CN218351435U - 一种顶针旋转校正装置及固晶机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种顶针旋转校正装置，包括旋转机构、驱动机构、顶针，所述驱动机构与所述旋转机构相连，所述驱动机构用于驱动所述旋转机构进行旋转，所述顶针安装在所述旋转机构上。本实用新型的有益效果是：1.采用本实用新型的顶针旋转校正装置不仅封装制程稳定，而且大大提高了生产效率；2.本实用新型的顶针旋转校正装置通过高精度旋转顶针安装固定座，来达到顶针与原材料IC、晶片同心，确保了每次吸取时精度的一致性。
Description
技术领域
本实用新型涉及固晶机领域，尤其涉及一种顶针旋转校正装置及固晶机。
背景技术
在固晶技术领域，如图6所示，多个晶圆布置在蓝膜上，蓝膜安装在晶圆环3上，晶圆环3安装在晶圆运动台上，晶圆运动台包括Y工作台4 和X工作台5，在取晶环节中，相机1、晶圆和顶针6要在一条线上，有的还要求角度一样，并通过吸嘴2吸取晶圆。因为要求角度一样，而一张蓝膜上的晶圆做不到每颗晶圆的角度都一样，所以，大多是将晶圆环3进行旋转，从而调整晶圆的角度，但是8寸及12寸晶圆太大，在晶圆运动台上增加一个旋转机构太重。
而且，现有技术中旋转晶圆环3的方式还存在如下的缺点：耗时，且精度不稳定。因现有工艺中由于原材料面积大且每个位置的差异，导致在生产过程中晶圆环3要频繁旋转校正，晶圆运行台也要跟随着较大的平移校正，这样效率就大大降低，且不稳定。
实用新型内容
本实用新型提供了一种顶针旋转校正装置，包括旋转机构、驱动机构、顶针，所述驱动机构与所述旋转机构相连，所述驱动机构用于驱动所述旋转机构进行旋转，所述顶针安装在所述旋转机构上。
作为本实用新型的进一步改进，该顶针旋转校正装置还包括顶针安装固定座，所述顶针安装在所述顶针安装固定座上，所述顶针安装固定座安装在所述旋转机构上。
作为本实用新型的进一步改进，所述旋转机构包括轴承、同步带、同步轮，所述轴承上安装有所述同步轮，所述同步带一端安装在所述同步轮上，所述同步带另一端与所述驱动机构相连，所述同步轮上安装有所述顶针安装固定座，所述驱动机构驱动所述同步带转动时会带动所述同步轮转动，所述同步轮转动时带动所述顶针安装固定座旋转。
作为本实用新型的进一步改进，所述驱动机构为电机。
作为本实用新型的进一步改进，该顶针旋转校正装置还包括固定座、固定板，所述电机安装在所述固定座上，所述固定座安装在所述固定板上，所述固定板设有缺口，所述同步轮安装在所述缺口位置。
作为本实用新型的进一步改进，所述轴承为高精度交叉圆柱轴承，所述同步带为高精度刚性同步带,所述同步轮为高精度同步轮。
作为本实用新型的进一步改进，所述电机为高精度闭环步进电机。
作为本实用新型的进一步改进，所述高精度交叉圆柱轴承为IKO CRBFV 2012ATUU轴承，所述高精度刚性同步带为盖茨聚氨酯同步带。
作为本实用新型的进一步改进，所述高精度闭环步进电机为兴丰元42 闭环步进FY42EC200BC1。
本实用新型还公开了一种固晶机，该固晶机包括平移工作台、以及本实用新型所述的顶针旋转校正装置，所述顶针旋转校正装置安装在所述平移工作台上。
本实用新型的有益效果是：1.采用本实用新型的顶针旋转校正装置不仅封装制程稳定，而且大大提高了生产效率；2.本实用新型的顶针旋转校正装置通过高精度旋转顶针安装固定座，来达到顶针与原材料IC、晶片同心，确保了每次吸取时精度的一致性。
附图说明
图1是顶针旋转校正装置轴视图；
图2是顶针旋转校正装置侧视图；
图3是顶针旋转校正装置旋转机构结构图；
图4是顶针旋转校正装置未装顶针安装固定座的结构图；
图5是顶针旋转校正装置俯视图；
图6是背景技术的原理示意图。
具体实施方式
如图1-5所示，本实用新型公开了一种顶针旋转校正装置，包括旋转机构、驱动机构，所述旋转机构包括轴承1、同步带2、同步轮3，所述轴承1上安装有所述同步轮3，所述同步带2一端安装在所述同步轮3上，所述同步带2另一端与所述驱动机构与相连。
该顶针旋转校正装置还包括顶针安装固定座7，所述同步轮3上安装有所述顶针安装固定座7，所述驱动机构驱动所述同步带2转动时会带动所述同步轮3转动，所述同步轮3转动时带动所述顶针安装固定座7旋转。顶针安装固定座7用于安装顶针，以及确保方便更换顶针及精度的一致性。
所述驱动机构为电机4，所述电机4为高精度闭环步进电机。
该顶针旋转校正装置还包括固定座5，所述电机4安装在所述固定座5 上。
该顶针旋转校正装置还包括固定板6，所述固定板6一侧设有缺口，所述同步轮3安装在所述缺口位，所述固定板6另一侧安装有固定座5，固定座5用于固定电机4.
所述轴承1为高精度交叉圆柱轴承，所述同步带2为高精度刚性同步带,所述同步轮3为高精度同步轮3。
本实用新型主是主要是通过高精度旋转顶针安装固定座7，来达到顶针与原材料IC、晶片同心，来确保每次吸取时精度的一致性。
所述高精度交叉圆柱轴承为IKO CRBFV 2012AT UU轴承，或与这种轴承精度及原理相同的其他品牌。
所述高精度刚性同步带为盖茨聚氨酯同步带，或与这种皮带精度相同的其他品牌。
所述高精度闭环步进电机为兴丰元42闭环步进FY42EC200BC1，或与这种马达精度及原理相同的其他品牌。
本实用新型还公开了一种固晶机，该固晶机包括平移工作台、以及本实用新型所述的顶针旋转校正装置，顶针旋转校正装置安装在平移工作台上，通过平移工作台使顶针旋转校正装置进行高精度和高效位置平移，优选为，将固定板6安装在平移工作台上。
本实用新型的有益效果：1.采用本实用新型的顶针旋转校正装置不仅封装制程稳定，而且大大提高了生产效率；2.本实用新型的顶针旋转校正装置通过高精度旋转顶针安装固定座7，来达到顶针与原材料IC、晶片同心，确保了每次吸取时精度的一致性。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.一种顶针旋转校正装置，其特征在于：包括旋转机构、驱动机构、顶针，所述驱动机构与所述旋转机构相连，所述驱动机构用于驱动所述旋转机构进行旋转，所述顶针安装在所述旋转机构上。
2.根据权利要求1所述的顶针旋转校正装置，其特征在于：该顶针旋转校正装置还包括顶针安装固定座(7)，所述顶针安装在所述顶针安装固定座(7)上，所述顶针安装固定座(7)安装在所述旋转机构上。
3.根据权利要求2所述的顶针旋转校正装置，其特征在于：所述旋转机构包括轴承(1)、同步带(2)、同步轮(3)，所述轴承(1)上安装有所述同步轮(3)，所述同步带(2)一端安装在所述同步轮(3)上，所述同步带(2)另一端与所述驱动机构相连，所述同步轮(3)上安装有所述顶针安装固定座(7)，所述驱动机构驱动所述同步带(2)转动时会带动所述同步轮(3)转动，所述同步轮(3)转动时带动所述顶针安装固定座(7)旋转。
4.根据权利要求3所述的顶针旋转校正装置，其特征在于：所述驱动机构为电机(4)。
5.根据权利要求4所述的顶针旋转校正装置，其特征在于：该顶针旋转校正装置还包括固定座(5)、固定板(6)，所述电机(4)安装在所述固定座(5)上，所述固定座(5)安装在所述固定板(6)上，所述固定板(6)设有缺口，所述同步轮(3)安装在所述缺口位置。
6.根据权利要求3所述的顶针旋转校正装置，其特征在于：所述轴承(1)为高精度交叉圆柱轴承，所述同步带(2)为高精度刚性同步带,所述同步轮(3)为高精度同步轮。
7.根据权利要求4所述的顶针旋转校正装置，其特征在于：所述电机(4)为高精度闭环步进电机。
8.根据权利要求6所述的顶针旋转校正装置，其特征在于：所述高精度交叉圆柱轴承为IKO CRBFV 2012AT UU轴承，所述高精度刚性同步带为盖茨聚氨酯同步带。
9.一种固晶机，其特征在于：该固晶机包括平移工作台、以及权利要求1-8任一项所述的顶针旋转校正装置，所述顶针旋转校正装置安装在所述平移工作台上。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202221967278.2U CN218351435U (zh) | 2022-07-28 | 2022-07-28 | 一种顶针旋转校正装置及固晶机 |
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Publications (1)
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| CN218351435U true CN218351435U (zh) | 2023-01-20 |
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Family Applications (1)
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| CN202221967278.2U Active CN218351435U (zh) | 2022-07-28 | 2022-07-28 | 一种顶针旋转校正装置及固晶机 |
Country Status (1)
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|---|---|
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2022
- 2022-07-28 CN CN202221967278.2U patent/CN218351435U/zh active Active
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