CN112691924B - 用于led半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法 - Google Patents

用于led半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法，包括校准系统包括分选摆臂机构、推顶器机构和两组相机定位机构；相机定位机构包括相机固定支架、镜头组件、CCD相机组件和同轴光源组件。分选摆臂机构包括旋转基座，旋转基座的两侧分别连有第一升降组件和第二升降组件，第一升降组件通过第一螺钉调节组件连接有第一摆臂组件，第二升降组件通过第二螺钉调节组件连接有第二摆臂组件，第一摆臂组件的端部和第二摆臂组件的端部分别连接有第一分选吸嘴机构和第二分选吸嘴结构。本发明中的校准方法采用上述校准系统，实现了分选调节的三点校准。该系统的整体结构更新颖，提高了分选机性能，方便简化生产操作。

Description

用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法
技术领域
本发明涉及LED晶片加工领域，具体涉及用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法。
背景技术
LED半导体晶片自动分选机是LED半导体晶片和半导体芯片生产线上的主要生产设备之一。LED半导体晶片分选机是根据分选机载入，并进行预扫描的硅圆片数据库文件，将硅圆片上的晶片(Wafer)，按用户要求进行等级分类(型号)，并将不同等级型号(性能)的晶片，分选到料片蓝膜或固晶到印刷电路板上的生产设备。直到目前，世界上只有美国、荷兰、日本等少数国家掌握此项技术并生产LED晶片分选机，国内虽然有不少企业一直在研制晶片分选机，但都没有真正技术过关。此项技术一直垄断在少数先进国家手中，所以，现在国内依然全部依赖进口，主要是进口荷兰(ASM)公司的晶片分选机。但这些进口设备的校准系统存在严重缺欠，校准机构不合理，校准操作繁琐困难，校准准确性不高，校准稳定性差，需要经常重新校准。
校准是确保分选机正常生产运行的关键条件，特别是近三年来，LED晶片在图像显示领域的飞速发展，迫切需求高精度、Mini LED高速晶片分选设备，就更加迫切需要解决分选机校准精准。
发明内容
本发明的目的在于提供用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，该校准系统结构简单，工作效率高并且调节方便，大大提高了LED半导体晶片分选的工作效率。
本发明为了实现上述目的，采用的技术解决方案是：
用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，包括分选机体、第一电机支座和硅圆片承载台，第一电机支座安装在分选机体上，第一电机支座的下方设置硅圆片承载台，第一电机支座内安装有直驱旋转电机，所述第一电机支座的前后两端分别安装有第一相机定位机构和第二相机定位机构，直驱旋转电机的下部穿过第一电机支座后连接有分选摆臂机构，硅圆片承载台下方的分选机体上设置有推顶器机构；
第一相机定位机构包括连接在第一电机支座上的第一相机固定支架，第一相机固定支架上定位卡接有第一镜头组件，第一镜头组件上端连有第一CCD相机组件，第一镜头组件的下端连有第一同轴光源组件；
分选摆臂机构包括旋转基座，旋转基座的两侧分别连有第一升降组件和第二升降组件，第一升降组件通过第一螺钉调节机构连接有第一摆臂组件，第二升降组件通过第二螺钉调节机构连接有第二摆臂组件；
第一摆臂组件的端部连接有第一分选吸嘴机构，第二摆臂组件的端部连有第二分选吸嘴机构，第一分选吸嘴机构位于第一相机定位机构的下方，第二分选吸嘴机构位于第二相机定位机构的下方；
所述推顶器机构包括顶针内调节组件和推顶器帽调节组件，顶针内调节组件上通过顶针X轴方向调节螺栓、顶针Y轴方向调节螺栓连接有顶针移动底座，顶针移动底座的两侧连接有推顶器锁紧螺栓；顶针移动底座上端通过顶推器驱动组件连接有推顶器顶针和推顶器帽，推顶器帽上安装有推顶器帽X轴方向调节螺钉和推顶器帽Y轴方向调节螺钉。
优选的，所述第一电机支座为Π形状的大理石板，第一电机支座的中部开设有第一支座安装孔；直驱旋转电机定位卡接在第一支座安装孔内并通过减震垫和螺栓固定；
所述直驱旋转电机的下部通过螺栓与旋转基座连接，旋转基座和直驱旋转电机中心孔内装配有电机电缆、光栅编码器电缆和气路气管，直驱旋转电机带动旋转基座旋转；旋转基座带动第一摆臂组件和第二摆臂组件旋转。
优选的，所述第一螺钉调节机构包括第一圆周方向调节锁紧螺钉组件和第一轴线方向调节锁紧螺钉组件；
第一摆臂组件通过第一圆周方向调节锁紧螺钉组件调整圆周方向的定位位置，第一摆臂组件通过第一轴线方向调节锁紧螺钉组件调整轴线方向的定位位置；
第一圆周方向调节锁紧螺钉组件包括第一圆周调节螺钉和第一圆轴锁紧螺钉；第一轴线方向调节锁紧螺钉组件包括第一轴线调节螺钉和第一轴线锁紧螺钉。
优选的，所述第二螺钉调节机构包括第二圆周方向调节锁紧螺钉组件和第二轴线方向调节锁紧螺钉组件；
第二摆臂组件通过第二圆周方向调节锁紧螺钉组件调整圆周方向的定位位置，第二摆臂组件通过第二轴线方向调节锁紧螺钉组件调整轴线方向的定位位置；
第二圆周方向调节锁紧螺钉组件包括第二圆周调节螺钉和第二圆轴锁紧螺钉；第二轴线方向调节锁紧螺钉组件包括第二轴线调节螺钉和第二轴线锁紧螺钉。
优选的，所述第一相机固定支架包括第一固定架和定位连接在第一固定架前端的第一相机连接架，第一固定架通过螺栓与第一电机支座连接；
第一相机连接架的前端配套有两个固定环结构，固定环结构为半圆金属环结构，固定环结构内侧设置有尼龙衬垫，固定环结构的固定点设置有方形金属挡片，固定环结构通过方形金属挡片内的螺钉将第一镜头组件固定在第一相机连接架上。
优选的，所述第一相机定位机构有两组，两组第一相机定位机构分别连接在第一电机支座的前端部和后端部上；所述第一镜头组件的中心、第一CCD相机组件的中心和第一同轴光源组件的中心位于同一中心轴线上。
优选的，所述分选机体包括分体机架和连接在分体机架上的大理石底座；所述顶针内调节组件呈L型块状，顶针内调节组件固定在大理石底座上端；
顶针X轴方向调节螺栓横向设置，顶针X轴方向调节螺栓与顶针内调节组件螺旋连接并且可带动顶针移动底座在X轴方向移动；
顶针Y轴方向调节螺栓纵向设置，顶针Y轴方向调节螺栓与顶针内调节组件螺旋连接并且可带动顶针移动底座在Y轴方向移动；
推顶器帽X轴方向调节螺钉横向设置，调节推顶器帽X轴方向上的移动；推顶器帽Y轴方向调节螺钉纵向设置，调节推顶器帽Y轴方向上的移动。
优选的，所述第一分选吸嘴机构包括第一吸嘴杆、安装在第一吸嘴杆下端的第一吸嘴和安装在第一吸嘴杆上端的第一吸嘴帽；
所述分选机体内设置有真空气压转换装置，第一吸嘴杆的侧端设置有第一气管，第一气管与真空气压转换装置内的第一气路出口组件连接，所述第一吸嘴帽螺旋连接在第一吸嘴杆上端，第一吸嘴帽的上端面内开设有第一透光圆孔，第一吸嘴杆的上端面上开设有第一透光阶梯孔，第一透光阶梯孔内设置有橡胶密封圈和透明镜片。
优选的，所述第二分选吸嘴机构包括第二吸嘴杆、安装在第二吸嘴杆下端的第二吸嘴和安装在第二吸嘴杆上端的第二吸嘴帽；第二吸嘴杆的侧端设置有第二气管，第二气管与真空气压转换装置内的第二气路出口组件连接；
所述第二吸嘴帽螺旋连接在第二吸嘴杆上端，第二吸嘴帽的上端面内开设有第二透光圆孔，第二吸嘴杆的上端面上开设有第二透光阶梯孔，第二透光阶梯孔内设置有橡胶密封圈和透明镜片。
本发明还提供一种LED晶片分选校准方法，该方法可提高晶片分选时的校准精度，并且调节方便。
本发明为了实现上述目的，采用的技术解决方案是：
一种LED晶片分选校准方法，采用上述新型校准系统，具体包括如下：
以第一CCD相机组件中的十字线中心为基准点，调节推顶器帽上的推顶器顶针对准第一CCD相机组件中的十字线中心，再调节两个分选吸嘴机构下端的吸嘴孔分别对准第一CCD相机组件的十字线中心；最后调节CCD相机组件的十字线中心对准硅圆片承载台上吸嘴孔的中心。
本发明的有益效果是：
本发明的用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，设置了新型的相机定位机构、分选摆臂机构、分选吸嘴机构和推顶器机构，整体结构更简单新颖，安装简单方便，相机定位机构、分选摆臂机构、分选吸嘴机构和推顶器机构的位置调节更方便，并通过半导体晶片分选机三点对准校准方法，实现了更高效稳定安全的分选控制。
本发明中的LED半导体晶片自动分选机三点对准校准，这三点为：硅圆片承载台上方的第一CCD相机组件十字线中心、分选吸嘴机构的孔中心和推顶器帽，是分选机准确分选，正确运行的关键条件。本发明的校准机构和校准方法，结构简单，灵活巧妙，容易操作，性能稳定。此发明创新，提高了分选机性能，方便简化生产操作。
附图说明
为了清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统整体结构位置示意图。
图2是第一相机定位机构整体结构示意图。
图3是分选摆臂机构整体结构示意图。
图4是推顶器机构整体结构示意图。
图5是顶针内调节组件和顶针移动底座连接结构俯视示意图。
图6是分选吸嘴机构整体结构示意图。
具体实施方式
本发明提供了用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法，为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
下面结合附图对本发明进行详细说明：
实施例1
结合图1至图6，用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，包括分选机体、第一电机支座和硅圆片承载台，第一电机支座安装在分选机体上，第一电机支座的下方设置硅圆片承载台，第一电机支座内安装有直驱旋转电机。所述第一电机支座的前后两端分别安装有第一相机定位机1构和第二相机定位机构，直驱旋转电机的下部穿过第一电机支座后连接有分选摆臂机构2，硅圆片承载台下方的分选机体上设置有推顶器机构3。
第一相机定位机构1包括连接在第一电机支座上的第一相机固定支架11，第一相机固定支架11上定位卡接有第一镜头组件12，第一镜头组件12上端连有第一CCD相机组件13，第一镜头组件13的下端连有第一同轴光源组件14；
分选摆臂机构2包括旋转基座，旋转基座21的两侧分别连有第一升降组件22和第二升降组件23，第一升降组件22通过第一螺钉调节机构4连接有第一摆臂组件24，第二升降组件24通过第二螺钉调节机构5连接有第二摆臂组件25。
第一摆臂组件24的端部连接有第一分选吸嘴机构6，第二摆臂组件25的端部连有第二分选吸嘴机构，第一分选吸嘴机构6位于第一相机定位机构的下方，第二分选吸嘴机构位于第二相机定位机构的下方；
所述推顶器机构3包括顶针内调节组件31和推顶器帽调节组件301，顶针内调节组件31上通过顶针X轴方向调节螺栓32、顶针Y轴方向调节螺栓33连接有顶针移动底座34，顶针移动底座34的两侧连接有推顶器锁紧螺栓35；顶针移动底座34上端通过顶推器驱动组件36连接有推顶器顶针38和推顶器帽37，推顶器帽37上安装有推顶器帽X轴方向调节螺钉和推顶器帽Y轴方向调节螺钉371。
第一电机支座为Π形状的大理石板，第一电机支座的中部开设有第一支座安装孔；直驱旋转电机定位卡接在第一支座安装孔内通过减震垫和螺栓固定；
所述直驱旋转电机的下部通过螺栓与旋转基座21连接，旋转基座和直驱旋转电机中心孔内装配有电机电缆、光栅编码器电缆和气路气管，直驱旋转电机可带动旋转基座21旋转；旋转基座21带动第一摆臂组件24和第二摆臂组件25旋转。
所述第一螺钉调节机构4包括第一圆周方向调节锁紧螺钉组件和第一轴线方向调节锁紧螺钉组件；
第一摆臂组件24通过第一圆周方向调节锁紧螺钉组件调整圆周方向的定位位置，第一摆臂组件24通过第一轴线方向调节锁紧螺钉组件调整轴线方向的定位位置。
第一圆周方向调节锁紧螺钉组件包括第一圆周调节螺钉41和第一圆轴锁紧螺钉42；第一轴线方向调节锁紧螺钉组件包括第一轴线调节螺钉43和第一轴线锁紧螺钉44。
第二螺钉调节机构5包括第二圆周方向调节锁紧螺钉组件和第二轴线方向调节锁紧螺钉组件。
第二摆臂组件25通过第二圆周方向调节锁紧螺钉组件调整圆周方向的定位位置，第二摆臂组件25通过第二轴线方向调节锁紧螺钉组件调整轴线方向的定位位置。第二圆周方向调节锁紧螺钉组件包括第二圆周调节螺钉51和第二圆轴锁紧螺钉52；第二轴线方向调节锁紧螺钉组件包括第二轴线调节螺钉和第二轴线锁紧螺钉53。
第一相机固定支架11包括第一固定架111和定位连接在第一固定架111前端的第一相机连接架112，第一固定架111通过螺栓与第一电机支座连接。第一相机连接架112的前端配套有两个固定环结构113，固定环结构113为半圆金属环结构，固定环结构113内侧设置有尼龙衬垫，固定环结构113的固定点设置有方形金属挡片114，固定环结构113通过方形金属挡片内的螺钉将第一镜头组件12固定在第一相机连接架112上。
第一相机定位机构1有两组，两组第一相机定位机构1分别连接在第一电机支座的前端部和后端部上；所述第一镜头组件12的中心、第一CCD相机组件13的中心和第一同轴光源组件14的中心位于同一中心轴线上。
相机固定支架11包括第一固定架111和定位连接在第一固定架111前端的第一相机连接架112，第一固定架111通过螺栓与第一电机支座连接。第一相机连接架112的前端配套有两个固定环结构113，固定环结构113为半圆金属环结构，固定环结构113内侧设置有尼龙衬垫，固定环结构113的固定点设置有方形金属挡片114，固定环结构113通过方形金属挡片内的螺钉将镜头组件12固定在第一相机连接架112上。
第一相机定位机构1有两组，两组第一相机定位机构1分别连接在第一电机支座的前端部和后端部上；所述镜头组件12的中心、CCD相机组件13的中心和同轴光源组件14的中心位于同一中心轴线上。
分选机体包括分体机架和连接在分体机架上的大理石底座；所述顶针内调节组件31呈L型块状，顶针内调节组件31固定在大理石底座的上端。顶针X轴方向调节螺栓32横向设置，顶针X轴方向调节螺栓32与顶针内调节组件31螺旋连接并且可带动顶针移动底壳34在X轴方向移动。
顶针Y轴方向调节螺栓33纵向设置，顶针Y轴方向调节螺栓33与顶针内调节组件31螺旋连接并且可带动顶针移动底壳34在Y轴方向移动。推顶器帽X轴方向调节螺钉横向设置，调节推顶器帽X轴方向上的移动；推顶器帽Y轴方向调节螺钉纵向设置，调节推顶器帽Y轴方向上的移动。
第一分选吸嘴机构6包括第一吸嘴杆61、安装在第一吸嘴杆61下端的第一吸嘴62和安装在第一吸嘴杆61上端的第一吸嘴帽63；所述分选机体内设置有真空气压转换装置，第一吸嘴杆61的侧端设置有第一气管，第一气管与真空气压转换装置内的第一气路出口组件连接。
所述第一吸嘴帽63螺旋连接在第一吸嘴杆61上端，第一吸嘴帽63的上端面内开设有第一透光圆孔64，第一吸嘴杆61的上端面上开设有第一透光阶梯孔65，第一透光阶梯孔65内设置有橡胶密封圈66和透明镜片67。
第二分选吸嘴机构包括第二吸嘴杆、安装在第二吸嘴杆下端的第二吸嘴和安装在第二吸嘴杆上端的第二吸嘴帽；第二吸嘴杆的侧端设置有第二气管，第二气管与真空气压转换装置内的第二气路出口组件连接。
所述第二吸嘴帽螺旋连接在第二吸嘴杆上端，第二吸嘴帽的上端面内开设有第二透光圆孔，第二吸嘴杆的上端面上开设有第二透光阶梯孔，第二透光阶梯孔内设置有橡胶密封圈和透明镜片。
实施例2
一种LED晶片分选校准方法，采用上述新型校准系统，具体包括如下：以CCD相机组件十字线中心为基准点，调节推顶器的推顶器帽4中的推顶器顶针5对准CCD相机组件的十字线中心，再调节推顶器帽中心孔的中心对准顶针，再调节两个分选吸嘴机构下端的吸嘴孔中心分别对准CCD相机组件的十字线中心；最后调节CCD相机组件的十字线中心对准硅圆片承载台上吸嘴孔的中心。
实施例3
本发明的LED半导体晶片自动分选机的推顶器机构结构中，推顶器顶针和推顶器帽的校准是：调节X轴方向的旋钮，推顶器机构沿x轴方向移动；调节Y轴方向的旋钮，推顶器机构沿Y轴方向移动。
通过旋钮的调节，带动顶针沿X、Y轴方向移动。使推顶器顶针的影像与硅圆片承载台上方的CCD相机十字中心对准，以此来校准了推顶器顶针。推顶器顶针校准之后，将推顶器顶针的锁紧旋钮拧紧，使推顶器顶针固定牢固。调节X轴方向的顶紧螺丝，推顶器帽沿X轴方向移动；调节Y轴方向的顶紧螺丝，推顶器帽沿Y轴方向移动；将推顶器帽中心孔的圆心对准顶针，以此完成了推顶器帽的校准。
本发明的LED半导体晶片自动分选机的分选摆臂机构中。摆臂和吸嘴校准是：调节螺栓，摆臂沿其轴线方向移动；调节顶紧螺钉，摆臂(吸嘴)沿以直驱旋转电机轴为中心的圆移动。待吸嘴孔中心对准CCD相机十字线中心后，拧紧固定摆臂轴线方向的拧紧螺钉，再拧紧摆臂旋转的固定螺钉，就完成了摆臂、吸嘴的校准操作。
本发明中的CCD相机结构中，相机的支架固定在第一电机支座的边缘上，其相机轴线在直驱旋转电机的Y轴线上，并且其轴线与推顶器帽的顶平面垂直。相机、镜头和同轴光源固定为整体，相机镜头固定在相机支架上，相机镜头有两个固定金属环，金属环内侧有尼龙软垫，金属环固定端有金属夹紧片，确保相机固定牢靠。
本发明中的大理石底座为110厚度的大理石底座，第一电机支座固定在大理石底座上，CCD相机支架固定在第一电机支座上，大大减小了相机的微颤动，校准后的位置变化很微小。
综上所述，只要摆臂和两个吸嘴分别在硅圆片承载台上方校准后，确保两个吸嘴的孔中心与直驱旋转电机轴中心，三点在一条直线上，并且两个吸嘴孔中心距电机轴中心距离相等。这样，直驱旋转电机旋转180°时，会落在硅圆片承载台的同一点上，此时调节硅圆片承载台的CCD相机固定支架，使其相机十字线中心与吸嘴孔中心对准，就会很容易完成硅圆片承载台的校准操作。
本发明中的LED半导体晶片自动分选机三点(硅圆片承载台上方的CCD相机组件十字线中心、分选吸嘴机构的孔中心和推顶器顶针)对准校准，是分选机准确分选，正确运行的关键条件。本发明的校准机构和校准方法，结构简单，灵活巧妙，容易操作，性能稳定。此发明创新，提高了分选机性能，方便简化生产操作。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
本发明中未述及的部分采用或借鉴已有技术即可实现。
当然，上述说明并非是对本发明的限制，本发明也并不仅限于上述举例，本技术领域的技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也应属于本发明的保护范围。

Claims (9)

1.用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，包括分选机体、第一电机支座和硅圆片承载台，第一电机支座安装在分选机体上，第一电机支座的下方设置硅圆片承载台，第一电机支座内安装有直驱旋转电机，其特征在于，所述第一电机支座的前后两端分别安装有第一相机定位机构和第二相机定位机构，直驱旋转电机的下部穿过第一电机支座后连接有分选摆臂机构，硅圆片承载台下方的分选机体上设置有推顶器机构；
第一相机定位机构包括连接在第一电机支座上的第一相机固定支架，第一相机固定支架上定位卡接有第一镜头组件，第一镜头组件上端连有第一CCD相机组件，第一镜头组件的下端连有第一同轴光源组件；
分选摆臂机构包括旋转基座，旋转基座的两侧分别连有第一升降组件和第二升降组件，第一升降组件通过第一螺钉调节机构连接有第一摆臂组件，第二升降组件通过第二螺钉调节机构连接有第二摆臂组件；
第一摆臂组件的端部连接有第一分选吸嘴机构，第二摆臂组件的端部连有第二分选吸嘴机构，第一分选吸嘴机构位于第一相机定位机构的下方，第二分选吸嘴机构位于第二相机定位机构的下方；
所述推顶器机构包括顶针内调节组件和推顶器帽调节组件，顶针内调节组件上通过顶针X轴方向调节螺栓、顶针Y轴方向调节螺栓连接有顶针移动底座，顶针移动底座的两侧连接有推顶器锁紧螺栓；顶针移动底座上端通过顶推器驱动组件连接有推顶器顶针和推顶器帽，推顶器帽上安装有推顶器帽X轴方向调节螺钉和推顶器帽Y轴方向调节螺钉；
所述第一螺钉调节机构包括第一圆周方向调节锁紧螺钉组件和第一轴线方向调节锁紧螺钉组件；
第一摆臂组件通过第一圆周方向调节锁紧螺钉组件调整圆周方向的定位位置，第一摆臂组件通过第一轴线方向调节锁紧螺钉组件调整轴线方向的定位位置；
第一圆周方向调节锁紧螺钉组件包括第一圆周调节螺钉和第一圆轴锁紧螺钉；第一轴线方向调节锁紧螺钉组件包括第一轴线调节螺钉和第一轴线锁紧螺钉。
2.根据权利要求1所述的用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，其特征在于，所述第一电机支座为Π形状的大理石板，第一电机支座的中部开设有第一支座安装孔；直驱旋转电机定位卡接在第一支座安装孔内并通过减震垫和螺栓固定；
所述直驱旋转电机的下部通过螺栓与旋转基座连接，旋转基座和直驱旋转电机中心孔内装配有电机电缆、光栅编码器电缆和气路气管，直驱旋转电机带动旋转基座旋转；旋转基座带动第一摆臂组件和第二摆臂组件旋转。
3.根据权利要求1所述的用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，其特征在于，所述第二螺钉调节机构包括第二圆周方向调节锁紧螺钉组件和第二轴线方向调节锁紧螺钉组件；
第二摆臂组件通过第二圆周方向调节锁紧螺钉组件调整圆周方向的定位位置，第二摆臂组件通过第二轴线方向调节锁紧螺钉组件调整轴线方向的定位位置；
第二圆周方向调节锁紧螺钉组件包括第二圆周调节螺钉和第二圆轴锁紧螺钉；第二轴线方向调节锁紧螺钉组件包括第二轴线调节螺钉和第二轴线锁紧螺钉。
4.根据权利要求1所述的用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，其特征在于，所述第一相机固定支架包括第一固定架和定位连接在第一固定架前端的第一相机连接架，第一固定架通过螺栓与第一电机支座连接；
第一相机连接架的前端配套有两个固定环结构，固定环结构为半圆金属环结构，固定环结构内侧设置有尼龙衬垫，固定环结构的固定点设置有方形金属挡片，固定环结构通过方形金属挡片内的螺钉将第一镜头组件固定在第一相机连接架上。
5.根据权利要求4所述的用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，其特征在于，所述第一相机定位机构有两组，两组第一相机定位机构分别连接在第一电机支座的前端部和后端部上；所述第一镜头组件的中心、第一CCD相机组件的中心和第一同轴光源组件的中心位于同一中心轴线上。
6.根据权利要求1所述的用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，其特征在于，所述分选机体包括分体机架和连接在分体机架上的大理石底座；所述顶针内调节组件呈L型块状，顶针内调节组件固定在大理石底座上端；
顶针X轴方向调节螺栓横向设置，顶针X轴方向调节螺栓与顶针内调节组件螺旋连接并且可带动顶针移动底座在X轴方向移动；
顶针Y轴方向调节螺栓纵向设置，顶针Y轴方向调节螺栓与顶针内调节组件螺旋连接并且可带动顶针移动底座在Y轴方向移动；
推顶器帽X轴方向调节螺钉横向设置，调节推顶器帽X轴方向上的移动；推顶器帽Y轴方向调节螺钉纵向设置，调节推顶器帽Y轴方向上的移动。
7.根据权利要求1所述的用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，其特征在于，所述第一分选吸嘴机构包括第一吸嘴杆、安装在第一吸嘴杆下端的第一吸嘴和安装在第一吸嘴杆上端的第一吸嘴帽；
所述分选机体内设置有真空气压转换装置，第一吸嘴杆的侧端设置有第一气管，第一气管与真空气压转换装置内的第一气路出口组件连接，所述第一吸嘴帽螺旋连接在第一吸嘴杆上端，第一吸嘴帽的上端面内开设有第一透光圆孔，第一吸嘴杆的上端面上开设有第一透光阶梯孔，第一透光阶梯孔内设置有橡胶密封圈和透明镜片。
8.根据权利要求7所述的用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，其特征在于，所述第二分选吸嘴机构包括第二吸嘴杆、安装在第二吸嘴杆下端的第二吸嘴和安装在第二吸嘴杆上端的第二吸嘴帽；第二吸嘴杆的侧端设置有第二气管，第二气管与真空气压转换装置内的第二气路出口组件连接；
所述第二吸嘴帽螺旋连接在第二吸嘴杆上端，第二吸嘴帽的上端面内开设有第二透光圆孔，第二吸嘴杆的上端面上开设有第二透光阶梯孔，第二透光阶梯孔内设置有橡胶密封圈和透明镜片。
9.一种LED晶片分选校准方法，其特征在于，采用权利要求1至8中任意一项所述的新型校准系统，具体包括如下：
以第一CCD相机组件中的十字线中心为基准点，调节推顶器帽上的推顶器顶针对准第一CCD相机组件中的十字线中心，再调节两个分选吸嘴机构下端的吸嘴孔分别对准第一CCD相机组件的十字线中心；最后调节CCD相机组件的十字线中心对准硅圆片承载台上吸嘴孔的中心。
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