CN112941467B - 一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置 - Google Patents

一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置 Download PDF

Info

Publication number
CN112941467B
CN112941467B CN202110045186.2A CN202110045186A CN112941467B CN 112941467 B CN112941467 B CN 112941467B CN 202110045186 A CN202110045186 A CN 202110045186A CN 112941467 B CN112941467 B CN 112941467B
Authority
CN
China
Prior art keywords
evaporation
groove
sliding block
shell
cavity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202110045186.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112941467A (zh
Inventor
阙建波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shaanxi Xuanyi Photoelectric Technology Co ltd
Original Assignee
Shaanxi Xuanyi Photoelectric Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shaanxi Xuanyi Photoelectric Technology Co ltd filed Critical Shaanxi Xuanyi Photoelectric Technology Co ltd
Priority to CN202110045186.2A priority Critical patent/CN112941467B/zh
Publication of CN112941467A publication Critical patent/CN112941467A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112941467B publication Critical patent/CN112941467B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Abstract

本发明公开了一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置,包括壳体,所述壳体的上端开设有隔热槽,所述隔热槽内放置有蒸发皿,所述蒸发皿的上端开设有蒸发槽,所述壳体的上端设有压缩槽,所述压缩槽位于隔热槽的左侧,所述壳体的上端设有盖板,所述壳体内设有横腔,所述横腔位于隔热槽的下端,所述壳体的左侧设有储液箱,所述储液箱内设有储液腔,所述储液腔内填充有冷却液,所述壳体的右侧安装有电源。该装置能够对蒸发皿源进行主动降温,大大缩短了蒸发皿的降温时间,从而增加了蒸发源的工作效率,同时增加了盖板的密封性,避免在冷却的过程造成气化的蒸镀材料泄露,造成蒸镀材料浪费的情况发生。

Description

一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置
技术领域
本发明涉及光学镜片技术领域,尤其涉及一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置。
背景技术
在光学镜片的制造过程中,通常会将光学镜片和蒸发源放在同一个正空腔室内,通过对蒸发源进行加热,使得放置在蒸发源中的蒸镀材料蒸发,从而附着在光学镜片上,使得光学镜片上生成一个膜层,然而现有的蒸发源在使用过程中仍然存在以下问题:
现有的蒸发源在使用过程中,在蒸镀结束、需要进行蒸镀材料的补充或者对设备进行检修等情况下,通常会将盖板盖在蒸发源的上方,然后等到蒸发源冷却至一定温度后在进行操作,由于目前对于蒸发源冷却仅仅通过将蒸发源放置在自然环境下,通过蒸发源自行散热的方式进行冷却,这种方式使得蒸发源降温需要几个小时甚至更久,大大影响了工作效率,因此,如何合理的解决这个问题是我们所需要考虑的。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置,该装置能够对蒸发皿源进行主动降温,大大缩短了蒸发皿的降温时间,从而增加了蒸发源的工作效率,同时增加了盖板的密封性,避免在冷却的过程造成气化的蒸镀材料泄露,造成蒸镀材料浪费的情况发生。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:包括壳体,所述壳体的上端开设有隔热槽,所述隔热槽内放置有蒸发皿,所述蒸发皿的上端开设有蒸发槽,所述壳体的上端设有压缩槽,所述压缩槽位于隔热槽的左侧,所述壳体的上端设有盖板,所述壳体内设有横腔,所述横腔位于隔热槽的下端,所述壳体的左侧设有储液箱,所述储液箱内设有储液腔,所述储液腔内填充有冷却液,所述壳体的右侧安装有电源,所述储液腔的内底部安装有制冷片;所述压缩槽内设有触发机构,所述触发机构包括设置在压缩槽内的移动块,所述移动块具有导电性,所述移动块与压缩槽的内壁滑动连接,所述移动块的下端与压缩槽的内底部通过复位弹簧弹性连接,所述压缩槽的两侧内壁设有与移动块相配合的导电片,所述移动块的上端固定连接有抵杆;所述横腔内设有往复机构,所述往复机构用于将储液箱内的冷却液抽入蛇形管内;所述蒸发槽内设有搅拌机构,所述搅拌机构用于增加蒸镀材料的流动性。
优选地,所述往复机构包括设置在横腔内的滑动块,所述滑动块与横腔的内壁滑动连接,所述横腔的右侧内壁固定连接有电磁铁,所述滑动块的左侧与电磁铁的右侧通过折叠弹簧弹性连接,所述滑动块具有导电性,所述横腔的内底部和内顶部均设有与滑动块相配合的导电片。
优选地,所述隔热槽的内壁上设有蛇形管,所述蛇形管的进液端与横腔位于滑动块的左侧空间连通,所述横腔位于滑动块的左侧空间与储液腔的底部空间通过进液管连通,所述蛇形管的出液端与储液腔的顶部空间连通,所述进液管和蛇形管的进液端均设有单向阀。
优选地,所述横腔位于滑动块的右侧空间与外界通过进气管连通,所述横腔位于滑动块的右侧空间与隔热槽的底部空间通过出气管连通,所述进气管和出气管上均设有单向阀,所述隔热槽的顶部空间与外界通过排气管连通。
优选地,所述搅拌机构包括竖直设置在横腔内的转杆,所述转杆的两端与横腔的内底部和内顶部转动连接,所述滑动块的左侧固定连接有齿条,所述转杆上固定连接有与齿条向配合的齿轮,所述转杆的上端延伸至蒸发槽内并沿其周向安装有多个搅拌杆。
优选地,所述盖板内设有空腔,所述空腔内设有低沸点溶液,所述盖板的外壁固定连接有膨胀气囊,所述膨胀气囊与空腔之间通过多个短管连通。
本发明具有以下有益效果:
1、与现有技术相比,蒸镀结束,或者添加蒸镀材料,亦或者需要对装置进行检修时,通过盖板使得抵杆下移,从而带动移动块下移,使得电磁铁通电,电磁铁通电使得滑动块左右移动,滑动块不断的左右移动使得冷却液不断循环,从而使得冷却液将隔热槽内的热量吸收,隔热槽内温度降低,会使得蒸发槽内的热量通过蒸发皿传递至隔热槽内,从而加速蒸发槽的热量散发,提升蒸发源的工作效率;
2、与现有技术相比,滑动块左右移动会使得外界气体进入隔热槽内,由于隔热槽内的气体温度较高,外界气体温度较低,气体进入隔热槽内会吸收蒸发皿上的热量,同时排向外界空气会将隔热槽内的部分热量带向外界,从而进一步加速蒸发槽的散热,使得蒸发槽的散热效果更佳;
3、与现有技术相比,滑动块的左右移动会使得齿条左右移动,齿条左右移动会带动转杆转动,转杆转动会带动多个搅拌杆转动,使得蒸发槽内的气体流动,从而使得蒸发槽内的气体散热均匀,散热效果更佳;
4、与现有技术相比,通过丙酮溶液气化使得膨胀气囊扩张,从而使得膨胀气体与蒸发槽的槽口处紧密贴合,从而提升盖板的密闭性,避免在冷却过程导致气化的蒸镀材料泄露,造成原料浪费的情况发生。
附图说明
图1为本发明提出的一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置的结构示意图;
图2为图1中A处的放大结构示意图;
图3为图1的工作状态图;
图4为本发明实施例2的结构示意图;
图5为图4中B处的放大结构示意图。
图中:1壳体、2电源、3隔热槽、4蒸发皿、5蒸发槽、6蛇形管、7横腔、8储液箱、9制冷片、10电磁铁、11滑动块、12导电片、13齿条、14转杆、15齿轮、16搅拌杆、17抵杆、18移动块、19复位弹簧、20导电块、21折叠弹簧、22进气管、23出气管、24进液管、25盖板、26排气管、27空腔、28压缩槽、29膨胀气囊。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例1
参照图1-3,一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置,包括壳体1,壳体1的上端开设有隔热槽3,隔热槽3内放置有蒸发皿4,蒸发皿4的上端开设有蒸发槽5,可以将加热装置(未图示)安装在蒸发槽5的内底部,壳体1的上端设有压缩槽28,压缩槽28位于隔热槽3的左侧,壳体1的上端设有盖板25,盖板25的重量较大,盖板25是由一个横板和一个矩形板构成的,矩形板固定安装在横板的下端,壳体1内设有横腔7,横腔7位于隔热槽3的下端,壳体1的左侧设有储液箱8,储液箱8内设有储液腔,储液腔内填充有冷却液,壳体1的右侧安装有电源2,储液腔的内底部安装有制冷片9,当移动块18与两个导电块20接触时,此时电源2、位于左侧的导电块20、移动块18、位于右侧的导电块20、制冷片9构成一个闭合回路;
压缩槽28内设有触发机构,触发机构包括设置在压缩槽28内的移动块18,移动块18具有导电性,移动块18与压缩槽28的内壁滑动连接,移动块18的下端与压缩槽28的内底部通过复位弹簧19弹性连接,压缩槽28的两侧内壁设有与移动块18相配合的导电片12,移动块18的上端固定连接有抵杆17,抵杆17的上端面为弧面;
横腔7内设有往复机构,往复机构用于将储液箱8内的冷却液抽入蛇形管6内;
蒸发槽5内设有搅拌机构,搅拌机构用于增加蒸镀材料的流动性。
其中,往复机构包括设置在横腔7内的滑动块11,滑动块11与横腔7的内壁滑动连接,横腔7的右侧内壁固定连接有电磁铁10,滑动块11的左侧与电磁铁10的右侧通过折叠弹簧21弹性连接,滑动块11具有导电性,横腔7的内底部和内顶部均设有与滑动块11相配合的导电片12,当滑动块11与两个导电片12接触时,此时电源2、位于左侧的导电块20、移动块18、位于右侧的导电块20、位于上方的导电片12、滑动块11、位于下方的导电片12、电磁铁10构成一个闭合回路,两个闭合回路共同构成一个并联回路。
其中,隔热槽3的内壁上设有蛇形管6,蛇形管6的进液端与横腔7位于滑动块11的左侧空间连通,横腔7位于滑动块11的左侧空间与储液腔的底部空间通过进液管24连通,蛇形管6的出液端与储液腔的顶部空间连通,进液管24和蛇形管6的进液端均设有单向阀,储液箱8内的冷却液通过进液管24单向进入横腔7位于滑动块11的左侧空间内,横腔7位于滑动块11的左侧空间内的冷却液通过蛇形管6的进液端单向进入蛇形管6内。
其中,横腔7位于滑动块11的右侧空间与外界通过进气管22连通,横腔7位于滑动块11的右侧空间与隔热槽3的底部空间通过出气管23连通,进气管22和出气管23上均设有单向阀,隔热槽3的顶部空间与外界通过排气管26连通,外界气体通过进气管22单向进入横腔7位于滑动块11的右侧空间内,横腔7位于滑动块11的右侧空间内的气体通过出气管23单向进入隔热槽3内。
其中,搅拌机构包括竖直设置在横腔7内的转杆14,转杆14的两端与横腔7的内底部和内顶部转动连接,滑动块11的左侧固定连接有齿条13,转杆14上固定连接有与齿条13向配合的齿轮15,齿条13的左右移动会带动齿轮15转动,转杆14的上端延伸至蒸发槽5内并沿其周向安装有多个搅拌杆16。
本发明可通过以下操作方式阐述其功能原理:当蒸镀结束,或者添加蒸镀材料,亦或者需要对装置进行检修时,将盖板25放置在壳体1上,使得盖板25能够蒸发槽5的槽口堵塞,此时气化蒸镀材料与外界隔绝,从而避免造成蒸镀材料浪费的情况发生;
当盖板25放置在壳体1上时,由于盖板25的重力作用使得抵杆17下移,抵杆17下移带动移动块18下移,使得移动块18与两个导电块20接触,此时电磁铁10和制冷片9处于通电的状态;
当电磁铁10通电后,此时电磁铁10与滑动块11的相邻面同性相斥,从而在斥力的作用下使得滑动块11左移,当滑动块11左移时会使得滑动块11不再与两个导电片12接触,从而使得电磁铁10断电,由于滑动块11具有惯性,使得滑动块11在电磁铁10断电后依然会向左移动一端距离,滑动块11向左移动的速度越来越慢,当速度降为零时,在折叠弹簧21的弹性作用下,使得滑动块11右移,当滑动块11再次与两个导电片12接触时,会重复上述过程,从而在蒸发皿4冷却的这段时间内,滑动块11会不断的左右移动;
滑动块11右移时,横腔7位于滑动块11的左侧空间增大,气压减小,在大气压强的作用下,会通过进液管24将储液箱8内的冷却液吸至横腔7位于滑动块11的左侧空间内,当滑动块11左移时,横腔7位于滑动块11的左侧空间减小,气压增大,会将横腔7位于滑动块11的左侧空间内的冷却液会通过蛇形管6的进液段排入蛇形管6内,再通过蛇形管6的出液端重新留回储液箱8内,制冷片9会对储液箱8内的冷却液进行降温处理,滑动块11不断的左右移动使得冷却液不断循环,从而使得冷却液将隔热槽3内的热量吸收,隔热槽3内温度降低,使得隔热槽3与蒸发槽5之间形成一个温度差,会使得蒸发槽5内的热量通过蒸发皿4传递至隔热槽3内,从而对蒸发槽5内进行一个主动散热的过程,从而加速蒸发槽5的热量散发,提升蒸发源的工作效率;
滑动块11左移会使得横腔7位于滑动块11的右侧空间增大,气压减小,外界气体通过进气管22进入横腔7位于滑动块11的右侧空间内,滑动块11右移使得横腔7位于滑动块11的右侧空间减小,压强增大,从而使得横腔7位于滑动块11的右侧空间增大内的气体通过出气管23进入隔热槽3的底部空间内,使得隔热槽3内气体增多,气压增大,从而使得隔热槽3顶部空间的气体通过排气管26排向外界,由于隔热槽3内的气体温度较高,外界气体温度较低,气体进入隔热槽3内会吸收蒸发皿4上的热量,同时排向外界空气会将隔热槽3内的部分热量带向外界,从而进一步加速蒸发槽5的散热,使得蒸发槽5的散热效果更佳;
滑动块11的左右移动会使得齿条13左右移动,齿条13左右移动会带动转杆14转动,转杆14转动会带动多个搅拌杆16转动,使得蒸发槽5内的气体流动,从而使得蒸发槽5内的气体散热均匀,散热效果更佳。
与现有技术相比,该装置在需要对蒸发源进行降温处理时,通过冷却液在蛇形管6内的循环流动对蒸发皿4进行主动的散热,从而提升蒸发皿4的散热效果,同时使得隔热槽3内的气体流动,使得散热效果更佳,通过对蒸发槽5内进行搅拌使得气体流动,从而使得蒸发槽5内的气体散热均匀,散热效果更佳。
实施例2
参照图4-5,本实施例与实施例1的不同之处在于,盖板25内设有空腔27,空腔27内设有低沸点溶液,低沸点溶液可以是丙酮溶液,丙酮溶液的沸点为56.12℃,盖板25的外壁固定连接有膨胀气囊29,膨胀气囊29与空腔27之间通过多个短管连通。
本实施例中,当将盖板25盖在壳体1的上方时,由于盖板25内的空腔27填充有丙酮溶液,此时蒸发槽5内的温度处于较高的状态,从而使得丙酮溶液气化,丙酮溶液气化后使得丙酮分子的间距空大,由于空腔27内空间一定,导致空腔27内压强增大,气体通过短管进入膨胀气囊29内,使得膨胀气囊29扩张,与蒸发槽5的槽口处内壁紧密贴合,从而提升盖板25的密闭性,避免在冷却过程导致气化的蒸镀材料泄露,造成原料浪费的情况发生。
与现有技术相比,通过丙酮溶液气化使得膨胀气囊29扩张,从而使得膨胀气体与蒸发槽5的槽口处紧密贴合,从而提升盖板25的密闭性,避免在冷却过程导致气化的蒸镀材料泄露,造成原料浪费的情况发生。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)的上端开设有隔热槽(3),所述隔热槽(3)内放置有蒸发皿(4),所述蒸发皿(4)的上端开设有蒸发槽(5),所述壳体(1)的上端设有压缩槽(28),所述压缩槽(28)位于隔热槽(3)的左侧,所述壳体(1)的上端设有盖板(25),所述壳体(1)内设有横腔(7),所述横腔(7)位于隔热槽(3)的下端,所述壳体(1)的左侧设有储液箱(8),所述储液箱(8)内设有储液腔,所述储液腔内填充有冷却液,所述壳体(1)的右侧安装有电源(2),所述储液腔的内底部安装有制冷片(9);
所述压缩槽(28)内设有触发机构,所述触发机构包括设置在压缩槽(28)内的移动块(18),所述移动块(18)具有导电性,所述移动块(18)与压缩槽(28)的内壁滑动连接,所述移动块(18)的下端与压缩槽(28)的内底部通过复位弹簧(19)弹性连接,所述压缩槽(28)的两侧内壁设有与移动块(18)相配合的导电片(12),所述移动块(18)的上端固定连接有抵杆(17);
所述横腔(7)内设有往复机构,所述往复机构用于将储液箱(8)内的冷却液抽入蛇形管(6)内;
所述蒸发槽(5)内设有搅拌机构,所述搅拌机构用于增加蒸镀材料的流动性;
所述往复机构包括设置在横腔(7)内的滑动块(11),所述滑动块(11)与横腔(7)的内壁滑动连接,所述横腔(7)的右侧内壁固定连接有电磁铁(10),所述滑动块(11)的左侧与电磁铁(10)的右侧通过折叠弹簧(21)弹性连接,所述滑动块(11)具有导电性,所述横腔(7)的内底部和内顶部均设有与滑动块(11)相配合的导电片(12);
所述横腔(7)位于滑动块(11)的右侧空间与外界通过进气管(22)连通,所述横腔(7)位于滑动块(11)的右侧空间与隔热槽(3)的底部空间通过出气管(23)连通,所述进气管(22)和出气管(23)上均设有单向阀,所述隔热槽(3)的顶部空间与外界通过排气管(26)连通。
2.根据权利要求1所述的一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置,其特征在于:所述隔热槽(3)的内壁上设有蛇形管(6),所述蛇形管(6)的进液端与横腔(7)位于滑动块(11)的左侧空间连通,所述横腔(7)位于滑动块(11)的左侧空间与储液腔的底部空间通过进液管(24)连通,所述蛇形管(6)的出液端与储液腔的顶部空间连通,所述进液管(24)和蛇形管(6)的进液端均设有单向阀。
3.根据权利要求1所述的一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置,其特征在于:所述搅拌机构包括竖直设置在横腔(7)内的转杆(14),所述转杆(14)的两端与横腔(7)的内底部和内顶部转动连接,所述滑动块(11)的左侧固定连接有齿条(13),所述转杆(14)上固定连接有与齿条(13)向配合的齿轮(15),所述转杆(14)的上端延伸至蒸发槽(5)内并沿其周向安装有多个搅拌杆(16)。
4.根据权利要求2所述的一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置,其特征在于:所述盖板(25)内设有空腔(27),所述空腔(27)内设有低沸点溶液,所述盖板(25)的外壁固定连接有膨胀气囊(29),所述膨胀气囊(29)与空腔(27)之间通过多个短管连通。
CN202110045186.2A 2021-01-13 2021-01-13 一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置 Active CN112941467B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110045186.2A CN112941467B (zh) 2021-01-13 2021-01-13 一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110045186.2A CN112941467B (zh) 2021-01-13 2021-01-13 一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112941467A CN112941467A (zh) 2021-06-11
CN112941467B true CN112941467B (zh) 2022-11-25

Family

ID=76235223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110045186.2A Active CN112941467B (zh) 2021-01-13 2021-01-13 一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112941467B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113548717A (zh) * 2021-06-30 2021-10-26 沈斌 一种油田用具有油水分离功能的污水处理装置
CN114686818B (zh) * 2022-04-08 2023-06-20 温州市瓯海眼镜有限公司 一种用于眼镜片的控温真空蒸镀设备
CN115804900A (zh) * 2022-12-23 2023-03-17 厦门大学附属第一医院 一种注射器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007332433A (ja) * 2006-06-16 2007-12-27 Seiko Epson Corp 真空蒸着装置
JP2017110284A (ja) * 2015-12-18 2017-06-22 株式会社アルバック 蒸発源および巻取式真空蒸着装置
CN108239749A (zh) * 2018-01-26 2018-07-03 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 蒸镀坩埚及蒸镀机
CN210925961U (zh) * 2019-12-17 2020-07-03 深圳市宝发工业设备有限公司 大功率led焊线机
CN111748773A (zh) * 2020-06-29 2020-10-09 合肥维信诺科技有限公司 一种蒸发源和蒸镀装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007332433A (ja) * 2006-06-16 2007-12-27 Seiko Epson Corp 真空蒸着装置
JP2017110284A (ja) * 2015-12-18 2017-06-22 株式会社アルバック 蒸発源および巻取式真空蒸着装置
CN108239749A (zh) * 2018-01-26 2018-07-03 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 蒸镀坩埚及蒸镀机
CN210925961U (zh) * 2019-12-17 2020-07-03 深圳市宝发工业设备有限公司 大功率led焊线机
CN111748773A (zh) * 2020-06-29 2020-10-09 合肥维信诺科技有限公司 一种蒸发源和蒸镀装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN112941467A (zh) 2021-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112941467B (zh) 一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置
WO2017215159A1 (zh) 功率电池的工质接触式冷却系统及其工作方法
CN101566415B (zh) 一种节能电冰箱
CN109769376B (zh) 一种基于蒸发冷却技术的液冷冷却系统
CN216972662U (zh) 一种用于磁控溅射区域的降温装置
CN114188124A (zh) 一种高频高压大功率整流变压器
CN211994226U (zh) 一种3d打印机用循环冷却装置
CN111698888B (zh) 一种自然蒸发冷却的服务器机柜及其工作方法
CN112590145A (zh) 一种光学玻璃镜片用环保型多重冷却装置
CN115863842B (zh) 一种高效散热管理的储能模组
CN202675748U (zh) 自封闭型蒸发式冷凝器
CN212620225U (zh) 一种带有冷却蒸汽式节能冷却塔
CN117144301B (zh) 一种试验型真空蒸镀机
CN214307751U (zh) 一种可以散热的冰箱
CN210671132U (zh) 一种新型机电设备的散热保护装置
CN211607149U (zh) 一种高性能柜体的一体成型设备控制设备
CN103105027A (zh) 带有冷量回收装置的深冷处理设备
CN107044694B (zh) 压缩沸腾式再生太阳能除湿系统
CN216814788U (zh) 一种化工生产多重分离冷却器
CN219120922U (zh) 一种工业葡萄糖生产用真空冷却装置
CN213119687U (zh) 一种冷冻式干燥机的循环水冷结构
CN212955757U (zh) 一种散热高效的印染机设备
CN216694197U (zh) 一种水泥生产用散热装置
CN218937101U (zh) 一种用于制备火锅底料的冷却装置
CN220144742U (zh) 一种均匀冷却靶材的冷却装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20221109

Address after: 725000 big data of enclave New Economic Industrial Park, high tech Industrial Development Zone, Ankang City, Shaanxi Province, and v-4 factory building of Internet Economic Zone

Applicant after: Shaanxi Xuanyi Photoelectric Technology Co.,Ltd.

Address before: 430000 No.1, 15th floor, unit 1, block B, phase I and II (high-rise creative space), Zhuoer advantage enterprise headquarters base, Liudian village, panlongcheng Economic Development Zone, Huangpi District, Wuhan City, Hubei Province

Applicant before: Juke Optoelectronic Technology (Wuhan) Co.,Ltd.

GR01 Patent grant
GR01 Patent grant