CN112792308A - 一种连续感应式快淬炉用辊轮及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种连续感应式快淬炉用辊轮及其制造方法，属于难熔金属粉末冶金与变形加工领域。辊轮为纯钼或REO掺杂钼合金材质，外径400～800mm、壁厚15～60mm、相对密度不低于99.5％、抗拉强度不低于500MPa。其制造方法是以湿法高纯化或液‑液、固‑液法稀土氧化物均匀掺杂处理的钼及钼合金粉为原料，经冷等静压压制环坯、氢气高温烧结、粗车加工、环锻或闭式模锻，再经氢气退火处理，最后进行精密机加工。本发明的辊轮成分均匀、致密度高、强韧性好、耐热疲劳性优，其作为稀土粘结磁粉生产用核心装备大型连续感应式快淬炉的重要部件，并可扩展应用于铁基软磁非晶合金、热电材料等的研制和生产。

Description

一种连续感应式快淬炉用辊轮及其制造方法
技术领域
本发明属于难熔金属粉末冶金与变形加工领域，具体涉及一种连续感应式快淬炉用辊轮及其制造方法。
背景技术
近年来，机械电子产品呈现小型化、薄型化、轻量化、高频化、低损耗、低噪声的发展趋势，使高性能粘结磁体用量得以迅猛增长。关键原料磁粉生产的核心装备为大型连续感应式快淬炉，其中关重件激冷辊轮决定产品性能并影响着装备连续生产能力。一般而言，常采用热导率即热扩散率与密度和比热容之积(κρCp)来衡量激冷辊轮基体材料的优劣。相对于无氧铜和铜合金而言，钼及钼合金基材具有导热率适中(铜导热的36％)、硬度高而不易被划伤、表面润湿状态稳定等特点，在快淬生产时连续工作时间长、条带形貌前后一致性好等，可以获得更优的磁粉性能和更高的生产效率。然而，钼激冷辊轮尤其是大规格高性能钼辊轮的制造非常困难，常被迫选择使用无氧铜与铜合金辊轮、以及尚存在熔体易飞溅、表面易渗水的低品质钼辊轮。
目前，难熔金属钼及其合金主要采用粉末冶金法制备，但烧结钼内尚存在孔隙、室温脆性严重、变形抗力大，这些都严重限制了大规格、异形、高性能钼及其合金制品的制备与发展，其中就包括大规格高性能钼激冷辊轮的开发和应用。因此，大型连续感应式快淬炉用钼激冷辊轮的制备技术及制造方法至关重要。
大型连续感应式快淬炉激冷辊轮基材一般选用钼材质，其制备常采用如下的难熔金属粉末冶金及变形加工方法：
(1)压制成形：将钼粉冷等静压成形圆柱压坯；
(2)氢气烧结：在工业级氢气气氛下高温烧结；
(3)变形加工：采用空气锤进行自由热锻加工；
(4)机加工：按成品规格和尺寸要求进行机加工。
基于上述制备方法，大型连续感应式快淬炉用钼辊轮最常见的问题是致密度不高(相对密度低于97％)、组织不均匀、抗拉强度低(低于350MPa)、耐热疲劳性能不足等，使得钼辊轮在工况下服役时连续工作能力差、存在熔体飞溅，轻则影响产品质量和成本，重则完全无法用于实际生产。
绵阳西磁科技有限公司(ZL 200810046404.9)、湖南京湘磁业有限公司(ZL201410084717.9)和江苏巨鑫磁业有限公司(ZL 201410133430.0)发明的一种钕铁硼磁性材料多级淬火设备和合金快淬炉中均配置了钼轮，并认为磁材熔体与钼轮接触会渗入微量钼而获得更高的弹性极限、抗腐蚀性能和永久磁性。此外，福州大学 (ZL 201810065984.X,ZL 201810067926.0)在热电材料的制备、山东大学(威海)(ZL 201410347278.6)在铁基软磁非晶合金的制备上均会使用到水冷钼辊轮。然而，以上专利仅提及钼辊轮在快淬合金制备等场合的应用，并未涉及钼辊轮的化学成分、尺寸规格、物理性能和制备方法。有研稀土新材料股份有限公司发明了一种抗热疲劳激冷辊材及制备方法(ZL 201410432981.7)，其中提到快淬法制备稀土永磁材料时冷却辊始终有热疲劳的问题且存在疲劳寿命较短无法满足产业化情况，同时提出一种在金属冷却辊表面镀膜层来延长工作周期的方案；有研稀土还公开了抗热疲劳激冷辊材及其制备方法(CN 107988501 A)，其在MoO2粉末中掺杂稀土元素氧化物形成合金，再经混合、还原、压制、烧结、热变形加工制备钼合金辊轮，但该工艺存在着原材料利用率低、连续工作能力(5.5～20.8h)仍有待提升的问题，此外，尚缺乏对钼及钼合金辊轮自身物理性能的明确和约束。
发明内容
针对上述已有技术存在的不足，本发明提供一种大型连续感应式快淬炉用钼辊轮及其制造方法。
本发明是通过以下技术方案实现的。
一种连续感应式快淬炉用辊轮及其制造方法，如纯钼、REO稀土氧化物掺杂钼合金等，具有成分均匀、致密度高、强韧性好、耐热疲劳性优等特点：
(1)其材质的化学成分：高纯钼，Mo含量不低于99.9重量％；或REO(稀土氧化物)掺杂的钼合金，其中REO是由选自Y2O3、Sc2O3、La2O3、Ce2O3、Nd2O3、 Sm2O3、Gd2O3和ZrO2中的至少1种组成，其中钼合金中的REO含量为0.01重量％～5.0重量％；
(2)规格尺寸：外径400～800mm，壁厚15～60mm；
(3)相对密度：≥99.5％；
(4)抗拉强度：≥500MPa。
本发明中，化学成分、规格尺寸、相对密度、抗拉强度可采用电感耦合等离子体质谱或发射光谱(ICP-MS/AES)、精密千分尺、排水法、室温拉伸试验、场发射扫描电子显微镜(FESEM)等手段和工具进行测试表征。
本发明的一种连续感应式快淬炉用辊轮的制造方法，包括以下步骤：
(1)制备高纯钼粉或REO掺杂钼合金粉；
(2)压制环坯：将高纯钼粉或REO掺杂钼合金粉采用冷等静压近净成形得到钼或钼合金环形压坯，压力200～350MPa，保压时间5～30min；
(3)氢气烧结：将钼或钼合金环形压坯进行氢气高温烧结，得到钼或钼合金烧结环坯，其中，高纯氢气露点低于-40℃，烧结温度1800～2200℃，烧结时间4～10h；
(4)粗车加工：对钼或钼合金烧结环坯进行粗车加工以规整外形；
(5)变形加工：采用1道次或多道次环锻或闭式模锻，得到钼或钼合金热变形环坯，加热温度900～1600℃，总变形量30～90％；
(6)退火处理：将钼或钼合金热变形环坯进行氢气退火处理，高纯氢气露点低于-40℃，退火温度800～1500℃，退火时间1～6h；
(7)精密加工：将经步骤(6)得到的辊轮半成品按成品规格和尺寸要求进行精密机加工。
本发明的制备方法中，首先步骤(1)对原料钼粉进行湿法高纯化，或者将钼合金粉进行液-液、固-液法稀土氧化物均匀掺杂处理，高纯度钼粉中C/O(≤ 50/500ppm)、及K/W(≤20/50ppm)含量低；稀土氧化物掺杂的钼合金粉中的REO含量为0.01重量％～5.0重量％(REO是由选自Y2O3、Sc2O3、La2O3、Ce2O3、Nd2O3、 Sm2O3、Gd2O3和ZrO2中的至少1种组成)；其中，以REO均匀掺杂的钼合金粉为原料，可为钼辊轮的强韧化、耐高温性能等提供更好的保障。
本发明的制备方法中，其特征在于，步骤(2)采用冷等静压压制时，芯模采用碳钢等刚性材料，圆环形模具及上下模采用软胶模，直接近净成形为钼或钼合金环形压坯，较之于常规圆柱形压坯，原材料利用率可由20～30％提升至80％以上，大幅减少原材料浪费，同时也减轻对工艺过程及装备的损耗；冷等静压压制时通常压力为200～350MPa，保压时间为5～30min。
本发明的制备方法中，其特征在于，步骤(3)进行氢气高温烧结时，由于钼环形压坯单重较大，在烧结过程中易出现收缩不均匀进而引起环形失稳的情况，采用较高球形度的耐高温高纯陶瓷颗粒为烧结垫料以尽量减小环坯与接触面之间的摩擦，保证获得外形较为规整的环形烧结坯，如此才能实现近净成形。
本发明的制备方法中，步骤(4)对经烧结得到的钼或钼合金烧结环坯进行粗车加工以进一步规整外形，因烧结环坯虽已近净成形但仍无法满足后续均匀变形加工对坯料的高要求，在规整环坯外形时将棱边角进行倒角处理为宜。
本发明的制备方法中，其特征在于，步骤(5)采用1道次或多道次的环锻或闭式模锻进行钼或钼合金烧结环坯的变形加工，变形加工前或变形加工过程中的加热在氢气炉内进行，加热温度900～1600℃，总变形量为30％～90％，更优为40％～70％；相对密度不低于99.5％，基本实现近全致密。
本发明的制备方法中，其特征在于，步骤(6)对经变形加工得到的钼或钼合金热变形环坯进行氢气退火处理，以减少或消除变形加工工序引入的残余应力和畸变能，有效调控钼环坯的强韧性，使得抗拉强度不低于500MPa，保障其在工况服役条件下的安全性；最终再经过步骤(7)的精密机加工，钼或钼合金辊轮的外径在400～800mm、壁厚在15～60mm之间。
本发明的有益技术效果：本发明提供了一种连续感应式快淬炉用辊轮及其制造方法，辊轮成分均匀、致密度高、强韧性好、耐热疲劳性优，其作为稀土粘结磁粉生产用核心装备大型连续感应式快淬炉的重要部件，并可扩展应用于铁基软磁非晶合金、热电材料等的研制和生产。
附图说明
图1为本发明的工艺流程图。
图2为本发明实施例1的辊轮的100倍金相照片。
图3为本发明实施例2的辊轮的100倍金相照片。
图4为本发明实施例3的辊轮的100倍金相照片。
图5为本发明对比例2的辊轮的100倍金相照片。
具体实施方式
下面详细说明本发明的实施例，但本发明并不局限于此，在不改变本发明权利要求的范围内适当进行调整，同样能够实施本发明。
本发明的辊轮制造方法的工艺流程如图1所示，它包括以下步骤：1钼或钼合金粉制备；2压制环坯；3氢气烧结；4粗车加工；5变形加工；6退火处理；7精密加工；最终得到成分均匀、致密度高、强韧性好、耐热疲劳性优的大型连续感应式快淬炉用钼或钼合金激冷辊轮。
本发明的辊轮制造方法的具体步骤，包括：
(1)钼或钼合金粉的制备：本发明采用2.5～5.0μm的中颗粒规格高纯钼粉或 0.5～5.0μm的中细颗粒规格REO稀土氧化物掺杂钼合金粉为原料，其中通过湿法冶金高纯化得到钼粉的Mo含量不低于99.9重量％、C/O(≤50/500ppm)及K/W(≤ 20/50ppm)杂质含量低，或以液-液、固-液法实现REO均匀掺杂处理，REO含量为 0.01重量％～5.0重量％，REO是由选自Y2O3、Sc2O3、La2O3、Ce2O3、Nd2O3、Sm2O3、Gd2O3和ZrO2中的至少1种组成；其中，以REO均匀掺杂的钼合金粉为原料，可为钼辊轮的强韧化、耐高温性能等提供更好的保障。
(2)压制环坯：采用冷等静压进行压制成形，以碳钢等刚性材料为芯模，以橡胶等软胶模为圆环形模具及上下模，粉体装模时需要进行杵实敲匀捆扎处理，在压力200～350MPa、保压时间5～30min条件下，直接近净成形为外形较为规整的钼或钼合金环形压坯。
(3)氢气烧结：将上述冷等静压成形的钼或钼合金环形压坯置于高温钨丝网电阻式加热炉或中频感应加热电阻炉内，以较高球形度的耐高温高纯陶瓷颗粒为烧结垫料以尽量减小环坯与接触面之间的摩擦，在露点不高于-40℃的氢气气氛下于 1800～2200℃高温烧结4～10h，得到相对密度不低于95％、晶粒度3～9级的钼或钼合金烧结环坯。
(4)粗车加工：对上述钼或钼合金烧结环坯进行粗车加工以进一步规整外形，以满足均匀变形加工对坯料的高要求，在规整烧结环坯外形时需要将其棱边角进行倒角处理。
(5)变形加工：对上述粗车加工后的钼或钼合金烧结环坯进行1道次或多道次的环锻或闭式模锻的热变形加工，热变形加工前或热变形加工间的加热在氢气炉内进行，对于纯钼坯加热温度控制在900～1400℃、对于REO掺杂钼合金坯则控制在 1100～1600℃更优，总变形量为30％～90％，更优为40％～70％；可实现相对密度不低于99.5％。
(6)退火处理：将上述经热变形加工后的钼或钼合金热变形环坯置于高纯氢气气氛中，并于温度800～1500℃退火处理1～6h，减少或消除变形加工引入的残余应力和畸变能，有效提升钼或钼合金环坯的强韧性，保障其在工况服役条件下的安全性。
(7)精密加工：对上述退火处理后的钼或钼合金环坯进行精密机加工，得到成品钼辊轮的外径在400～800mm、壁厚在15-60mm之间。
实施例1
以经由液-液法实现Nd2O3均匀掺杂处理的1.2μm细颗粒规格钼合金粉为原料，其Nd2O3含量为0.5重量％；将该Nd2O3均匀掺杂钼合金粉均匀装入以优质碳钢为刚性芯模的软胶套内，装料时须杵实敲匀并以铁丝捆扎严格密封，于350MPa压力下冷等静压压制5min得到外形较为规整的Nd2O3掺杂钼合金环形压坯；将该单一 REO掺杂钼合金环形压坯置于中频感应加热电阻炉内，辅以较高球形度的耐高温高纯陶瓷颗粒为烧结垫料以尽量减小环坯与接触面之间的摩擦，在露点为-50℃的高纯氢气气氛下于1800℃高温烧结4h，得到相对密度为95％、晶粒度9级的Nd2O3掺杂钼合金环形烧结坯；再将该烧结环坯进行粗车加工以进一步规整外形，棱边处进行倒角处理；对经粗车加工后的Nd2O3掺杂钼合金烧结环坯进行5道次的闭式模锻热变形加工，道次前或道次间(即变形加工前或加工过程中)的加热在氢气炉内进行，加热温度控制在1200～1400℃，总变形量为90％，此时测得钼合金环坯的相对密度为99.9％；之后将闭式模锻加工后的Nd2O3掺杂钼合金热变形环坯置于露点为 -50℃高纯氢气气氛中，并于1500℃下退火处理1h，以消除畸变、提升强韧性；最后再精密机加工，得到相对密度99.9％、抗拉强度750MPa、外径400mm、壁厚15mm 的Nd2O3掺杂钼合金辊轮，其金相显微组织如图2所示。经实际工况下的应用考核，该Nd2O3掺杂钼合金辊轮的连续工作能力可稳定达到80h及以上。
实施例2
以经由湿法冶金高纯化的4.0μm中颗粒规格钼粉为原料，其Mo含量99.99重量％、杂质C/O分别为50ppm/500ppm、K/W分别为20ppm/50ppm；将该高纯钼粉均匀装入以普通碳钢为刚性芯模的软胶套内，装料时须杵实敲匀并以铁丝捆扎严格密封，于250MPa压力下冷等静压压制20min得到外形较为规整的钼环形压坯；将钼环形压坯置于高温钨丝网电阻式加热炉，辅以较高球形度的耐高温高纯陶瓷颗粒为烧结垫料以尽量减小环坯与接触面之间的摩擦，在露点为-60℃的高纯氢气气氛下于1900℃高温烧结8h，得到相对密度为96％、晶粒度5级的纯钼烧结环坯；再将该钼烧结环坯进行粗车加工以进一步规整外形，棱边处进行倒角处理；对经粗车加工后的钼烧结环坯进行3道次的环锻热变形加工，道次前或道次间的加热在氢气炉内进行，加热温度控制在1000～1300℃，总变形量为70％，此时测得钼环坯相对密度为99.8％；之后将环锻加工后的钼环坯置于露点为-60℃高纯氢气气氛中，并于 800℃下退火处理6h，以消除畸变、提升强韧性；最后再精密机加工，得到相对密度99.8％、抗拉强度560MPa、外径800mm、壁厚60mm的成品纯钼辊轮，其金相显微组织如图3所示。经实际工况下的应用考核，该纯钼辊轮的连续工作能力可稳定达到50h及以上。
实施例3
以经由固-液法实现Sm2O3-Y2O3-ZrO2均匀掺杂处理的5.0μm中颗粒规格钼合金粉为原料，其Sm2O3-Y2O3-ZrO2含量为3.0重量％，三者比例为3:1:1；将该三元REO 均匀掺杂钼合金粉均匀装入以优质碳钢为刚性芯模的软胶套内，装料时须杵实敲匀并以铁丝捆扎严格密封，于200MPa压力下冷等静压压制30min得到外形较为规整的Sm2O3-Y2O3-ZrO2掺杂钼合金环形压坯；将该三元REO掺杂钼合金环形压坯置于高温钨丝网电阻式加热炉，辅以较高球形度的耐高温高纯陶瓷颗粒为烧结垫料以尽量减小环坯与接触面之间的摩擦，在露点为-70℃的高纯氢气气氛下于2200℃高温烧结10h，得到相对密度为98.5％、晶粒度3级的Sm2O3-Y2O3-ZrO2掺杂钼合金环形烧结坯；再将该烧结环坯进行粗车加工以进一步规整外形，棱边处进行倒角处理；对经粗车加工后的三元REO掺杂钼合金烧结环坯进行1道次的环锻热变形加工，道次前的加热在氢气炉内进行，加热温度控制在1500～1600℃，总变形量为30％，此时测得钼合金环坯的相对密度为99.5％；之后将环锻加工后的三元REO掺杂钼合金环坯置于露点为-70℃高纯氢气气氛中，并于1400℃下退火处理4h，以消除畸变、提升强韧性；最后再精密机加工，得到相对密度99.5％、抗拉强度700MPa、外径 600mm、壁厚40mm的Sm2O3-Y2O3-ZrO2掺杂钼合金辊轮，其金相显微组织如图4 所示。经实际工况下的应用考核，该Sm2O3-Y2O3-ZrO2掺杂钼合金辊轮的连续工作能力可稳定达到100h及以上。
实施例4
以经由液-液法实现Gd2O3均匀掺杂处理的1.8μm细颗粒规格钼合金粉为原料，其Gd2O3含量为0.01重量％；其他同实施例1。最终得到相对密度99.9％、抗拉强度620MPa、外径500mm、壁厚30mm的Gd2O3掺杂钼合金辊轮。经实际工况下的应用考核，该Gd2O3掺杂钼合金辊轮的连续工作能力可稳定达到55h及以上。
实施例5
以经由固-液法实现Sc2O3-La2O3-Ce2O3均匀掺杂处理的3.0μm中颗粒规格钼合金粉为原料，其Sc2O3-La2O3-Ce2O3含量为5.0重量％，三者比例为1:4:4；最终得到相对密度99.8％、抗拉强度850MPa、外径700mm、壁厚50mm的Sc2O3-La2O3-Ce2O3掺杂钼合金辊轮。经实际工况下的应用考核，该Sc2O3-La2O3-Ce2O3掺杂钼合金辊轮的连续工作能力可稳定达到150h及以上。
对比例1
在对Nd2O3掺杂钼合金环形压坯进行氢气高温烧结时，未采用较高球形度的耐高温高纯陶瓷颗粒为烧结垫料，其它同实施例1。最终在氢气高温烧结时，Nd2O3掺杂钼合金环坯自重大导致其与接触面之间存在摩擦而引起环坯烧结收缩不均、外形尺寸失稳的现象，无法通过粗车加工得到后续工序所需规整的合格钼合金环坯，未能打通工艺得到最终的成品钼合金辊轮。
对比例2
在对纯钼环形压坯进行氢气高温烧结后，未采用诸如1道次或多道次的环锻或闭式模锻的变形加工手段，其它同实施例2。最终得到相对密度仅95％、抗拉强度仅360MPa、外径800mm、壁厚60mm的纯钼辊轮，其金相显微组织如图5所示。经实际工况下的应用考核，该烧结态钼辊轮存在着熔体飞溅严重的情况，无法用于实际生产。
对比例3
在对Sm2O3-Y2O3-ZrO2掺杂钼合金环锻变形坯进行氢气退火处理时，氢气露点为-18℃，在600℃退火6h，其它同实施例3。最终得到相对密度99.5％、抗拉强度 450MPa、外径600mm、壁厚40mm的Sm2O3-Y2O3-ZrO2掺杂钼合金辊轮。经实际工况下的应用考核，该多元REO钼合金辊轮的连续工作能力为20～30h，仍有较大的提升空间。
综上，对比例1中，在对REO掺杂钼合金环坯进行氢气高温烧结时，未采用较高球形度的耐高温高纯陶瓷颗粒为烧结垫料，致使钼合金环坯出现烧结收缩不均、外形与尺寸失稳的情况，甚至未能得到成品钼合金辊轮。实施例1～5中，均得到了相对密度不低于99.5％、抗拉强度不低于500MPa的大规格尺寸纯钼及REO掺杂钼合金辊轮，组织致密度高，其金相显微组织如图2～图5所示。而对比例2中，因未采用诸如1道次或多道次的环锻或闭式模锻的变形加工手段，最终钼辊轮的相对密度仅为95％、抗拉强度仅为360MPa；相对密度低，相应图5钼辊轮的金相显微组织中存在着大量孔洞，导致辊轮在工况使用时存在着熔体飞溅严重的情况，不仅无法工作还存在着较大的开裂倾向和风险。同时，还注意到，REO稀土氧化物掺杂钼合金辊轮不仅相对密度高且抗拉强度较纯钼辊轮高出25％及以上，具有更为优越的力学性能。通过对比例3可以明显看到，氢气退火处理也至关重要，变形加工导致的残余应力和畸变能同样严重影响着钼或钼合金辊轮的有效使用。
本发明的钼或钼合金辊轮成分均匀、致密度高、强韧性好、耐热疲劳性优，其作为稀土粘结磁粉生产用核心装备大型连续感应式快淬炉的关重件，并可扩展应用于铁基软磁非晶合金、热电材料等的研制和生产。

Claims (8)

1.一种连续感应式快淬炉用辊轮，其特征在于，其材质为高纯钼或REO掺杂的钼合金；所述高纯钼中Mo含量不低于99.9重量％；所述REO掺杂的钼合金中，REO含量为0.01重量％～5.0重量％，REO是由选自Y2O3、Sc2O3、La2O3、Ce2O3、Nd2O3、Sm2O3、Gd2O3和ZrO2中的至少1种组成。
2.根据权利要求1所述的辊轮，其特征在于，其规格尺寸：外径400～800mm，壁厚15～60mm；相对密度：≥99.5％；抗拉强度：≥500MPa。
3.一种如权利要求1或2所述辊轮的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)制备高纯钼粉或REO掺杂钼合金粉：
(2)压制环坯：将高纯钼粉或REO掺杂钼合金粉采用冷等静压近净成形得到钼或钼合金环形压坯，其中，压力200～350MPa，保压时间5～30min；
(3)氢气烧结：将钼或钼合金环形压坯进行氢气高温烧结，得到钼或钼合金烧结环坯，其中，氢气露点低于-40℃，烧结温度1800～2200℃，烧结时间4～10h；
(4)粗车加工：对钼或钼合金烧结环坯进行粗车加工；
(5)变形加工：将经步骤(4)得到的钼或钼合金烧结环坯进行变形加工，得到钼或钼合金热变形环坯；
(6)退火处理：将钼或钼合金热变形环坯进行氢气退火处理；
(7)精密加工：将经步骤(6)得到的辊轮半成品经精密加工得到辊轮成品。
4.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述步骤(2)采用冷等静压压制时，芯模采用刚性材料，圆环形模具及上下模采用软胶模。
5.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述步骤(3)进行氢气高温烧结时，烧结垫料采用陶瓷颗粒。
6.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述步骤(5)采用1道次或多道次的环锻或闭式模锻进行钼或钼合金烧结环坯的变形加工，变形加工前或变形加工过程中的加热在氢气炉内进行，加热温度900～1600℃，总变形量为30％～90％。
7.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于，总变形量为40％～70％。
8.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述步骤(6)氢气露点低于-40℃，退火温度800～1500℃，退火时间1～6h。
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