CN112912737A - 信号传输连接器用导电部保护部件及其制造方法、具有其的信号传输连接器及其制造方法 - Google Patents

信号传输连接器用导电部保护部件及其制造方法、具有其的信号传输连接器及其制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供可以保护导电部的信号传输连接器用导电部保护部件及其制造方法、具有其的信号传输连接器及其制造方法，以能够使与如半导体封装件的电子部件的端子相接触的导电部的变形及损伤最小化。本发明的信号传输连接器包括：多个导电部，在弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子，以能够联接到电子部件的端子；绝缘体，由弹性绝缘物质形成，包围多个导电部周围来以使多个导电部相互隔开的方式对其进行支撑；以及多个导电部保护部件，以与多个导电部相对应的方式与绝缘体相结合，从与各自对应的导电部隔开来包围对应导电部。导电部保护部件包括中空管形态的保护部件主体及螺旋槽，上述保护部件主体包围导电部，上述螺旋槽沿着保护部件主体的周围以螺旋形设置，以贯通保护部件主体的内部和外部，从而可以沿着导电部的长度方向发生弹性变形。

Description

信号传输连接器用导电部保护部件及其制造方法、具有其的 信号传输连接器及其制造方法
技术领域
本发明涉及信号传输连接器，更详细地，涉及如下的信号传输连
接器用导电部保护部件及其制造方法、具有其的信号传输连接器及其
制造方法，即，可设置于联接到诸如半导体封装件之类的电子部件来
传输电信号的信号传输连接器，可用于保护导电部。
背景技术
当前，在电子产业领域或半导体产业领域等多种领域中使用用于
传输电信号的多种连接器。
作为一例，在半导体封装件的情况下，经过前工序、后工序及测
试工序制造，在这种制造工序中使用连接器。前工序也被称为FAB工
序，是在单晶硅材质的晶片形成集成电路的工序。后工序也被称为组
件工序，是如下的工序，即，将上述晶片分离成单个芯片，以可以与
外部装置电信号连接的方式在芯片联接导电线或球，注塑用于从外部
环境保护芯片的如环氧树脂的树脂来形成半导体封装件。测试工序为
通过测试半导体封装件是否正常工作来筛选佳品和不良品的工序。
适用于测试工序的核心部件中的一个为被称为测试用插口的连接
器。测试用插口安装于与集成电路测试用测试器电连接的印刷电路板，用于检查半导体封装件。测试用插口包括连接销(Contact pin)，上述
连接销使半导体封装件的引线与印刷电路板的端子电连接。
测试器生成用于测试与测试用插口联接的半导体封装件的电信号
来向半导体封装件输出之后，利用经过半导体封装件输入的电信号来
测试半导体封装件是否正常工作。结果，确定半导体封装件是否为佳
品或不良品。
另一方面，最近，因在用于集成电路的高速化、高功能化及生产性提高的同时被测设备(DUT，Device Under Test)增加，测试器的价格趋于高价化。为了有效使用这种高价的测试器，适当的测试用插口的选择使用及测试用插口的寿命管理极为重要。
在对大量的半导体封装件进行检查的过程中，若因测试用插口的寿命用尽而导致测试用插口的性能降低，则发生将优质的半导体封装件处理成不良的问题。并且，每当发生不良测试用插口时，为了进行更换而需要使高价的测试器和处理器停止工作，因此，测试效率将会降低，结果会对生产收益率产生恶劣影响。
图1示出用于半导体封装件的检查的现有的测试用插口。
当检查半导体封装件时，半导体封装件10的端子12将会与测试用插口20的导电部22相接触。在此情况下，测试用插口20将会受到压力，导电部22受到冲击而发生向一侧扩展的现象，若反复发生这种现象，则导电部22将会受损，从而发生测试用插口20的寿命缩减的问题。
为了解决这种问题，持续进行着开发当半导体封装件等的电子部件的端子压接在导电部时，可防止导电部发生变形，减少导电部受损的信号传输连接器的研究。
发明内容
技术问题
本发明考虑到上述问题而提出，本发明的目的在于，提供如下的信号传输连接器用导电部保护部件及其制造方法、具有其的信号传输连接器及其制造方法，即，可以保护导电部，以能够使如半导体封装件的电子部件的端子相接触的导电部的变形及损伤最小化。
技术方案
用于解决实现上述目的的本发明的信号传输连接器用导电部保护部件设置于信号传输连接器，信号传输连接器包括多个导电部和绝缘部，上述多个导电部在弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子，以能够联接到电子部件的端子，上述绝缘部由弹性绝缘物质形成，以使上述多个导电部相互隔开的方式对其进行支撑，从而能够保护上述导电部，上述信号传输连接器用导电部保护部件的特征在于，包括：中空管形态的保护部件主体，从上述导电部隔开，配置于上述绝缘部以包围上述导电部；以及螺旋槽，沿着上述保护部件主体的周围以螺旋形设置，以贯通上述保护部件主体的内部和外部，上述导电部能够沿着长度方向发生弹性变形。
上述导电部保护部件的螺旋槽可分为上部螺旋槽及下部螺旋槽，上述上部螺旋槽与上述保护部件主体的上端部相邻配置，上述下部螺旋槽与上述上部螺旋槽隔开并与上述保护部件主体的下端部相邻配置。
上述导电部保护部件的螺旋槽能够以从上述保护部件主体的末端隔开的方式配置。
上述导电部保护部件可由导电性材质形成，以能够在上述端子与上述导电部相接触时与上述端子电连接。
另一方面，用于实现上述目的的本发明信号传输连接器能够联接到电子部件来传输电信号，其特征在于，包括：多个导电部，在弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子，以能够联接到上述电子部件的端子；绝缘体，具有绝缘部，上述绝缘部由弹性绝缘物质形成，包围上述多个导电部的周围来以使上述多个导电部相互隔开的方式对其进行支撑；以及多个导电部保护部件，以与上述多个导电部对应的方式与上述绝缘体相结合，从各自对应的导电部隔开来包围对应导电部，上述导电部保护部件包括中空管形态的保护部件主体及螺旋槽，上述中空管形态的保护部件主体包围上述导电部，上述螺旋槽沿着上述保护部件主体的周围以螺旋形设置，以贯通上述保护部件主体的内部和外部，上述导电部保护部件能够沿着上述导电部的长度方向发生弹性变形。
上述导电部保护部件可由导电性材质形成，以能够与上述电子部件的端子电连接，当上述端子与上述导电部相接触时，在与能够上述端子相接触的范围内从上述导电部隔开。
上述绝缘体可包括绝缘部凸点，以从上述绝缘部的表面突出的方式与上述绝缘部形成为一体，上述导电部可包括导电部凸点，以被上述绝缘部凸点包围的方式从上述绝缘部的表面突出，上述导电部保护部件的上端部的位置可低于上述绝缘部凸点的表面。
上述绝缘体可包括绝缘部凸点，以从上述绝缘部的表面突出的方式与上述绝缘部形成为一体，上述导电部可包括导电部凸点，以被上述绝缘部凸点包围的方式从上述绝缘部的表面突出，上述导电部保护部件的上端部的高度可与上述绝缘部凸点的表面的高度相同。
另一方面，在用于实现上述目的的本发明的信号传输连接器用导电部保护部件的制造方法中，上述信号传输连接器用导电部保护部件设置于信号传输连接器，信号传输连接器包括多个导电部和绝缘部，上述多个导电部在弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子，以能够联接到电子部件的端子，上述绝缘部由弹性绝缘物质形成，以使上述多个导电部相互隔开的方式对其进行支撑，从而能够保护上述导电部，上述信号传输连接器用导电部保护部件的制造方法的特征在于，包括：步骤(a)，准备中空管体；步骤(b)，在上述中空管体的表面涂敷光刻胶；步骤(c)，向涂敷有上述光刻胶的上述中空管体的外部面照射光，来沿着上述中空管体的周围形成螺旋形的蚀刻图案；以及步骤(d)，对形成有上述蚀刻图案的上述中空管体进行蚀刻来以贯通上述中空管体的内部和外部的方式形成与上述蚀刻图案对应的螺旋槽。
可在上述步骤(a)中，准备长度大于上述信号传输连接器用导电部保护部件的长度的上述中空管体，在上述步骤(c)中，沿着上述中空管体的长度方向隔开形成多个上述蚀刻图案，在上述步骤(d)之后，将上述中空管体分割成包括至少一个上述螺旋槽的多个信号传输连接器用导电部保护部件。
另一方面，在用于实现上述目的的本发明的信号传输连接器的制造方法中，上述信号传输连接器能够联接到电子部件来传输电信号，上述信号传输连接器的制造方法的特征在于，包括：步骤(a)，准备多个导电部保护部件，上述多个导电部保护部件包括成型模具、中空管形态的保护部件主体及螺旋槽，上述成型模具在内部形成空腔，上述螺旋槽沿着上述保护部件主体的周围以螺旋形设置，以贯通上述保护部件主体的内部和外部；步骤(b)，在上述空腔隔开配置上述多个导电部保护部件；步骤(c)，向配置有上述多个导电部保护部件的上述空腔注入液相的弹性绝缘物质；步骤(d)，通过固化上述弹性绝缘物质来形成用于支撑上述多个导电部保护部件的绝缘部，从上述成型模具分离与上述多个导电部保护部件相结合的上述绝缘部；步骤(e)，在上述绝缘部形成多个绝缘部孔，以贯通在上述绝缘部中分别被上述多个导电部保护部件包围的部分；步骤(f)，向上述多个绝缘部孔注入在液相的弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子的导电性混合物；以及步骤(g)，形成与上述导电部保护部件隔开并被上述导电部保护部件包围的多个导电部，以在施加磁场之后，能够通过固化上述导电性混合物来联接到上述电子部件的端子。
发明的效果
本发明具有如下的效果，即，在本发明的信号传输连接器中，导电部保护部件包围与电子部件的端子反复接触的导电部的周围，由此可加强导电部的强度，当与电子部件的端子相接触时，可以使导电部的变形最小化。因此，与现有的信号传输连接器相比，当长时间使用时不会轻易发生变形，且寿命较长。
并且，本发明的信号传输连接器具有如下的效果，即，当电子部件的端子与导电部相接触来使得电子部件对导电部施加压力时，导电部保护部件可以向对导电部施加压力的相反方向对电子部件施加弹力。因此，导电部不会从电子部件受到过度的负荷，从而可以保护导电部，在没有发生超冲程(Over-Stroke)的情况下，电子部件的端子通过稳定的冲程(Stroke)维持与导电部的接触，由此可以使导电部的损伤最小化。
并且，本发明信号传输连接器具有如下的效果，即，具有弹力的导电部保护部件以包围导电部的周围的方式配置于绝缘体，从而，当电子部件对导电部施加压力时，可以弹性支撑导电部及绝缘部。因此，寿命可以增加。
并且，本发明的信号传输连接器具有如下的效果，即，保护导电部的导电部保护部件在可包围导电部的中空管形态的保护部件主体以螺旋槽形成，且可以沿着其长度方向发生弹性变形，从而能够以相对薄的厚度稳定地保护导电部。因此，即使减少导电部之间的间隔，导电部的宽度也不会减少，并可以通过薄导电部保护部件保护导电部。
附图说明
图1示出用于检查半导体封装件的现有的测试用插口。
图2示出本发明一实施例的信号传输连接器和与其联接的电子部件。
图3及图4示出本发明一实施例的信号传输连接器的导电部保护部件和被导电部保护部件包围的部分。
图5示出本发明一实施例的信号传输连接器的导电部保护部件。
图6示出本发明一实施例的信号传输连接器的导电部与电子部件的端子相接触的状态。
图7至图10用于说明制造本发明一实施例的信号传输连接器的方法。
图11至图15用于说明制造本发明一实施例的信号传输连接器的导电部保护部件的方法。
图16示出本发明另一实施例的信号传输连接器和与其联接的电子部件。
图17示出图16所示的信号传输连接器的导电部保护部件和被导电部保护部件包围的部分。
图18示出图16所示的信号传输连接器及电子部件各自的一部分。
图19部分示出本发明另一实施例的信号传输连接器和与其联接的电子部件。
图20示出导电部保护部件的变形例。
具体实施方式
以下，参照附图，详细说明本发明的信号传输连接器用导电部保护部件及其制造方法、具有其的信号传输连接器及其制造方法。
图2示出本发明一实施例的信号传输连接器和与其联接的电子部件，图3及图4示出本发明一实施例的信号传输连接器的导电部保护部件和被导电部保护部件包围的部分，图5示出本发明一实施例的信号传输连接器的导电部保护部件。
如图所示，本发明一实施例的信号传输连接器100可以与电子部件30联接来传输电信号，包括：多个导电部110，可以联接到电子部件30的端子32；绝缘体120，包围多个导电部110周围来以使多个导电部110相互隔开的方式对其进行支撑；以及多个导电部保护部件130，与绝缘体120相结合，以包围导电部110的周围来保护导电部110。这种信号传输连接器100可以联接到多种电子部件来传输电信号，可通过测试器检查电子部件或者用于电连接电子部件与多种电子装置。
以下，以本发明一实施例的信号传输连接器100联接到电子部件30来检查电子部件30为例进行说明。
导电部110在弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子，以能够联接到电子部件30的端子32。多个导电部110在绝缘体120的内侧隔开配置，以与设置于作为联接对象的电子部件30的端子32对应。导电部110能够以圆柱形状或多种其他形状沿着厚度方向贯通绝缘体120。
作为构成导电部110的弹性绝缘物质可利用具有交联结构的耐热性高分子物质，例如，硅橡胶、聚丁二烯橡胶、天然橡胶、聚异戊二烯橡胶、苯乙烯-丁二烯共聚物橡胶、丙烯腈-丁二烯共聚物橡胶、苯乙烯-丁二烯-二烯嵌段共聚物橡胶、苯乙烯-异戊二烯嵌段共聚物橡胶、聚氨酯橡胶、聚酯橡胶、环氧氯丙烷橡胶、乙丙共聚物橡胶、乙烯-丙烯-二烯共聚橡胶、柔软的液态环氧橡胶等。
并且，作为构成导电部110的导电性粒子，可利用能够通过磁场发生反应的具有磁性的粒子。例如，导电性粒子可利用呈现出铁、镍、钴等的磁性的金属粒子或它们的合金粒子、或者含有这些金属的粒子或将这些粒子作为芯粒子并在上述芯粒子的表面镀上金、银、钯、镭等导电性良好的金属而成的粒子或者非磁性金属粒子、玻璃弹珠等无机物粒子、将聚合物粒子作为芯粒子并在其芯粒子的表面镀上镍及钴等导电性磁性体而成的粒子或者在芯粒子镀上导电性磁性体及导电性良好的金属而成的粒子。
绝缘体120由弹性绝缘物质形成，包围多个导电部110周围来以使多个导电部110相互隔开的方式对其进行支撑。构成绝缘体120的弹性绝缘物质可以为与构成导电部110的弹性绝缘物质相同的弹性绝缘物质。绝缘体120包括包围多个导电部110的绝缘部122及配置于外围的绝缘延伸部124。绝缘延伸部124可以与用于防止绝缘体120轻易发生变形的支撑板等的结构物相结合。
参照图2至图6，多个导电部保护部件130与各个导电部110隔开并与导电部110绝缘，以包围各个导电部110的周围的方式与绝缘部122相结合。导电部保护部件130可呈如图所示的圆筒结构或在内侧收容导电部110来包围导电部110的周围的多种中空结构。导电部保护部件130的高度与放置于内侧的导电部110的高度相应。导电部保护部件130的长度方向与导电部110的长度方向平行，从而可以包围导电部110的周围并保护导电部110。其中，导电部110的长度方向表示当电子部件30的端子32与导电部110相接触时导电部110被压缩的方向。
导电部保护部件130包括中空管形态的保护部件主体132及设置于保护部件主体132的螺旋槽134。导电部保护部件130的端子32与导电部110相接触，当导电部110受到长度方向的压力时，与导电部110一同沿着导电部110的长度方向发生弹性变形。
由于保护部件主体132的内侧孔的宽度可大于导电部110的宽度，从而，导电部110以与保护部件主体132的内部面隔开的方式收容于保护部件主体132的内侧孔。相对于保护部件主体132的长度方向，实质上，保护部件主体132的上部末端呈沿着垂直方向平行的环形状。而且，实质上，保护部件主体132的下部末端呈与保护部件主体132的上部末端平行的环形状。
螺旋槽134沿着保护部件主体132的周围以螺旋形形成，以贯通保护部件主体132的内部和外部。螺旋槽134分为上部螺旋槽134a及下部螺旋槽134b，上述上部螺旋槽134a与保护部件主体132的上端部相邻配置，上述下部螺旋槽134b与保护部件主体132的下端部相邻配置。上部螺旋槽134a与下部螺旋槽134b以并不相互连接的方式隔开配置。上部螺旋槽134a从保护部件主体132的上部末端隔开，下部螺旋槽134b从保护部件主体132的下部末端隔开。
这种导电部保护部件130包围导电部110的周围，由此，当导电部110与电子部件30的端子32相接触时，以防止导电部110向一侧扩展的方式对其进行支撑并加强导电部110的强度。因此，当电子部件30压接在信号传输连接器100时，可以使导电部110及绝缘体120承受基于加压力的负荷。并且，导电部保护部件130可以使导电部110及信号传输连接器100整体变形最小化，由此，可延长信号传输连接器100的寿命。
导电部保护部件130可由导电性材质形成，其末端可从绝缘体120的表面向外侧露出。当电子部件30的端子32联接到导电部110时，导电性的导电部保护部件130可以与导电部110一同与电子部件30的端子32电连接来传输电信号。这种导电性的导电部保护部件130用于扩展信号传输连接器100的联接区域。即，即使电子部件30的端子32与导电部110尚未正常接触，导电部保护部件130与端子32相接触来传输电信号，由此可以减少因导电部110的错误接触所引起的信号传输问题。
为此，当导电部保护部件130的端子32压接在各自对应的导电部110时，在能够与端子32相接触的范围内从各个导电部110隔开配置。
如上所述，在本发明一实施例的信号传输连接器100中，导电部保护部件130包围与电子部件30的端子32反复接触的导电部110的周围，由此，导电部110的强度得到加强，减少导电部110发生变形或损伤的问题。
并且，在本发明一实施例的信号传输连接器100中，保护导电部110的导电部保护部件130可以在中空管形态的保护部件主体132以形成螺旋槽134的结构形成，从而可以沿着长度方向发生弹性变形，当电子部件30的端子32与导电部110相接触来使得电子部件30对导电部110施加压力时，可向与导电部保护部件130对导电部110施加的压力的相反方向对电子部件30施加弹力。因此，导电部110不会从电子部件30受到过度的负荷，从而可以保护导电部110，在没有发生超冲程(Over-Stroke)的情况下，电子部件30的端子32通过稳定的冲程(Stroke)维持与导电部110的接触，由此可以使导电部的损伤最小化。
并且，在本发明一实施例的信号传输连接器100中，导电部保护部件130可以联接到电子部件30的端子32来传输电信号，因此，与仅通过导电部传输电信号的现有技术相比，与电子部件30的联接区域广阔，可以减少因端子32与导电部110之间的错误接触所引起的信号传输错误的问题。
并且，在本发明一实施例的信号传输连接器100中，如普通线簧，具有弹力的导电部保护部件130以包围导电部110的周围的方式配置，从而，当电子部件30对导电部110施加压力时，可以弹性支撑导电部110及绝缘部122。
普通线簧为了维持弹力，其线径应为规定厚度以上。因此，在将线簧适用于信号传输连接器的情况下，若导电部110之间的间隔小，则为了将导电部110配置在线簧内而需要进一步减少导电部110的宽度，若导电部110的宽度减少，则导电部110的电阻值将会增加，端子32的接触区域将会减少，从而发生端子32与导电部110之间的接触不良的危险将会提高。相反，与现有的线簧相比，可以减少本发明的导电部保护部件130的厚度并发挥出所需要的弹性性能，当设计信号传输连接器时，可以解决需要减少导电部110的宽度的设计上的问题。
并且，在现有的线簧的情况下，很难将其末端整体平坦地形成，从而，在适用于信号传输连接器的情况下，绝缘部122表面的平坦度恶化，且因端子32的反复接触而导致绝缘部122表面受损。相反，与现有的线簧相比，本发明的导电部保护部件130的末端整体平坦，因此，不会发生上述问题。
并且，本发明的导电部保护部件130与绝缘部122面接触，因此，以现有的线簧相比，对配置于其内侧的弹性绝缘物质进行支撑的区域更宽广。因此，与现有的线簧相比，可以更加稳定地保护导电部110并可防止导电部110的变形。在导电部保护部件130中，由于螺旋槽134的长度等能够以多种方式设计，因此，当制造导电部保护部件130时，在保护部件主体132的表面中，螺旋槽134的形成面积小于保护部件主体132的表面，由此，可以确保规定大小的对配置于导电部保护部件130的内侧的弹性绝缘物质进行支撑的区域。
并且，本发明的导电部保护部件130可以由多种材质形成，可以由金属或与弹性绝缘物质结合力优秀的材质、起到绝缘体作用的非金属、塑料等多种材质形成。
以下，参照图7至图10，说明制造如上所述的本发明一实施例的信号传输连接器100的方法。
首先，准备图7所示的成型模具50。成型模具50可包括相向配置的上部模具51和下部模具54。在上部模具51的内侧设置上部模具槽52，在下部模具54的内侧设置下部模具槽55。
接着，如图8所示，通过重叠上部模具51和下部模具54来形成通过上部模具51和下部模具54包围的空腔56，多个导电部保护部件130以隔开的方式配置于空腔56。
接着，在配置导电部保护部件130之后，向空腔56注入液相的弹性绝缘物质，通过固化向空腔56注入的弹性绝缘物质来形成用于支撑多个导电部保护部件130的绝缘体120。
接着，从成型模具50分离由绝缘体120与多个导电部保护部件130结合而成的中间成型物60，如图9所示，形成沿着厚度方向贯通中间成型物60的多个绝缘部孔62。在此情况下，绝缘部孔62高度与包围各自周围的导电部保护部件130高度相应，以贯通被绝缘体120中间的各个导电部保护部件130包围的部分。绝缘部孔62可通过激光孔加工、冲孔加工、阵列加工等多种方式以均匀的宽度形成。
接着，如图10所示，按与各个绝缘部孔62的高度相应的高度向多个绝缘部孔62注入在液相的弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子的导电性混合物75。能够以在液相的弹性绝缘物质内分散多个导电性粒子的状态准备液相的导电性混合物75。在此情况下，在液相的导电性混合物75一同混合液相的粘结用引物，由此，导电性粒子与液相弹性绝缘物质之间的结合变得更加坚固。可利用向绝缘部孔62内填充液相的导电性混合物75的分配器70。
接着，在施加磁场后，固化导电性混合物75，由此，使分别被多个导电部保护部件130包围的多个导电部110能够以与和各自对应的导电部保护部件130的高度相应的高度形成，以能够联接到电子部件30的端子32。
向绝缘部孔62注入导电性混合物75的过程、向导电性混合物75施加磁场的过程可以在单独的模具内进行。若向导电性混合物75施加磁场，则向液相的弹性绝缘物质中喷射的多个导电性粒子因磁场的影响可沿着绝缘体120的厚度方向取向并形成电通路。
以下，参照图11至图15，说明制造如上所述的本发明一实施例的信号传输连接器100的导电部保护部件130的方法。
首先，如图11所示，准备中空管体80。在此情况下，中空管体80具有与所设计的导电部保护部件130相应的宽度及厚度，且长度应大于所设计的导电部保护部件130的长度。并且，中空管体80可以由金属等能够具有弹力的多种材质形成。
接着，如图12所示，在中空管体80的表面涂敷光刻胶。光刻胶为已知的光刻胶，可通过多种方法均匀地涂敷在中空管体80的表面。
接着，如图13所示，通过光刻装置90向涂敷有光刻胶82的中空管体80的外部面照射光来沿着中空管体80的周围形成螺旋形的蚀刻图案84。在此情况下，可沿着中空管体80的长度方向，按规定间隔隔开形成多个蚀刻图案84。
用于这种光刻工序的光刻装置90可以利用使用激光束的多种装置。在此情况下，根据光刻胶82是否为正型或负型，基于光刻装置90的光刻区域可以改变。在本实施例中，在光刻胶82为正胶的情况下，在后述的蚀刻工序中，通过光刻装置90光刻的部分将被去除，从而形成螺旋槽134。
接着，如图14所示，对形成多个蚀刻图案84的中空管体80进行蚀刻来形成与多个蚀刻图案84对应的多个螺旋槽134，上述多个螺旋槽134贯通中空管体80的内部和外部。这种蚀刻工序可以利用公知的多种蚀刻装置或蚀刻方法。
接着，如图15所示，切割形成多个螺旋槽134的中空管体80。在这种切割工序中，将中空管体80分割成包括至少一个螺旋槽134的多个导电部保护部件130，由此可从一个中空管体80获得多个导电部保护部件130。
在这种本发明一实施例的信号传输连接器用导电部保护部件的制造方法中，可利用长度大于导电部保护部件130的长度的中空管体80来迅速且有效地制造多个导电部保护部件130。与现有的线簧相比，这种制造方法的制造工序数量少，且可以减少导电部保护部件的制造单价。
并且，在本发明一实施例的信号传输连接器用导电部保护部件的制造方法中，可以制造精密尺寸的导电部保护部件，可根据设计结构精密地形成导电部保护部件的长度或厚度。
在本发明的信号传输连接器用导电部保护部件的制造方法中，所准备的中空管体的长度与所设定的导电部保护部件的长度相同，可从一个中空管体制造一个导电部保护部件。
另一方面，图16示出本发明另一实施例的信号传输连接器和与其联接的电子部件，图17示出图16所示的信号传输连接器的导电部保护部件和被导电部保护部件包围的部分，图18示出图16所示的信号传输连接器及电子部件各自的一部分。
图16至图18所示的信号传输连接器200包括：多个导电部210，能够联接到电子部件30的端子32；绝缘体220，包围多个导电部210的周围来以使多个导电部210相互隔开的方式对其进行支撑；以及多个导电部保护部件130，与绝缘体220相结合，以包围导电部210的周围来保护导电部210。与上述说明的信号传输连接器100相比，在这种信号传输连接器200中，导电部210及绝缘体220多少发生变形，导电部保护部件130与上述相同。
导电部210在弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子，以能够联接到电子部件30的端子32，具有从绝缘体220的表面突出的导电部凸点212。
绝缘体220包括：绝缘部222，由弹性绝缘物质形成，用于包围多个导电部210；绝缘延伸部224，配置于外围；以及绝缘部凸点226，以从绝缘部222的表面突出的方式与绝缘部222形成为一体。实质上，绝缘部凸点226的突出高度与导电部凸点212的突出高度相同，绝缘部凸点226包围导电部凸点212的周围。
这种信号传输连接器200可包括从绝缘部222的表面突出的导电部凸点212，以使导电部210可以与电子部件30的端子32相接触，由此可以与电子部件30的端子32更加顺畅地联接。而且，导电部保护部件130可包围导电部210的周围，由此，导电部210的强度得到加强，可以减少当电子部件30的端子32压接在导电部凸点212时，导电部凸点212发生变形或损伤的问题。
另一方面，图19部分示出本发明另一实施例的信号传输连接器和与其联接的电子部件。
图19所示的信号传输连接器300包括：多个导电部210；绝缘体220，包围多个导电部210周围来使多个导电部210相互隔开的方式对其进行支撑；以及多个导电部保护部件330，与绝缘体220相结合，以包围导电部210的周围来保护导电部210。与上述说明的信号传输连接器200相比，在这种信号传输连接器300中，导电部210及绝缘体220的结构相同，导电部保护部件330多少发生变形。
导电部保护部件330从各个导电部210隔开并与各个导电部210绝缘，且与绝缘部222相结合，以包围各个导电部210的周围。导电部保护部件330可包括中空管形态的保护部件主体332及设置于保护部件主体332的螺旋槽334，且可沿着导电部210的长度方向发生变形。导电部保护部件330的高度与配置于其内侧的导电部210高度相应。即，导电部保护部件330的上端部高度与绝缘部凸点226及导电部凸点212的表面高度相同。这种导电部保护部件330包围包括从绝缘部222突出的导电部凸点212在内的整个导电部210，由此，当电子部件30的端子32压接在导电部凸点212时，可从包括导电部凸点212在内的整个导电部210的变形或损伤更加稳定地进行保护。
以上，通过优选实施例说明了本发明，本发明的范围并不局限于上述说明的形态。
例如，在此之前，导电部保护部件由可传输电信号的导电性材质形成，其末端向绝缘体的外侧露出，以可以与电子部件的端子电连接，导电部保护部件也可以由非导电性材质形成。非导电性材质的导电部保护部件无法传输电信号，可以提高导电部的强度。在此情况下，导电部保护部件的末端无需向绝缘体的外侧露出，整体可以内置在绝缘体内。
并且，图中，导电部保护部件的保护部件主体呈圆筒结构，保护部件主体的横截面除圆形之外，也可以为椭圆形、多边形等具有多种形状的多种形态的中空管结构。
并且，图中，设置于导电部保护部件的螺旋槽可分为上部螺旋槽及下部螺旋槽，上述上部螺旋槽与保护部件主体的上端部相邻配置，上述下部螺旋槽与上述上部螺旋槽隔开并与保护部件主体的下端部相邻配置，螺旋槽的数量或形成位置可以多种多样。
例如，图20所示的导电部保护部件430包括中空管形态的保护部件主体432及设置于保护部件主体432的螺旋槽434，螺旋槽434分为以相互隔开的方式分别在保护部件主体432的上端部及下端部相邻配置的上部螺旋槽434a及下部螺旋槽434b。上部螺旋槽434a与下部螺旋槽434b并非相互连接，而是隔开配置。
在这种导电部保护部件430中，螺旋槽434的长度，即，在保护部件主体432的外周面上，螺旋槽434的转数增加，从而可以具有相对低的弹性系数。如上所述，在保护部件主体的表面上，螺旋槽的转数、螺旋槽的宽度、螺旋槽的节距以及保护部件主体的表面中的螺旋槽的形成面积多种多样，由此，可体现弹力或弹性系数多样的导电部保护部件。作为另一例，在并不使上部螺旋槽与下部螺旋槽相互隔开，而是可以相互连接各自的末端，可通过这种螺旋槽的结构改变以多种方式调节导电部保护部件的弹力、弹性系数或负荷支撑强度。
并且，在此之前，在成型模具的内侧配置导电部保护部件，并注入液相的弹性绝缘物质来形成中间成型物，在中间成型物加工绝缘部孔，向绝缘部孔注入液相的导电性混合物的方法来制造信号传输连接器，但是，信号传输连接器可通过除这种制造方法之外的多种其他方法制造。
并且，在此之前，在中空管体涂敷光刻胶，依次执行光刻工序和蚀刻工序，来制造导电部保护部件，但是，导电部保护部件可通过除这种制造方法之外的多种其他方法制造。
以上，与用于例示本发明的原理的优选实施例有关地示出并说明本发明，本发明并不局限于上述示出并说明的结构及作用。反而，在不超出附加的发明要求保护范围的思想及范围的情况下，本发明所属技术领域的普通技术人员可对本发明进行多种变更及修改。

Claims (11)

1.一种信号传输连接器用导电部保护部件，设置于信号传输连接器，能够保护上述导电部，上述信号传输连接器包括多个导电部和绝缘部，上述多个导电部在弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子，以能够联接到电子部件的端子，上述绝缘部由弹性绝缘物质形成，以使上述多个导电部相互隔开的方式对其进行支撑，上述信号传输连接器用导电部保护部件的特征在于，
包括：
中空管形态的保护部件主体，从上述导电部隔开，配置于上述绝缘部以包围上述导电部；以及
螺旋槽，沿着上述保护部件主体的周围以螺旋形设置，以贯通上述保护部件主体的内部和外部，
上述导电部能够沿着长度方向发生弹性变形。
2.根据权利要求1所述的信号传输连接器用导电部保护部件，其特征在于，上述导电部保护部件的螺旋槽分为上部螺旋槽及下部螺旋槽，上述上部螺旋槽与上述保护部件主体的上端部相邻配置，上述下部螺旋槽与上述上部螺旋槽隔开并与上述保护部件主体的下端部相邻配置。
3.根据权利要求1所述的信号传输连接器用导电部保护部件，其特征在于，上述导电部保护部件的螺旋槽以从上述保护部件主体的末端隔开的方式配置。
4.根据权利要求1所述的信号传输连接器用导电部保护部件，其特征在于，上述导电部保护部件由导电性材质形成，以能够在上述端子与上述导电部相接触时与上述端子电连接。
5.一种信号传输连接器，能够联接到电子部件来传输电信号，其特征在于，
包括：
多个导电部，在弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子，以能够联接到上述电子部件的端子；
绝缘体，具有绝缘部，上述绝缘部由弹性绝缘物质形成，包围上述多个导电部周围来以使上述多个导电部相互隔开的方式对其进行支撑；以及
多个导电部保护部件，以与上述多个导电部对应的方式与上述绝缘体相结合，从各自对应的导电部隔开来包围对应导电部，
上述导电部保护部件包括：
中空管形态的保护部件主体及螺旋槽，上述中空管形态的保护部件主体包围上述导电部，上述螺旋槽沿着上述保护部件主体的周围以螺旋形设置，以贯通上述保护部件主体的内部和外部，上述导电部保护部件能够沿着上述导电部的长度方向发生弹性变形。
6.根据权利要求5所述的信号传输连接器，其特征在于，上述导电部保护部件由导电性材质形成，以能够与上述电子部件的端子电连接，当上述端子与上述导电部相接触时，在与能够上述端子相接触的范围内从上述导电部隔开。
7.根据权利要求5所述的信号传输连接器，其特征在于，
上述绝缘体包括绝缘部凸点，以从上述绝缘部的表面突出的方式与上述绝缘部形成为一体，
上述导电部包括导电部凸点，以被上述绝缘部凸点包围的方式从上述绝缘部的表面突出，
上述导电部保护部件的上端部的位置低于上述绝缘部凸点的表面。
8.根据权利要求5所述的信号传输连接器，其特征在于，
上述绝缘体包括绝缘部凸点，以从上述绝缘部的表面突出的方式与上述绝缘部形成为一体，
上述导电部包括导电部凸点，以被上述绝缘部凸点包围的方式从上述绝缘部的表面突出，
上述导电部保护部件的上端部的高度与上述绝缘部凸点的表面的高度相同。
9.一种信号传输连接器用导电部保护部件的制造方法，上述信号传输连接器用导电部保护部件设置于信号传输连接器，上述信号传输连接器包括多个导电部和绝缘部，上述多个导电部在弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子，以能够联接到电子部件的端子，上述绝缘部由弹性绝缘物质形成，以使上述多个导电部相互隔开的方式对其进行支撑，从而能够保护上述导电部，上述信号传输连接器用导电部保护部件的制造方法的特征在于，包括：
步骤(a)，准备中空管体；
步骤(b)，在上述中空管体的表面涂敷光刻胶；
步骤(c)，向涂敷有上述光刻胶的上述中空管体的外部面照射光，来沿着上述中空管体的周围形成螺旋形的蚀刻图案；以及
步骤(d)，对形成有上述蚀刻图案的上述中空管体进行蚀刻来以贯通上述中空管体的内部和外部的方式形成与上述蚀刻图案对应的螺旋槽。
10.根据权利要求9所述的信号传输连接器用导电部保护部件的制造方法，其特征在于，
在上述步骤(a)中，准备长度大于上述信号传输连接器用导电部保护部件的长度的上述中空管体，
在上述步骤(c)中，沿着上述中空管体的长度方向隔开形成多个上述蚀刻图案，
在上述步骤(d)之后，将上述中空管体分割成包括至少一个上述螺旋槽的多个信号传输连接器用导电部保护部件。
11.一种信号传输连接器的制造方法，上述信号传输连接器能够联接到电子部件来传输电信号，上述信号传输连接器的制造方法的特征在于，包括：
步骤(a)，准备多个导电部保护部件，上述多个导电部保护部件包括成型模具、中空管形态的保护部件主体及螺旋槽，上述成型模具在内部形成空腔，上述螺旋槽沿着上述保护部件主体的周围以螺旋形设置，以贯通上述保护部件主体的内部和外部；
步骤(b)，在上述空腔隔开配置上述多个导电部保护部件；
步骤(c)，向配置有上述多个导电部保护部件的上述空腔注入液相的弹性绝缘物质；
步骤(d)，通过固化上述弹性绝缘物质来形成用于支撑上述多个导电部保护部件的绝缘部，从上述成型模具分离与上述多个导电部保护部件相结合的上述绝缘部；
步骤(e)，在上述绝缘部形成多个绝缘部孔，以贯通在上述绝缘部中分别被上述多个导电部保护部件包围的部分；
步骤(f)，向上述多个绝缘部孔注入在液相的弹性绝缘物质内包含多个导电性粒子的导电性混合物；以及
步骤(g)，形成与上述导电部保护部件隔开并被上述导电部保护部件包围的多个导电部，以在施加磁场之后，能够通过固化上述导电性混合物来联接到上述电子部件的端子。
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