JP7353132B2 - ループ型ヒートパイプ及びその製造方法 - Google Patents

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Description

本開示は、ループ型ヒートパイプ及びその製造方法に関する。
電子機器に搭載されるＣＰＵ（Central Processing Unit）等の発熱部品を冷却するデバイスとして、ヒートパイプが知られている。ヒートパイプは、作動流体の相変化を利用して熱を輸送するデバイスである。
ヒートパイプの一例として、発熱部品の熱により作動流体を気化させる蒸発器と、気化した作動流体を冷却して液化する凝縮器とを備え、蒸発器と凝縮器とがループ状の流路を形成する液管と蒸気管で接続されたループ型ヒートパイプが挙げられる。ループ型ヒートパイプでは、作動流体はループ状の流路を一方向に流れる。
又、ループ型ヒートパイプの蒸発器や液管内には、多孔質体が設けられており、多孔質体に生じる毛細管力で液管内の作動流体を蒸発器に誘導し、蒸発器から液管に蒸気が逆流することを抑制している。多孔質体には多数の細孔が形成されている。各細孔は、金属層の一方の面側に形成された有底孔と他方の面側に形成された有底孔とが部分的に連通して形成されている（例えば、特許文献１参照）。
特許第６４００２４０号公報 特開２０１５－０９４４９０号公報
従来のループ型ヒートパイプでは、十分な放熱性能が得られない場合がある。
本開示は、放熱性能を向上することができるループ型ヒートパイプ及びその製造方法を提供することを目的とする。
本開示の一形態によれば、作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループ状の流路を形成する蒸気管と、を有し、前記蒸発器、前記凝縮器、前記液管、前記蒸気管の各々は、互いに積層された複数の金属層を有し、前記複数の金属層は、前記蒸発器、前記凝縮器、前記液管及び前記蒸気管の一対の管壁を構成し、前記一対の管壁の各々は、前記複数の金属層の各々の第１の外壁面からなる外壁面を有し、前記複数の金属層の少なくとも一つに、前記一対の管壁の各々の前記外壁面において、当該金属層の二つの主面の一方である第１の主面から厚さ方向の中央部に向かって窪んだ第１の凹部が形成されているループ型ヒートパイプが提供される。
本開示によれば、放熱性能を向上することができる。
第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。 第１の実施の形態における蒸気管を例示する側面図である。 第１の実施の形態における蒸気管を例示する断面図である。 第１の実施の形態における液管及び液管内の多孔質体を例示する断面図である。 ２層目から５層目までの各金属層における有底孔の配置を例示する平面図である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その１）である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その２）である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その３）である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その４）である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その５）である。 第１の実施の形態の変形例における蒸気管を例示する側面図である。 第１の実施の形態の変形例における蒸気管を例示する断面図である。 第２の実施の形態における蒸気管を例示する側面図である。 第２の実施の形態における蒸気管を例示する断面図である。 第２の実施の形態の変形例における蒸気管を例示する側面図である。 第２の実施の形態の変形例における蒸気管を例示する断面図である。 第３の実施の形態における蒸気管を例示する側面図である。 第３の実施の形態における蒸気管を例示する断面図である。 第３の実施の形態の第１の変形例における蒸気管を例示する側面図である。 第３の実施の形態の第１の変形例における蒸気管を例示する断面図（その１）である。 第３の実施の形態の第１の変形例における蒸気管を例示する断面図（その２）である。 第３の実施の形態の第２の変形例における蒸気管を例示する側面図である。 第３の実施の形態の第２の変形例における蒸気管を例示する断面図である。 凹部の形状を例示する断面図である。
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
〈第１の実施の形態〉
［第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの構造］
まず、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの構造について説明する。図１は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。
図１を参照するに、ループ型ヒートパイプ１は、蒸発器１０と、凝縮器２０と、蒸気管３０と、液管４０とを有する。ループ型ヒートパイプ１は、例えば、スマートフォンやタブレット端末等のモバイル型の電子機器２に収容することができる。
ループ型ヒートパイプ１において、蒸発器１０は、作動流体Ｃを気化させて蒸気Ｃｖを生成する機能を有する。凝縮器２０は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖを液化させる機能を有する。蒸発器１０と凝縮器２０は、蒸気管３０及び液管４０により接続されており、蒸気管３０及び液管４０によって作動流体Ｃ又は蒸気Ｃｖが流れるループである流路５０が形成されている。
図２は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。図１及び図２に示すように、蒸発器１０には、例えば４つの貫通孔１０ｘが形成されている。蒸発器１０に形成された各貫通孔１０ｘと回路基板１００に形成された各貫通孔１００ｘにボルト１５０を挿入し、回路基板１００の下面側からナット１６０で止めることにより、蒸発器１０と回路基板１００とが固定される。蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０及び液管４０は、上面１ａと、上面１ａとは反対側の下面１ｂとを有する。本開示において平面視とは、上面１ａに垂直な方向から視ることをいう。
回路基板１００には、例えば、ＣＰＵ等の発熱部品１２０がバンプ１１０により実装され、発熱部品１２０の上面が蒸発器１０の下面１ｂと密着する。蒸発器１０内の作動流体Ｃは、発熱部品１２０で発生した熱により気化し、蒸気Ｃｖが生成される。
図１に示すように、蒸発器１０に生成された蒸気Ｃｖは、蒸気管３０を通って凝縮器２０に導かれ、凝縮器２０において液化する。これにより、発熱部品１２０で発生した熱が凝縮器２０に移動し、発熱部品１２０の温度上昇が抑制される。凝縮器２０で液化した作動流体Ｃは、液管４０を通って蒸発器１０に導かれる。蒸気管３０の幅Ｗ１は、例えば、８ｍｍ程度とすることができる。又、液管４０の幅Ｗ２は、例えば、６ｍｍ程度とすることができる。
作動流体Ｃの種類は特に限定されないが、蒸発潜熱によって発熱部品１２０を効率的に冷却するために、蒸気圧が高く、かつ蒸発潜熱が大きい流体を使用することが好ましい。そのような流体としては、例えば、アンモニア、水、フロン、アルコール、及びアセトンを挙げることができる。
蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０は、例えば、金属層が複数積層された構造とすることができる。金属層は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。金属層の各々の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。
なお、金属層は銅層には限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。又、金属層の積層数は特に限定されない。
ここで、蒸気管３０の構造について説明する。図３及び図４は、第１の実施の形態における蒸気管を例示する図である。図３は、Ｘ方向から視た側面図であり、図４は、図１及び図３のＤ－Ｄ線に沿う断面図である。
図４に示すように、蒸気管３０は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる流路５０を含む。流路５０は、１層目（一方の最外層）の金属層６１の下面６１ｂと、６層目（他方の最外層）の金属層６６の上面６６ａと、金属層６２～６５の内壁面６２ｓ～６５ｓとにより閉じられた構造とすることができる。なお、金属層６１～６６のＸ方向の両端部において、金属層６１～６６が６層積層された領域を管壁９０と称する。
なお、図３及び図４において、金属層６１～６６の積層方向をＺ方向、Ｚ方向に垂直な平面内の任意の方向をＸ方向、この平面内においてＸ方向と直交する方向をＹ方向としている（他の図も同様）。
２つの管壁９０において、金属層６１は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６１ａと、下面６１ｂと、外壁面６１ｇと、凹部７１Ａとを備えている。金属層６１の上面６１ａは、外部に露出している。金属層６１の下面６１ｂの一部は、金属層６２の上面６２ａと接しており、金属層６１の下面６１ｂのうちで金属層６２の上面６２ａと接していない部分は外部に露出している。金属層６１の外壁面６１ｇは、外部に露出している。凹部７１Ａは、上面６１ａ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪むように形成されている。凹部７１Ａの表面は、金属層６１の上面６１ａと外壁面６１ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７１Ａは、上面６１ａ及び外壁面６１ｇの一部に形成されている。凹部７１Ａの表面は、金属層６１の上面６１ａから外壁面６１ｇにかけて傾斜している。凹部７１Ａは、図３に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７１Ａは、当該凹部７１Ａの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。金属層６１の凹部７１Ａの下にフィン６１ｆが形成される。フィン６１ｆは、金属層６１の外壁面６１ｇと、外部に露出している金属層６１の下面６１ｂと、凹部７１Ａの表面とを備える。凹部７１Ａは第１の凹部の一例である。
２つの管壁９０において、金属層６２は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６２ａと、下面６２ｂと、内壁面６２ｓと、外壁面６２ｇと、凹部７２Ａとを備えている。金属層６２の上面６２ａは、金属層６１の下面６１ｂと接している。金属層６２の下面６２ｂの一部は、金属層６３の上面６３ａと接しており、金属層６２の下面６２ｂのうちで金属層６３の上面６３ａと接していない部分は外部に露出している。金属層６２の内壁面６２ｓは流路５０に露出している。金属層６２の外壁面６２ｇは、内壁面６２ｓとは反対側に位置しており、外部に露出している。凹部７２Ａは、上面６２ａ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪むように形成されている。凹部７２Ａの表面は、金属層６２の上面６２ａと外壁面６２ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７２Ａは、上面６２ａ及び外壁面６２ｇの一部に形成されている。凹部７２Ａの表面は、金属層６２の上面６２ａから外壁面６２ｇにかけて傾斜している。凹部７２Ａは、図３に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７２Ａは、当該凹部７２Ａの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。金属層６２の凹部７２Ａの下にフィン６２ｆが形成される。フィン６２ｆは、金属層６２の外壁面６２ｇと、外部に露出している金属層６２の下面６２ｂと、凹部７２Ａの表面とを備える。凹部７２Ａは第１の凹部の一例である。
２つの管壁９０において、金属層６３は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６３ａと、下面６３ｂと、内壁面６３ｓと、外壁面６３ｇと、凹部７３Ａとを備えている。金属層６３の上面６３ａは、金属層６２の下面６２ｂと接している。金属層６３の下面６３ｂの一部は、金属層６４の上面６４ａと接しており、金属層６３の下面６３ｂのうちで金属層６４の上面６４ａと接していない部分は外部に露出している。金属層６３の内壁面６３ｓは流路５０に露出している。金属層６３の外壁面６３ｇは、内壁面６３ｓとは反対側に位置しており、外部に露出している。凹部７３Ａは、上面６３ａ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪むように形成されている。凹部７３Ａの表面は、金属層６３の上面６３ａと外壁面６３ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７３Ａは、上面６３ａ及び外壁面６３ｇの一部に形成されている。凹部７３Ａの表面は、金属層６３の上面６３ａから外壁面６３ｇにかけて傾斜している。凹部７３Ａは、図３に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７３Ａは、当該凹部７３Ａの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。金属層６３の凹部７３Ａの下にフィン６３ｆが形成される。フィン６３ｆは、金属層６３の外壁面６３ｇと、外部に露出している金属層６３の下面６３ｂと、凹部７３Ａの表面とを備える。凹部７３Ａは第１の凹部の一例である。
２つの管壁９０において、金属層６４は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６４ａと、下面６４ｂと、内壁面６４ｓと、外壁面６４ｇと、凹部７４Ａとを備えている。金属層６４の上面６４ａは、金属層６３の下面６３ｂと接している。金属層６４の下面６４ｂの一部は、金属層６５の上面６５ａと接しており、金属層６４の下面６４ｂのうちで金属層６５の上面６５ａと接していない部分は外部に露出している。金属層６４の内壁面６４ｓは流路５０に露出している。金属層６４の外壁面６４ｇは、内壁面６４ｓとは反対側に位置しており、外部に露出している。凹部７４Ａは、上面６４ａ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪むように形成されている。凹部７４Ａの表面は、金属層６４の上面６４ａと外壁面６４ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７４Ａは、上面６４ａ及び外壁面６４ｇの一部に形成されている。凹部７４Ａの表面は、金属層６４の上面６４ａから外壁面６４ｇにかけて傾斜している。凹部７４Ａは、図３に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７４Ａは、当該凹部７４Ａの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。金属層６４の凹部７４Ａの下にフィン６４ｆが形成される。フィン６４ｆは、金属層６４の外壁面６４ｇと、外部に露出している金属層６４の下面６４ｂと、凹部７４Ａの表面とを備える。凹部７４Ａは第１の凹部の一例である。
２つの管壁９０において、金属層６５は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６５ａと、下面６５ｂと、内壁面６５ｓと、外壁面６５ｇと、凹部７５Ａとを備えている。金属層６５の上面６５ａは、金属層６４の下面６４ｂと接している。金属層６５の下面６５ｂの一部は、金属層６６の上面６６ａと接しており、金属層６５の下面６５ｂのうちで金属層６６の上面６６ａと接していない部分は外部に露出している。金属層６５の内壁面６５ｓは流路５０に露出している。金属層６５の外壁面６５ｇは、内壁面６５ｓとは反対側に位置しており、外部に露出している。凹部７５Ａは、上面６５ａ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪むように形成されている。凹部７５Ａの表面は、金属層６５の上面６５ａと外壁面６５ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７５Ａは、上面６５ａ及び外壁面６５ｇの一部に形成されている。凹部７５Ａの表面は、金属層６５の上面６５ａから外壁面６５ｇにかけて傾斜している。凹部７５Ａは、図３に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７５Ａは、当該凹部７５Ａの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。金属層６５の凹部７５Ａの下にフィン６５ｆが形成される。フィン６５ｆは、金属層６５の外壁面６５ｇと、外部に露出している金属層６５の下面６５ｂと、凹部７５Ａの表面とを備える。凹部７５Ａは第１の凹部の一例である。
２つの管壁９０において、金属層６６は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６６ａと、下面６６ｂと外壁面６６ｇと、凹部７６Ａとを備えている。金属層６６の上面６６ａは、金属層６５の下面６５ｂと接している。金属層６６の下面６６ｂは、外部に露出している。金属層６６の外壁面６６ｇは、外部に露出している。凹部７６Ａは、上面６６ａ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪むように形成されている。凹部７６Ａの表面は、金属層６６の上面６６ａと外壁面６６ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７６Ａは、上面６６ａ及び外壁面６６ｇの一部に形成されている。凹部７６Ａの表面は、金属層６６の上面６６ａから外壁面６６ｇにかけて傾斜している。凹部７６Ａは、図３に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７６Ａは、当該凹部７６Ａの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。金属層６６の凹部７６Ａの下にフィン６６ｆが形成される。フィン６６ｆは、金属層６６の外壁面６６ｇと、金属層６２の下面６２ｂと、凹部７６Ａの表面とを備える。凹部７６Ａは第１の凹部の一例である。
凹部７１Ａ～７６Ａは、例えば金属層６１～６６の外壁面６１ｇ～６６ｇから２５μｍ～１５０μｍ程度の範囲に形成されていてもよい。凹部７１Ａ～７６Ａの深さは、例えば、金属層６１～６６の厚さの半分程度とすることができる。
このような構成の蒸気管３０では、管壁９０に凹部７１Ａ～７６Ａが形成されている。このため、管壁９０に凹部７１Ａ～７６Ａが形成されていない平坦面である場合と比較して、管壁９０の外気との接触面積が大きく、放熱効率を向上することができる。つまり、蒸気管３０内を流れている間に、蒸気Ｃｖの熱が外部に放出されやすい。
なお、本実施形態では凹部７１Ａ～７６Ａを各金属層６１～６６の上面６１ａ～６６ａ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪むように形成したが、これに限らない。例えば、凹部７１Ａ～７６Ａを各金属層６１～６６の下面６１ｂ～６６ｂ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪むように形成してもよい。
次に、液管４０について説明する。図５は、第１の実施の形態における液管及び液管内の多孔質体を例示する断面図である。図５は、図１のＢ－Ｂ線に沿う断面を示している。
液管４０の管壁９０も、蒸気管３０の管壁９０と同様の構成を有する。すなわち、液管４０の管壁９０にも凹部７１Ａ～７６Ａが形成されている。このため、管壁９０に凹部７１Ａ～７６Ａが形成されていない平坦面である場合と比較して、管壁９０の外気との接触面積が大きく、放熱効率を向上することができる。つまり、液管４０内を流れている間に、作動流体Ｃの熱が外部に放出されやすい。
また、図５に示すように、液管４０内には多孔質体６０が設けられている。多孔質体６０は、液管４０内の２箇所に設けられている。一方の多孔質体６０は、液管４０の一方の管壁９０と連続して形成され、他方の多孔質体６０は、液管４０の他方の管壁９０と連続して形成されている。そして、一方の多孔質体６０の他方の多孔質体６０に対向する面と、他方の多孔質体６０の一方の多孔質体６０に対向する面との間に作動流体Ｃが流れる流路５０が形成されている。以下に、多孔質体６０について詳説する。
図６は、２層目から５層目までの各金属層における有底孔の配置を例示する平面図である。図６において、Ａ－Ａ線で示す部分が図５中の多孔質体６０の断面に相当する。
多孔質体６０は、例えば、金属層６２～６５の４層が積層された構造とすることができる。金属層６２～６５は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。金属層６１～６６の各々の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。なお、金属層６１～６６は銅層には限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。又、金属層の積層数は限定されず、５層以下や７層以上の金属層を積層してもよい。
なお、図５及び図６において、金属層６１～６６の積層方向をＺ方向、Ｚ方向に垂直な平面内の任意の方向をＸ方向、この平面内においてＸ方向と直交する方向をＹ方向としている（他の図も同様）。
多孔質体６０は、１層目（一方の最外層）の金属層６１の下面及び６層目（他方の最外層）の金属層６６の上面と接している。金属層６１や金属層６６には、孔や溝は形成されていない。これに対して、図５及び図６（ａ）に示すように、多孔質体６０を構成する２層目の金属層６２には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６２ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６２ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６２ｚを形成している。Ｙ方向に交互に配置された有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、所定間隔を有して形成されており、平面視で重複していない。そのため、Ｙ方向に交互に配置された有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、細孔を形成していない。
有底孔６２ｘ及び６２ｙは、例えば、直径が１００μｍ～３００μｍ程度の円形とすることができるが、楕円形や多角形等の任意の形状として構わない。有底孔６２ｘ及び６２ｙの深さは、例えば、金属層６２の厚さの半分程度とすることができる。隣接する有底孔６２ｘの間隔Ｌ１は、例えば、１００μｍ～４００μｍ程度とすることができる。隣接する有底孔６２ｙの間隔Ｌ２は、例えば、１００μｍ～４００μｍ程度とすることができる。
有底孔６２ｘ及び６２ｙの内壁は、底面側から開口側に向かって拡幅するテーパ形状とすることができる。しかし、これに限らず、有底孔６２ｘ及び６２ｙの内壁は、底面に対して垂直であっても構わない。有底孔６２ｘ及び６２ｙの内壁面の形状は、テーパ形状や垂直に限らない。例えば、有底孔６２ｘ及び６２ｙの内壁面が湾曲面からなる凹形状とすることができる。湾曲面からなる凹形状としては、例えば、断面形状が略半円形や略半楕円形となる凹形状が挙げられる。細孔６２ｚの短手方向の幅Ｗ３は、例えば、１０μｍ～５０μｍ程度とすることができる。又、細孔６２ｚの長手方向の幅Ｗ４は、例えば、５０μｍ～１５０μｍ程度とすることができる。
図５及び図６（ｂ）に示すように、多孔質体６０を構成する３層目の金属層６３には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６３ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６３ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
金属層６３では、有底孔６３ｘのみがＸ方向に配置された列と、有底孔６３ｙのみがＸ方向に配置された列とが、Ｙ方向に交互に配置されている。Ｙ方向に交互に配置された列において、隣接する列の有底孔６３ｘと有底孔６３ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６３ｚを形成している。
但し、細孔６３ｚを形成する隣接する有底孔６３ｘと有底孔６３ｙとは、中心位置がＸ方向にずれている。言い換えれば、細孔６３ｚを形成する有底孔６３ｘと有底孔６３ｙとは、Ｘ方向及びＹ方向に対して斜め方向に交互に配置されている。有底孔６３ｘ及び６３ｙ、細孔６３ｚの形状等は、例えば、有底孔６２ｘ及び６２ｙ、細孔６２ｚの形状等と同様とすることができる。
金属層６２の有底孔６２ｙと、金属層６３の有底孔６３ｘとは、平面視で重複する位置に形成されている。そのため、金属層６２と金属層６３との界面には、細孔は形成されない。
図５及び図６（ｃ）に示すように、多孔質体６０を構成する４層目の金属層６４には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６４ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６４ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６４ｚを形成している。Ｙ方向に交互に配置された有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、所定間隔を有して形成されており、平面視で重複していない。そのため、Ｙ方向に交互に配置された有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、細孔を形成していない。有底孔６４ｘ及び６４ｙ、細孔６４ｚの形状等は、例えば、有底孔６２ｘ及び６２ｙ、細孔６２ｚの形状等と同様とすることができる。
金属層６３の有底孔６３ｙと、金属層６４の有底孔６４ｘとは、平面視で重複する位置に形成されている。そのため、金属層６３と金属層６４との界面には、細孔は形成されない。
図５及び図６（ｄ）に示すように、多孔質体６０を構成する５層目の金属層６５には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６５ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６５ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
金属層６５では、有底孔６５ｘのみがＸ方向に配置された列と、有底孔６５ｙのみがＸ方向に配置された列とが、Ｙ方向に交互に配置されている。Ｙ方向に交互に配置された列において、隣接する列の有底孔６５ｘと有底孔６５ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６５ｚを形成している。
但し、細孔６５ｚを形成する隣接する有底孔６５ｘと有底孔６５ｙとは、中心位置がＸ方向にずれている。言い換えれば、細孔６５ｚを形成する有底孔６５ｘと有底孔６５ｙとは、Ｘ方向及びＹ方向に対して斜め方向に交互に配置されている。有底孔６５ｘ及び６５ｙ、細孔６５ｚの形状等は、例えば、有底孔６２ｘ及び６２ｙ、細孔６２ｚの形状等と同様とすることができる。
金属層６４の有底孔６４ｙと、金属層６５の有底孔６５ｘとは、平面視で重複する位置に形成されている。そのため、金属層６４と金属層６５との界面には、細孔は形成されない。
各金属層に形成された細孔同士は互いに連通しており、互いに連通する細孔は多孔質体６０内に三次元的に広がっている。そのため、作動流体Ｃは、毛細管力により、互いに連通する細孔内を三次元的に広がる。
多孔質体６０を構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５０と連通している。これにより、作動流体Ｃが多孔質体６０内に浸透することができる。又、多孔質体６０は、液管４０の略中央部に設けられているため、支柱としても機能する。これにより、例えば固相接合時の加圧により液管４０が潰れることを防止できる。
このように、液管４０には多孔質体６０が設けられており、多孔質体６０は液管４０に沿って蒸発器１０の近傍まで延びている。これにより、多孔質体６０に生じる毛細管力によって、液管４０内の液相の作動流体Ｃが蒸発器１０まで誘導される。
その結果、蒸発器１０からのヒートリーク等によって液管４０内を蒸気Ｃｖが逆流しようとしても、多孔質体６０から液相の作動流体Ｃに作用する毛細管力で蒸気Ｃｖを押し戻すことができ、蒸気Ｃｖの逆流を防止することが可能となる。
なお、液管４０には作動流体Ｃを注入するための注入口（図示せず）が形成されているが、注入口は封止部材により塞がれており、ループ型ヒートパイプ１内は気密に保たれる。
蒸発器１０の管壁９０も、蒸気管３０の管壁９０と同様の構成を有する。すなわち、蒸発器１０の管壁９０にも凹部７１Ａ～７６Ａが形成されている。このため、管壁９０に凹部７１Ａ～７６Ａが形成されていない平坦面である場合と比較して、管壁９０の外気との接触面積が大きく、放熱効率を向上することができる。つまり、蒸発器１０内を流れている間に、作動流体Ｃやその蒸気Ｃｖの熱が外部に放出されやすい。
蒸発器１０内にも多孔質体が設けられている。液管４０側から作動流体Ｃが蒸発器１０に導かれ、蒸発器１０内の多孔質体に浸透する。蒸発器１０内で多孔質体に浸透した作動流体Ｃは発熱部品１２０で発生した熱により気化して蒸気Ｃｖが生成され、蒸気Ｃｖは蒸気管３０へ流れる。
蒸発器１０内に設けられる多孔質体は、液管４０内に設けられる多孔質体６０と原則的に同様である。例えば、金属層６２～６５に形成される有底孔及び細孔の位置は、図５、図６と同様とすることができる。
凝縮器２０の管壁９０も、蒸気管３０の管壁９０と同様の構成を有する。すなわち、凝縮器２０の管壁９０にも凹部７１Ａ～７６Ａが形成されている。このため、管壁９０に凹部７１Ａ～７６Ａが形成されていない平坦面である場合と比較して、管壁９０の外気との接触面積が大きく、放熱効率を向上することができる。つまり、凝縮器２０内を流れている間に、作動流体Ｃやその蒸気Ｃｖの熱が外部に放出されやすい。
［第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法］
次に、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法について、多孔質体の製造工程を中心に説明する。図７～図１１は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図である。図７、図９及び図１０は、図４に対応する断面を示し、図８及び図１１は、図５に対応する断面を示している。図９は図４に対応する断面を示すが、図９に示す各工程では、図５に対応する断面においても図４に対応する断面と同様の処理が行われる。
まず、図７（ａ）及び図８（ａ）に示す工程では、図１の平面形状に形成された金属シート６２０を準備する。そして、金属シート６２０の上面にレジスト層３１０を形成し、金属シート６２０の下面にレジスト層３２０を形成する。金属シート６２０は、最終的に金属層６２となる部材であり、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から形成することができる。金属シート６２０の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。レジスト層３１０及び３２０としては、例えば、感光性のドライフィルムレジスト等を用いることができる。
次に、図７（ｂ）及び図８（ｂ）に示す工程では、金属シート６２０の多孔質体６０を形成する領域（蒸発器１０となる領域及び液管４０となる領域）において、レジスト層３１０を露光及び現像して、金属シート６２０の上面を選択的に露出する開口部３１０ｘを形成する。又、レジスト層３２０を露光及び現像して、金属シート６２０の下面を選択的に露出する開口部３２０ｘを形成する。開口部３１０ｘ及び３２０ｘの形状及び配置は、図６（ａ）に示した有底孔６２ｘ及び６２ｙの形状及び配置に対応するように形成する。
レジスト層３１０の露光及び現像の際には、図７（ｂ）及び図８（ｂ）に示すように、金属シート６２０の凹部７２Ａを形成する領域において、金属シート６２０の上面を選択的に露出する開口部３１０ｙも形成し、流路５０を形成する領域において、金属シート６２０の上面を選択的に露出する開口部３１０ｚも形成する。また、レジスト層３２０の露光及び現像の際には、図７（ｂ）及び図８（ｂ）に示すように、流路５０を形成する領域において、金属シート６２０の下面を選択的に露出する開口部３２０ｚも形成する。開口部３１０ｙの形状及び配置は、図３～図５に示した凹部７２Ａの形状及び配置に対応するように形成し、開口部３１０ｚ及び３２０ｚの形状及び配置は、図４及び図５に示した流路５０の形状及び配置に対応するように形成する。
次に、図７（ｃ）及び図８（ｃ）に示す工程では、開口部３１０ｘ、３１０ｙ及び３１０ｚ内に露出する金属シート６２０を金属シート６２０の上面側からハーフエッチングすると共に、開口部３２０ｘ及び３２０ｚ内に露出する金属シート６２０を金属シート６２０の下面側からハーフエッチングする。これにより、金属シート６２０の上面側に有底孔６２ｘと有底孔からなる凹部７２Ａとが形成され、下面側に有底孔６２ｙが形成されると共に、金属シート６２０を貫通する貫通孔が形成される。この貫通孔は内壁面６２ｓを備える。又、表裏でＸ方向に交互に配置された開口部３１０ｘと開口部３２０ｘとは、平面視で部分的に重複しているため、重複する部分が連通して細孔６２ｚが形成される。金属シート６２０のハーフエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。
次に、図７（ｄ）及び図８（ｄ）に示す工程では、レジスト層３１０及び３２０を剥離液により剥離する。これにより、金属層６２が完成する。
また、図９（ａ）に示す工程では、図１の平面形状に形成された金属シート６１０を準備する。そして、金属シート６１０の上面にレジスト層４１０を形成し、金属シート６１０の下面にレジスト層４２０を形成する。金属シート６１０は、最終的に金属層６１となる部材であり、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から形成することができる。金属シート６１０の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。
次に、図９（ｂ）に示す工程では、金属シート６１０の凹部７１Ａを形成する領域において、レジスト層４１０を露光及び現像して、金属シート６１０の上面を選択的に露出する開口部４１０ｙを形成する。開口部４１０ｙの形状及び配置は、図３～図５に示した凹部７１Ａの形状及び配置に対応するように形成する。
次に、図９（ｃ）に示す工程では、開口部４１０ｙ内に露出する金属シート６１０を金属シート６１０の上面側からハーフエッチングする。これにより、金属シート６１０の上面側に有底孔からなる凹部７１Ａが形成される。金属シート６１０のハーフエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。
次に、図９（ｄ）に示す工程では、レジスト層４１０及び４２０を剥離液により剥離する。これにより、金属層６１が完成する。
次に、図１０（ａ）及び図１１（ａ）に示す工程では、金属層６１と同様の方法により、金属層６６を形成し、金属層６２と同様の方法により、金属層６３、６４、及び６５を形成する。金属層６３、６４、及び６５に形成される貫通孔の位置は、例えば、図４及び図５に示した通りである。金属層６３、６４、６５、及び６６に形成される凹部の位置は、例えば、図３～図５に示した通りである。金属層６３、６４、及び６５に形成される有底孔及び細孔の位置は、例えば、図６に示した通りである。
次に、図１０（ｂ）及び図１１（ｂ）に示す工程では、図１０（ａ）及び図１１（ａ）に示す順番で各金属層を積層し、加圧及び加熱により固相接合を行う。これにより、隣接する金属層同士が直接接合され、蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０を有するループ型ヒートパイプ１が完成し、液管４０及び蒸発器１０に多孔質体６０が形成される。その後、真空ポンプ等を用いて液管４０内を排気した後、図示しない注入口から液管４０内に作動流体Ｃを注入し、その後注入口を封止する。
ここで、固相接合とは、接合対象物同士を溶融させることなく固相（固体）状態のまま加熱して軟化させ、更に加圧して塑性変形を与えて接合する方法である。なお、固相接合によって隣接する金属層同士を良好に接合できるように、金属層６１～６６の全ての材料を同一にすることが好ましい。
第１の実施の形態では、蒸気管３０、蒸発器１０、凝縮器２０、及び液管４０の各管壁９０に凹部７１Ａ～７６Ａが形成されている。このため、蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０の各管壁９０の外気との接触面積は、各管壁９０に凹部７１Ａ～７６Ａが形成されておらず、各管壁９０が平坦面になっている場合の外気との接触面積よりも大きい。従って、第１の実施の形態によれば、外気との接触面積が大きく、放熱効率を向上することができる。
〈第１の実施の形態の変形例〉
第１の実施の形態の変形例は、主に、最外層の金属層の構成の点で第１の実施の形態と相違する。なお、第１の実施の形態の変形例において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
図１２及び図１３は、第１の実施の形態の変形例における蒸気管を例示する図である。図１２は、Ｘ方向から視た側面図であり、図１３は、図１及び図１２のＤ－Ｄ線に沿う断面図である。
第１の実施の形態の変形例では、金属層６２～６５は第１の実施の形態と同様に構成されている。一方、蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０にわたって、１層目（一方の最外層）の金属層６１には凹部７１Ａが形成されておらず、６層目（他方の最外層）の金属層６６には凹部７６Ａが形成されていない。つまり、金属層６１及び６６はべた状の金属層である。
他の構成は第１の実施の形態と同様である。
第１の実施の形態の変形例によっても、従来のループ型ヒートパイプと比較して放熱効率を向上することができる。また、金属層６１及び６６がべた状の金属層であるため、良好なハンドリング性を確保しやすい。
〈第２の実施の形態〉
第２の実施の形態は、主に、凹部の形態の点で第１の実施の形態と相違する。なお、第２の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
図１４及び図１５は、第２の実施の形態における蒸気管を例示する図である。図１４は、Ｘ方向から視た側面図であり、図１５は、図１及び図１４のＤ－Ｄ線に沿う断面図である。
第２の実施の形態では、２つの管壁９０において、金属層６１は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６１ａと、下面６１ｂと、外壁面６１ｇと、凹部７１Ａと、凹部７１Ｂとを備えている。凹部７１Ａは、上面６１ａ側から厚さ方向の中央部よりも上面６１ａ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７１Ｂは、下面６１ｂ側から厚さ方向の中央部よりも下面６１ｂ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７１Ｂの表面は、金属層６１の下面６１ｂと外壁面６１ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７１Ｂは、下面６１ｂ及び外壁面６１ｇの一部に形成されている。凹部７１Ｂの表面は、金属層６１の下面６１ｂから外壁面６１ｇにかけて傾斜している。凹部７１Ｂは、図１４に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７１Ｂは、当該凹部７１Ｂの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。平面視で、凹部７１Ａと凹部７１Ｂとが重なり合っていてもよい。金属層６１の下面６１ｂが金属層６２の上面６２ａと接し、金属層６１の凹部７１Ｂの下端が金属層６２の凹部７２Ａの上端と連続している。凹部７１Ｂ及び凹部７２Ａにより、連続する外壁面６１ｇ及び６２ｇに、断面形状がＵ字状の凹部が構成されている。金属層６１の凹部７１Ａと凹部７１Ｂとの間にフィン６１ｆが形成される。フィン６１ｆは、金属層６１の外壁面６１ｇと、凹部７１Ａの表面と、凹部７１Ｂの表面とを備える。凹部７１Ｂは第２の凹部の一例である。本実施形態では、外壁面６１ｇの一部に凹部７１Ａ及び凹部７１Ｂが形成されている。つまり、フィン６１ｆの先端に外壁面６１ｇが残るように凹部７１Ａ及び凹部７１Ｂが形成されている。しかし、これに限らず、外壁面６１ｇがなくなるように凹部７１Ａ及び凹部７１Ｂが形成されていてもよい。例えば、フィン６１ｆの先端を尖らせるような形状にしてもよい。
２つの管壁９０において、金属層６２は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６２ａと、下面６２ｂと、内壁面６２ｓと、外壁面６２ｇと、凹部７２Ａと、凹部７２Ｂとを備えている。凹部７２Ａは、上面６２ａ側から厚さ方向の中央部よりも上面６２ａ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７２Ｂは、下面６２ｂ側から厚さ方向の中央部よりも下面６２ｂ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７２Ｂの表面は、金属層６２の下面６２ｂと外壁面６２ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７２Ｂは、下面６２ｂ及び外壁面６２ｇの一部に形成されている。凹部７２Ｂの表面は、金属層６２の下面６２ｂから外壁面６２ｇにかけて傾斜している。凹部７２Ｂは、図１４に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７２Ｂは、当該凹部７２Ｂの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。平面視で、凹部７２Ａと凹部７２Ｂとが重なり合っていてもよい。金属層６２の下面６２ｂが金属層６３の上面６３ａと接し、金属層６２の凹部７２Ｂの下端が金属層６３の凹部７３Ａの上端と連続している。凹部７２Ｂ及び凹部７３Ａにより、連続する外壁面６２ｇ及び６３ｇに、断面形状がＵ字状の凹部が構成されている。金属層６２の凹部７２Ａと凹部７２Ｂとの間にフィン６２ｆが形成される。フィン６２ｆは、金属層６２の外壁面６２ｇと、凹部７２Ａの表面と、凹部７２Ｂの表面とを備える。凹部７２Ｂは第２の凹部の一例である。本実施形態では、外壁面６２ｇの一部に凹部７２Ａ及び凹部７２Ｂが形成されている。つまり、フィン６２ｆの先端に外壁面６２ｇが残るように凹部７２Ａ及び凹部７２Ｂが形成されている。しかし、これに限らず、外壁面６２ｇがなくなるように凹部７２Ａ及び凹部７２Ｂが形成されていてもよい。例えば、フィン６２ｆの先端を尖らせるような形状にしてもよい。
２つの管壁９０において、金属層６３は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６３ａと、下面６３ｂと、内壁面６３ｓと、外壁面６３ｇと、凹部７３Ａと、凹部７３Ｂとを備えている。凹部７３Ａは、上面６３ａ側から厚さ方向の中央部よりも上面６３ａ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７３Ｂは、下面６３ｂ側から厚さ方向の中央部よりも下面６３ｂ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７３Ｂの表面は、金属層６３の下面６３ｂと外壁面６３ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７３Ｂは、下面６３ｂ及び外壁面６３ｇの一部に形成されている。凹部７３Ｂの表面は、金属層６３の下面６３ｂから外壁面６３ｇにかけて傾斜している。凹部７３Ｂは、図１４に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７３Ｂは、当該凹部７３Ｂの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。平面視で、凹部７３Ａと凹部７３Ｂとが重なり合っていてもよい。金属層６３の下面６３ｂが金属層６４の上面６４ａと接し、金属層６３の凹部７３Ｂの下端が金属層６４の凹部７４Ａの上端と連続している。凹部７３Ｂ及び凹部７４Ａにより、連続する外壁面６３ｇ及び６４ｇに、断面形状がＵ字状の凹部が構成されている。金属層６３の凹部７３Ａと凹部７３Ｂとの間にフィン６３ｆが形成される。フィン６３ｆは、金属層６３の外壁面６３ｇと、凹部７３Ａの表面と、凹部７３Ｂの表面とを備える。凹部７３Ｂは第２の凹部の一例である。本実施形態では、外壁面６３ｇの一部に凹部７３Ａ及び凹部７３Ｂが形成されている。つまり、フィン６３ｆの先端に外壁面６３ｇが残るように凹部７３Ａ及び凹部７３Ｂが形成されている。しかし、これに限らず、外壁面６３ｇがなくなるように凹部７３Ａ及び凹部７３Ｂが形成されていてもよい。例えば、フィン６３ｆの先端を尖らせるような形状にしてもよい。
２つの管壁９０において、金属層６４は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６４ａと、下面６４ｂと、内壁面６４ｓと、外壁面６４ｇと、凹部７４Ａと、凹部７４Ｂとを備えている。凹部７４Ａは、上面６４ａ側から厚さ方向の中央部よりも上面６４ａ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７４Ｂは、下面６４ｂ側から厚さ方向の中央部よりも下面６４ｂ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７４Ｂの表面は、金属層６４の下面６４ｂと外壁面６４ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７４Ｂは、下面６４ｂ及び外壁面６４ｇの一部に形成されている。凹部７４Ｂの表面は、金属層６４の下面６４ｂから外壁面６４ｇにかけて傾斜している。凹部７４Ｂは、図１４に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７４Ｂは、当該凹部７４Ｂの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。平面視で、凹部７４Ａと凹部７４Ｂとが重なり合っていてもよい。金属層６４の下面６４ｂが金属層６５の上面６５ａと接し、金属層６４の凹部７４Ｂの下端が金属層６５の凹部７５Ａの上端と連続している。凹部７４Ｂ及び凹部７５Ａにより、連続する外壁面６４ｇ及び６５ｇに、断面形状がＵ字状の凹部が構成されている。金属層６４の凹部７４Ａと凹部７４Ｂとの間にフィン６４ｆが形成される。フィン６４ｆは、金属層６４の外壁面６４ｇと、凹部７４Ａの表面と、凹部７４Ｂの表面とを備える。凹部７４Ｂは第２の凹部の一例である。本実施形態では、外壁面６４ｇの一部に凹部７４Ａ及び凹部７４Ｂが形成されている。つまり、フィン６４ｆの先端に外壁面６４ｇが残るように凹部７４Ａ及び凹部７４Ｂが形成されている。しかし、これに限らず、外壁面６４ｇがなくなるように凹部７４Ａ及び凹部７４Ｂが形成されていてもよい。例えば、フィン６４ｆの先端を尖らせるような形状にしてもよい。
２つの管壁９０において、金属層６５は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６５ａと、下面６５ｂと、内壁面６５ｓと、外壁面６５ｇと、凹部７５Ａと、凹部７５Ｂとを備えている。凹部７５Ａは、上面６５ａ側から厚さ方向の中央部よりも上面６５ａ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７５Ｂは、下面６５ｂ側から厚さ方向の中央部よりも下面６５ｂ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７５Ｂの表面は、金属層６５の下面６５ｂと外壁面６５ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７５Ｂは、下面６５ｂ及び外壁面６５ｇの一部に形成されている。凹部７５Ｂの表面は、金属層６５の下面６５ｂから外壁面６５ｇにかけて傾斜している。凹部７５Ｂは、図１４に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７５Ｂは、当該凹部７５Ｂの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。平面視で、凹部７５Ａと凹部７５Ｂとが重なり合っていてもよい。金属層６５の下面６５ｂが金属層６６の上面６６ａと接し、金属層６５の凹部７５Ｂの下端が金属層６６の凹部７６Ａの上端と連続している。凹部７５Ｂ及び凹部７６Ａにより、連続する外壁面６５ｇ及び６６ｇに、断面形状がＵ字状の凹部が構成されている。金属層６５の凹部７５Ａと凹部７５Ｂとの間にフィン６５ｆが形成される。フィン６５ｆは、金属層６５の外壁面６５ｇと、凹部７５Ａの表面と、凹部７５Ｂの表面とを備える。凹部７５Ｂは第２の凹部の一例である。本実施形態では、外壁面６５ｇの一部に凹部７５Ａ及び凹部７５Ｂが形成されている。つまり、フィン６５ｆの先端に外壁面６５ｇが残るように凹部７５Ａ及び凹部７５Ｂが形成されている。しかし、これに限らず、外壁面６５ｇがなくなるように凹部７５Ａ及び凹部７５Ｂが形成されていてもよい。例えば、フィン６５ｆの先端を尖らせるような形状にしてもよい。
２つの管壁９０において、金属層６６は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６６ａと、下面６６ｂと、外壁面６６ｇと、凹部７６Ａと、凹部７６Ｂとを備えている。凹部７６Ａは、上面６６ａ側から厚さ方向の中央部よりも上面６６ａ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７６Ｂは、下面６６ｂ側から厚さ方向の中央部よりも下面６６ｂ寄りの部分にかけて窪むように形成されている。凹部７６Ｂの表面は、金属層６６の下面６６ｂと外壁面６６ｇとを繋ぐように設けられている。つまり、凹部７６Ｂは、下面６６ｂ及び外壁面６６ｇの一部に形成されている。凹部７６Ｂの表面は、金属層６６の下面６６ｂから外壁面６６ｇにかけて傾斜している。凹部７６Ｂは、図１４に示すように、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（Ｙ方向）に沿って延びるように形成されている。凹部７６Ｂは、当該凹部７６Ｂの内側の空間が蒸気管３０の外部に連通するように形成されている。平面視で、凹部７６Ａと凹部７６Ｂとが重なり合っていてもよい。金属層６６の凹部７６Ａと凹部７６Ｂとの間にフィン６６ｆが形成される。フィン６６ｆは、金属層６６の外壁面６６ｇと、凹部７６Ａの表面と、凹部７６Ｂの表面とを備える。凹部７６Ｂは第２の凹部の一例である。本実施形態では、外壁面６６ｇの一部に凹部７６Ａ及び凹部７６Ｂが形成されている。つまり、フィン６６ｆの先端に外壁面６６ｇが残るように凹部７６Ａ及び凹部７６Ｂが形成されている。しかし、これに限らず、外壁面６６ｇがなくなるように凹部７６Ａ及び凹部７６Ｂが形成されていてもよい。例えば、フィン６６ｆの先端を尖らせるような形状にしてもよい。
蒸発器１０の管壁、凝縮器２０の管壁、及び液管４０の管壁においても、金属層６１～６６に凹部７１Ｂ～７６Ｂが形成されていてもよい。
他の構成は第１の実施の形態と同様である。
第２の実施の形態によっても、従来のループ型ヒートパイプと比較して放熱効率を向上することができる。
〈第２の実施の形態の変形例〉
第２の実施の形態の変形例は、主に、最外層の金属層の構成の点で第２の実施の形態と相違する。なお、第２の実施の形態の変形例において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
図１６及び図１７は、第２の実施の形態の変形例における蒸気管を例示する図である。図１６は、Ｘ方向から視た側面図であり、図１７は、図１及び図１６のＤ－Ｄ線に沿う断面図である。
第２の実施の形態の変形例では、金属層６２～６５は第２の実施の形態と同様に構成されている。一方、蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０にわたって、１層目（一方の最外層）の金属層６１には凹部７１Ａ及び７１Ｂが形成されておらず、６層目（他方の最外層）の金属層６６には凹部７６Ａ及び７６Ｂが形成されていない。つまり、金属層６１及び６６はべた状の金属層である。
他の構成は第２の実施の形態と同様である。
第２の実施の形態の変形例によっても、従来のループ型ヒートパイプと比較して放熱効率を向上することができる。また、金属層６１及び６６がべた状の金属層であるため、良好なハンドリング性を確保しやすい。
〈第３の実施の形態〉
第３の実施の形態は、主に、凹部の形態の点で第１の実施の形態等と相違する。なお、第３の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
図１８及び図１９は、第３の実施の形態における蒸気管を例示する図である。図１８は、Ｘ方向から視た側面図であり、図１９は、図１及び図１８のＤ－Ｄ線に沿う断面図である。
第３の実施の形態では、管壁９０内において、金属層６１～６６には凹部が形成されていない。つまり、金属層６１～６６の管壁９０内の部分はべた状である。
平面視で、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）において、金属層６２の外壁面６２ｇ、金属層６４の外壁面６４ｇ及び金属層６６の外壁面６６ｇが、金属層６１の外壁面６１ｇ、金属層６３の外壁面６３ｇ及び金属層６５の外壁面６５ｇよりも流路５０側に位置している。
２つの管壁９０において、金属層６１は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６１ａと、下面６１ｂと、外壁面６１ｇとを備えている。金属層６１の上面６１ａは、外部に露出している。金属層６１の下面６１ｂの一部は、金属層６２の上面６２ａと接しており、金属層６１の下面６１ｂのうちで金属層６２の上面６２ａと接していない部分は外部に露出している。金属層６１の外壁面６１ｇは、外部に露出している。
２つの管壁９０において、金属層６２は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６２ａと、下面６２ｂと、内壁面６２ｓと、外壁面６２ｇとを備えている。金属層６２の上面６２ａは、金属層６１の下面６１ｂと接している。金属層６２の下面６２ｂは、金属層６３の上面６３ａと接している。金属層６２の内壁面６２ｓは流路５０に露出している。金属層６２の外壁面６２ｇは外部に露出している。
２つの管壁９０において、金属層６３は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６３ａと、下面６３ｂと、内壁面６３ｓと、外壁面６３ｇとを備えている。金属層６３の上面６３ａの一部は、金属層６２の下面６２ｂと接しており、金属層６３の上面６３ａのうちで金属層６２の下面６２ｂと接していない部分は外部に露出している。金属層６３の下面６３ｂの一部は、金属層６４の上面６４ａと接しており、金属層６３の下面６３ｂのうちで金属層６４の上面６４ａと接していない部分は外部に露出している。金属層６３の内壁面６３ｓは流路５０に露出している。金属層６３の外壁面６３ｇは外部に露出している。
２つの管壁９０において、金属層６４は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６４ａと、下面６４ｂと、内壁面６４ｓと、外壁面６４ｇとを備えている。金属層６４の上面６４ａは、金属層６３の下面６３ｂと接している。金属層６４の下面６４ｂは、金属層６５の上面６５ａと接している。金属層６４の内壁面６４ｓは流路５０に露出している。金属層６４の外壁面６４ｇは外部に露出している。
２つの管壁９０において、金属層６５は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６５ａと、下面６５ｂと、内壁面６５ｓと、外壁面６５ｇとを備えている。金属層６５の上面６５ａの一部は、金属層６４の下面６４ｂと接しており、金属層６５の上面６５ａのうちで金属層６４の下面６４ｂと接していない部分は外部に露出している。金属層６５の下面６５ｂの一部は、金属層６６の上面６６ａと接しており、金属層６５の下面６５ｂのうちで金属層６６の上面６６ａと接していない部分は外部に露出している。金属層６５の内壁面６５ｓは流路５０に露出している。金属層６６の外壁面６６ｇは外部に露出している。
２つの管壁９０において、金属層６６は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向に垂直な方向（例えば＋Ｘ方向、－Ｘ方向）の端部に、上面６６ａと、下面６６ｂと、外壁面６６ｇとを備えている。金属層６６の上面６６ａは、金属層６５の下面６５ｂと接している。金属層６６の下面６６ｂは、外部に露出している。金属層６６の外壁面６６ｇは外部に露出している。
第３の実施の形態では、平面視で、外壁面６１ｇ、６３ｇ及び６５ｇの位置が揃っており、外壁面６２ｇ、６４ｇ及び６６ｇの位置が揃っている。そして、外壁面６２ｇ、６４ｇ及び６６ｇが、外壁面６１ｇ、６３ｇ及び６５ｇよりも流路５０側に位置している。このため、管壁９０には、金属層６２、６４及び６６の部分に凹部が存在する。従って、第３の実施の形態における管壁９０の外気との接触面積は、外壁面６１ｇ～６６ｇが面一で管壁９０が平坦面になっている場合の外気との接触面積よりも大きい。従って、第３の実施の形態によっても、外気との接触面積が大きく、放熱効率を向上することができる。
蒸発器１０の管壁、凝縮器２０の管壁、及び液管４０の管壁においても、金属層６１～６６の外壁面６１ｇ～６６ｇの位置が平面視で互いにずれていてもよい。
他の構成は第１の実施の形態と同様である。
第３の実施の形態によっても、従来のループ型ヒートパイプと比較して放熱効率を向上することができる。
〈第３の実施の形態の第１の変形例〉
第３の実施の形態の第１の変形例は、主に、凹部の形態の点で第３の実施の形態と相違する。なお、第３の実施の形態の第１の変形例において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
図２０～図２２は、第３の実施の形態の第１の変形例における蒸気管を例示する図である。図２０は、Ｘ方向から視た側面図であり、図２１は、図１及び図２０のＤ－Ｄ線に沿う断面図であり、図２２は、図２０のＥ－Ｅ線に沿う断面図である。
第３の実施の形態の第１の変形例では、金属層６２の外壁面６２ｇが凹凸面となっている。例えば、外壁面６２ｇは、平面視で、金属層６１の外壁面６１ｇ、金属層６３の外壁面６３ｇ及び金属層６５の外壁面６５ｇと揃う面６２ｈと、金属層６１の外壁面６１ｇ、金属層６３の外壁面６３ｇ及び金属層６１の外壁面６５ｇよりも流路５０側に位置する面６２ｉとを備えている。外壁面６２ｇは、更に、面６２ｈと面６２ｉとを繋ぐ面６２ｊを備えている。例えば、面６２ｊは、面６２ｈ及び６２ｉに垂直な面である。金属層６１の下面６１ｂのうちで金属層６２の上面６２ａと接していない部分は外部に露出している。金属層６３の上面６３ａのうちで金属層６２の下面６２ｂと接していない部分は外部に露出している。金属層６２の外壁面６２ｇに含まれる面６２ｊは外部に露出している。
金属層６４の外壁面６４ｇが凹凸面となっている。例えば、外壁面６４ｇは、平面視で、金属層６１の外壁面６１ｇ、金属層６３の外壁面６３ｇ及び金属層６５の外壁面６５ｇと揃う面６４ｈと、金属層６１の外壁面６１ｇ、金属層６３の外壁面６３ｇ及び金属層６１の外壁面６５ｇよりも流路５０側に位置する面６４ｉとを備えている。外壁面６４ｇは、更に、面６４ｈと面６４ｉとを繋ぐ面６４ｊを備えている。例えば、面６４ｊは、面６４ｈ及び６４ｉに垂直な面である。金属層６３の下面６３ｂのうちで金属層６４の上面６４ａと接していない部分は外部に露出している。金属層６５の上面６５ａのうちで金属層６４の下面６４ｂと接していない部分は外部に露出している。金属層６４の外壁面６４ｇに含まれる面６４ｊは外部に露出している。
金属層６６の外壁面６６ｇが凹凸面となっている。例えば、外壁面６６ｇは、平面視で、金属層６１の外壁面６１ｇ、金属層６３の外壁面６３ｇ及び金属層６５の外壁面６５ｇと揃う面６６ｈと、金属層６１の外壁面６１ｇ、金属層６３の外壁面６３ｇ及び金属層６１の外壁面６５ｇよりも流路５０側に位置する面６６ｉとを備えている。外壁面６６ｇは、更に、面６６ｈと面６６ｉとを繋ぐ面６６ｊを備えている。例えば、面６６ｊは、面６６ｈ及び６６ｉに垂直な面である。金属層６５の下面６５ｂのうちで金属層６６の上面６６ａと接していない部分は外部に露出している。金属層６６の外壁面６６ｇに含まれる面６６ｊは外部に露出している。
他の構成は第３の実施の形態と同様である。
第３の実施の形態の第１の変形例によっても、従来のループ型ヒートパイプと比較して放熱効率を向上することができる。
〈第３の実施の形態の第２の変形例〉
第３の実施の形態の第２の変形例は、主に、凹部の形態の点で第３の実施の形態と相違する。なお、第３の実施の形態の第２の変形例において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
図２３及び図２４は、第３の実施の形態の第２の変形例における蒸気管を例示する図である。図２３は、Ｘ方向から視た側面図であり、図２４は、図１及び図２３のＤ－Ｄ線に沿う断面図である。
第３の実施の形態の第２の変形例では、金属層６１の平面視で金属層６２の外壁面６２ｇ、金属層６４の外壁面６４ｇ及び金属層６６の外壁面６６ｇから突出する部分に、上面６１ａ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む凹部７１Ｊと、下面６１ｂ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む凹部７１Ｋとが形成されている。凹部７１Ｊの表面及び凹部７１Ｋの表面は、外部に露出している。例えば、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（例えば＋Ｙ方向、－Ｙ方向）において、凹部７１Ｊと凹部７１Ｋとが交互に配置されていてもよい。
金属層６３の平面視で金属層６２の外壁面６２ｇ、金属層６４の外壁面６４ｇ及び金属層６６の外壁面６６ｇから突出する部分に、上面６３ａ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む凹部７３Ｊと、下面６３ｂ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む凹部７３Ｋとが形成されている。凹部７３Ｊの表面及び凹部７３Ｋの表面は、外部に露出している。例えば、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（例えば＋Ｙ方向、－Ｙ方向）において、凹部７３Ｊと凹部７３Ｋとが交互に配置されていてもよい。
金属層６５の平面視で金属層６２の外壁面６２ｇ、金属層６４の外壁面６４ｇ及び金属層６６の外壁面６６ｇから突出する部分に、上面６５ａ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む凹部７５Ｊと、下面６５ｂ側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む凹部７５Ｋとが形成されている。凹部７５Ｊの表面及び凹部７５Ｋの表面は、外部に露出している。例えば、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖが流れる方向（例えば＋Ｙ方向、－Ｙ方向）において、凹部７５Ｊと凹部７５Ｋとが交互に配置されていてもよい。
他の構成は第３の実施の形態と同様である。
第３の実施の形態の第２の変形例によっても、従来のループ型ヒートパイプと比較して放熱効率を向上することができる。
なお、凹部は、少なくとも蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、液管４０のいずれかの管壁の外壁面の一部に形成されていればよく、蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、液管４０のすべてに形成されている必要はない。例えば、蒸発器１０、凝縮器２０、及び蒸気管３０に凹部が形成される場合は、蒸発器１０、凝縮器２０、及び蒸気管３０にわたって、作動流体の流れる方向に沿って延びるように連続して形成されている。また、各実施形態では、２つの管壁に凹部を設けたが、凹部は、少なくとも一方の管壁に形成されていればよい。凹部の深さは均一でなくてもよく、深さが異なる凹部が形成されていてもよい。
また、凹部の断面形状は、図４等に示すような半円弧状に限定されない。図２５は、凹部の形状を例示する断面図である。例えば、図２５に示すように、凹部７１Ａに代えて、底面と内壁面とを有し、底面と内壁面との間に角部を有する形状の凹部７１Ｃが形成されていてもよい。内壁は、底面側から開口側に向かって拡幅するテーパ形状とすることができる。凹部７１Ｃの内壁は、底面に対して垂直であっても構わない。凹部７２Ａ～７６Ａ等の他の凹部についても同様である。
液管４０内のどの部位に多孔質体６０を位置させるかは特に限定されない。ただし、液管４０の管壁から間隔をおいて多孔質体６０を設けることが好ましい。これは、管壁と多孔質体６０との間に作動流体Ｃが流れる微細な流路５０が形成され、作動流体Ｃが液管４０内を流れやすくなるためである。
多孔質体６０の構成に関し、多孔質体６０の最外層にも有底孔が形成されていてもよい。例えば、１層目の金属層６１に、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む複数の有底孔が形成されていてもよく、６層目の金属層６６に、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む複数の有底孔が形成されていてもよい。
多孔質体６０の構成に関し、隣接する金属層の界面にも細孔が形成されていてもよい。例えば、金属層６２～６５において、隣接する金属層間で有底孔が平面視で部分的に重複することで細孔が形成されていてもよい。
また、多孔質体６０を構成する細孔は、各金属層の両面側から形成した有底孔を部分的に連通させて構成された細孔に限定されない。例えば、多孔質体６０を構成する細孔が、厚さ方向に貫通する貫通孔が形成された金属層同士を貫通孔が部分的に重複するように積層して構成された細孔であってもよい。
以上、好ましい実施の形態等について詳説したが、上述した実施の形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態等に種々の変形及び置換を加えることができる。
１ ループ型ヒートパイプ
１０ 蒸発器
２０ 凝縮器
３０ 蒸気管
４０ 液管
５０ 流路
６０ 多孔質体
６１～６６ 金属層
６１ｆ～６６ｆ フィン
６１ｇ～６６ｇ 外壁面
７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃ、７１Ｊ、７１Ｋ、７２Ａ、７２Ｂ、７３Ａ、７３Ｂ、７３Ｊ、７３Ｋ、７４Ａ、７４Ｂ、７５Ａ、７５Ｂ、７５Ｊ、７５Ｋ 凹部

Claims (18)

  1. 作動流体を気化させる蒸発器と、
    前記作動流体を液化する凝縮器と、
    前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、
    前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループ状の流路を形成する蒸気管と、
    を有し、
    前記蒸発器、前記凝縮器、前記液管、前記蒸気管の各々は、互いに積層された複数の金属層を有し、
    前記複数の金属層は、前記蒸発器、前記凝縮器、前記液管及び前記蒸気管の一対の管壁を構成し、
    前記一対の管壁の各々は、前記複数の金属層の各々の第１の外壁面からなる外壁面を有し、
    前記複数の金属層の少なくとも一つに、前記一対の管壁の各々の前記外壁面において、当該金属層の二つの主面の一方である第１の主面から厚さ方向の中央部に向かって窪んだ第１の凹部が形成されていることを特徴とするループ型ヒートパイプ。
  2. 前記第１の凹部は、前記外壁面にて外部に露出するようにして形成されていることを特徴とする請求項１に記載のループ型ヒートパイプ。
  3. 前記第１の凹部の表面は、前記第１の主面と前記外壁面とを繋ぐことを特徴とする請求項１に記載のループ型ヒートパイプ。
  4. 前記第１の凹部の表面は、前記第１の主面から前記外壁面にかけて傾斜していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
  5. 前記第１の凹部は、前記流路に沿って延びることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
  6. 前記第１の凹部が形成された前記金属層は、前記第１の凹部の表面と、当該金属層の前記第１の外壁面と、当該金属層の前記第１の主面とは反対側の第２の主面とを備えたフィンを有する請求項１乃至５のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
  7. 前記第１の凹部は、半円弧状の断面形状を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
  8. 前記第１の凹部が形成された前記金属層に、前記第１の主面とは反対側の第２の主面から厚さ方向の中央部に向かって窪んだ第２の凹部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
  9. 前記第２の凹部は、前記外壁面にて外部に露出するようにして形成されていることを特徴とする請求項８に記載のループ型ヒートパイプ。
  10. 前記第２の凹部の表面は、前記第２の主面と前記外壁面とを繋ぐことを特徴とする請求項９に記載のループ型ヒートパイプ。
  11. 前記第２の凹部の表面は、前記第２の主面から前記外壁面にかけて傾斜していることを特徴とする請求項９又は１０に記載のループ型ヒートパイプ。
  12. 前記第２の凹部は、前記流路に沿って延びることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
  13. 前記第２の凹部は、積層方向で当該金属層と隣り合う金属層の前記第１の凹部と連続することを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
  14. 積層方向で隣り合う前記金属層の間で、前記第１の外壁面の位置がずれていることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
  15. 作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループ状の流路を形成する蒸気管とを形成する工程において、
    前記蒸発器、前記凝縮器、前記液管、前記蒸気管の各々は、互いに積層された複数の金属層を有し、
    前記複数の金属層は、前記蒸発器、前記凝縮器、前記液管及び前記蒸気管の一対の管壁を構成し、
    前記一対の管壁の各々は、前記複数の金属層の各々の第１の外壁面からなる外壁面を有し、
    前記複数の金属層の少なくとも一つに、前記一対の管壁の各々の前記外壁面において、当該金属層の二つの主面の一方である第１の主面から厚さ方向の中央部に向かって窪んだ第１の凹部を形成する工程を有することを特徴とするループ型ヒートパイプの製造方法。
  16. 前記第１の凹部は、前記金属層を前記第１の主面側からハーフエッチングすることにより、前記第１の主面に、前記外壁面にて外部に露出するようにして形成されることを特徴とする請求項１５に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。
  17. 前記第１の凹部が形成された前記金属層を前記第１の主面とは反対側の第２の主面側からハーフエッチングすることにより、前記第２の主面に、前記外壁面にて外部に露出するようにして前記第２の主面から厚さ方向の中央部に向かって窪んだ第２の凹部を形成する工程を有することを特徴とする請求項１５又は１６に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。
  18. 積層方向で隣り合う前記金属層の間で、前記第１の外壁面の位置をずらすことを特徴とする請求項１５乃至１７のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。
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