CN111439572A - 一种音圈电机双摆臂取放结构 - Google Patents

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刘卫
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
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    • B65G47/904—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with rotary movements only

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Abstract

一种音圈电机双摆臂取放结构，涉及半导体自动化设备领域，它由两个摆臂机构、工作平台、主轴旋转伺服电机、音圈电机组成；摆臂机构设置在工作平台的下方,主轴旋转伺服电机居中设置在工作平台的上方，音圈电机固定在工作平台上；摆臂机构由摆臂、吸嘴、交叉导轨工件、滚珠轴承、半圆弧压片；摆臂安装在交叉导轨工件上，吸嘴安装在摆臂的前端与摆臂套接，交叉导轨工件设置在工作平台的下方，滚珠轴承安装在交叉导轨工件的左侧上。本发明有益效果为:两条摆臂和两组上下运动机构交替运动，在吸取芯片的同时完成固晶动作，使产能效率达到接近于翻倍的效果，同时具有压力可控可调功能，保护芯片不被压伤，保持很好的产品良率。

Description

一种音圈电机双摆臂取放结构
技术领域
本发明涉及半导体自动一体化设备领域，具体涉及一种音圈电机双摆臂取放结构。
背景技术
随着科技的迅速发展以及半导体材料不断的新生，信息技术产业日益飞黄，半导体自动一体化设备孕育而生，设备不仅减少了劳动成本，提高资源的利用，也极大提高了生产效率。设备在日常使用中能够给人们提供方便，但是，仍具有以下不足：传统的半导体自动一体化设备由一条摆臂和一组上下运动Z轴机构组成，吸取一颗芯片,固晶完成以后，才能取下一颗芯片，产能效率低。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术中产能效率低的问题，提供一种音圈电机双摆臂取放结构。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案是：它由两个摆臂机构1、工作平台2、主轴旋转伺服电机3、音圈电机4组成；摆臂机构1设置在工作平台2的下方,主轴旋转伺服电机3居中设置在工作平台2的上方，音圈电机4固定在工作平台2上；摆臂机构1由摆臂11、吸嘴12、交叉导轨工件13、滚珠轴承14、半圆弧压片15组成；摆臂11安装在交叉导轨工件13上，吸嘴12安装在摆臂11的前端与摆臂11套接，交叉导轨工件13设置在工作平台2的下方，滚珠轴承14安装在交叉导轨工件13的左侧上，半圆弧压片15压在滚珠轴承14上，摆臂11上还设有多个孔槽110，交叉导轨工件13上设有调节旋钮130。
所述摆臂机构1以主轴旋转电机3为轴线对称分布在工作平台2的下方两侧。
所述孔槽110大小相等、排列均匀的设置在摆臂11上且孔槽110与调节旋钮130尺寸大小对应配合。起到固定和调节作用，可根据实际情况需求，调节摆臂的长度，同时也能使交叉导轨工件压力可控可调，固定摆臂位置，使摆臂在工作过程无法移位，增强设备稳定性，可以很好的保护芯片不被压伤，保持很好的产品良率。
所述交叉导轨工件13左侧设置有滚珠轴承14，半圆弧压片15压在滚珠轴承14上。
所述半圆弧压片15侧面用弹簧17拉住。固定半圆弧压片，通过音圈电机带动半圆弧压片上下运动，从而实现交叉导轨的上下运动，来完成摆臂Z轴上下的动作。
所述工作平台2的下方设有归位原点感应器16。在完成一次吸芯固晶动作后，摆臂机构回归起始位置时，音圈半圆弧挡板触碰归位原点感应器，此时旋转伺服电机旋转180°。
本发明的工作原理：工作平台上方主轴旋转伺服电机带动下方摆臂机构旋转运动180°，使得工作平台下方摆臂机构交替完成吸取芯片和固晶的动作，即摆臂1吸嘴吸取芯片的同时，摆臂2完成固晶动作，完成一次动作摆臂机构回归起始位置触碰归位原点感应器，此时旋转伺服电机旋转180°，转变成摆臂2吸取芯片的同时，摆臂1完成固晶动作，如此交替运动，缩短时间，大大提高了产能效率。
采用上述技术方案后，本发明有益效果为：由两条摆臂和两组上下运动Z轴机构组成，在吸取芯片的同时完成固晶动作，使产能效率达到接近于翻倍的效果,且音圈电机体积小，运动速度快，加减速响应时间短，同时具有压力可控可调功能，可以很好的保护芯片不被压伤，保持很好的产品良率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的主视图。
附图标记说明：摆臂机构1、工作平台2、主轴旋转伺服电机3、音圈电机4、摆臂11、吸嘴12、交叉导轨工件13、滚珠轴承14、半圆弧压片15、归位原点感应器16、弹簧17、调节按钮130、孔槽110。
具体实施方式
参看图1-2所示，本发明具体实施方式采用的技术方案是：它由两个摆臂机构1、工作平台2、主轴旋转伺服电机3、音圈电机4组成；摆臂机构1设置在工作平台2的下方,主轴旋转伺服电机3居中设置在工作平台2的上方，音圈电机4固定在工作平台2上；摆臂机构1由摆臂11、吸嘴12、交叉导轨工件13、滚珠轴承14、半圆弧压片15组成；摆臂11安装在交叉导轨工件13上，吸嘴12安装在摆臂11的前端与摆臂11套接，交叉导轨工件13设置在工作平台2的下方，滚珠轴承14安装在交叉导轨工件13的左侧上，半圆弧压片15压在滚珠轴承14上，摆臂11上还设有多个孔槽110，交叉导轨工件13上设有调节旋钮130。
所述摆臂机构1以主轴旋转电机3为轴线对称分布在工作平台2的下方两侧。
所述孔槽110大小相等、排列均匀的设置在摆臂11上且孔槽110与调节旋钮130尺寸大小对应配合。起到固定和调节作用，可根据实际情况需求，调节摆臂的长度，同时也能使交叉导轨工件压力可控可调，固定摆臂位置，使摆臂在工作过程无法移位，增强设备稳定性，可以很好的保护芯片不被压伤，保持很好的产品良率。
所述交叉导轨工件13左侧设置有滚珠轴承14，半圆弧压片15压在滚珠轴承14上。
所述半圆弧压片15侧面用弹簧17拉住。固定半圆弧压片，通过音圈电机带动半圆弧压片上下运动，从而实现交叉导轨的上下运动，来完成摆臂Z轴上下的动作。
所述所述工作平台2的下方设有归位原点感应器16。的上方设有归位原点感应器16。在完成一次吸芯固晶动作后，摆臂机构回归起始位置触碰归位原点感应器，此时旋转伺服电机旋转180°。
本发明的工作原理：工作平台上方主轴旋转伺服电机带动下方摆臂机构旋转运动180°，使得工作平台下方摆臂机构交替完成吸取芯片和固晶的动作，即摆臂1吸嘴吸取芯片的同时，摆臂2完成固晶动作，完成一次动作摆臂机构回归起始位置触碰归位原点感应器，此时旋转伺服电机旋转180°，转变成摆臂2吸取芯片的同时，摆臂1完成固晶动作，如此交替运动，缩短时间，大大提高了产能效率。
以上所述，仅用以说明本发明的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本发明的技术方案所做的其它修改或者等同替换，只要不脱离本发明技术方案的精神和范围，均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (6)

1.一种音圈电机双摆臂取放结构，其特征在于：它由两个摆臂机构(1)、工作平台(2)、主轴旋转伺服电机(3)、音圈电机(4)组成；摆臂机构(1)设置在工作平台(2)的下方,主轴旋转伺服电机(3)居中设置在工作平台(2)的上方，音圈电机4固定在工作平台2上；摆臂机构(1)由摆臂(11)、吸嘴(12)、交叉导轨工件(13)、滚珠轴承(14)、半圆弧压片(15)组成；交叉导轨工件(13)设置在工作平台(2)的下方，摆臂(11)安装在交叉导轨工件(13)上，吸嘴(12)安装在摆臂(11)的前端与摆臂(11)套接，交叉导轨工件13设置在工作平台2的下方，滚珠轴承(14)安装在交叉导轨工件(12)上，半圆弧压片(15)压在滚珠轴承(14)上，交叉导轨工件13上设有调节旋钮130。
2.根据权利要求1所述的一种音圈电机双摆臂取放结构，其特征在于：所述摆臂机构(1)以主轴旋转电机(3)为轴线对称分布在工作平台(2)的下方两侧。
3.根据权利要求1所述的一种音圈电机双摆臂取放结构，其特征在于：所述摆臂11上设有多个大小相等、排列均匀的孔槽110，且孔槽110与调节旋钮130尺寸大小对应配合。
4.根据权利要求1所述的一种音圈电机双摆臂取放结构，其特征在于：所述交叉导轨工件(13)左侧设置有滚珠轴承(14)，半圆压片(15)压在滚珠轴承(14)上。
5.根据权利要求1所述的一种音圈电机双摆臂取放结构，其特征在于：所述半圆弧压片(15)侧面用弹簧(17)连接。
6.根据权利要求1所述的一种音圈电机双摆臂取放结构，其特征在于：所述所述工作平台(2)的下方设有归位原点感应器(16)。
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