紧在调节板上的同时进行擦拭。

因而，与操作者用手擦拭的情况比较，就能容易、自动地用擦拭器以一定接触压力经常地压紧在调节板前端上，保持既定的接触压力不变情况下，使擦拭器沿调节板的长度方向移动。结果在调节板前端与擦拭器不脱开的状态下，能对调节板的前端进行良好的擦拭，擦拭效率高，印刷效率高。而且由于调节板前端与擦拭器之间无过强的接触，既不会破坏擦拭器，人手也不会被调节板的前端擦伤，故安全性高。

(4)由于用多关节机器人擦拭调节板，因而无需人员出入，又由于用多关节机器人的机械手能自动地正确地擦拭调节板，因此，即使是在使用塑料制的调节板的情况下，也不会发生硬物偶然碰撞调节板前端的情况。因而不会产生前端出现缺口与凹陷，而使调节板前端变成凹凸不平，不会产生擦刮不匀，能向凹版辊的全部油墨槽中均匀地充填油墨并进行计量。

(5)由于用安装在多关节机器人的臂上的机械手的擦拭器夹持装置来夹持擦拭器，借助擦拭器夹持装置的把持力发生装置，在夹住调节板同时用擦拭器自动地进行擦拭，故调节板可被擦拭器以一定的夹持压力经常地夹持。而且，由于在维持既定的夹持压力下，而能使擦拭器自动地沿调节板的长度方向移动，故能均匀地擦拭调节板。从而能向凹版辊的油墨槽内均匀的充填油墨并进行计量，其结果是向印刷辊转移的油墨量不匀的现象不会发生，从而使膜厚均匀。例如，在形成液晶定向膜等高分子薄膜图案时，不会造成深浅显示不匀等情况，能得到稳定的高性能薄膜。

(6)由于使用安装在多关节机器人上的机械手自动地把干燥调节板用的气体喷在调节板表面上，因而能把喷气装置与调节板间的距离形成既定距离，在沿调节板长度方向移动喷气装置期间，能自动，容易地保持既定的距离。因此能均匀地干燥调节板的表面，能顺利地进行后续的印刷工序，并提高薄膜形成效率。

上面，参照着附图，结合着最佳实施例，已对本发明作了充分的说明，但对本领域的熟练技术人员来说，还能作出种种变形与修正。但应该理解到这点，即这样的变形与修正均未超出后附的由权利要求所限定的本发明的范围。

Claims (6)

1.一种薄膜形成装置，它是设置着具有多个油墨槽的凹版辊(A)、带调节板(B2)并向油墨槽内充填油墨的供油墨装置(B)、在印版筒体表面上卷绕着把上述凹版辊的油墨转移到其上的弹性印刷板(7)的印刷辊(C)、以及固定着把印刷辊上的油墨转移到其上的被印刷体(D2)的印刷台(D)的印刷装置的，其特征在于：

设有多关节机器人(b)，及

安装在上述多关节机器人的臂(60)上、实施对上述调节板的擦拭动作的印刷准备作业实施装置；

上述印刷准备作业实施装置是设置有擦拭上述调节板的擦拭器(308)、安装着上述擦拭器并通过该擦拭器夹持住上述调节板的擦拭器夹持装置(302)、以及把安装在上述多关节机器人的臂的前端上的机械手(305)的手本体一端上的上述擦拭器夹持装置压向调节板一侧的推压装置(303)的调节板自动擦拭装置；

上述多关节机器人中设有对上述调节板自动擦拭装置部分的动作进行控制的控制装置(185)。

2.如权利要求1所述的薄膜形成装置，其特征在于上述调节板自动擦拭装置部分还设有调节板干燥用的喷气装置(304)。

3.如权利要求1所述的薄膜形成装置，其特征在于上述擦拭器夹持装置设有安装在上述推压装置上的擦拭器夹持体(320)；相对于该擦拭器夹持体可滑动地安装、把上述擦拭器保持住并使上述调节板的卡爪作开闭动作的有上卡爪(340)和下卡爪(350)的卡爪装置(321)；安装在上述卡爪装置上借助于产生由上述卡爪装置决定的对调节板的弹性把持力的把持力发生装置(332)；以及安装在上述擦拭器夹持体上使上述卡爪装置沿着解除由卡爪装置确定的调节板把持的方向驱动的驱动装置(323，361)。

4.如权利要求2所述的薄膜形成装置，其特征在于上述擦拭器夹持装置设有安装在上述推压装置上的擦拭器夹持体(320)；相对于该擦拭器夹持体可滑动地安装、把上述擦拭器保持住并使上述调节板的卡爪作开闭动作的有上卡爪(340)与下卡爪(350)的卡爪装置(321)；安装在上述卡爪装置上、产生由上述卡爪装置确定的对调节板的弹性把持力的把持力发生装置(322)；以及安装在上述擦拭器夹持体上、使上述卡爪装置沿着解除由卡爪装置确定的调节板把持方向驱动的驱动装置(323、361)。

5.一种薄膜形成方法，它是使用设置着具有多个油墨槽的凹版辊(A)、设有调节板B2并向油墨槽内充填油墨的供油墨装置(B)、在印版筒体表面上卷绕着把上述凹版辊上的油墨转移到其上的弹性印刷版(7)的印刷辊(C)、以及固定着把印刷辊上的油墨转移到其上的被印刷体(D2)的印刷台(D)的印刷装置部分、多关节机器人(6)以及安装在上述多关节机器人的臂(60)上的印刷准备作业实施装置的薄膜形成装置，在把弹性印刷版卷绕在印刷辊印版筒体表面上、并向凹版辊上的多个油墨槽中充填油墨之后，把油墨从上述凹版辊转移到上述印刷辊的上述弹性印刷板上，再把油墨从印刷辊转移到固定在印刷台上的被印刷体上，由此进行薄膜印刷的，其特征在于它有

用上述多关节机器人驱动上述印刷准备作业实施装置，进行上述调节板的擦拭工序的印刷准备作业实施工序；

上述印刷准备作业实施工序是用薄膜形成装置而实现的，该薄膜形成装置是设置着有擦拭调节板的擦拭器(308)；安装着上述擦拭器并通过该擦拭器夹持上述调节板的擦拭器夹持装置(302)；安装在上述多关节机器人的臂的前端的机械手(305)的手本体一端上、把上述擦拭器夹持装置压向上述调节板一侧的推压装置(303)的调节板自动擦拭装置部分和设在上述多关节机器人上、对上述调节板自动擦拭装置部分的动作进行控制的控制装置(185)；上述擦拭器夹持装置则设置有安装在上述推压装置上的擦拭器夹持体(320)；相对于该擦拭器夹持体可滑动地安装的、具有保持上述擦拭器并能进行上述调节板的卡爪开闭动作的上卡爪(340)与下卡爪(350)的卡爪装置(321)；安装在上述卡爪装置上、产生由上述卡爪装置确定的对调节板的弹性把持力的把持力发生装置(322)；及安装在上述擦拭器夹持体上、使上述卡爪装置向解除由上述卡爪装置确定的对调节板把持的方向驱动的驱动装置(323，361)；

通过驱动多关节机器人的臂，使擦拭器夹持装置移动到调节板的既定位置上，并使设在擦拭器夹持装置上的卡爪装置的上卡爪或下卡爪中至少一方的前端碰到上板夹持器或下板夹持器中至少一方的前端上；然后用把持力发生装置，由擦拭器把调节板夹住；然后，驱动多关节机器人的臂，使机械手沿着调节板的长度方向移动，对调节板进行擦拭，再驱动多关节机器人的臂，把擦拭器拉离调节板。

6.如权利要求5所述的薄膜形成方法，其特征在于从喷气装置中喷出气体，同时通过驱动多关节机器人的臂而使机械手和喷气装置一起沿调节板的长度方向移动。

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