CN112858390B - 异物测试装置和异物测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种异物测试装置，包括：异物测试基板和异物测试模组，异物测试模组，用于通过电性变化来检测待检测样品表面的异物情况。当待检测样品表面存在异物时，会造成异物测试模组的电性变化。本发明的异物测试装置通过监测异物测试模组的电性变化情况，可以有效判断待检测样品表面的异物情况，尤其是在显示面板的制备过程中，可以有效检测承载显示面板的平台上是否存在异物，从而减少平台上异物对显示面板产品的影响，避免造成显示面板产品黑斑和点线不良等问题的出现,有效提升显示面板产品的良率。

Description

异物测试装置和异物测试方法

技术领域

本发明涉及一种异物测试装置和异物测试方法，具体属于检测技术领域。

背景技术

有机发光二极管(英文：Organic Light Emitting Diode，简称：OLED)显示面板以其全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、响应速度快等诸多优点，逐渐成为目前显示领域极具前景的显示产品。现有显示面板的制造工艺中经常需要用到承载平台对产品进行承载，承载平台上的异物对产品特性会产生影响，因此，如何检测承载平台上的异物情况，成为急需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例致力于提供一种异物测试装置和测试方法，能够有效对待检测样品表面的异物情况进行检测。

本发明实施例第一方面提供了一种异物测试装置，包括：异物测试基板和异物测试模组，其中，所述异物测试基板，承载所述异物测试模组；所述异物测试模组，用于通过电性变化来检测待检测样品表面的异物情况。

在第一方面的一个可替换的实施例中，所述异物测试模组包括第一电极、第二电极和支撑层，所述第一电极位于所述异物测试基板上，所述第二电极位于所述第一电极远离所述异物测试基板一侧，且所述第一电极和所述第二电极之间具有间隙，所述第一电极和第二电极通过支撑层连接。

在第一方面的一个可替换的实施例中，所述支撑层为弹性可伸缩结构。

在第一方面的一个可替换的实施例中，所述第二电极的材料为弹性材料。

在第一方面的一个可替换的实施例中，所述第一电极为平板状，所述支撑层围绕所述第一电极的边缘设置，还包括分割层，所述分割层设置于所述第一电极朝向所述第二电极的一侧，且位于所述支撑层朝向所述第一电极中心一侧。

在第一方面的一个可替换的实施例中，所述第一电极包括至少两个第一子电极，相邻所述第一子电极之间具有间隙，所述第一子电极通过所述分割层和/或所述支撑层与所述第二电极连接；和/或，

所述第二电极包括至少两个第二子电极，相邻所述第二子电极之间具有间隙，所述第二子电极通过所述分割层和/或所述支撑层与所述第一电极连接。

在第一方面的一个可替换的实施例中，所述异物测试基板和所述异物测试模组为圆柱状，所述异物测试基板和所述异物测试模组构成套筒，所述异物测试模组位于所述异物测试基板的外侧。

在第一方面的一个可替换的实施例中，还包括监测模组，所述监测模组分别与所述第一电极和所述第二电极电连接。

本发明实施例的第二方面提供了一种异物测试方法，包括：

提供一异物测试装置，所述异物测试装置包括：异物测试基板和异物测试模组，所述异物测试基板承载所述异物测试模组；

将所述异物测试模组置于待检测样品表面，监测所述异物测试模组的电性变化，当所述电性变化超出预设范围，则判定所述待检测样品表面有异物，反之则无异物。

在第二方面的一个可替换的实施例中，所述异物测试基板和所述异物测试模组为圆柱状，所述异物测试基板和所述异物测试模组构成套筒，所述异物测试模组位于所述异物测试基板的外侧；

所述将所述异物测试模组置于待检测样品表面，监测所述异物测试模组的电性变化的步骤，包括，

将所述异物测试模组置于待检测样品表面，使所述异物测试模组沿着所述所述待检测样品表面滚动，监测所述异物测试模组的电性变化

本发明的有益效果包括：本发明提供了一种异物测试装置，包括：异物测试基板和异物测试模组，所述异物测试模组，用于通过电性变化来检测待检测样品表面的异物情况。当待检测样品表面存在异物时，会造成异物测试模组的电性变化。本发明的异物测试装置通过监测异物测试模组的电性变化情况，可以有效判断待检测样品表面的异物情况，尤其是在显示面板的制备过程中，可以有效检测承载显示面板的平台上是否存在异物，从而减少平台上异物对显示面板产品的影响，避免造成显示面板产品黑斑和点线不良等问题的出现,有效提升显示面板产品的良率。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1是根据本发明一实施方式提供的异物测试装置的结构示意图；

图2是根据本发明一实施方式提供的异物测试装置的结构示意图；

图3是根据本发明一实施方式提供的异物测试方法步骤示意图。

附图标记说明：1-异物测试基板；2-异物测试模组；21-第一电极；22-第二电极；23-支撑层；10-待检测样品；3-异物。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本发明的限制。此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

正如背景技术中所述OLED显示面板，尤其是柔性AMOLED显示面板产品制造过程中,产品在制造设备进行工艺操作时均需使用承载平台进行吸附承载。发明人发现，尤其是柔性AMOLED显示面板产品制造时，产品具有柔性特质时,该产品表面非常脆弱,当承载平台有异物存在时,如果无法及时有效地进行检测清除,产品放置在承载平台进行吸附后,位于异物区域的产品受异物影响会对此区域产品性能产生影响，尤其是对驱动电路层、发光层以及封装层等产生破坏,最终造成显示面板产品出现黑斑和点线不良等问题,从而影响产品良率。

针对上述问题，发明人经过大量研究，创新性提出了一种异物测试装置，包括异物测试基板和异物测试模组，通过异物测试模组电性变化来检测待检测样品表面的异物情况。下面结合附图对本发明的技术方案进行详细解释。

图1和图2是根据本发明一实施方式提供的异物测试装置的结构示意图。如图1和图2所示，本发明实施例第一方面提供了一种异物测试装置，包括：异物测试基板1和异物测试模组2。其中，异物测试基板1，用于承载异物测试模组2；异物测试模组2，用于通过电性变化来检测待检测样品10表面的异物情况。具体地，当对待检测样品10表面进行检测时，异物测试装置与待检测样品10表面直接接触，即将异物测试模组2与待检测样品10表面直接接触，当待检测样品10表面具有异物3时，异物测试模组2会与异物3产生接触，从而对异物测试模组2的电性能产生影响，对异物测试模组2的电性进行监测即可获知待检测样品10表面是否具有异物3。

具体地，异物测试模组2的电性能变化可以有多种形式，比如异物测试模组2可以带有一定的电压，当异物测试模组2与异物3产生接触时，异物测试模组2的电压可以发生变化，从而可以用于判定是否存在异物3。也可以使异物测试模组2具有一定的电容，通过对异物测试模组2的电容变化进行监测来判定是否存在异物。

采用上述异物测试装置，通过监测异物测试模组的电性变化情况，可以有效判断待检测样品表面的异物情况，尤其是在显示面板的制备过程中，可以有效检测承载显示面板的平台上是否存在异物，从而减少平台上异物对显示面板产品的影响，避免造成显示面板产品黑斑和点线不良等问题的出现,有效提升显示面板产品的良率。

继续参考图1，在一个可替换的实施例中，异物测试模组2包括第一电极21、第二电极22和支撑层23，第一电极21位于异物测试基板1上，第二电极22位于第一电极21远离异物测试基板1一侧，且第一电极21和第二电极22之间具有间隙，第一电极21和第二电极22通过支撑层23连接。具体地，当对待检测样品10表面进行检测时，异物测试模组2与待检测样品10表面直接接触，即将异物测试模组2中第二电极22与待检测样品10表面直接接触。当待检测样品表面10具有异物3时，异物测试模组2的第二电极22会与异物3产生接触，从而对异物测试模组2的电性能产生影响，对异物测试模组2的电性进行监测即可获知待检测样品10表面是否具有异物3。比如，在第一电极21上给入一个OV电压信号，在第二电极22上给入一个XV电压信号，对第一电极21上的信号进行监测。当待检测样品10表面没有异物3时，第一电极21上的信号维持在0V；当待检测样品10表面具有异物3时，第二电极22由于与异物3产生接触，受到异物3的抵触作用力，从而使得第一电极21与第二电极22接触，此时监测到第一电极21上的信号为非OV电压信号，即可判定待检测样品10表面具有异物3。可以理解地，也可以监测第一电极21和第二电极22之间的电容变化情况，当待检测样品10表面没有异物3时，第一电极21和第二电极22之间的电容不产生变化；当待检测样品10表面具有异物时，受到异物3对第二电极22的抵触作用力，从而使得第一电极21和第二电极22之间的电容产生变化，可以据此判定待检测样品10表面具有异物3。通过本实施方式的装置可以简单、高效的判断待检测样品表面的异物情况。将其应用到显示面板的制备过程中，可以有效检测承载显示面板的平台上是否存在异物，从而减少平台上异物对显示面板产品制造过程的影响，尤其是可以避免异物对驱动电路层、发光层以及封装层等产生破坏，造成显示面板产品黑斑和点线不良等问题的出现,有效提升显示面板产品的良率。

进一步地，在一个可替换的实施例中，支撑层23为弹性可伸缩结构。以监测第一电极21上的电压信号为例，当待检测样品10表面具有异物3时，第二电极22由于与异物3产生接触，受到异物3的抵触作用力，此时，具有弹性可伸缩结构的支撑层23可以带动第二电极22朝向第一电极21的方向运动，从而使得第一电极21与第二电极22接触，此时监测到第一电极21上的电压信号改变，即可判定待检测样品10表面具有异物3。此外，具有弹性可伸缩结构的支撑层23还可以起到调节第一电极21和第二电极22之间间隙大小的作用，从而可以适应不同大小的异物检测场景。当通常某一工艺段的异物体积较大时，可以通过支撑层23调节第一电极21和第二电极22之间间隙较大；当通常某一工艺段的异物体积较小时，可以通过支撑层23调节第一电极21和第二电极22之间间隙较小，以避免出现漏检的情况出现。本实施方式中通过设置具有弹性可伸缩结构的支撑层23，可以适用于在显示面板的制备过程中不同的检测场景，从而减少平台上异物对显示面板产品的影响，避免造成显示面板产品黑斑和点线不良等问题的出现,有效提升显示面板产品的良率。

在一个可替换的实施例中，第二电极22的材料为弹性材料，优选地可以为弹性导电复合材料，比如，PU/AgNWs/PDMS弹性导电复合材料、柔性热塑性聚氨酯导电纳米复合材料等。以监测第一电极21上的电压信号为例，当待检测样品10表面具有异物3时，第二电极22由于与异物3产生接触，受到异物3的抵触作用力，此时第二电极22发生弹性形变，从而使得第一电极21与第二电极22接触，此时监测到第一电极21上的电压信号改变，即可判定待检测样品10表面具有异物3。将第二电极22材料设置为弹性材料，可以利用第二电极22自身的性质满足异物检测的要求，可以适用于在显示面板的制备过程中不同的检测场景，从而减少平台上异物对显示面板产品的影响。

在一个可替换的实施例中，第一电极21为平板状，支撑层23围绕第一电极21的边缘设置，还包括分割层(图中未示出)，分割层设置于第一电极21朝向第二电极22的一侧，且位于位于支撑层23朝向第一电极21中心一侧。分割层可以将第一电极表面划分成不同的区域。以监测第一电极21上的电压信号为例，如此设置，可以将整面的异物测试模组2划分成多个异物测试区域，通过监测位于各个异物测试区域中的第一电极21上的电压信号，从而可以判断具体的异物产生区域，有利于精确定位异物位置，从而可以高效的去除异物。

在一个可替换的实施例中，第一电极21可以包括至少两个第一子电极，相邻第一子电极之间具有间隙，第一子电极通过分割层和/或支撑层23与第二电极22连接。以监测第一电极21上的电压信号为例，第一电极21采用多个第一子电极分立设置的方式，可以有利于进一步精细化判定异物所在区域，有利于更加精确地对待检测样品表面异物进行清理。

进一步地，在一个可替换的实施例中，第二电极22包括至少两个第二子电极，相邻第二子电极之间具有间隙，第二子电极通过所述分割层和/或所述支撑层23与所述第一电极21连接。以监测第一电极21上的电压信号为例，将第二电极22采用多个第二子电极分立设置的方式，可以有利于进一步精细化判定异物所在区域，有利于更加精确地对待检测样品表面异物进行清理。可以理解地，上述两种子电极的设置方式可以择一使用，也可以同时使用。

参考图2，在一个可替换的实施例中，异物测试基板1和异物测试模组2为圆柱状，异物测试基板1和异物测试模组2构成套筒，异物测试模组2位于异物测试基板1的外侧。采用此种设置方式，可以使异物测试模组2通过滚动的方式与待检测样品表面进行接触，从而可以与待检测样品10表面进行逐步接触，同时也可以产生更加精细的接触，能够更准确地确定异物存在的位置。有利于更加精确地对待检测样品表面异物进行清理。当该装置应用在显示面板的制备过程中，可以更加及时地对显示面板的承载平台上是否存在异物进行监测，有利于异物的及时处理，从而减少承载平台上异物对显示面板产品的影响，避免造成显示面板产品黑斑和点线不良等问题的出现,有效提升显示面板产品的良率。同时，由于异物可以进行精确地定位，有利于提升生产的时效。

在一个可替换的实施例中，还包括监测模组(图中未示出)，监测模组分别与第一电极21和第二电极22电连接。通过设置监测模组，可以更加及时有效地对异物测试模组2的第一电极21和第二电极22的电性变化进行监测。如此设置，可以提升监测待检测样品表面的异物情况的时效，尤其是在显示面板的制备过程中，可以更加及时地对显示面板的承载平台上是否存在异物进行监测和处理，从而减少平台上异物对显示面板产品的影响，避免造成显示面板产品黑斑和点线不良等问题的出现,有效提升显示面板产品的良率。

图3是根据本发明一实施方式提供的异物测试方法步骤示意图。本发明实施例的第二方面提供了一种异物测试方法，如图3所示，包括以下步骤：

提供一异物测试装置，异物测试装置包括：异物测试基板和异物测试模组，异物测试基板承载异物测试模组；

将异物测试模组置于待检测样品表面，监测异物测试模组的电性变化，当电性变化超出预设范围，则判定待检测样品表面有异物，反之则无异物。

具体地，一并参考图1和图2，监测异物测试模组2的电性变化可以是监测异物测试模组2的电压变化或电容变化。以异物测试模组2包括第一电极21、第二电极22和支撑层23，第一电极21位于异物测试基板上，第二电极22位于第一电极21远离异物测试基板一侧，且第一电极21和第二电极22之间具有间隙，第一电极21和第二电极22通过支撑层23连接为例。具体在进行异物测试时，可以在第一电极21上给入一个OV电压信号，在第二电极22上给入一个XV电压信号，对第一电极21上的信号进行监测。当待检测样品表面没有异物时，第一电极21上的信号维持在0V；当待检测样品表面具有异物时，第二电极22由于与异物产生接触，受到异物的抵触作用力，从而使得第一电极21与第二电极22接触，此时监测到第一电极21上的信号为非OV电压信号，即可判定待检测样品表面具有异物。

本发明的异物测试方法通过监测异物测试模组的电性变化情况，可以有效判断待检测样品表面的异物情况，尤其是在显示面板的制备过程中，可以有效检测承载显示面板的平台上是否存在异物，从而减少平台上异物对显示面板产品的影响，避免造成显示面板产品黑斑和点线不良等问题的出现,有效提升显示面板产品的良率。

在第二方面的一个可替换的实施例中，异物测试基板1和异物测试模组2为圆柱状，异物测试基板1和异物测试模组2构成套筒，异物测试模组2位于异物测试基板1的外侧；

将异物测试模组置于待检测样品表面，监测异物测试模组的电性变化的步骤，进一步包括：

将异物测试模组2置于待检测样品10表面，使异物测试模组2沿着待检测样品10表面滚动，监测异物测试模组2的电性变化。采用上述方法，可以使得异物测试模组2与待检测样品10表面进行逐步接触，同时也可以产生更加精细的接触，能够更准确地确定异物存在的位置。

应当理解，依照本发明如上文的实施例，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本发明以及在本发明基础上的修改使用。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (8)

1.一种异物测试装置，其特征在于，包括：异物测试基板和异物测试模组，其中，所述异物测试基板，承载所述异物测试模组；所述异物测试模组，用于通过电性变化来检测待检测样品表面的异物情况；所述异物测试模组包括第一电极、第二电极和支撑层，所述第一电极位于所述异物测试基板上，所述第二电极位于所述第一电极远离所述异物测试基板一侧，且所述第一电极和所述第二电极之间具有间隙，所述第一电极和第二电极通过支撑层连接；所述支撑层为弹性可伸缩结构。

2.根据权利要求1所述的异物测试装置，其特征在于，所述第二电极的材料为弹性材料。

3.根据权利要求1-2任一项所述的异物测试装置，其特征在于，所述第一电极为平板状，所述支撑层围绕所述第一电极的边缘设置，还包括分割层，所述分割层设置于所述第一电极朝向所述第二电极的一侧，且位于所述支撑层朝向所述第一电极中心一侧。

4.根据权利要求3所述的异物测试装置，其特征在于，所述第一电极包括至少两个第一子电极，相邻所述第一子电极之间具有间隙，所述第一子电极通过所述分割层和/或所述支撑层与所述第二电极连接；和/或，

所述第二电极包括至少两个第二子电极，相邻所述第二子电极之间具有间隙，所述第二子电极通过所述分割层和/或所述支撑层与所述第一电极连接。

5.根据权利要求1-2任一项所述的异物测试装置，其特征在于，所述异物测试基板和所述异物测试模组为圆柱状，所述异物测试基板和所述异物测试模组构成套筒，所述异物测试模组位于所述异物测试基板的外侧。

6.根据权利要求1-2任一项所述的异物测试装置，其特征在于，还包括监测模组，所述监测模组分别与所述第一电极和所述第二电极电连接。

7.一种异物测试方法，其特征在于，

提供一异物测试装置，所述异物测试装置包括：异物测试基板和异物测试模组，所述异物测试基板承载所述异物测试模组；其中，所述异物测试模组包括第一电极、第二电极和支撑层，所述第一电极位于所述异物测试基板上，所述第二电极位于所述第一电极远离所述异物测试基板一侧，且所述第一电极和所述第二电极之间具有间隙，所述第一电极和第二电极通过支撑层连接；所述支撑层为弹性可伸缩结构；

将所述异物测试模组置于待检测样品表面，监测所述异物测试模组的电性变化，当所述电性变化超出预设范围，则判定所述待检测样品表面有异物，反之则无异物。

8.根据权利要求7所述的异物测试方法，其特征在于，所述异物测试基板和所述异物测试模组为圆柱状，所述异物测试基板和所述异物测试模组构成套筒，所述异物测试模组位于所述异物测试基板的外侧；

所述将所述异物测试模组置于待检测样品表面，监测所述异物测试模组的电性变化的步骤，包括，

将所述异物测试模组置于待检测样品表面，使所述异物测试模组沿着所述待检测样品表面滚动，监测所述异物测试模组的电性变化。

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