CN1370988A - 导电性异物的检查装置及检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检查装置,该检查装置即使在玻璃纤维这样的,具有透镜效果的材料或非透明的材料的情况下,仍可正确地检测附着于被检查物上或混入到其内的导电性异物。该检查装置设置有以与被检测物对置的方式设置,输出规定的检测信号的磁性传感器组;保持各磁性传感器的保持机构;将从各磁性传感器输出的检测信号,与预定的参考值进行比较,判定导电性异物的有无的判定机构。

Description

导电性异物的检查装置及检查方法

技术领域

本发明涉及检测附着于具有电绝缘性的被检查物上或混入到其内部的导电性异物的检查装置及检查方法。

背景技术

一般，作为电气部件的绝缘材料，具有无机纤维(玻璃纤维等)、合成树脂、合成纤维、或天然纤维等形成的织物、无纺布或膜等。比如，在用作印刷电路板的衬底的玻璃布的场合，如果附着金属粉末，碳颗粒，硫化镍的导电性的异物，或其混入到玻璃布内部，则会有使所制造的印刷电路板的绝缘性受到损害，使形成于该印刷电路板上的电路发生短路的危险。

于是，在过去，在对玻璃布进行机织后，在对其进行印刷电路板的制造工序之前，检查该玻璃布，确认导电性异物的存在，在确认有其存在的场合，将其进行去除处理。

作为上述玻璃布的检查，目前，采用显示光线检查方法，在该方法中，对玻璃布照射检查光，通过CCD照相机等拍摄其透射光，对所获得的灰白度图象，进行双值化处理等的处理，检测异物。

但是，上述现有的光线检查方法具有以下的问题。即，玻璃纤维的截面呈圆形，或椭圆形状，由于该截面形状产生的透镜效果，透射光发生折射，或衍射，通过与玻璃布的织物纹理叠加效果，在拍摄图象上，独立于导电性异物，产生因莫尔条纹、或衍射光栅的效果产生的灰白度。由此，无法区分因莫尔条纹、或衍射光栅的效果产生的高灰白度图象，以及对应于导电性异物的高灰白度图象，不能够正确地检测导电性异物。

另外，在导电性异物具有透光性时，不能够区分玻璃纤维和导电性异物，无法对其进行检测。

还有另一种探测线圈式的金属探测装置，或X射线透射式金属探测装置，但是在为探测线圈式的金属探测装置时，具有难于检测1mm以下的导电性异物的缺点，在为X射线透射式的金属探测装置时，具有安全上的问题，或装置复杂且价格较高的缺点。

并且，通常，如果通过上述光线检查，检测出导电性异物，则根据该检测结果，通过目视进行具体检查，去除该导电性异物，但是该目视检查或去除处理为非常烦杂且花费时间的作业，由此，如果无法正确地进行光线检查的一次检查，则此后的二次检查(目视检查)以后的作业是浪费的，检查作业整体产生损失。

还有，除了上述的玻璃布以外，对于缝制的衣物等，具有在缝制时折损的缝针的尖端部混入到制品中的可能性，同样对于这些制品，人们希望提供可正确地检测导电性异物的检查法。但是，上述的光线检查法不能够检测混入到非透明的衣物中的导电性异物。

发明内容

本发明是针对以上的实际情况而提出的，本发明的目的是提供一种检查装置及检查方法，该检查装置即使在检查对象为玻璃纤维这样的具有透镜效果的材料，或非透明的材料的情况下，仍可正确地检测出混入其内的导电性异物。

用于解决上述课题的本发明涉及一种导电性异物检查装置，该检查装置检测附着于具有电绝缘性的被检测物上，或混入到其内部的导电性异物，其特征在于，该检查装置具有：

以与上述被检测物对置的方式设置，输出规定的检测信号的磁性传感器组；保持上述各磁性传感器的保持机构；将从上述各磁性传感器输出的检测信号，与预定的参考值进行比较，对上述导电性异物的有无进行判定的判定机构。

上述磁性传感器由并排设置的两个磁阻元件，以及与该磁阻元件对置地设置，向该磁阻元件施加偏磁场的永久磁铁构成，如果导电性异物通过施加于磁阻元件上的磁场内部，则该磁场发生变化，相应于该磁场的变化，从上述磁阻元件输出的电压信号(检测信号)发生变化。于是，在导电性异物附着在被检查物上，或混入到其内部时，可从上述磁阻元件输出的电压信号的变化而感知该导电性异物的存在。

在本发明的导电性异物检查装置中，使磁性传感器组与上述被检查物对置，使它们沿被检查物进行扫描，借助判定机构，监视从各磁性传感器输出的检测信号，当其超过预定的参考值时，判定在被检查物中混入有导电性异物。另外，参考值是对应于作为检测对象物的导电性异物的大小或材质而确定的。

这样，如果采用该导电性异物检查装置，则与上述的光线检查法相比较，即使在检查对象物为玻璃纤维这样的具有透镜效果的材料，或非透明材料的情况下，仍可正确地检测混入到其内的导电性异物。另外，由于可采用多个磁性传感器检查规定区域，故可有效地进行该检查。

在被检查物为玻璃布这样的长尺寸的织物时，如本发明所述，还可包括以规定通路传送作为具有电绝缘性的被检查物的织物的传送机构；对该传送机构的动作进行控制的控制机构，上述磁性传感器组按照其检测面与上述织物的传送通路面对，并且与该织物对置的方式设置，其检测区域按照遍及上述织物的宽度方向的整个区域的方式设置较好。如果采用该导电性异物检查装置，由于可通过磁性传感器依次检查通过传送机构传送的长尺寸的织物，故可进行有效的检查。

另外，作为按照磁性传感器的检测区域遍及织物的宽度方向的整个区域的方式设置磁性传感器的形式，可例举下述排列形式，即沿织物的宽度方向，成一排排列磁性传感器，另外，沿织物的传送方向成多排排列该磁性传感器，各排的磁性传感器的检测区域在排与排之间依次重合，同时沿织物的宽度方向以规定间距错开，磁性传感器组整体的检测区域无间隙地覆盖织物的整个区域。

此外，本发明涉及导电性异物检查装置，其中，该判定机构按照下述方式形成，即将从上述各磁性传感器输出的检测信号幅度，与预定的参考时间进行比较，对检测到上述导电性异物的信号与杂波进行判别。如果采用该导电性异物检查装置，可有效地从各磁性传感器输出的检测信号中去除杂波，可提高导电性异物的检测精度。另外，上述参考时间相应于作为检测对象物的导电性异物的尺寸，或织物的传送速度确定。

并且，本发明涉及导电性异物检查装置，其中上述保持机构具有移动机构，该移动机构使上述各磁性传感器在与上述织物的传送通路面对的位置，以及与其离开的位置之间移动。如果采用该装置，由于可通过移动机构的动作，使各磁性传感器从与织物的传送通路面对的位置，移动到与其离开的位置，故可容易地进行磁性传感器的更换作业等的维修作业。

另外，本发明涉及导电性异物检查装置，该装置还包括图象生成机构，该图象生成机构根据上述判定机构的判定结果数据，以及通过上述长度测定机构计算的传送距离数据，生成与被检测物上的导电性异物的有无相关的二维图象数据；以及输出通过上述图象生成机构生成的二维图象数据的输出机构。如果采用该装置，目视检查员通过确认与被检查物上的导电性异物的有无相关的二维图象数据，可立即判别导电性异物所在的位置，可进行更加有效的检查，去除作业。

此外，本发明涉及导电性异物检查装置，其中通过非磁性膜覆盖上述磁性传感器组的各检测面。磁性传感器越靠近导电性异物，其探测性能越高。因此，为了高精度地检测导电性异物，则必须尽可能地将磁性传感器靠近被检查物。其中，如果使磁性传感器与被检查物直接接触，则具有因与被检查物摩擦而导致磁性传感器损伤的危险。如果采用该导电性异物检查装置，由于磁性传感器的检测面被非磁性的膜覆盖，故即使在使传感器检测面与被检查物接触的情况下，因为该检测面通过膜保护，故防止传感器的损伤，同时可使磁性传感器与被检查物之间的距离(间隙)保持一定，可对导电性异物进行高精度的检测。

还有，本发明涉及导电性异物检查装置，其中上述膜中含有静电防止剂。比如，在被检查物为由玻璃纤维制成的玻璃布时，由于与膜的摩擦，容易带静电。如果玻璃布带静电，则具有吸附环境中的灰尘，在后面的制造工序中，产生问题的危险。如果采用该导电性异物检查装置，由于在膜中混入静电防止剂，故获得静电抑制效果，可防止由于与膜的摩擦而使被检查物带静电的情况。

本发明涉及导电性异物检查装置，其中上述保持机构包括调整上述膜的张力的张力调整机构。如果采用该检查装置，通过调整施加于膜上的张力，可使膜处于没有松弛的状态。另外，通过在与膜滑动接触的状态下传送被检查物，可使磁性传感器的检测面与被检测物之间的间距总是保持一定。这样，如果采用该检查装置，可进行检测精度保持稳定的检查。

本发明涉及导电性异物检查装置，其包括连续地传送具有电绝缘性的被检测物的长尺寸的织物的传送机构；按照位于上述传送机构的两端之间的位置，从厚度方向两侧夹持上述织物的方式设置的第1和第2电极；在上述第1，第2电极之间外加电压的电压外加机构；以及检测由于上述电压外加机构的电压外加，是否在第1，第2电极之间产生通电或放电的检测机构。

如果采用该导电性异物检查装置，由于当导电性异物附着于上述织物上，或混入到其内部时，通过外加于第1，第2电极之间的电压，在电极之间产生通电或放电，故可借助检测机构简单地检测异物的有无。

在此情况下，检测机构也可按照检测电极之间的通电的方式构成，但是，当比如导电性异物在与电极稍稍接触的状态下混入织物内部时，具有不能够检测该情况的可能性。由此，检测机构按照可检测是否在电极之间发生放电的方式构成较好。

还有，电压外加机构和检测机构既可为一体形成的装置，也可为分别各自形成的装置。在此情况下，作为一体形成的现有的装置，例举检测火花放电的火花试验器，检测电晕放电的局部放电测定仪等。此外，作为检测机构，可采用检测在电极之间发生通电或放电时所产生的电流、电压、电荷变化中的任何一种的机构，检测伴随火花等产生的声音的机构，检测电磁波的机构等。在此情况下，检测机构优选根据需要，按是否超过预先确定的临界值来进行检测或检验。

再有，在作为被检查物的织物比如无纺布，或布(织物)这样的沿厚度方向存在连续的空气空间的材料的情况下，由于在电极之间外加电压，故容易产生因空气的绝缘破坏造成的火花放电。由此，可采用火花试验器、局部放电测定仪中的任何一种，但是，优选采用检测对象放电量较大的火花试验器。另外，相应于树脂膜那样的只要没有小孔就难于产生绝缘破坏的材料，可采用具有能检测仅有微量电流流动的电晕放电的灵敏度的局部放电测定仪。

另外，发明涉及的导电性异物检查装置，上述电压外加机构的外加电压设定为下述电压值，其中在上述导电性异物大于预定的参考值时，在上述第1，第2电极之间产生通电或放电，在小于上述参考值时，不产生通电或放电。

按照该导电性异物检查装置，在导电性异物大于参考值的尺寸时，在电极之间产生通电或放电，通过检测机构检测该情况。这样做的原因在于：在导电性异物小于参考值时，异物的尺寸小到可忽略的程度，或处于异物沿可忽略的方向混入的状态，不必一定进行检测。

此外，在此情况下，还可相应于作为检测对象的异物的尺寸、形状等，改变外加电压的设定值。另外，相对电极之间距离(或织物的厚度T)的异物的大小越接近厚度T的尺寸、形状，越可提高检测异物时的检测精度，可减少漏过异物的混入，或发生过度地检测较小的异物这样的情况。

还有，本发明涉及导电性异物检查装置，为了判别上述导电性异物位于织物的哪个位置，上述第1，第2电极中的至少1个电极由沿上述织物的宽度方向分离而设置的多个电极部件形成。

如果采用如此构成的导电性异物检查装置，检测机构可检测在与多个电极部件中的哪个电极部件相对应的位置，发生通电或放电，可判别异物附着于或混入到织物的哪个位置。另外，通过显示器等的显示机构，显示已检测的部位，由此使检查作业的操作人员了解异物的检测部位。

再有，本发明涉及导电性异物检查装置，上述多个电极部件通过相对于上述织物相互独立设置的、分别与该织物的一侧面均匀接触的多块电极板形成。通过该构成，可使沿织物的宽度方向相互分离设置的各电极板分别与该织物的一侧面均匀地接触，当导电性异物与电极板接触或接近该电极板时，可立即检测到在电极之间，发生通电或发电的情况。

在此情况下，还可使各电极板在织物的长度方向相位错开地以多种组合的方式设置。由此，可防止在沿绝缘性层的宽度方向间隔开的，比如，两块电极板之间，发生异物的检测遗漏等情况，可在织物的整个表面范围内，稳定地检测异物混入的有无。

另外，对于进行工业生产的绝缘性的织物，通常，其宽度大于1m的织物较多，难于在超过1m的长度范围内，以均匀的微米精度的间距保持第1，第2电极之间的距离。于是，一个电极由划分为多块的电极板形成，使各电极板相对支承部件可三维运动地形成各电极板，由此，可将各电极板轻轻地压靠于层的表面上，可使该电极间距基本上与织物的厚度相等。

由于作为当前使用的产品而制造的电气电子部件用的绝缘性织物按照其厚度为微米单位的良好精度制造，故通过采用上述那样的机构，可确保沿织物的宽度方向，第1，第2电极具有均匀的电极间距。

此外，本发明涉及导电性异物检查装置，上述第1，第2电极中的至少另一个电极由与上述织物接触而旋转的滚轮形成。由此，因将旋转滚轮用作电极，故可保证顺畅地使织物在电极之间行走，或对其传送，并且在沿织物的厚度方向，混入产生导通故障的可能性较高的异物时，可使电极处于与所传送的织物内部的异物接触，或接近该异物的状态。

还有，本发明涉及的导电性异物检查装置，通过上述电压外加机构外加于第1，第2电极之间的电压为直流电压。即使在外加电压为交流的情况下，从原理上说，仍可检测上述异物，但是由于检查对象为连续行走的织物，故在其通过电极之间的瞬间电压为不断变化的交流的情况下，还具有以稳定的一定基准，检测异物的情况。由此，按照本发明，可外加直流电压。由此，可提高异物的检测精度。

本发明涉及一种导电性异物检查方法，该方法包括下述步骤：在连续地传送长尺寸的织物的传送过程中，检测导电性异物是否附着于上述织物上或混入到其内部的异物检测步骤；在检测到上述导电性异物时，停止上述织物的传送，使上述织物停止于预定的检查位置的传送停止步骤；去除在上述检查位置附着于上述织物上或混入到其内部的异物的导电性异物去除步骤；在去除上述异物后，再次开始上述织物的传送的传送再次开始步骤。

如果采用该导电性异物检查方法，当在异物检测步骤中，检测到异物时，使织物的传送停止，使该织物停止在预定的检查位置，然后，在该检查位置，使用放大镜采用手动作业，或采用适合的工具等，去除检测到的导电性异物。另外，在去除异物后，再次传送织物。这样，连续地对织物的整个表面进行检查。

这样的异物去除处理等在织物的整个制造步骤中，比如打包出厂前的最终检查工序中进行较好，由此，可向客户提供没有混入导电性异物的高品质的织物，可使可靠性提高。

还有，当作业者去除已检测到的导电性异物时，可以较高的精度，确定异物存在于织物的哪个部位，这样可容易地进行去除作业。由此，还对应于织物的长度方向，确定异物的位置进行检测，可通过显示器等显示该情况。另外，去除异物的方法是任意的，除了树脂膜那样，异物埋于内部的情况以外，可在确定的位置看着放大镜采用手动作业或采用适合的工具简单地进行去除作业。

再有，作为检测导电性异物的机构，可例举上述的磁性传感器，上述第1和第2电极。

另外，作为本发明的被检查物，可例举以玻璃布、由天然纤维、合成纤维形成的布帛为代表的实例，但是只要为可明确地判断导电性异物，可由任何材质形成。

附图说明

图1为表示本发明一实施方式的导电性异物检查装置的基本结构的正视图。

图2为以放大方式表示设置有本实施方式的固定检测装置的部分放大图。

图3为以放大方式表示图2中的A部的放大图。

图4为表示本实施方式的磁性传感器的设置状态的图，该图为图3中的箭头I方向的侧视图。

图5为表示本实施方式的固定检测装置的基本结构的方框图。

图6为表示本实施方式的移动检测装置的正视图。

图7为图6的仰视图。

图8为表示本实施例的移动检查装置的基本结构的方框图。

图9为表示本发明的第2实施方式的导电性异物检查装置的整体结构图。

图10为从图9中的箭头II-II方向看到的电极滚轮和各电极板等的平面图。

图11为以放大方式表示图9所示的玻璃布的织物结构的说明图。

图12为以放大方式表示将图9所示的玻璃布夹持于电极滚轮和电极板之间的状态的主要部分的剖视图。

图13为表示混入到玻璃布内部的异物小到可忽略程度时的，与图12基本相同的主要部分的剖视图。

图14为第2实施方式的导电性异物检查装置的电路图。

图15为表示第2实施方式的导电性异物检查装置的处理顺序的流程图。

图16为表示第3实施方式的导电性异物检查装置的整体结构图。

图17为从图16中的箭头III-III方向看到的第3实施方式的电极滚轮和各电极板等的平面图。

符号说明：1(导电性异物)检查装置；2抽出装置；4玻璃布辊；5卷取装置；7玻璃布辊；10固定检测装置；11传感机构；12磁性传感器；15处理装置；16放大器；17比较器；18缺陷检测部；19验布控制部；20图象生成部；21长度测定部；23控制装置；24警报机构；46树脂膜；50移动检测装置；51传感机构；56处理装置；57放大器；58比较器；59缺陷检测部；60警报机构；102卷出辊(传送机构)；103卷取辊(传送机构)；104，105，106，123转换滚轮；107，121，122电极滚轮(第1电极)；108，124，125电极板(第2电极)；110连接件；112去处工位(检查位置)；113照明装置；114长度测定仪；115电源部(电压外加机构)；116检测器(检测机构)；117控制装置；118启动开关；119显示部；120驱动器(驱动装置)；F导电性异物。

具体实施方式

下面参照附图，对本发明的具体实施方式进行说明。另外，在本实例的检查装置中，作为具有电绝缘性的被检查物的1个实例，以长尺寸的玻璃布为该检查对象。

(第1实施方式)

首先，根据图1～8，对本发明的第1实施方式进行描述。

如图1和图5所示，本实例的导电性异物检查装置(下面简称为“检查装置”)1包括从玻璃布辊4抽出玻璃布W的抽出装置2；按照经过规定的通路的方式，对该已抽出的玻璃布W进行导向的导向滚轮9；呈卷状卷取玻璃布W的卷取装置5；以可旋转的方式支承上述导向滚轮9的架台8；对卷取装置5的动作进行控制的控制装置23；以及检测附着于传送的玻璃布W上或混入到该布内部的导电性异物的固定检测装置10和移动检测装置50等。

上述卷取装置5按照支承辊6，并且通过电动马达等，向该辊6传递旋转动力的方式构成，上述玻璃布W通过供给该辊6的动力，从上述玻璃布辊4抽出(拉出)，经各导向滚轮9导向，沿规定的通路传送，然后，将该布卷取于辊6上，使其形成于玻璃布辊7上。上述抽出装置2这样形成，即其以可旋转的方式支承玻璃布辊4的滚轮3，并且相对该滚轮3沿抽出方向的旋转，施加控制力，通过该控制力抽出该布，对传送的玻璃布W施加规定的张力。

如图5所示，上述固定检测装置10由具有多个磁性传感器12的传感机构11，和处理从各磁性传感器12输出的检测信号的处理装置15构成。

如图3和图4所示，上述传感机构11包括多个传感器12，该多个传感器12中的检验部12a露出于外部，这些传感器12在排成一排的状态下保持于容器13中，上述传感机构11中的多个沿与玻璃布W的传送方向相垂直的方向(玻璃布W的宽度方向)排成一排，另外，传感机构11沿玻璃布W的传送方向，排成多排(11a，11b，11c，11d，11e，11f)，象这样排成多排的传感机构11组固定于基座31上。

对于结构，在图中未特别示出，但是上述磁性传感器12包括并排设置的两个磁阻元件，以及与该磁性电阻器对置，将偏磁施加于该磁阻元件上的永久磁铁，如果导电性异物通过施加于磁阻元件上的磁场内部，则该磁场发生变化，相应于该磁场的变化，从上述磁阻元件输出的电压信号(检测信号)会发生变化。

此外，如图4所示，单一的磁性传感器12的检测区域沿玻璃布W的宽度方向，具有宽度d，各排(11a，11b，11c，11d，11e，11f)的磁性传感器12的检测宽度区域d象图示的那样，在排与排之间依次重合，同时沿玻璃布W的宽度方向，以规定间距错开，在全部的上述多个磁性传感器12中，沿玻璃布W的宽度方向，以无间隙的方式，形成宽度D的检测区域。另外，玻璃布W按照通过检测区域宽度D内部的方式传送。

如图3所示，上述基座31固定于支承架32上。另外，在支承架32上，以规定的间距立设一对对置板37，40，该基座31设置于该对置板37，40之间。

在其中一个对置板37上，固定有固定件39，在该固定件39上，还固定有固定件38。此外，在另一对置板40上，也同样固定有固定件42，按照与其对置的方式，设置有固定件41。固定件42，41通过穿过该固定件42，41的调整螺栓43；以螺纹方式与该调整螺栓43嵌合的螺母44；以及在由上述调整螺栓43穿过的状态下，设置于固定件42，41之间的压缩螺旋弹簧45相互嵌合，通过紧固螺母44，固定件41接近固定件42，通过拧松螺母44，可使固定件41离开固定件42。

还有，非磁性的树脂膜46的一端通过粘接胶带等粘接于上述固定件38上，同样，树脂膜46的另一端粘接于上述固定件41上，上述树脂膜46处于跨于一对对置板37，40之间的状态。另外，通过适当地紧固上述螺母44，对树脂膜46施加张力，各磁性传感器的检测面与该树脂膜46接触，由此，该检测面处于被覆盖的状态。

如图2所示，上述支承架32通过铰链33，以可自由摆动的方式安装于沿横向架设于形成架台8的纵向支架8a，8a之间的横向支架35上，在该图中由实线所示的立起状态，支承架32的顶端部固定于固定架34上，磁性传感器12的检测面处于与玻璃布W的传送通路面对的状态，即覆盖磁性传感器12的检测面的树脂膜46处于与玻璃布W滑动接触的状态，另一方面，如双点划线所示，解除上述固定架34的固定，处于卧倒的状态时，可通过立设于架台8上的支柱36支承。

如根据以上的描述容易理解的那样，上述树脂膜46起到使磁性传感器12的检测面免受与玻璃布W滑动接触的磨耗损伤的作用，但是该树脂膜46的材质优选为不妨碍磁性传感器12的异物检测的材料，其厚度优选在0.05～0.15mm的范围内。因为如果膜厚小于0.05mm，则磨耗耐久面的性能变得极差，反之，如果膜厚大于0.15mm，则磁性传感器12的检测面与玻璃布W之间的距离过大，磁性传感器12的检测灵敏度降低。另外，玻璃布W容易在与另一物体摩擦的作用下带上静电。由此，上述树脂膜46优选为具有防静电剂(比如，表面活性剂)的防静电效果的膜。

如图5所示，上述处理装置15由放大器16，比较器17，缺陷检测部18，验布控制部19，图象生成部20和长度测定部21形成。另外，上述放大器16和比较器17收装于上述基座31内，缺陷检测部18，验布控制部19，图象生成部20和长度测定部21独立于前述部件而适当地设置。

上述放大器16为将从上述各磁性传感器12输出的检测信号放大并输出的处理器。另外，上述比较器17为比较机构，其将预定的参考值与从上述放大器16输出的各检测信号进行比较，当上述检测信号超过上述参考值时，刚好在该时间生成矩形波(脉冲信号)，将其发送给上述缺陷检测部18。上述参考值为用于检测上述导电性异物的临界值，如果磁性传感器12检测出导电性异物，则从该磁性传感器12输出其值大于上述参考值的检测信号。

上述缺陷检测部18接收从上述比较器17发送来的各信号，当包含在这些信号中的脉冲幅度超过预定的参考时间时，判定存在导电性异物，将导电性异物的存在确认信号，与对应于上述检测信号的磁性传感器12的地址信息(address信息)一起，发送给验布控制部19和图象生成部20。在从上述磁性传感器12输出的检测信号中，还包括杂波，在由比较器17生成的矩形波中，也包括杂波成分，但是该杂波成分通过缺陷检测部18的上述处理去除。即，由于杂波成分的矩形波的脉冲幅度较短，故可将该矩形波的脉冲幅度与上述参考时间比较，将短于该参考时间的脉冲幅度的矩形波看作杂波，由此，通过上述处理，将杂波去除。另外，上述参照时间对应于作为检测对象的导电性异物的尺寸，或玻璃布的传送速度而确定。

上述长度测定部21为计算玻璃布W的传送距离的处理部，如图2所示，从附设于导向滚轮9上的旋转编码器47，接收旋转位置信号，根据已接收的旋转位置信号，计算玻璃布W的传送距离。导向滚轮9与沿箭头方向传送的玻璃布W接触，伴随该玻璃布W的移动，实现旋转。因此，通过将由旋转编码器47检测的旋转次数，与导向滚轮9的圆周长度相乘，可计算玻璃布W的传送距离。另外，长度测定部21逐次地将上述那样计算的玻璃布W的传送距离发送给验布控制部19和图象生成部20。

上述验布控制部19从上述缺陷检测部18接收信号，在该信号为确认导电性异物存在的信号时，马上将减速信号发送给控制装置23，并且根据从上述长度测定部21发送的玻璃布W的传送距离数据，计算从通过磁性传感器12检测到导电性异物的时刻开始的玻璃布W的传送距离，根据该计算结果，确认玻璃布W中的具有导电性异物的部分是否到达规定的目视检查位置(图1的M位置)，当到达目视检查位置时，向控制装置23，发送停止信号。验布控制部19从缺陷检测部18，接收检测到导电性异物的磁性传感器12的地址信息，对哪个磁性传感器12检测到导电性异物进行判定，从各磁性传感器12到上述目视检查位置的距离可预先计算，由此，如上所述，可根据从上述长度测定部21发送的玻璃布W的传送距离数据，确认玻璃布W中的具有导电性异物的部分是否到达规定的目视检查位置。

上述控制装置23从验布控制部19接收上述减速信号，使卷取装置5的卷取速度减慢，并且向警报机构24发送信号，进行警报蜂鸣器的鸣叫或警报灯的点亮等设置于警报机构24中的适合的警报动作。另外，从验布控制部19，接收上述停止信号，停止卷取装置5的驱动。

上述图象生成部20从上述缺陷检测部18接收检测到导电性异物的磁性传感器12的地址信息和导电性异物的存在确认信号，另外，从长度测定部21接收与玻璃布W的传送距离有关的数据，根据这些数据，生成以玻璃布W的宽度方向和纵向(传送方向)为各坐标轴的二维图象数据。即，根据图4所示的磁性传感器12组的设置信息和探测磁性传感器12的地址信息，确定玻璃布W的宽度方向的导电性异物的位置信息，同样，根据磁性传感器12组的设置信息，探测磁性传感器12的地址信息和玻璃布W的传送距离数据，确定玻璃布W的传送方向的导电性异物的位置信息，根据这些位置信息，生成表示玻璃布W的导电性异物存在位置的二维图象数据。另外，显示器22与处理装置15连接，通过图象生成部20生成的二维图象数据可显示于该显示器22中。还有，也可通过适合的打印机，打印该二维图象数据，此外，还可将其保存在适合的记录媒体上。

如图6～8所示，上述移动检测装置50由具有多个磁性传感器52的传感机构51；对各磁性传感器52输出的检测信号进行处理的处理装置56；以及保持该传感机构51和处理装置56的容器54构成。

如图6和图7所示，传感机构51的组成与前述的传感机构11相同，其包括多个磁性传感器52，在这些磁性传感器52中，检测部52a露出于外部，并且这些磁性传感器在排成一排的状态下，保持在容器53中。另外，如图7所示，容器54具有把手55，如上所述，保持传感机构51，并且在其内部收装有处理装置56。

如图8所示，上述处理装置56由放大器57，比较器58，缺陷检测部59和警报机构60形成。该放大器57与前述的放大器16相同，为对从各磁性传感器52输出的检测信号进行放大并输出的处理器，比较器58也与前述的比较器17相同，为对预定的参考值与从上述放大器57输出的各检测信号进行比较，当该检测信号超过参考值时，刚好在该时间生成矩形波(脉冲信号)，将其发送给缺陷检测部59的比较器。

再有，上述缺陷检测部59为进行与上述缺陷检测部19基本相同的处理的处理部，其接收从比较器58发送的各信号，当包括在这些信号中的脉冲信号超过预定的参考时间时，判定导电性异物存在，向警报机构60发送导电性异物存在的确认信号。另外，警报机构60接收来自缺陷检测部59的上述信号，进行警报蜂鸣器的鸣叫或警报灯的点亮等警报机构60中设置的适合的警报动作。

另外，形成上述固定检测装置10的比较器17和缺陷检测部18，以及形成上述移动检测装置50的比较器58和缺陷检测部59相当于本发明的判断机构。

如果采用具有以上构成的本实例的检查装置1，如下所述，进行作为检查对象的玻璃布W的检查。此外，从玻璃布辊4处，抽出玻璃布W的前端部，依次经过导向滚轮9，将其卷取到辊6上。

首先，通过控制装置23，对卷取装置5进行驱动、控制，由此，依次从玻璃布辊4处，抽出玻璃布W，该布经各导向滚轮9导向，沿规定的通路行走，然后，卷取到辊6上，形成于玻璃布辊7上。另外，在行走期间，通过固定检测装置10，对玻璃布W是否具有导电性异物进行检查。

即，在固定检测装置10中，从磁性传感器12输出检测信号，该磁性传感器12通过树脂膜与行走过程中的玻璃布W滑动接触，该信号通过放大器16放大，然后，通过比较器17，将其与规定的参考值进行比较，当检测信号超过参考值时，刚好在此时间生成矩形波，将其发送给缺陷检测部18。接着，缺陷检测部18在从比较器17发送来的信号中包含的脉冲幅度超过预定的参考时间时，判定存在导电性异物，将导电性异物的存在确认信号，与和该检测信号相对应的磁性传感器12的地址信息一起，发送给验布控制部19和图象生成部20。

验布控制部19在从缺陷检测部18接收的信号为确认导电性异物存在的信号时，马上向控制装置23发送减速信号，然后，根据从上述长度测定部21发送的玻璃布W的传送距离数据，确认玻璃布W中的具有导电性异物的部分是否到达目视检查位置，当该部分到达目视检查位置时，向控制装置23发送停止信号。另外，图象生成部20从缺陷检测部18接收检测到导电性异物的磁性传感器12的地址信息和导电性异物的存在确认信号，从长度测定部21接收与玻璃布W的传送距离有关的数据，根据这些数据，生成表示玻璃布W的导电性异物的存在位置的二维图象数据，将其显示于显示器22中。

控制装置23从验布控制部19接收减速信号，使卷取装置5的卷取速度减慢，并且向警报机构24发送信号，发出警报鸣叫，从验布控制部19接收停止信号，停止卷取装置5的驱动。

如果从警报机构24发出警报声音，则检查员根据显示于显示器22中的图象信息，确认导电性异物所存在的位置，然后，如图1所示，携带移动检测装置50，将其移动到目视检查位置，通过移动检测装置50，对根据该图象信息确定的导电性异物的存在位置附近仔细地进行检查。即，检查员在使移动检查器50的磁性传感器检测部52a与玻璃布W接触的同时，沿其对该布进行扫描，检测导电性异物，如果从警报机构60发出警报声音，则更加仔细地观察该检查部，检测出导电性异物并将其去除。

接着，象上述那样，在将导电性异物完全去除后，再次通过控制装置23，驱动卷取装置5，之后，以同样方式，对全部的玻璃布W，进行检查。

象上面具体描述的那样，如果采用本实例的检查装置1，由于通过磁性传感器12，52，检测导电性异物，故与过去的光学检查法相比较，即使在检查对象物具有玻璃纤维这样的透镜效果、或非透明的情况下，仍可正确检测混在其内的导电性异物，另外，由于可通过多个磁性传感器12，52检查规定区域，故可有效地进行该检查。此外，由于按照通过规定通路的方式，使长尺寸的玻璃布W行走的同时，对其进行检查，故可有效地检查该长尺寸的检查对象物。

此外，在判定导电性异物存在时，由于将导电性异物所存在的部分自动地传送到目视检查位置，并且将表示玻璃布W上的导电性异物位置的二维图象信息显示于显示器22中，故可有效地进行固定检测装置10的一次检查后的目视检查和导电性异物的去除作业。

为了高精度地检测导电性异物，必须尽可能地使磁性传感器12靠近玻璃布W。如果使磁性传感器12与玻璃布W直接接触，则由于其与玻璃布W的摩擦，有磁性传感器12发生损伤的危险。如果采用本实例的检查装置1，由于磁性传感器12的检测面被非磁性的树脂膜46覆盖，故通过该树脂膜46，保护磁性传感器12的检测面。由此，可一边防止磁性传感器12的损伤，一边高精度地进行导电性异物的检测。

还有，如果玻璃布W带有静电，则吸附环境中的灰尘，在后面的制造工序中，有产生问题的危险，但是由于在上述树脂膜46中混入有表面活性剂，故借助该表面活性剂，呈现静电抑制效果，可防止因与树脂膜的摩擦而产生的玻璃布W带静电的情况。另外，在本实施例的检查装置1中，由于可调整作用于树脂膜46的张力，可使树脂膜46处于没有松弛的状态，故可使磁性传感器12的检测面与玻璃布W之间的间距总是保持一定，由此，可保持稳定的检测精度。

再有，由于在固定检测装置10中，可使各磁性传感器12在面对玻璃布W的传送通路的位置，与离开该位置的位置(退回位置)之间摆动，故通过将固定检测装置10摆动到退回位置，可容易地进行树脂膜46，磁性传感器12的更换作业等。

另外，在被检测物为较短尺寸时，虽然采用上述移动检测装置50进行检查，但是操作方便，效果良好。

(第2实施方式)

下面通过图9～图15，对本发明的第2实施方式进行说明。

在图9中，102表示卷绕有玻璃布W的卷出辊，该卷出辊102用于将玻璃布W送入比如出厂前的检查工序。另外，通过来自后述的驱动器120的输出，使卷出辊102旋转，连续地将玻璃布W朝向后述的卷取辊103，沿箭头E方向传送。

103表示与卷出辊102一起形成玻璃布W的传送机构的卷取辊，该卷取辊103设置于与卷出辊以较大距离间隔开的位置，该卷取辊103通过来自驱动器120的输出而旋转驱动，由此，连续卷取从卷出辊102上展开的玻璃布W。

此外，在卷出辊102和卷取辊103之间，用于改变玻璃布W的传送方向的转换滚轮104，105，106与后述的电极滚轮107一起设置，这些转换滚轮104～106由大于玻璃布W的宽度的长滚轮形成。这样，作为传送对象的玻璃布W在转换滚轮104，105，电极滚轮107和转换滚轮106的位置，一边按照90度的程度被转换传送方向，一边被朝向卷取辊103一侧传送。

107为构成设置于转换滚轮105，106之间的第1电极的电极滚轮，该电极滚轮107由呈圆柱状，或圆筒状的导电性的金属滚轮等构成，该滚轮长度大于玻璃布W的宽度。这样，电极滚轮107构成与后述的电极板108对置的接地侧电极，其外周面(表面)以较大的面积，与玻璃布W的内侧均匀地接触。

再有，电极滚轮107如图10所示，具有旋转轴107a，通过以该轴为中心而使该滚轮旋转，将从转换滚轮105基本沿水平方向传送的玻璃布W，沿与转换滚轮106一侧垂直方向向下转换方向，顺畅地传送。

108，108，…表示按照与电极滚轮107一起，从厚度方向两侧夹持玻璃布W的方式设置的形成第2电极的电极板，这些电极板108象图10所示，由长方形的较薄的金属板形成，构成沿玻璃布W的宽度方向，稍稍间隔开地设置的电极部件。

另外，各电极板108按照下述方式配置，即通过后述的连接件110，保证相对玻璃布W的独立运动，分别均匀地与玻璃布W的一个侧面的外面接触。接着，通过在各电极板108和电极滚轮107之间，如后所述地外加电压，则如图11所示，在玻璃布W内部混有导电性异物F时，在电极板108和电极滚轮107之间，电流作为通电或放电现象产生。此外，在图11中，Wa表示形成玻璃布W的纤维束。

109表示作为以悬吊状态支承电极板108的支承部件的支杆，该支杆109如图9和图10所示，设置于电极滚轮107和电极板108的上方位置，与电极滚轮107基本保持平行地、沿玻璃布W的宽度方向(左，右方向)延伸地设置。

110，110，…表示连接件，该连接件以可相对支杆109进行三维运动的方式连接各电极板108，这些连接件110由比如绝缘性的树脂材料等形成，作为柔性的系绳，形成电极板108的绳状的悬吊具。另外，连接件110将电极板108保持从支杆109悬吊的状态，保证电极板108相对玻璃布W沿厚度方向、左右方向等自由运动。

111表示设置于电极板108和支杆109之间的调节杆，该调节杆111以活动的方式与连接件110的两端之间的位置接触，由此，任意地调节电极板108与玻璃布W的接触角度。此外，通过采用连接件110，调节杆111等，电极板108在自重的作用下，均匀地压靠在玻璃布W的外面侧，在该玻璃布W的外面上连续地滑动接触。

112表示去除工位，该去除工位112位于电极滚轮107和转换滚轮106之间，以对置方式设置于玻璃布W的两端之间的部位，该去除工位112按照将玻璃布W夹持于其与照明装置113之间的方式设置，构成用于将混入玻璃布W内部的异物F去除的检查位置。在此情况下，来自照明装置113的光明亮地照射玻璃布W，且其一部分从去除工位112一侧透过。

另外，预先等待于去除工位112的作业人员进行下述作业，即在从照明装置113照射的光的条件下，一边通过放大镜(图未示)等观察混入玻璃布W内部的异物F，一边对其探查，采用手动作业或适合的工具，从玻璃布W谨慎地去除异物F。

114表示设置于卷出辊102侧的转换滚轮104上的长度测定仪，该长度测定仪114通过与转换滚轮104接触而旋转，由此形成检测玻璃布W的长度方向位置的位置检测机构。另外，当通过后述的检测器116检测到异物F时，通过来自长度测定仪114的检测信号，判断在玻璃布W的哪个位置(长度方向的哪个位置)混入异物F。

115表示作为电压外加机构的电源部，其在电极板108与电极滚轮107之间，外加电压，该电源部115如图14所示，与各电极板108并联，象后面所述的那样，将预先设定的一定的直流电压，外加于相应的电极板108和电极滚轮107之间。此外，在电源部115上，设置有电压调整部(图中未示出)，通过来自后述的控制装置117的调整信号，适当地调整外加电压的电压值。

116，116，…表示作为设置于电源部115和各电极板108之间的检测机构的检测器，这些检测器116针对每个电极板108独立地设置，检测在哪个电极板108和电极滚轮107之间，如后述的那样，发生通电或放电。另外，当发生这样的通电或放电时，由于在检测器116的前后产生电流，故检测器116检测该电流，将检测信号朝向控制装置117输出。

117表示由微型计算机等形成的控制装置，该控制装置117的输入侧与长度测定仪114，各检测器116和启动开关118等连接，输出侧与电源部115，显示器等的显示机构119和驱动器120等连接。此外，控制装置117通过控制程序或控制电路，进行图15所示的工序检查处理，对玻璃布W的异物检测处理和异物去除处理等进行控制。

在这里，显示器119在检测到异物F混入到玻璃布W内部时，根据来自长度测定仪114和各检测器116的信号，沿玻璃布W的长度方向和宽度方向确定异物F的混入位置并显示该位置。在此情况下，显示器119设置于去除工位112的附近位置。

还有，驱动器120包括驱动电路，该驱动电路驱动分别设置于卷出辊102和卷取辊103上的电动马达(图中未示出)等，如果从控制装置117输出驱动信号，则基本同步地旋转驱动卷出辊102和卷取辊103，当停止驱动信号的输出时，基本上同时地使卷出辊102，卷取辊103停止。

本实例的检查装置具有如上所述的构成，下面参照图15对包括玻璃布W的异物检测处理和异物去除处理等的检查处理方法进行说明。

首先，如果通过启动开关118的接通，控制装置117的处理动作开始，则在步骤S1，通过向驱动器120输出驱动信号，则基本同步地旋转驱动卷出辊102和卷取辊103。另外，通过卷出辊102和卷取辊103的相互旋转，沿图9中的箭头所示的方向，连续地传送长尺寸的玻璃布W。

另外，此时，使来自电源部115的电压外加动作开始，采用并排地设置于电源部115和多个电极板108，108，…之间的各检测器116，分别地监视在相应的电极板108和电极滚轮107之间是否发生通电或放电。

接着，在步骤S2，通过来自检测器116的信号，判定是否检测到导电性异物F(异物检测工序)，在判定为“否”的期间，反复进行步骤S1以后的处理。另外，当在步骤S2，判定为“是”时，由于为在玻璃布W内部混入有导电性异物F，故进行步骤S3以后的处理。

在此情况下，如图12，图13所示，电极板108将厚度T的玻璃布W夹持在与电极滚轮107之间并与其对置，按照连续地在电极滚轮107和电极板108之间行走的方式传送玻璃布W。接着，如图12中的实例所示，在玻璃布W内部混入有导电性异物F，当该异物F沿玻璃布W的厚度方向穿过时，在该电极板108和电极滚轮107之间，发生通电或放电。

即，图14所示的电源部115的外加电压按照下述方式设定为规定的电压值(比如，400V程度)，该方式为：如图12所示的那样，当沿玻璃布W的厚度T的方向，异物F的尺寸大于参考值T1(比如，可为厚度T的4/5的尺寸)时，则在电极板108和电极滚轮107之间，发生通电或放电。

另外，电源部115的外加电压的值根据比如玻璃布W的厚度T等而改变，其也可为低于400V的电压值，反之，还可设定为高于400V的电压值，如果需要由与参考值T1的关系确定。

此外，在混入到玻璃布W内部的导电性异物F的尺寸如图13所示的那样，沿玻璃布W的厚度T的方向，小于参考值T1时，不在电极板108和电极滚轮107之间发生通电或放电。另外，即使在发生的情况下，也为微量的放电，无法检测到。由此，检测器116将在玻璃布W内部未混入异物F的非检测信号输出给控制装置117。

如图12所示，导电性异物F以沿玻璃布W的厚度方向穿过的方式存在，在电极板108和电极滚轮107之间发生通电或放电，此时，相应的检测器116将在玻璃布W中的与电极板108相对应的位置，混入异物F的检测信号，输出给控制装置117。由此，在上述步骤S2，判定为“是”，进行下一步骤S3。

然后，在步骤S3，确定混入有异物F的玻璃布W的位置，通过显示器119，显示该位置。在此情况下，考虑沿玻璃布W的纵向，在哪个位置存在异物F，比如，考虑电极板108与长度测定仪114之间的距离，根据来自长度测定仪114的信号，求出该距离。

另外，通过相应的检测器116，分别地检测沿玻璃布W的宽度方向在哪个位置存在异物F，或在沿玻璃布W的宽度方向，借助间隙并排地设置的电极板108，108，…中的哪个电极板上，发生上述通电或放电，由此，通过来自各检测器116的信号进行确定。

之后，在步骤S4，在检测到异物F的阶段，暂时停止向驱动器120的驱动信号的输出，使卷出辊102和卷取辊103的玻璃布W的传送停止。另外，在判定了在玻璃布W的长度方向的异物F混入位置的阶段，通过手动或自动方式，再次开始玻璃布W的传送。

接着，慢慢地传送玻璃布W，直至玻璃布W的异物混入位置到达与图9中的去除工位112面对的位置，使玻璃布W停止在该去除工位112的位置(传送停止工序)。

然后，在步骤S5，预先等待于去除工位处的作业人员根据显示器119的显示，判别异物F的位置，同时，在照明装置113的照射光的条件下，采用放大镜等，探查混入到玻璃布W内部的异物F。接着，如果看到该异物，则通过手动作业或适合的工具，从玻璃布W中，小心地将异物F去除(异物去除工序)。

此外，在去除异物F后，在下一步骤S6，再次接通启动开关118，由此，使卷出辊102和卷取辊103旋转，沿图9中的箭头所示的方向，传送玻璃布W(传送再开工序)。之后，返回到步骤S1，再次反复进行步骤S1以后的处理。由此，可将未混入有导电性异物F的玻璃布W，作为电子部件等的绝缘用层状部件运出厂。

这样，如果采用本实例的检查装置，由于在卷出辊102和卷取辊103之间连续地传送的玻璃布W被从厚度方向两侧由电极滚轮107和各电极板108夹持地设置，在该电极滚轮107和相应的电极板108之间，外加预定的规定直流电压，故在传送(行走)过程中的玻璃布W内部混入导电性异物时，在电极滚轮107和电极板108之间，产生通电或放电，通过多个检测器116，116，…中的某个检测器116，检测该情况，由此可简单地检测异物的有无。

在此情况下，检测器116在玻璃布W内部的异物F沿厚度T方向穿过，其两端与两个电极107，108接触时，两个电极107，108之间通电，可检测异物F。但是，即使在导电性异物F在不与电极滚轮107，电极板108直接接触的状态下，混入到玻璃布W内部的情况下，具有在对玻璃布W检查后，在客户那里造成异物F产生的通电故障的危险。

于是，从电源部115外加的直流电压设定为下述电压值，其中在混入到玻璃布W内部的导电性异物F大于预定的参考值T1时，在两个电极107，108之间，产生通电或放电，在小于参考值T1时，不产生通电，或放电。

由此，检测器116可根据混入到玻璃布W内部的异物F与参考值T1的比较结果，即根据在电极107，108之间，是否产生通电或放电的情况，检测异物F。

还有，由于与电极滚轮107对置设置的多个电极板108，108，…，按照沿玻璃布W的宽度方向相互分离并排延伸的方式设置，对应于各电极板108，将相应的检测器116并排地设置于该电极板与电源部115之间，故可通过各检测器116，检测在与哪个电极板108相对应的位置，发生通电，或放电，可判别沿玻璃布W的宽度方向，在哪个位置混入、存在异物F。

另外，可对应于玻璃布W的长度方向，通过长度测定仪114，自动地检测异物F的混入位置。另外，通过显示器等的显示机构119，显示象上述那样检测的异物F混入部位，由此，可将异物F具体存在的位置，通报给在去除工位112处进行去除作业等的操作人员(作业人员)。

此外，由于电极板108采用具有柔性的绳等的连接件110，从支杆109上将其悬吊，在自重的作用下，分别与玻璃布W的外面侧均匀地接触，故可保证使沿玻璃布W的宽度方向相互分离而设置的各电极板108，分别独立且均匀地与玻璃布W的外面接触，当导电性异物F与电极板108接触，或接近该电极板108时，可立即检测到电极107，108之间发生通电或放电的情况。

由于与各电极板108对置的电极滚轮107与连续行走的玻璃布W的内面侧接触，随着玻璃布W的传送而旋转，故可保证作为检查对象的玻璃布W在电极107，108之间平滑地行走或传送。另外，由于电源部115外加直流电压，故可以较低的电压检测异物F，可提高其检测精度。

象上述那样，如果采用本实例的检查装置，可在连续地传送玻璃布的同时，检测作为检测对象的导电性异物F，至少可良好地防止沿玻璃布W的厚度方向的导通故障等情况。由此，可在确保品质安全性的状态下，使用于确保电子部件等的绝缘性的玻璃布W出厂，可提高其可靠性。

还有，即使在作为适用对象的电绝缘性的玻璃布W的厚度比如，小于0.1mm的情况下，仍可连续地检测混入其中的粒径小于0.1mm的微小异物F，可顺利地进行该处理作业，有效地实现玻璃布W出厂前的检查工序等，可确实提高整体的作业性。

(第3实施方式)

下面根据图16和图17，对本发明的第3实施方式进行说明。另外，在本实施方式中，对与上述的第2实施方式的检查装置相同的组成部分，采用同一标号，故省略对其的具体描述。

如图16和图17所示，本实例的检查装置按照沿玻璃布W的长度方向相位错开地多种组合的方式设置各电极板和电极滚轮。

在图中，121，122表示两组电极滚轮，该两组电极滚轮沿玻璃布W长度方向间隔开，设置于转换滚轮105，106之间，形成第1电极，虽然这些电极滚轮121，122按照与在第2实施方式中描述的电极滚轮107相同的方式形成，但是，在电极滚轮121，122之间，还添设有另一转换滚轮123。

再有，电极滚轮121设置于转换滚轮105，123之间，以旋转轴121a为中心而旋转。由此，电极滚轮121将从转换滚轮105基本沿水平方向传送的玻璃布W的方向转换为朝向转换滚轮123侧的向下方向，然后顺畅地传送该玻璃布W。

另外，电极滚轮122设置于转换滚轮123，106之间，以旋转轴122a为中心而旋转。由此，电极滚轮122将从转换滚轮123侧向上传送的玻璃布W的方向转换为朝向转换滚轮106侧的向下方向，然后顺畅地传送该玻璃布W。

124，124…表示形成第2电极的电极板，该电极板按照从厚度方向两侧，与电极滚轮121一起，夹持玻璃布W的方式设置，这些电极板124按照与在第2实施方式中已描述的电极板108相同的方式形成，它们分别形成沿玻璃布W的宽度方向间隔开而设置的电极部件。

125，125…表示形成第2电极的电极板，该电极板按照从厚度方向两侧，与电极滚轮122一起夹持玻璃布W的方式设置，这些电极板125也按照与上述电极板124相同的方式形成。但是，这些电极板124，125如图17所示，分别设置于沿玻璃布W的宽度方向，相互不同的位置。

其结果是，当导电性异物F混入到玻璃布W内部中的，各电极板124之间的位置时，可通过位于其下游侧的各电极板125(与其相对应的检测器116)，检测异物F，这之外的异物F可通过上游侧的各电极板124检测。

126，127表示作为以悬吊状态支承各电极板124，125的支承部件的支杆，该支杆126，127按照与在第2实施方式中已描述的支杆109相同的方式形成。此外，支杆126设置于电极滚轮121，电极板124的上方位置，支杆127设置于电极滚轮122，电极板125的上方位置。

128，129表示调节杆，该调节杆设置于各电极板124，125与支杆126，127之间，该调节杆128，129按照与在第2实施方式中已描述的调节杆111相同的方式形成，通过可动地与各连接件110的两端之间的位置接触，任意地调节电极板124，125与玻璃布W的接触角度。

这样，在这样形成的本实例的检查装置中，也可获得与上述第2实施方式的检查装置相同的作用效果。但是，在此情况下，将两组电极滚轮121，122与各电极板124，125的组合体的相位错开，将其设置于玻璃布W的两端之间的位置。

由此，可防止在沿玻璃布W的宽度方向间隔开的各电极板124，或125之间，异物F的检测遗漏等情况，可以较高的精度，沿玻璃布W的整个表面，检查是否混入异物F。

再有，在前述第2实施方式中，说明了通过由柔性的系绳件形成的连接件110从支杆109上悬吊，沿玻璃布W的宽度方向划分而设置的各电极板108，在自重的作用下，将电极板108轻轻地压靠于玻璃布W的外面侧，但是本发明不限于此，比如，也可采用金属制或塑料制的活动接头(万向接头)等，分别将电极板108与支杆109连接。

另外，同样在此情况下，可以3维运动的方式，支承电极板108，可通过比如弹簧等的偏置机构，按照均匀地与玻璃布W的外面连续地接触的方式，保持电极板108。另外，对于第3实施方式来说，此方面也是相同的。

此外，在前述第2实施方式中，以采用平板状的电极板108的情况为实例进行了描述，但是本发明不限于此，也可采用比如由导电性材料形成的圆杆，或自由滚轮等构成的多个电极部件，形成第2电极。

象上述那样，第1，第2电极考虑采用圆形滚轮，圆杆，平板等的各种类型，但是当与作为检测对象的导电性异物接触，或接近该异物时，与这些异物相比较，必须要求具有足够平滑的电极面。另外，在此情况下，当导电性异物接近时，可保证在电极之间产生稳定的通电或放电。

还有，在前述第2实施方式中，如图14所示，以电源部115，各检测器116和控制装置117等分别形成的情况为实例进行了描述，但是本发明不限于此，比如，还可采用电压外加机构和检测机构形成为一体的装置。在此情况下，作为形成为一体的现有装置，例举比如检测火花放电的火花试验器，检测电晕放电的部分放电测定仪等。

再有，作为检测机构，还可采用检测在电极之间发生通电或放电时所产生的电流、电压、电荷的变化中的任何一种的机构，检测伴随火花等的声音机构，检测电磁波的机构等。在此情况下，检测机构优选根据需要，相应于是否超过预定的临界值的情况，进行检测，或检验动作。

另外，在作为检查对象的绝缘性层为比如沿无纺布，布(织物)这样的厚度方向保持连续的空气空间存在的层时，通过在电极之间外加电压，容易产生空气的绝缘破坏造成的火花放电。由此，虽然可采用局部放电测定仪中的任何一种，但是优选采用火花试验器。

此外，象树脂膜那样，对于只要没有气泡，难于产生绝缘破坏的材料，可采用具有下述灵敏度的局部放电测定仪，该灵敏度可检测仅仅有微量的电流流动的电晕放电。此外，对于上述的方面，第3实施方式也是相同的。

上面对本发明的实施方式进行了说明，但是本发明可采用的具体形式不限于任何的实施例。特别是，被检测物不限于任何的上述玻璃布W，另外，显然，被检测物可为较短的尺寸。

Claims (17)

1.一种导电性异物检查装置，该检查装置检测附着于具有电绝缘性的被检测物上，或混入到其内部的导电性异物，其特征在于，该检查装置设置有：

以与所述被检测物对置的方式设置，输出规定的检测信号的磁性传感器组；

保持所述各磁性传感器的保持机构；

将从所述各磁性传感器输出的检测信号，与预定的参考值进行比较，对所述导电性异物的有无进行判定的判定机构。

2.根据权利要求1所述的导电性异物检查装置，其特征在于：

该检查装置还包括以规定通路传送具有电绝缘性的被检查物的长尺寸的织物的传送机构；以及对该传送机构的动作进行控制的控制机构，

所述磁性传感器组按照其检测面与所述织物的传送通路面对，并且与该织物对置的方式设置，其检测区域按照遍及所述织物的宽度方向的整个区域的方式设置。

3.根据权利要求2所述的导电性异物检查装置，其特征在于，该判定机构按照下述方式形成，即将从所述各磁性传感器输出的检测信号幅度，与预定的参考时间进行比较，对检测到的所述导电性异物的信号与杂波进行判别。

4.根据权利要求2或3所述的导电性异物检查装置，其特征在于，所述保持机构具有使所述各磁性传感器在与所述织物的传送通路面对的位置，以及与其离开的位置之间移动的移动机构。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的导电性异物检查装置，其特征在于，该装置还包括根据所述判定机构的判定结果数据，以及通过所述长度测定结果计算的传送距离数据，生成与被检测物上的导电性异物的有无相关的二维图象数据的图象生成机构；以及输出通过所述图象生成机构生成的二维图象数据的输出机构。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的导电性异物检查装置，其特征在于，用非磁性膜覆盖所述磁性传感器组的各检测面。

7.根据权利要求6所述的导电性异物检查装置，其特征在于，所述膜含有静电防止剂。

8.根据权利要求6或7所述的导电性异物检查装置，其特征在于，所述保持机构包括调整所述膜的张力的张力调整机构。

9.一种导电性异物检查装置，其特征在于，其由下述机构构成：

连续地传送具有电绝缘性的被检测物的长尺寸的织物的传送机构；

按照位于所述传送机构的两端之间的位置，从厚度方向两侧夹持所述织物的方式设置的第1和第2电极；

在所述第1，第2电极之间外加电压的电压外加机构；

检测通过所述电压外加机构的电压外加，是否在第1，第2电极之间产生通电或放电的检测机构。

10.根据权利要求9所述的导电性异物检查装置，其特征在于，所述电压外加机构的外加电压设定为在所述导电性异物大于预定的参考值时，在所述第1，第2电极之间产生通电或放电，在小于所述参考值时不产生通电或放电。

11.根据权利要求9或10所述的导电性异物检查装置，其特征在于，为了判别所述导电性异物位于织物的哪个位置，所述第1，第2电极中的至少1个电极由沿所述织物的宽度方向分离设置的多个电极部件形成。

12.根据权利要求11所述的导电性异物检查装置，其特征在于，所述多个电极部件通过多块电极板形成，该多块电极板相对所述织物，相互独立地设置，分别均匀地与所述织物的一个侧面接触。

13.根据权利要求11或12所述的导电性异物检查装置，其特征在于，所述第1，第2电极中的至少另一个电极由与所述织物接触而旋转的滚轮构成。

14.根据权利要求9～13中的任一项所述的导电性异物检查装置，其特征在于，通过所述电压外加机构外加于第1，第2电极之间的电压为直流电压。

15.一种导电性异物检查方法，该方法包括下述工序：

在连续地传送长尺寸的织物的传送过程中，检测导电性异物是否附着于所述织物上或混入到其内部的异物检测工序；

在检测到所述导电性异物时，停止所述织物的传送，使所述织物停止于预定的检查位置的传送停止工序；

去除在所述检查位置附着于所述织物或混入到其内部的异物的异物去除工序；

在去除所述异物后，再次开始所述织物的传送的传送再开工序。

16.根据权利要求15所述的导电性异物检测方法，其特征在于，在所述异物检测工序中可通过磁性传感器检测所述导电性异物。

17.根据权利要求15所述的导电性异物检查方法，其特征在于，在所述异物检测工序中，可通过按照从厚度方向两侧夹持所述织物的方式设置的第1和第2电极，检测所述导电性异物。

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