CN112747615A - 环路热管及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种环路热管及其制造方法。该环路热管具有：使工作流体气化的蒸发器；对所述工作流体进行液化的冷凝器；对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接的液管；及对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接，并与所述液管一起形成环路状流路的蒸气管。所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的管壁的外壁面的至少一部分上形成有凹部。

Description

环路热管及其制造方法
技术领域
本公开涉及环路热管(Loop heat pipe)及其制造方法。
背景技术
作为对电子设备上所安装的CPU(Central Processing Unit)等的发热部件进行冷却的装置，热管是熟知的。热管是利用工作流体的相变(phase change)对热进行传输的装置。
作为热管的一例，可列举出如下一种环路热管，其具备藉由发热部件的热量使工作流体进行气化的蒸发器、以及对气化了的工作流体进行冷却以使其液化的冷凝器，蒸发器和冷凝器形成了环路状流路的液管与蒸气管连接。该环路热管中，工作流体在环路状流路内沿一个方向进行流动。
此外，环路热管的蒸发器和/或液管内还设置有多孔质体，多孔质体所生成的毛细管力可将液管内的工作流体诱导至蒸发器，并可抑制蒸气从蒸发器向液管进行倒流。多孔质体内形成有大量的细孔。就各细孔而言，是通过使形成在金属层的一个表面侧的有底孔和形成在另一个表面侧的有底孔进行部分连通而形成的(例如，参见专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第6400240号公报
专利文献2：日本特开2015-094490号公报
发明内容
[要解决的技术问题]
现有技术中的环路热管存在无法获得充分的散热性能的情况。
本公开的目的在于，提供一种可提高散热性能的环路热管及其制造方法。
[技术方案]
根据本公开的一个方式，提供一种环路热管，其具有使工作流体气化的蒸发器、对所述工作流体进行液化的冷凝器、对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接的液管、及对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接并与所述液管一起形成环路状流路的蒸气管，其中，所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的管壁的外壁面的至少一部分处形成了凹部。
[有益效果]
根据本公开，能够提高散热性能。
附图说明
图1是第1实施方式的环路热管的例示平面模式图。
图2是第1实施方式的环路热管的蒸发器及其周围的剖面图。
图3是第1实施方式中的蒸气管的例示侧面图。
图4是第1实施方式中的蒸气管的例示剖面图。
图5是第1实施方式中的液管和液管内的多孔质体的例示剖面图。
图6是第2至第5层的各金属层中的有底孔的配置的例示平面图。
图7是第1实施方式的环路热管的制造步骤的例示图(其1)。
图8是第1实施方式的环路热管的制造步骤的例示图(其2)。
图9是第1实施方式的环路热管的制造步骤的例示图(其3)。
图10是第1实施方式的环路热管的制造步骤的例示图(其4)。
图11是第1实施方式的环路热管的制造步骤的例示图(其5)。
图12是第1实施方式的变形例中的蒸气管的例示侧面图。
图13是第1实施方式的变形例中的蒸气管的例示剖面图。
图14是第2实施方式中的蒸气管的例示侧面图。
图15是第2实施方式中的蒸气管的例示剖面图。
图16是第2实施方式的变形例中的蒸气管的例示侧面图。
图17是第2实施方式的变形例中的蒸气管的例示剖面图。
图18是第3实施方式中的蒸气管的例示侧面图。
图19是第3实施方式中的蒸气管的例示剖面图。
图20是第3实施方式的第1变形例中的蒸气管的例示侧面图。
图21是第3实施方式的第1变形例中的蒸气管的例示剖面图(其1)。
图22是第3实施方式的第1变形例中的蒸气管的例示剖面图(其2)。
图23是第3实施方式的第2变形例中的蒸气管的例示侧面图。
图24是第3实施方式的第2变形例中的蒸气管的例示剖面图。
图25是凹部的形状的例示剖面图。
附图标记的说明：
1 环路热管
10 蒸发器
20 冷凝器
30 蒸气管
40 液管
50 流路
60 多孔质体
61～66 金属层
61f～66f 鳍部(fin)
61g～66g 外壁面
71A、71B、71C、71J、71K、72A、72B、73A、73B、73J、73K、74A、74B、75A、75B、75J、75K凹部
具体实施方式
以下，参见附图对用于实施本发明的方式进行说明。需要说明的是，各附图中存在对相同构成部分赋予了相同的符号并对重叠的说明进行了省略的情况。
<第1实施方式>
[第1实施方式的环路热管的结构]
首先，对第1实施方式的环路热管的结构进行说明。图1是第1实施方式的环路热管的例示平面模式图。
参见图1，环路热管1具有蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30及液管40。环路热管1例如可安装在智能手机、平板终端等的便携式电子机器2中。
环路热管1中，蒸发器10具有使工作流体C气化以生成蒸气Cv的功能。冷凝器20具有使工作流体C的蒸气Cv液化的功能。蒸发器10和冷凝器20通过蒸气管30和液管40进行了连接，蒸气管30和液管40形成了供工作流体C或蒸气Cv进行流动的环路即流路50。
图2是第1实施方式的环路热管的蒸发器及其周围的剖面图。如图1和图2所示，蒸发器10上例如形成了4个贯穿孔10x。在蒸发器10上所形成的各贯穿孔10x和电路基板100上所形成的各贯穿孔100x内插入螺栓150，并在电路基板100的下表面侧由螺母160进行紧固，由此可对蒸发器10和电路基板100进行固定。蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30及液管40具有上表面1a和上表面1a的相反侧的下表面1b。本公开中，平面视图是指从与上表面1a垂直的方向进行观察时的视图。
例如，CPU等的发热部件120通过凸块(隆起)110可实装在电路基板100上，发热部件120的上表面可与蒸发器10的下表面1b密接(密着)。蒸发器10内的工作流体C可藉由发热部件120所产生的热量进行气化，进而生成蒸气Cv。
如图1所示，蒸发器10中生成的蒸气Cv可经由蒸气管30被引导至冷凝器20，并可在冷凝器20内进行液化。据此，发热部件120所产生的热量可移动至冷凝器20，由此可抑制发热部件120的温度的上升。冷凝器20中进行了液化的工作流体C可经由液管40被引导至蒸发器10。蒸气管30的宽度W1例如可为8mm左右。此外，液管40的宽度W2例如可为6mm左右。
对工作流体C的种类并无特别限定，但为了高效地利用蒸发潜热来冷却发热部件120，优选使用蒸气压较高且蒸发潜热较大的流体。作为这样的流体，例如可列举出氨、水、氟利昂、酒精(乙醇)及丙酮。
蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30及液管40例如可为由多个金属层进行了层叠的结构。金属层例如为热传导性较优的铜层，并且相互之间可藉由固相接合等进行直接接合。每个金属层的厚度例如可为50μm～200μm左右。
需要说明的是，金属层并不限定于铜层，也可由不锈钢层、铝层、镁合金层等形成。此外，对金属层的层叠数量也无特别限定。
这里，对蒸气管30的结构进行说明。图3和图4是第1实施方式中的蒸气管的例示图。图3是从X方向观察时的侧面图，图4是沿图1和图3的D-D线的剖面图。
如图4所示，蒸气管30包括工作流体C的蒸气Cv进行流动的流路50。流路50可为由第1层(一个最外层)的金属层61的下表面61b、第6层(另一个最外层)的金属层66的上表面66a、及金属层62～65的内壁面62s～65s所封闭的结构。需要说明的是，金属层61～66的X方向的两个端部中，金属层61～66进行了6层层叠的区域被称为管壁90。
需要说明的是，图3和图4中，将金属层61～66的层叠方向设为Z方向，将与Z方向垂直的平面内的任意的方向设为X方向，并将该平面内与X方向正交的方向设为Y方向(其他图中也一样)。
2个管壁90中，金属层61在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面61a、下表面61b、外壁面61g及凹部71A。金属层61的上表面61a露出于外部。金属层61的下表面61b的一部分与金属层62的上表面62a相接，金属层61的下表面61b中的没有与金属层62的上表面62a相接的部分露出于外部。金属层61的外壁面61g露出于外部。凹部71A被形成为从上表面61a侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷。凹部71A的表面被设置为对金属层61的上表面61a和外壁面61g进行了连接。也就是说，凹部71A形成在了上表面61a和外壁面61g的一部分处。凹部71A的表面从金属层61的上表面61a向外壁面61g进行了倾斜。凹部71A如图3所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部71A被形成为该凹部71A的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。金属层61的凹部71A之下可形成鳍部61f。鳍部61f具备金属层61的外壁面61g、露出于外部的金属层61的下表面61b、及凹部71A的表面。凹部71A是第1凹部的一个示例。
2个管壁90中，金属层62在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具有上表面62a、下表面62b、内壁面62s、外壁面62g及凹部72A。金属层62的上表面62a与金属层61的下表面61b相接。金属层62的下表面62b的一部分与金属层63的上表面63a相接，金属层62的下表面62b中的没有与金属层63的上表面63a相接的部分露出于外部。金属层62的内壁面62s露出于流路50。金属层62的外壁面62g位于内壁面62s的相反侧，并露出于外部。凹部72A被形成为从上表面62a侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷。凹部72A的表面被设置为对金属层62的上表面62a和外壁面62g进行了连接。也就是说，凹部72A形成在了上表面62a和外壁面62g的一部分处。凹部72A的表面从金属层62的上表面62a向外壁面62g进行了倾斜。凹部72A如图3所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部72A被形成为该凹部72A的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。金属层62的凹部72A之下可形成鳍部62f。鳍部62f具备金属层62的外壁面62g、露出于外部的金属层62的下表面62b、及凹部72A的表面。凹部72A是第1凹部的一个示例。
2个管壁90中，金属层63在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面63a、下表面63b、内壁面63s、外壁面63g及凹部73A。金属层63的上表面63a与金属层62的下表面62b相接。金属层63的下表面63b的一部分与金属层64的上表面64a相接，金属层63的下表面63b中的没有与金属层64的上表面64a相接的部分露出于外部。金属层63的内壁面63s露出于流路50。金属层63的外壁面63g位于内壁面63s的相反侧，并露出于外部。凹部73A被形成为从上表面63a侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷。凹部73A的表面被设置为对金属层63的上表面63a和外壁面63g进行了连接。也就是说，凹部73A被形成在了上表面63a和外壁面63g的一部分处。凹部73A的表面从金属层63的上表面63a向外壁面63g进行了倾斜。凹部73A如图3所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部73A被形成为该凹部73A的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。金属层63的凹部73A之下可形成鳍部63f。鳍部63f具备金属层63的外壁面63g、露出于外部的金属层63的下表面63b、及凹部73A的表面。凹部73A是第1凹部的一个示例。
2个管壁90中，金属层64在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面64a、下表面64b、内壁面64s、外壁面64g及凹部74A。金属层64的上表面64a与金属层63的下表面63b相接。金属层64的下表面64b的一部分与金属层65的上表面65a相接，金属层64的下表面64b中的没有与金属层65的上表面65a相接的部分露出于外部。金属层64的内壁面64s露出于流路50。金属层64的外壁面64g位于内壁面64s的相反侧，并露出于外部。凹部74A被形成为从上表面64a侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷。凹部74A的表面被设置为对金属层64的上表面64a和外壁面64g进行了连接。也就是说，凹部74A形成在了上表面64a和外壁面64g的一部分处。凹部74A的表面从金属层64的上表面64a向外壁面64g进行了倾斜。凹部74A如图3所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部74A被形成为该凹部74A的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。金属层64的凹部74A之下可形成鳍部64f。鳍部64f具备金属层64的外壁面64g、露出于外部的金属层64的下表面64b、及凹部74A的表面。凹部74A是第1凹部的一个示例。
2个管壁90中，金属层65在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面65a、下表面65b、内壁面65s、外壁面65g及凹部75A。金属层65的上表面65a与金属层64的下表面64b相接。金属层65的下表面65b的一部分与金属层66的上表面66a相接，金属层65的下表面65b中的没有与金属层66的上表面66a相接的部分露出于外部。金属层65的内壁面65s露出于流路50。金属层65的外壁面65g位于内壁面65s的相反侧，并露出于外部。凹部75A被形成为从上表面65a侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷。凹部75A的表面被设置为对金属层65的上表面65a和外壁面65g进行了连接。也就是说，凹部75A形成在了上表面65a和外壁面65g的一部分处。凹部75A的表面从金属层65的上表面65a向外壁面65g进行了倾斜。凹部75A如图3所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部75A被形成为该凹部75A的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。金属层65的凹部75A之下可形成鳍部65f。鳍部65f具备金属层65的外壁面65g、露出于外部的金属层65的下表面65b、及凹部75A的表面。凹部75A是第1凹部的一个示例。
2个管壁90中，金属层66在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面66a、下表面66b、外壁面66g及凹部76A。金属层66的上表面66a与金属层65的下表面65b相接。金属层66的下表面66b露出于外部。金属层66的外壁面66g露出于外部。凹部76A被形成为从上表面66a侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷。凹部76A的表面被设置为对金属层66的上表面66a和外壁面66g进行了连接。也就是说，凹部76A形成在了上表面66a和外壁面66g的一部分处。凹部76A的表面从金属层66的上表面66a向外壁面66g进行了倾斜。凹部76A如图3所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部76A被形成为该凹部76A的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。金属层66的凹部76A之下可形成鳍部66f。鳍部66f具备金属层66的外壁面66g、金属层62的下表面62b、及凹部76A的表面。凹部76A是第1凹部的一个示例。
凹部71A～76A例如可形成在从金属层61～66的外壁面61g～66g开始的25μm～150μm左右的范围内。凹部71A～76A的深度例如可为金属层61～66的厚度的一半左右。
在这样的结构的蒸气管30中，管壁90上形成了凹部71A～76A。为此，与管壁90上没有形成凹部71A～76A的平坦表面的情况相比，管壁90的与外部大气接触的接触面积增大了，可提高散热效率。也就是说，蒸气Cv在蒸气管30内流动期间，其热量容易散发至外部。
需要说明的是，本实施方式中，凹部71A～76A被形成为从各金属层61～66的上表面61a～66a侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷，但并不限定于此。例如，凹部71A～76A也可被形成为从各金属层61～66的下表面61b～66b侧向厚度方向的大致中央部分进行凹陷。
接下来，对液管40进行说明。图5是第1实施方式中的液管和液管内的多孔质体的例示剖面图。图5是沿图1的B-B线的剖面。
液管40的管壁90也具有与蒸气管30的管壁90同样的结构。即，在液管40的管壁90上也形成了凹部71A～76A。为此，与管壁90上没有形成凹部71A～76A的平坦表面的情况相比，管壁90的与外部大气接触的接触面积增大了，可提高散热效率。也就是说，工作流体C在液管40内流动期间，其热量容易散发至外部。
另外，如图5所示，液管40内还设置了多孔质体60。多孔质体60设置在了液管40内的2个位置处。一个多孔质体60与液管40的一个管壁90连续地被形成，另一个多孔质体60与液管40的另一个管壁90连续地被形成。这样，在一个多孔质体60的与另一个多孔质体60相对(面对)的表面和另一个多孔质体60的与一个多孔质体60相对(面对)的表面之间就形成了可供工作流体C流动的流路50。以下对多孔质体60进行详细说明。
图6是第2至第5层的各金属层中的有底孔的配置的例示平面图。图6中，A-A线所示的部分相当于图5中的多孔质体60的剖面。
多孔质体60例如可为金属层62～65的4层进行了层叠的结构。金属层62～65例如为热传导性较优的铜层，并且相互之间藉由固相结合等进行了直接接合。金属层61～66的每个的厚度例如可为50μm～200μm左右。需要说明的是，金属层61～66并不限定于铜层，还可由不锈钢层、铝层、镁合金层等形成。此外，对金属层的层叠数量也无限定，还可对5层以下或7层以上的金属层进行层叠。
需要说明的是，图5和图6中，将金属层61～66的层叠方向设为Z方向，将与Z方向垂直的平面内的任意的方向设为X方向，并将该平面内与X方向正交的方向设为Y方向(其他图中也一样)。
多孔质体60与第1层(一个最外层)的金属层61的下表面和第6层(另一个最外层)的金属层66的上表面相接。就金属层61和/或金属层66而言，并没有形成孔和/或沟。然而，如图5和图6(a)所示，构成多孔质体60的第2层的金属层62中则分别形成了多个从上表面侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷的有底孔62x和从下表面侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷的有底孔62y。
有底孔62x和有底孔62y在平面视图中沿X方向交替配置。此外，有底孔62x和有底孔62y在平面视图中也沿Y方向交替配置。沿X方向交替配置的有底孔62x和有底孔62y在平面视图中部分重叠，重叠的部分进行连通进而形成了细孔62z。沿Y方向交替配置的有底孔62x和有底孔62y被形成为具有预定间隔，且在平面视图中不重叠。为此，沿Y方向交替配置的有底孔62x和有底孔62y没有形成细孔。
有底孔62x和62y例如可为直径大约100μm～300μm的圆形，但也可为椭圆形、多边形等的任意的形状。有底孔62x和62y的深度例如可为金属层62的厚度的一半左右。相邻的有底孔62x的间隔L1例如可为100μm～400μm左右。相邻的有底孔62y的间隔L2例如可为100μm～400μm左右。
有底孔62x和62y的内壁可为从底面侧向开口侧变宽的锥形(taper)形状。但是，并不限定于此，有底孔62x和62y的内壁也可与底面垂直。有底孔62x和62y的内壁面的形状并不限定于锥形形状或垂直。例如，有底孔62x和62y的内壁面还可为由弯曲面构成的凹形状。作为由弯曲面构成的凹形状，例如可列举出剖面形状为大致半圆形或大致半椭圆形的凹形状。细孔62z的短方向的宽度W3例如可为10μm～50μm左右。此外，细孔62z的长方向的宽度W4例如可为50μm～150μm左右。
如图5和图6(b)所示，构成多孔质体60的第3层的金属层63中分别形成了多个从上表面侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷的有底孔63x和从下表面侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷的有底孔63y。
金属层63中，仅是有底孔63x沿X方向进行了配置的列和仅是有底孔63y沿X方向进行了配置的列在Y方向上交替配置。在Y方向上交替配置的列中，相邻的列的有底孔63x和有底孔63y在平面视图中部分重叠，重叠的部分进行连通从而形成了细孔63z。
但是，就形成细孔63z的相邻的有底孔63x和有底孔63y而言，中心位置在X方向上进行了错开。换言之，形成细孔63z的有底孔63x和有底孔63y在相对于X方向和Y方向倾斜的方向上交替配置。有底孔63x和63y、细孔63z的形状等例如可与有底孔62x和62y、细孔62z的形状等相同。
金属层62的有底孔62y和金属层63的有底孔63x在平面视图中被形成在重叠的位置处。为此，金属层62和金属层63的界面处不形成细孔。
如图5和图6(c)所示，在构成多孔质体60的第4层的金属层64中分别形成了多个从上表面侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷的有底孔64x和从下表面侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷的有底孔64y。
有底孔64x和有底孔64y在平面视图中沿X方向交替配置。此外，有底孔64x和有底孔64y在平面视图中沿Y方向交替配置。沿X方向交替配置的有底孔64x和有底孔64y在平面视图中部分重叠，重叠的部分进行连通从而形成了细孔64z。沿Y方向交替配置的有底孔64x和有底孔64y被形成为具有预定间隔，且在平面视图中不重叠。为此，沿Y方向交替配置的有底孔64x和有底孔64y没有形成细孔。有底孔64x和64y、细孔64z的形状等例如可与有底孔62x和62y、细孔62z的形状等相同。
金属层63的有底孔63y和金属层64的有底孔64x在平面视图中形成在重叠的位置处。为此，金属层63和金属层64的界面处不形成细孔。
如图5和图6(d)所示，在构成多孔质体60的第5层的金属层65中分别形成了多个从上表面侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷的有底孔65x和从下表面侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷的有底孔65y。
金属层65中，仅是有底孔65x在X方向上进行了配置的列和仅是有底孔65y在X方向进行了配置的列沿Y方向交替配置。沿Y方向交替配置的列中，相邻的列的有底孔65x和有底孔65y在平面视图中部分重叠，重叠的部分进行连通从而形成了细孔65z。
但是，形成细孔65z的相邻的有底孔65x和有底孔65y的中心位置在X方向上进行了错开。换言之，形成细孔65z的有底孔65x和有底孔65y在相对于X方向和Y方向倾斜的方向上交替配置。有底孔65x和65y、细孔65z的形状等例如可与有底孔62x和62y、细孔62z的形状等相同。
金属层64的有底孔64y和金属层65的有底孔65x在平面视图中形成在重叠的位置处。为此，金属层64和金属层65的界面处不形成细孔。
各金属层中所形成的细孔之间相互进行了连通，相互连通的细孔在多孔质体60内呈三维扩展。为此，工作流体C藉由毛细管力可在相互连通的细孔内呈三维蔓延。
构成多孔质体60的有底孔的至少一部分与流路50进行了连通。据此，工作流体C可向多孔质体60内进行渗透。此外，多孔质体60设置在液管40的大致中央部分处，所以也可作为支柱而发挥功能。据此，例如可防止固相接合时的加压而引起的液管40的压扁等。
这样，由于液管40中设置了多孔质体60，并且多孔质体60沿液管40延伸到了蒸发器10的附近(近傍)，因此，藉由多孔质体60所生成的毛细管力，液管40内的液相的工作流体C可被诱导至蒸发器10。
其结果为，即使蒸气Cv因来自蒸发器10的热泄漏等欲在液管40内进行倒流，但是，藉由来自多孔质体60的作用于液相的工作流体C的毛细管力，也可将蒸气Cv推压回去，由此可防止蒸气Cv的倒流。
需要说明的是，尽管液管40中还形成了用于对工作流体C进行注入的注入口(未图示)，但是，注入口被密封部件进行了封堵，所以也可对环路热管1内进行气密保持。
蒸发器10的管壁90也具有与蒸气管30的管壁90相同的结构。即，蒸发器10的管壁90上也形成了凹部71A～76A。为此，与管壁90上没有形成凹部71A～76A的平坦表面的情况相比，管壁90的与外部大气接触的接触面积增大了，可提高散热效率。也就是说，在蒸发器10内进行流动的期间，工作流体C及其蒸气Cv的热量容易散发至外部。
蒸发器10内也设置有多孔质体。工作流体C从液管40侧被引导至蒸发器10，并可向蒸发器10内的多孔质体进行渗透。就蒸发器10内渗透至多孔质体的工作流体C而言，发热部件120所产生的热量可使其气化进而生成蒸气Cv，蒸气Cv可流入蒸气管30。
蒸发器10内设置的多孔质体原则上与液管40内设置的多孔质体60相同。例如，金属层62～65中形成的有底孔和细孔的位置可与图5和图6相同。
冷凝器20的管壁90也具有与蒸气管30的管壁90相同的结构。即，冷凝器20的管壁90上也形成了凹部71A～76A。为此，与管壁90上没有形成凹部71A～76A的平坦表面的情况相比，管壁90的与外部大气接触的接触面积变大了，可提高散热效率。也就是说，在冷凝器20内进行流动的期间，工作流体C及其蒸气Cv的热量容易散发至外部。
[第1实施方式的环路热管的制造方法]
接下来，以多孔质体的制造步骤为中心对第1实施方式的环路热管的制造方法进行说明。图7～图11是第1实施方式的环路热管的制造步骤的例示图。图7、图9及图10示出了与图4对应的剖面，图8和图11示出了与图5对应的剖面。图9示出了与图4对应的剖面，但在图9所示的各步骤中，即使在与图5对应的剖面中也进行与图4对应的剖面相同的处理。
首先，在图7(a)和图8(a)所示的步骤中，准备被形成为图1的平面形状的金属片620。接着，在金属片620的上表面上形成抗蚀(Resist)层310，并在金属片620的下表面上形成抗蚀层320。金属片620是最终成为金属层62的部件，例如可由铜、不锈钢、铝、镁合金等形成。金属片620的厚度例如可为50μm～200μm左右。作为抗蚀层310和320，例如可使用光敏干膜抗蚀剂(Photosensitive dry film resist)等。
接下来，在图7(b)和图8(b)所示的步骤中，在金属片620的形成多孔质体60的区域(成为蒸发器10的领域和成为液管40的领域)内，对抗蚀层310进行曝光和显影，由此形成可使金属片620的上表面选择性露出的开口部310x。此外，还对抗蚀层320进行曝光和显影，由此形成可使金属片620的下表面选择性露出的开口部320x。开口部310x和320x的形状和配置被形成为与图6(a)所示的有底孔62x和62y的形状和配置相对应。
进行抗蚀层310的曝光和显影时，如图7(b)和图8(b)所示，在金属片620的形成凹部72A的区域内也形成可使金属片620的上表面选择性露出的开口部310y，并且在形成流路50的区域内也形成可使金属片620的上表面选择性露出的开口部310z。另外，进行抗蚀层320的曝光和显影时，如图7(b)和图8(b)所示，在形成流路50的区域内也形成可使金属片620的下表面选择性露出的开口部320z。开口部310y的形状和配置被形成为与图3～图5所示的凹部72A的形状和配置相对应，开口部310z和320z的形状和配置被形成为与图4和图5所示的流路50的形状和配置相对应。
接下来，在图7(c)和图8(c)所示的步骤中，对从开口部310x、310y及310z内露出的金属片620从金属片620的上表面侧进行半蚀刻(Half etching)，并且对从开口部320x和320z内露出的金属片620从金属片620的下表面侧也进行半蚀刻。据此，在金属片620的上表面侧可形成有底孔62x和由有底孔构成的凹部72A，在下表面侧可形成有底孔62y，并且可形成贯穿金属片620的贯穿孔。该贯穿孔具有内壁面62s。此外，表里(前后)沿X方向交替配置的开口部310x和开口部320x在平面视图中进行了部分重叠，所以重叠的部分进行连通，由此可形成细孔62z。金属片620的半蚀刻例如可使用氯化铁溶液。
接下来，在图7(d)和图8(d)所示的步骤中，藉由剥离液对抗蚀层310和320进行剥离。据此，完成了金属层62的制作。
然后，在图9(a)所示的步骤中，准备被形成为图1的平面形状的金属片610。接着，在金属片610的上表面上形成抗蚀层410，并在金属片610的下表面上形成抗蚀层420。金属片610是最终成为金属层61的部件，例如可由铜、不锈钢、铝、镁合金等形成。金属片610的厚度例如可为50μm～200μm左右。
接下来，在图9(b)所示的步骤中，在金属片610的形成凹部71A的区域内，对抗蚀层410进行曝光和显影，由此形成可使金属片610的上表面选择性露出的开口部410y。开口部410y的形状和配置被形成为与图3～图5所示的凹部71A的形状和配置相对应。
接下来，在图9(c)所示的步骤中，对从开口部410y内露出的金属片610从金属片610的上表面侧进行半蚀刻。据此，可在金属片610的上表面侧形成由有底孔构成的凹部71A。金属片610的半蚀刻例如可使用氯化铁溶液。
接下来，在图9(d)所示的步骤中，藉由剥离液对抗蚀层410和420进行剥离。据此，完成了金属层61的制作。
之后，在图10(a)和图11(a)所示的步骤中，采用与形成金属层61时同样的方法来形成金属层66，并采用与形成金属层62时同样的方法来形成金属层63、64及65。金属层63、64及65中形成的贯穿孔的位置例如如图4和图5所示。金属层63、64、65及66中形成的凹部的位置例如如图3～图5所示。金属层63、64及65中形成的有底孔和细孔的位置例如如图6所示。
接下来，在图10(b)和图11(b)所示的步骤中，按照图10(a)和图11(a)所示的顺序对各金属层进行层叠，并藉由加压和加热进行固相结合。据此，相邻的金属层之间可进行直接接合，这样就完成了具有蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30及液管40的环路热管1的制作，液管40和蒸发器10内可形成多孔质体60。之后，使用真空泵等对液管40内进行排气，接着从未图示的注入口向液管40内注入工作流体C，然后对注入口进行密封。
这里，固相结合(接合)是指，不使接合对象物熔融，在固相(固体)状态下进行加热以使其软化，再进行加压以使其塑性变形，由此进行接合(结合)的方法。需要说明的是，为了能够藉由固相结合对相邻的金属层进行良好的接合，金属层61～66的材料优选为均相同。
第1实施方式中，在蒸气管30、蒸发器10、冷凝器20及液管40的各管壁90上形成了凹部71A～76A。为此，就蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30及液管40的各管壁90的与外部大气接触的接触面积而言，与各管壁90上没有形成凹部71A～76A即各管壁90为平坦表面的情况下的与外部大气接触的接触面积相比，较大。因此，根据第1实施方式，可增大与外部大气接触的接触面积，进而可提高散热效率。
<第1实施方式的变形例>
第1实施方式的变形例主要是在最外层的金属层的结构这点上与第1实施方式不同。需要说明的是，第1实施方式的变形例中，存在对与已经叙述的实施方式相同的构成部分的说明进行了省略的情况。
图12和图13是第1实施方式的变形例中的蒸气管的例示图。图12是从X方向观察的侧面图，图13是沿图1和图12的D-D线的剖面图。
第1实施方式的变形例中，金属层62～65被构成为与第1实施方式相同。另一方面，沿着蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30及液管40，第1层(一个最外层)的金属层61上没有形成凹部71A，第6层(另一个最外层)的金属层66上也没有形成凹部76A。也就是说，金属层61和66是实心固体(Solid)金属层。
其他结构均与第1实施方式相同。
根据第1实施方式的变形例，与先前的环路热管相比，也可提高散热效率。另外，由于金属层61和66是实心固体金属层，所以还可容易确保具有良好的操作性。
<第2实施方式>
第2实施方式主要是在凹部的形态这点上与第1实施方式不同。需要说明的是，第2实施方式中，存在对与已经叙述的实施方式相同的构成部分的说明进行了省略的情况。
图14和图15是第2实施方式中的蒸气管的例示图。图14是从X方向观察时的侧面图，图15是沿图1和图14的D-D线的剖面图。
第2实施方式中，2个管壁90内，金属层61在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面61a、下表面61b、外壁面61g、凹部71A、及凹部71B。凹部71A被形成为从上表面61a侧向比厚度方向的中央部还靠近上表面61a的部分进行了凹陷。凹部71B被形成为从下表面61b侧向比厚度方向的中央部分还靠近下表面61b的部分进行了凹陷。凹部71B的表面被设置为对金属层61的下表面61b和外壁面61g进行了连接。也就是说，凹部71B形成在了下表面61b和外壁面61g的一部分处。凹部71B的表面从金属层61的下表面61b向外壁面61g进行了倾斜。凹部71B如图14所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部71B被形成为该凹部71B的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。平面视图中，凹部71A和凹部71B可以进行重叠。金属层61的下表面61b与金属层62的上表面62a相接，金属层61的凹部71B的下端连着金属层62的凹部72A的上端。藉由凹部71B和凹部72A，在连着的外壁面61g和62g上构成了剖面形状为U字状的凹部。金属层61的凹部71A和凹部71B之间可形成鳍部61f。鳍部61f具备金属层61的外壁面61g、凹部71A的表面、及凹部71B的表面。凹部71B是第2凹部的一个示例。本实施方式中，外壁面61g的一部分上形成了凹部71A和凹部71B。也就是说，以在鳍部61f的前端保留外壁面61g的方式形成了凹部71A和凹部71B。但是，并不限定于此，也可采用不保留外壁面61g的方式来形成凹部71A和凹部71B。例如，鳍部61f还可被成形为使其前端变尖的形状。
2个管壁90内，金属层62在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面62a、下表面62b、内壁面62s、外壁面62g、凹部72A、及凹部72B。凹部72A被形成为从上表面62a侧向比厚度方向的中央部分还靠近上表面62a的部分进行了凹陷。凹部72B被形成为从下表面62b侧向比厚度方向的中央部分还靠近下表面62b的部分进行了凹陷。凹部72B的表面被设置为对金属层62的下表面62b和外壁面62g进行了连接。也就是说，凹部72B形成在了下表面62b和外壁面62g的一部分上。凹部72B的表面从金属层62的下表面62b向外壁面62g进行了倾斜。凹部72B如图14所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部72B被形成为该凹部72B的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。平面视图中，凹部72A和凹部72B可以进行重叠。金属层62的下表面62b与金属层63的上表面63a相接，金属层62的凹部72B的下端连着金属层63的凹部73A的上端。藉由凹部72B和凹部73A，在连着的外壁面62g和63g上构成了剖面形状为U字状的凹部。金属层62的凹部72A和凹部72B之间可形成鳍部62f。鳍部62f具备金属层62的外壁面62g、凹部72A的表面、及凹部72B的表面。凹部72B是第2凹部的一个示例。本实施方式中，外壁面62g的一部分上形成了凹部72A和凹部72B。也就是说，以在鳍部62f的前端保留外壁面62g的方式形成了凹部72A和凹部72B。但是，并不限定于此，也可采用不保留外壁面62g的方式来形成凹部72A和凹部72B。例如，鳍部62f还可被形成为使其前端变尖的形状。
2个管壁90内，金属层63在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面63a、下表面63b、内壁面63s、外壁面63g、凹部73A、及凹部73B。凹部73A被形成为从上表面63a侧向比厚度方向的中央部分还靠近上表面63a的部分进行了凹陷。凹部73B被形成为从下表面63b侧向比厚度方向的中央部分还靠近下表面63b的部分进行了凹陷。凹部73B的表面被设置为对金属层63的下表面63b和外壁面63g进行了连接。也就是说，凹部73B形成在了下表面63b和外壁面63g的一部分上。凹部73B的表面从金属层63的下表面63b向外壁面63g进行了倾斜。凹部73B如图14所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部73B被形成为该凹部73B的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。平面视图中，凹部73A和凹部73B可以进行重叠。金属层63的下表面63b与金属层64的上表面64a相接，金属层63的凹部73B的下端与金属层64的凹部74A的上端相连。藉由凹部73B和凹部74A，在相连的外壁面63g和64g上形成了剖面形状为U字状的凹部。金属层63的凹部73A和凹部73B之间可形成鳍部63f。鳍部63f具备金属层63的外壁面63g、凹部73A的表面、及凹部73B的表面。凹部73B是第2凹部的一个示例。本实施方式中，在外壁面63g的一部分上形成了凹部73A和凹部73B。也就是说，以在鳍部63f的前端保留外壁面63g的方式形成了凹部73A和凹部73B。但是，并不限定于此，还可采用不保留外壁面63的方式来形成凹部73A和凹部73B。例如，鳍部63f还可被形成为使其前端变尖的形状。
2个管壁90中，金属层64在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面64a、下表面64b、内壁面64s、外壁面64g、凹部74A、及凹部74B。凹部74A被形成为从上表面64a侧向比厚度方向的中央部分还靠近上表面64a的部分进行了凹陷。凹部74B被形成为从下表面64b侧向比厚度方向的中央部分还靠近下表面64b的部分进行了凹陷。凹部74B的表面被设置为对金属层64的下表面64b和外壁面64g进行了连接。也就是说，凹部74B被形成在了下表面64b和外壁面64g的一部分上。凹部74B的表面从金属层64的下表面64b向外壁面64g进行了倾斜。凹部74B如图14所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部74B被形成为该凹部74B的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。平面视图中，凹部74A和凹部74B可以进行重叠。金属层64的下表面64b与金属层65的上表面65a相接，金属层64的凹部74B的下端与金属层65的凹部75A的上端相连。藉由凹部74B和凹部75A，在连着的外壁面64g和65g上形成了剖面形状为U字状的凹部。金属层64的凹部74A和凹部74B之间可形成鳍部64f。鳍部64f具备金属层64的外壁面64g、凹部74A的表面、及凹部74B的表面。凹部74B是第2凹部的一个示例。本实施方式中，在外壁面64g的一部分上形成了凹部74A和凹部74B。也就是说，以在鳍部64f的前端保留外壁面64g的方式形成了凹部74A和凹部74B。但是，并不限定于此，也可采用不保留外壁面64g的方式来形成凹部74A和凹部74B。例如，鳍部64f还可被形成为使其前端变尖的形状。
2个管壁90内，金属层65在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面65a、下表面65b、内壁面65s、外壁面65g、凹部75A、及凹部75B。凹部75A被形成为从上表面65a侧向比厚度方向的中央部分还靠近上表面65a的部分进行了凹陷。凹部75B被形成为从下表面65b侧向比厚度方向的中央部分还靠近下表面65b的部分进行了凹陷。凹部75B的表面被设置为对金属层65的下表面65b和外壁面65g进行了连接。也就是说，凹部75B被形成在了下表面65b和外壁面65g的一部分上。凹部75B的表面从金属层65的下表面65b向外壁面65g进行了倾斜。凹部75B如图14所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部75B被形成为该凹部75B的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。平面视图中，凹部75A和凹部75B可以进行重叠。金属层65的下表面65b与金属层66的上表面66a相接，金属层65的凹部75B的下端与金属层66的凹部76A的上端相连。藉由凹部75B和凹部76A，在连着的外壁面65g和66g上构成了剖面形状为U字状的凹部。金属层65的凹部75A和凹部75B之间可形成鳍部65f。鳍部65f具备金属层65的外壁面65g、凹部75A的表面、及凹部75B的表面。凹部75B是第2凹部的一个示例。本实施方式中，在外壁面65g的一部分上形成了凹部75A和凹部75B。也就是说，以在鳍部65f的前端保留外壁面65g的方式形成凹部75A和凹部75B。但是，并不限定于此，也可采用不保留外壁面65g的方式来形成凹部75A和凹部75B。例如，鳍部65f还可被形成为使其前端变尖的形状。
2个管壁90内，金属层66在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面66a、下表面66b、外壁面66g、凹部76A、及凹部76B。凹部76A被形成为从上表面66a侧向比厚度方向的中央部分还靠近上表面66a的部分进行了凹陷。凹部76B被形成为从下表面66b侧向比厚度方向的中央部分还靠近下表面66b的部分进行了凹陷。凹部76B的表面被设置为对金属层66的下表面66b和外壁面66g进行了连接。也就是说，凹部76B被形成在了下表面66b和外壁面66g的一部分上。凹部76B的表面从金属层66的下表面66b向外壁面66g进行了倾斜。凹部76B如图14所示被形成为沿工作流体C的蒸气Cv的流动方向(Y方向)进行了延伸。凹部76B被形成为该凹部76B的内侧的空间与蒸气管30的外部进行了连通。平面视图中，凹部76A和凹部76B可以进行重叠。金属层66的凹部76A和凹部76B之间可形成鳍部66f。鳍部66f具备金属层66的外壁面66g、凹部76A的表面、及凹部76B的表面。凹部76B是第2凹部的一个示例。本实施方式中，在外壁面66g的一部分处形成了凹部76A和凹部76B。也就是说，以在鳍部66f的前端保留外壁面66g的方式形成了凹部76A和凹部76B。但是，并不限定于此，也可采用不保留外壁面66g的方式来形成凹部76A和凹部76B。例如，鳍部66f还可被形成为使其前端变尖的形状。
此外，也可在蒸发器10的管壁、冷凝器20的管壁、及液管40的管壁内的金属层61～66上形成凹部71B～76B。
其他结构均与第1实施方式相同。
藉由第2实施方式，与先前的环路热管相比，也可提高散热效率。
<第2实施方式的变形例>
第2实施方式的变形例主要是在最外层的金属层的结构这点上与第2实施方式不同。需要说明的是，第2实施方式的变形例中存在与已经叙述的实施方式相同的构成部分的说明进行了省略的情况。
图16和图17是第2实施方式的变形例中的蒸气管的例示图。图16是从X方向观察时的侧面图，图17是沿图1和图16的D-D线的剖面图。
第2实施方式的变形例中，金属层62～65被构成为与第2实施方式相同。另一方面，沿着蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30、及液管40，第1层(一个最外层)的金属层61上没有形成凹部71A和71B，第6层(另一个最外层)的金属层66上也没有形成凹部76A和76B。也就是说，金属层61和66是实心固体金属层。
其他结构均与第2实施方式相同。
藉由第2实施方式的变形例，与先前的环路热管相比，也可提高散热效率。另外，由于金属层61和66是实心固体金属层，所以还可容易确保具有良好的操作性。
<第3实施方式>
第3实施方式主要是在凹部的形态这点上与第1实施方式等不同。需要说明的是，第3实施方式中，存在对与已经叙述的实施方式相同的构成部分的说明进行了省略的情况。
图18和图19是第3实施方式中的蒸气管的例示图。图18是从X方向观察时的侧面图，图19是沿图1和图18的D-D线的剖面图。
第3实施方式中，管壁90内的金属层61～66上没有形成凹部。也就是说，金属层61～66的在管壁90内的部分为实心固体。
平面视图中，在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)上，金属层62的外壁面62g、金属层64的外壁面64g及金属层66的外壁面66g位于比金属层61的外壁面61g、金属层63的外壁面63g及金属层65的外壁面65g还靠近流路50的一侧。
2个管壁90中，金属层61在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面61a、下表面61b、及外壁面61g。金属层61的上表面61a露出于外部。金属层61的下表面61b的一部分与金属层62的上表面62a相接，金属层61的下表面61b中的没有与金属层62的上表面62a相接的部分露出于外部。金属层61的外壁面61g露出于外部。
2个管壁90中，金属层62在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面62a、下表面62b、内壁面62s、及外壁面62g。金属层62的上表面62a与金属层61的下表面61b相接。金属层62的下表面62b与金属层63的上表面63a相接。金属层62的内壁面62s露出于流路50。金属层62的外壁面62g露出于外部。
2个管壁90中，金属层63在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面63a、下表面63b、内壁面63s、及外壁面63g。金属层63的上表面63a的一部分与金属层62的下表面62b相接，金属层63的上表面63a中的没有与金属层62的下表面62b相接的部分露出于外部。金属层63的下表面63b的一部分与金属层64的上表面64a相接，金属层63的下表面63b中的没有与金属层64的上表面64a相接的部分露出于外部。金属层63的内壁面63s露出于流路50。金属层63的外壁面63g露出于外部。
2个管壁90中，金属层64在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面64a、下表面64b、内壁面64s、及外壁面64g。金属层64的上表面64a与金属层63的下表面63b相接。金属层64的下表面64b与金属层65的上表面65a相接。金属层64的内壁面64s露出于流路50。金属层64的外壁面64g露出于外部。
2个管壁90中，金属层65在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面65a、下表面65b、内壁面65s、及外壁面65g。金属层65的上表面65a的一部分与金属层64的下表面64b相接，金属层65的上表面65a中的没有与金属层64的下表面64b相接的部分露出于外部。金属层65的下表面65b的一部分与金属层66的上表面66a相接，金属层65的下表面65b中的没有与金属层66的上表面66a相接的部分露出于外部。金属层65的内壁面65s露出于流路50。金属层66的外壁面66gは露出于外部。
2个管壁90中，金属层66在与工作流体C的蒸气Cv的流动方向垂直的方向(例如，+X方向和-X方向)的端部处具备上表面66a、下表面66b、及外壁面66g。金属层66的上表面66a与金属层65的下表面65b相接。金属层66的下表面66b露出于外部。金属层66的外壁面66g露出于外部。
第3实施方式中，平面视图内，外壁面61g、63g及65g的位置进行了对齐，外壁面62g、64g及66g的位置也进行了对齐。另外，外壁面62g、64g及66g位于比外壁面61g、63g及65g还靠近流路50的一侧。为此，管壁90中的金属层62、64及66的部分处存在凹部。因此，就第3实施方式中的管壁90的与外部大气接触的接触面积而言，与外壁面61g～66g为共面即管壁90为平坦表面的情况下的与外部大气接触的接触面积相比，较大。因此，根据第3实施方式，也可增大与外部大气接触的接触面积，进而可提高散热效率。
另外，蒸发器10的管壁、冷凝器20的管壁、及液管40的管壁内的金属层61～66的外壁面61g～66g的位置在平面视图中也可相互进行错开。
其他结构均与第1实施方式相同。
根据第3实施方式，与先前的环路热管相比，也可提高散热效率。
<第3实施方式的第1变形例>
第3实施方式的第1变形例主要是在凹部的形态这点上与第3实施方式不同。需要说明的是，第3实施方式的第1变形例中，存在对与已经叙述的实施方式相同的构成部分的说明进行了省略的情况。
图20～图22是第3实施方式的第1变形例中的蒸气管的例示图。图20是从X方向观察时的侧面图，图21是沿图1和图20的D-D线的剖面图，图22是沿图20的E-E线的剖面图。
第3实施方式的第1变形例中，金属层62的外壁面62g为凹凸面。例如，外壁面62g在平面视图中具备与金属层61的外壁面61g、金属层63的外壁面63g及金属层65的外壁面65g对齐的面62h、以及位于比金属层61的外壁面61g、金属层63的外壁面63g及金属层61的外壁面65g还靠近流路50的一侧的面62i。外壁面62g还具备对面62h和面62i进行连接的面62j。例如，面62j是与面62h和62i垂直的面。金属层61的下表面61b中的没有与金属层62的上表面62a相接的部分露出于外部。金属层63的上表面63a中的没有与金属层62的下表面62b相接的部分露出于外部。金属层62的外壁面62g中包含的面62j露出于外部。
金属层64的外壁面64g为凹凸面。例如，外壁面64g在平面视图中具备与金属层61的外壁面61g、金属层63的外壁面63g及金属层65的外壁面65g对齐的面64h、以及位于比金属层61的外壁面61g、金属层63的外壁面63g及金属层61的外壁面65g还靠近流路50的一侧的面64i。外壁面64g还具有对面64h和面64i进行连接的面64j。例如，面64j是与面64h和64i垂直的面。金属层63的下表面63b中的没有与金属层64的上表面64a相接的部分露出于外部。金属层65的上表面65a中的没有与金属层64的下表面64b相接的部分露出于外部。金属层64的外壁面64g中包含的面64j露出于外部。
金属层66的外壁面66g为凹凸面。例如，外壁面66g在平面视图中具备与金属层61的外壁面61g、金属层63的外壁面63g及金属层65的外壁面65g对齐的面66h、以及位于比金属层61的外壁面61g、金属层63的外壁面63g及金属层61的外壁面65g还靠近流路50的一侧的面66i。外壁面66g还具有对面66h和面66i进行连接的面66j。例如，面66j是与面66h和66i垂直的面。金属层65的下表面65b中的没有与金属层66的上表面66a相接的部分露出于外部。金属层66的外壁面66g中包含的面66j露出于外部。
其他结构均与第3实施方式相同。
藉由第3实施方式的第1变形例，与先前的环路热管相比，也可提高散热效率。
<第3实施方式的第2变形例>
第3实施方式的第2变形例主要是在凹部的形态这点上与第3实施方式不同。需要说明的是，第3实施方式的第2变形例中，存在对与已经叙述的实施方式相同的构成部分的说明进行了省略的情况。
图23和图24是第3实施方式的第2变形例中的蒸气管的例示图。图23是从X方向观察时的侧面图，图24是沿图1和图23的D-D线的剖面图。
第3实施方式的第2变形例中，在金属层61的平面视图内，从金属层62的外壁面62g、金属层64的外壁面64g及金属层66的外壁面66g突出的部分处形成了从上表面61a侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷的凹部71J和从下表面61b侧向厚度方向的大致中央部分进行了凹陷的凹部71K。凹部71J的表面和凹部71K的表面露出于外部。例如，在工作流体C的蒸气Cv的流动方向(例如，+Y方向和-Y方向)上，凹部71J和凹部71K可进行交替配置。
在金属层63的平面视图中，从金属层62的外壁面62g、金属层64的外壁面64g及金属层66的外壁面66g突出的部分处形成了从上表面63a侧向厚度方向的大致中央部进行了凹陷的凹部73J和从下表面63b侧向厚度方向的大致中央部进行了凹陷的凹部73K。凹部73J的表面和凹部73K的表面露出于外部。例如，在工作流体C的蒸气Cv的流动方向(例如，+Y方向和-Y方向)上，凹部73J和凹部73K可进行交替配置。
在金属层65的平面视图中，从金属层62的外壁面62g、金属层64的外壁面64g及金属层66的外壁面66g突出的部分处形成了从上表面65a侧向厚度方向的大致中央部进行了凹陷的凹部75J和从下表面65b侧向厚度方向的大致中央部进行了凹陷的凹部75K。凹部75J的表面和凹部75K的表面露出于外部。例如，在工作流体C的蒸气Cv的流动方向(例如，+Y方向和-Y方向)上，凹部75J和凹部75K可进行交替配置。
其他结构均与第3实施方式相同。
根据第3实施方式的第2变形例，与先前的环路热管相比，也可提高散热效率。
需要说明的是，凹部只要形成在至少蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30及液管40中的任意一个的管壁的外壁面的一部分上即可，并不需要在蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30及液管40上都进行形成。例如，当在蒸发器10、冷凝器20及蒸气管30上形成凹部的情况下，可采用沿着蒸发器10、冷凝器20及蒸气管30在工作流体的流动方向上延伸的方式连续地进行形成。另外，各实施方式中，尽管在2个管壁上设置了凹部，但是，凹部只要形成在至少一个管壁上即可。凹部的深度也不必均匀，另外还可形成深度不同的凹部。
此外，凹部的剖面形状也不限定于类似图4等所示的半圆弧状。图25是凹部的形状的例示剖面图。例如，如图25所示，取代凹部71A，也可形成具有底面和内壁面且在底面和内壁面之间具有角部的形状的凹部71C。内壁可为从底面侧向开口侧变宽的锥形形状。凹部71C的内壁也可与底面垂直。另外，凹部72A～76A等的其他凹部也一样。
对在液管40内的哪个部位处设置多孔质体60不无特别限定。但是，优选采用与液管40的管壁隔着预定间隔的方式来设置多孔质体60。其理由为，可在管壁和多孔质体60之间形成供工作流体C流动的微细流路50，这样工作流体C就可容易地在液管40内进行流动。
就多孔质体60的结构而言，在多孔质体60的最外层上也可形成有底孔。例如，在第1层的金属层61上可形成从下表面侧向厚度方向的大致中央部进行凹陷的多个的有底孔，在第6层的金属层66上也可形成从上表面侧向厚度方向的大致中央部进行凹陷的多个有底孔。
此外，就多孔质体60的结构而言，在相邻的金属层的界面处也可形成细孔。例如，金属层62～65中，通过使相邻金属层间的有底孔在平面视图中部分重叠，即可形成细孔。
另外，就构成多孔质体60的细孔而言，并不限定于藉由对从各金属层的两个表面侧所形成的有底孔进行部分连通而构成的细孔。例如，就构成多孔质体60的细孔而言，也可为藉由对形成了沿厚度方向贯穿的贯穿孔的多个金属层以贯穿孔进行部分重叠的方式进行层叠而构成的细孔。
以上对较佳实施方式等进行了详细说明，但本发明并不限定于上述实施方式等，在权利要求书记载的技术范围内，还可对上述实施方式等进行各种各样的变形和置换。
基于上述，可提供一种环路热管，具有：使工作流体气化的蒸发器；对所述工作流体进行液化的冷凝器；对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接的液管；及对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接，并与所述液管一起形成环路状流路的蒸气管。其中，所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的管壁的外壁面的至少一部分上形成有凹部。
所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的每一个均藉由对多个金属层进行层叠而形成。
在所述金属层的第1主面上，以露出于所述外壁面的方式形成有第1凹部。
所述第1凹部的表面连接所述第1主面和所述外壁面。
所述第1凹部的表面从所述第1主面向所述外壁面进行了倾斜。
所述第1凹部沿所述流路延伸。
在所述金属层的所述第1主面的相反侧的第2主面上，以露出于所述外壁面的方式形成有第2凹部。
所述第2凹部的表面连接所述第2主面和所述外壁面。
所述第2凹部的表面从所述第2主面向所述外壁面进行了倾斜。
所述第2凹部沿所述流路延伸。
所述第2凹部与在层叠方向上毗邻该金属层的金属层的所述第1凹部相连。
在沿层叠方向相邻的所述金属层之间，所述外壁面的位置进行了错开。
另外，还可提供一种环路热管的制造方法，其中，在形成使工作流体气化的蒸发器、对所述工作流体进行液化的冷凝器、对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接的液管、及对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接并与所述液管一起形成环路状流路的蒸气管的步骤中，具有：在所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的管壁的外壁面的至少一部分上形成凹部的步骤。
所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的每一个均藉由对多个金属层进行层叠而形成，其中，形成所述凹部的步骤具有：对所述金属层从第1主面侧开始进行半蚀刻从而在所述第1主面上以露出于所述外壁面的方式形成第1凹部的步骤。
形成所述凹部的步骤具有：对所述金属层从所述第1主面的相反侧的第2主面侧开始进行半蚀刻从而在所述第2主面上以露出于所述外壁面的方式形成第2凹部的步骤。
所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的每一个均藉由对多个金属层进行层叠而形成，其中，在沿层叠方向毗邻的所述金属层之间，使所述外壁面的位置错开。
最后需要说明的是，以上尽管对本发明的实施方式等进行了说明，但上述内容并不是对本发明进行限定的内容。

Claims (16)

1.一种环路热管，具有：
使工作流体气化的蒸发器；
对所述工作流体进行液化的冷凝器；
对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接的液管；及
对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接，并与所述液管一起形成环路状流路的蒸气管，
其中，所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的管壁的外壁面的至少一部分上形成有凹部。
2.如权利要求1所述的环路热管，其中，
所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的每一个均藉由对多个金属层进行层叠而形成。
3.如权利要求2所述的环路热管，其中，
在所述金属层的第1主面上，以露出于所述外壁面的方式形成有第1凹部。
4.如权利要求3所述的环路热管，其中，
所述第1凹部的表面连接所述第1主面和所述外壁面。
5.如权利要求3或4所述的环路热管，其中，
所述第1凹部的表面从所述第1主面向所述外壁面进行了倾斜。
6.如权利要求3或4所述的环路热管，其中，
所述第1凹部沿所述流路延伸。
7.如权利要求3或4所述的环路热管，其中，
在所述金属层的所述第1主面的相反侧的第2主面上，以露出于所述外壁面的方式形成有第2凹部。
8.如权利要求7所述的环路热管，其中，
所述第2凹部的表面连接所述第2主面和所述外壁面。
9.如权利要求7所述的环路热管，其中，
所述第2凹部的表面从所述第2主面向所述外壁面进行了倾斜。
10.如权利要求7所述的环路热管，其中，
所述第2凹部沿所述流路延伸。
11.如权利要求7所述的环路热管，其中，
所述第2凹部与在层叠方向上毗邻该金属层的金属层的所述第1凹部相连。
12.如权利要求2所述的环路热管，其中，
在沿层叠方向相邻的所述金属层之间，所述外壁面的位置进行了错开。
13.一种环路热管的制造方法，其中，
在形成使工作流体气化的蒸发器、对所述工作流体进行液化的冷凝器、对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接的液管、及对所述蒸发器和所述冷凝器进行连接并与所述液管一起形成环路状流路的蒸气管的步骤中，具有：
在所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的管壁的外壁面的至少一部分上形成凹部的步骤。
14.如权利要求13所述的环路热管的制造方法，其中，
所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的每一个均藉由对多个金属层进行层叠而形成，
形成所述凹部的步骤具有：
对所述金属层从第1主面侧开始进行半蚀刻从而在所述第1主面上以露出于所述外壁面的方式形成第1凹部的步骤。
15.如权利要求14所述的环路热管的制造方法，其中，
形成所述凹部的步骤具有：
对所述金属层从所述第1主面的相反侧的第2主面侧开始进行半蚀刻从而在所述第2主面上以露出于所述外壁面的方式形成第2凹部的步骤。
16.如权利要求13所述的环路热管的制造方法，其中，
所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管及所述蒸气管的每一个均藉由对多个金属层进行层叠而形成，
在沿层叠方向相邻的所述金属层之间，使所述外壁面的位置错开。
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