CN108239749A - 蒸镀坩埚及蒸镀机 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、加热层、反射层以及冷却管，所述坩埚本体包括具有一个上端开口的中空腔体，所述反射层贴合于所述中空腔体的内周表面上，所述加热层设于所述中空腔体中且围成一蒸镀室，所述加热层与所述反射层之间具有间隙，所述间隙形成一冷却室，所述冷却管设于所述冷却室中，以使所述冷却室降温。本发明的所述冷却管置于所述冷却室中，且所述冷却管中通冷却气，实现了通过冷却气将所述蒸镀坩埚的热量带出外界，加快降低了所述蒸镀坩埚的温度，使得后续的蒸镀过程可以较快开始，进而提高了蒸镀作业的效率。

Description

蒸镀坩埚及蒸镀机
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀机。
背景技术
目前的蒸镀坩埚中设有加热层，在使用蒸镀坩埚进行蒸镀时，先将蒸镀材料置于蒸镀坩埚中，再对加热层通电，加热层将电能转化为热能，进而对蒸镀材料加热，蒸镀材料在高温下升华或汽化为气体，气体上升到位于蒸镀坩埚上方的基板，在基板上凝华，从而将蒸镀材料蒸镀于基板上。如此循环往复，将蒸镀坩埚中的蒸镀材料蒸镀于不同的基板上。然而，在蒸镀结束后，坩埚的温度较高。在后续的蒸镀过程开始前，蒸镀坩埚需要冷却。
蒸镀坩埚的冷却一般采用自然的降温过程，然而自然降温的过程耗费时间较长，尤其是大型蒸镀机，大型蒸镀机中随着蒸镀坩埚中蒸镀材料的增加，冷却所需时间亦不断增长，这使得蒸镀作业的效率低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种蒸镀坩埚及蒸镀机，已解决蒸镀结束后，蒸镀坩埚冷却时间长导致的蒸镀效率低的技术问题。
本发明提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、加热层、反射层以及冷却管，所述坩埚本体包括具有一个上端开口的中空腔体，所述反射层贴合于所述中空腔体的内周表面上，所述加热层设于所述中空腔体中且围成一蒸镀室，所述加热层与所述反射层之间具有间隙，所述间隙形成一冷却室，所述冷却管设于所述冷却室中，以使所述冷却室降温。
其中，每一所述冷却管内壁设有若干散热翅片，所述散热翅片均匀分布。
其中，所述冷却管为数个，且每一所述冷却管包括进气管、出气管以及连通所述进气管与所述出气管的蛇形管，所述进气管与所述出气管伸出在所述坩埚本体外，所述蛇形管置于所述冷却室中。
其中，所述蛇形管与所述加热层贴合设置。
其中，所述冷却管包括进气管、出气管以及连通所述进气管与所述出气管的螺旋管，所述进气管与所述出气管伸出在所述坩埚本体外，所述螺旋管置于所述冷却室中。
其中，所述螺旋管缠绕所述加热层。
其中，所述冷却管的材料为绝缘材料。
其中，所述进气管连接有鼓风机，所述鼓风机用于向所述冷却管中通冷却气。
其中，所述进气管上设有控制阀，所述控制阀用于控制进入所述冷却管中的所述冷却气流量。
本发明提供一种蒸镀机，包括上述的蒸镀坩埚。
综上所述，本发明的所述冷却管置于所述冷却室中，且所述冷却管中通冷却气，实现了通过冷却气将所述蒸镀坩埚的热量带出外界，加快降低了所述蒸镀坩埚的温度，使得后续的蒸镀过程可以较快开始，进而提高了蒸镀作业的效率。所述冷却管中的蛇形管以及螺旋管实现了增大所述冷却管的长度，进而增加了所述冷却气在所述冷却管中的停留时间以及增大了所述冷却气与所述冷却管的接触面积，加强了所述冷却管对所述蒸镀坩埚的冷加。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的蒸镀坩埚的结构示意图。
图2是图1中冷却管的内部平面结构示意图。
图3是本发明第一实施例提供的冷却管的结构示意图。
图4是图3中蛇形管的结构示意图。
图5是图3中冷却管上安装控制阀并连接有鼓风机的结构示意图。
图6是本发明第二实施例提供的冷却管的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本发明提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体10、加热层20、反射层30以及冷却管40，所述坩埚本体10包括具有一个上端开口的中空腔体50，所述反射层30贴合于所述中空腔体50的内周表面上，所述加热层20设于所述中空腔体50中且围成一蒸镀室60，所述加热层20与所述反射层30之间具有间隙，所述间隙形成一冷却室70，所述冷却管40设于所述冷却室70中，以使所述冷却室70降温。
本发明的所述冷却室70中设置冷却管40，所述冷却管40中通冷却气，实现了蒸镀坩埚在蒸镀结束后，加快降低了所述蒸镀坩埚的温度，使得后续的蒸镀过程可以较快开始，进而提高了蒸镀作业的效率。
在本实施例中，所述坩埚本体10包括顶壁101、底壁102以及连接所述顶壁101与所述底壁102的侧壁103。所述中空腔体50设于所述顶壁101的大致中间区域且伸入所述坩埚本体10中。所述蒸镀坩埚的横截面为方形，所述中空腔体50的横截面为圆形。在其他实施例中，所述蒸镀坩埚的横截面可以圆形或长方形。所述中空腔体50的横截面可以为方形或长方形。
请参阅图2，每一所述冷却管40内部设有若干散热翅片80，所述散热翅片80均匀分布。具体为，在所述冷却管40的轴向方向上，所述散热翅片80在所述冷却管40的管壁上径向排列且错位设置；每一所述散热翅片80的一端插入所述冷却管40的管壁上，另一端伸出在所述冷却管40中。本发明的所述散热翅片80实现了在所述冷却气穿过所述冷却管40的过程中，所述冷却气穿过所述散热翅片80形成的气道，增大了所述冷却气与所述冷却管40的接触面积，进一步加快降低了所述蒸镀坩埚的温度，使得后续的蒸镀过程可以较快开始，进而提高了蒸镀作业的效率。
请参阅图3、图4，在本发明的第一实施例中，所述冷却管40为数个，且每一所述冷却管40包括进气管401、出气管402以及连通所述进气管401与所述出气管402的蛇形管403，所述进气管401与所述出气管402伸出在所述坩埚本体10外，所述蛇形管403置于所述冷却室70中。具体为，所述侧壁103上设有第一通孔(图中未示出)与第二通孔(图中未示出)，所述第一通孔靠近所述底壁102，所述第二通孔靠近所述顶壁101，所述进气管401穿过所述第一通孔与所述蛇形管103连通，所述出气管402穿过所述第二通孔与所述蛇形管103连通。每一所述蛇形管403包括直管4031与弯管4032。所述直管4301等间距设置，且每一所述直管4301包括进气端4034与出气端4033，每一所述弯管4302的两端分别与相邻的两个所述直管4031的进气端4034与出气端4033连通。本发明的所述冷却管40中的所述蛇形管403实现了增大所述冷却管40的长度，即增加了所述冷却气在所述冷却管40中的停留时间以及增大了所述冷却气与所述冷却管40的接触面积，加强了所述冷却管40对所述蒸镀坩埚的冷加。
在本实施例中，所述蛇形管403与所述加热层20贴合设置。具体为，置于所述冷却室70中的每一所述蛇形管403均与所述加热层20贴合，所述蛇形管403与所述加热层20的贴合实现了直接将所述加热层20的热量传导到所述冷却管40上，所述冷却气在流经所述冷却管40时，将所述冷却管40中的热量带走，进一步加快了将所述蒸镀坩埚中的热量带走，加快降低了所述蒸镀坩埚的温度，使得后续的蒸镀过程可以较快开始，进一步提高了蒸镀作业的效率。
所述冷却管40的材料为绝缘材料，且所述冷却管40具有良好的导热性、稳定的化学性质与较高的熔点。具体为，由于所述冷却管40的良好导热性，所述加热层20上的热量可较快传导到所述冷却管40上，进而在所述冷却气穿过所述冷却管40时，由于所述冷却管40与所述冷却气的较大温差，所述冷却管40上的热量可较快传递给所述冷却气，所述冷却气可将所述冷却管40上的热量较快带走。由于所述冷却管40的稳定的化学性质与较高的熔点，在所述冷却管40升温的过程中，所述冷却管401不会发生分解，亦不会熔化，提高了所述冷却管40的寿命。
请参阅图5，所述进气管连接有鼓风机80，所述鼓风机80用于向所述冷却管40中通冷却气。具体为，所述进气管401远离所述坩埚本体10的一端连接有所述鼓风机80，所述鼓风机80用于在所述蒸镀坩埚完成蒸镀后，向所述进气管401中鼓冷却气，所述冷却气将所述冷却管40中的热量带走。
所述进气管401上设有控制阀90，所述控制阀90用于控制进入所述冷却管40中的所述冷却气流量。具体为，在所述蒸镀坩埚完成蒸镀后，所述鼓风机80向所述进气管401中通冷却气，所述控制阀90控制所述进气管401的导通且控制所述进气管401导通的横截面积大小，进而控制进入所述冷却管40中的所述冷却气流量，进一步控制所述蒸镀坩埚的温度。
请参阅图6，在本发明的第二实施例中，所述冷却管40包括进气管401、出气管402以及连通所述进气管401与所述出气管402的螺旋管404，所述进气管401与所述出气管402伸出在所述坩埚本体10外，所述螺旋管404置于所述冷却室70中。具体为，所述侧壁103上设有第一通孔(图中未示出)与第二通孔(图中未示出)，所述第一通孔靠近所述底壁102，所述第二通孔靠近所述顶壁101，所述进气管401穿过所述第一通孔与所述螺旋管404连通，所述出气管402穿过所述第二通孔与所述螺旋管404连通。所述螺旋管404等间距设置，且所述螺旋管404从所述进气管401盘旋上升直至与所述出气管402连通。本发明的所述冷却管40中的所述螺旋管403实现了增大所述冷却管40的长度，即增加了所述冷却气在所述冷却管40中的停留时间以及增大了所述冷却气与所述冷却管40的接触面积，加强了所述冷却管40对所述蒸镀坩埚的冷加。
在本实施例中，所述螺旋管404缠绕所述加热层20。具体为，所述加热层20围成一筒体，所述螺旋管104缠绕所述筒体的外周壁。所述螺旋管404与所述加热层20的贴合，实现了将所述加热层20的热量直接传导到所述冷却管40上，所述冷却气在流经所述冷却管40时，将所述冷却管40中的热量带走，进一步加快了将所述蒸镀坩埚中的热量带走，加快降低了所述蒸镀坩埚的温度，使得后续的蒸镀过程可以较快开始，进而提高了蒸镀作业的效率。
在所述蒸镀坩埚蒸镀结束需冷却时，所述鼓风机80开启，所述控制阀90控制所述进气管401的导通且控制所述进气管401导通的横截面积大小，所述冷却气通过所述冷却管40的进气管401进入所述蒸镀坩埚的冷却室70中，并从所述冷却管40的出气管402排出所述蒸镀坩埚。
本发明的所述冷却管40置于所述冷却室70中，且所述冷却管40中通冷却气，实现了通过冷却气将所述蒸镀坩埚的热量带出外界，实现加快降低了所述蒸镀坩埚的温度，使得后续的蒸镀过程可以较快开始，进而提高了蒸镀作业的效率。所述冷却管40中的蛇形管403以及螺旋管404实现了增大所述冷却管40的长度，进而增加了所述冷却气在所述冷却管40中的停留时间以及增大了所述冷却气与所述冷却管40的接触面积，加强了所述冷却管40对所述蒸镀坩埚的冷加。
本发明还提供一种蒸镀机，包括上述的蒸镀坩埚。所述蒸镀机采用本发明的所述蒸镀坩埚，具有高效蒸镀作业的技术效果。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚本体、加热层、反射层以及冷却管，所述坩埚本体包括具有一个上端开口的中空腔体，所述反射层贴合于所述中空腔体的内周表面上，所述加热层设于所述中空腔体中且围成一蒸镀室，所述加热层与所述反射层之间具有间隙，所述间隙形成一冷却室，所述冷却管设于所述冷却室中，以使所述冷却室降温。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，每一所述冷却管内壁设有若干散热翅片，所述散热翅片均匀分布。
3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述冷却管为数个，且每一所述冷却管包括进气管、出气管以及连通所述进气管与所述出气管的蛇形管，所述进气管与所述出气管伸出在所述坩埚本体外，所述蛇形管置于所述冷却室中。
4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蛇形管与所述加热层贴合设置。
5.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述冷却管包括进气管、出气管以及连通所述进气管与所述出气管的螺旋管，所述进气管与所述出气管伸出在所述坩埚本体外，所述螺旋管置于所述冷却室中。
6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述螺旋管缠绕所述加热层。
7.根据权利要求1-6任一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述冷却管的材料为绝缘材料。
8.根据权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述进气管连接有鼓风机，所述鼓风机用于向所述冷却管中通冷却气。
9.根据权利要求8所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述进气管上设有控制阀，所述控制阀用于控制进入所述冷却管中的所述冷却气流量。
10.一种蒸镀机，包括权利要求1-9任一项所述的蒸镀坩埚。
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