CN112689883A - 保持件及带电粒子束装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供可高精度地得到成为观察对象的试样的亮视场像或暗视场像的保持件。保持件(HL)具有上部件(HLt)、侧部件(HLs)以及底部件(HLb)。上部件(HLt)具有用于使带电粒子束穿过的孔(TH1)，而且能够在孔(TH1)内搭载试样。底部件(HLb)设置成与上部件(HLt)在俯视下重叠。侧部件(HLs)以使上部件(HLt)及底部件(HLb)在剖视下互相分离的方式连接于上部件(HLt)的一部分及底部件(HLb)的一部分。开口部(OP)是被上部件(HLt)、侧部件(HLs)以及底部件(HLb)包围的区域，在开口部(OP)内设有闪烁体(SC1)。

Description

保持件及带电粒子束装置

技术领域

本发明涉及保持件及带电粒子束装置，尤其是能够适用于使用保持件进行光的检测时。

背景技术

为了在试样上扫描电子束从试样得到期望的透射电子像，例如使用扫描透射型电子显微镜(STEM：Scanning Transmission Electron Microscope)或扫描型电子显微镜(SEM：Scanning Electron Microscope)等带电粒子束装置。在扫描型电子显微镜中，即使是几十kV这样的较低的加速电压，也能够得到极高的对比度且高的分辨率的透射电子像。

例如，图21示出了现有技术的带电粒子束装置。如图21所示，在设于带电粒子束装置内的保持件HL的网状体MS上搭载有试样SAM，在试样SAM的下方，在保持件HL设有反射板RF。在此，向试样SAM照射带电粒子束EB1，使透射到试样SAM的下方的透射电子EB4在倾斜的反射板RF反射。然后，反射的二次电子EB5由称为埃弗哈特-索恩利(Everhart Thornley)检测器的检测器ETD检测。

另外，在专利文献1中公开了以下的技术：向试样照射电子束，使透射到试样的下方的透射电子与倾斜的闪烁体碰撞，从而使从闪烁体放出的光沿水平方向的通过孔通过，射入设于通过孔的出口的光电倍增管。

另外，在专利文献2中公开了如下技术，即在控制为1Pa～3000Pa左右的低真空的腔室内产生基于气体闪烁的发光现象，检测具有图像信息的激发光，并且公开了可检测上述激发光的检测器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008－66057号公报

专利文献2：日本特开2013－225530号公报

发明内容

发明所要解决的课题

图21所示的现有技术的情况下，由检测器ETD检测的电子不仅在反射板RF反射的二次电子EB5，还包括从试样SAM的表面放出的二次电子EB6。因此，难以基于由检测器ETD检测到的二次电子EB5作成准确的透射电子像。特别是，就图21的技术而言，在试样SAM较厚的情况下，二次电子EB6的量增加，有可能透射电子像的对比度大幅改变。由于这一点，在图21的技术中也难以作成准确的透射电子像。

另外，为了不使多余的透射电子与反射板RF碰撞，需要在试样SAM的正下方设置限制散射角的散射角光栅ASA3。因此，难以仅取得较小的散射角(例如75mrad以下)的透射电子像。与此相对，也考虑缩小散射角光栅ASA3，但该情况下，试样SAM上的可观察的区域变得与散射角光栅ASA3的孔的口径大致相同，因此能够观察的范围变得非常小。

另外，通常，检测器ETD具备闪烁体及光电倍增管。从透射电子EB4转换来的二次电子EB5通过检测器ETD转换成光，被光电倍增管放大，并置换成电信号。此时，信号转换的过程按照透射电子EB4、二次电子EB5、光以及电信号的顺序进行，因此信号转换时的损失增多，存在收获量降低的问题。

另外，专利文献1中，为了检测透射电子，需要在保持件的侧方新安装高精度的检测器。这意味着需要重新构筑新的带电粒子束装置的构造及系统，需要大量的成本。

作为本申请的目的之一，可以列举提供一种提高带电粒子束装置的性能且高精度地得到作为观察对象的试样的亮视场像或暗视场像的带电粒子束装置。另外，可以列举提供一种用于这样的带电粒子束装置的保持件。

其它的课题和新的特征根据本说明书的记载及附图将明了。

用于解决课题的方案

若简单地说明本申请公开的实施方式中的代表性的方式的概要，则如下。

一实施方式的保持件具有：上部件，其具有用于使带电粒子束穿过的第一孔，且在上述第一孔内能够搭载试样；底部件，其设置成与上述上部件在俯视下重叠；以及侧部件，其以使上部件及底部件在剖视下互相分离的方式连接于上部件的一部分及底部件的一部分。另外，保持件具有：开口部，其是被上部件、侧部件以及底部件包围的区域；以及第一闪烁体，其设于开口部内。

另外，一实施方式的带电粒子束装置具有：腔室；带电粒子光学镜框，其安装于腔室的上部，且能够放出带电粒子束；载物台，其安装于腔室的下部；保持件，其设于载物台上；以及第一检测器，其以从保持件分离的方式位于保持件的上方，且安装于腔室的上部。在此，保持件包括：上部件，其具有第一孔，且在上述第一孔内能够搭载试样；底部件，其设置成与上部件在俯视下重叠；以及侧部件，其以使上部件及底部件在剖视下互相分离的方式连接于上部件的一部分及底部件的一部分。另外，保持件包括：开口部，其是被上部件、侧部件以及底部件包围的区域；以及第一闪烁体，其设于开口部内。另外，第一光检测器具备能够检测出第一光的功能，在试样搭载于上述上部件，且从带电粒子光学镜框放出的带电粒子束在上述第一孔内照射试样且透射试样的透射带电粒子与第一闪烁体碰撞的情况下，上述第一光检测器能够检测出从第一闪烁体放出且从开口部射出的上述第一光。

发明的效果

根据本申请公开的实施方式，能够提供可高精度地得到作为观察对象的试样的亮视场像或暗视场像这样的保持件。另外，通过使用上述保持件，能够提高带电粒子束装置的性能。

附图说明

图1是实施方式1的保持件的立体图。

图2是实施方式1的带电粒子束装置的剖视图。

图3是变形例1的带电粒子束装置的剖视图。

图4是实施方式2的光学部件的立体图。

图5是具备实施方式2的光学部件的保持件的立体图。

图6是实施方式2的带电粒子束装置的剖视图。

图7是实施方式3的带电粒子束装置的剖视图。

图8是实施方式4的光学部件的立体图。

图9是实施方式4的光学部件的立体图。

图10是具备实施方式4的光学部件的保持件的立体图。

图11是具备实施方式4的光学部件的保持件的俯视图。

图12是具备实施方式4的光学部件的保持件的剖视图。

图13是实施方式4的带电粒子束装置的剖视图。

图14是实施方式4的带电粒子束装置的剖视图。

图15是实施方式5的带电粒子束装置的剖视图。

图16是实施方式6的带电粒子束装置的剖视图。

图17是实施方式7的光学部件的立体图。

图18是实施方式7的光学部件的立体图。

图19是具备实施方式7的光学部件的保持件的立体图。

图20是具备实施方式7的光学部件的保持件的剖视图。

图21是现有技术的带电粒子束装置的简易的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式详细地进行说明。此外，在用于说明实施方式的全部图中，对具有同一功能的部件标注同一符号，省略其反复的说明。另外，在以下的实施方式中，除非特别需要，原则上不反复进行同一或同样的部分的说明。

(实施方式1)

以下，使用图1及图2对实施方式1的保持件HL、及具有保持件HL的带电粒子束装置100进行说明。带电粒子束装置100例如为扫描型电子显微镜(SEM)。图1是表示保持件HL的外观的立体图，图2是表示带电粒子束装置100的剖视图，还示出了保持件HL的详细的截面构造。

如图1所示，实施方式1中的保持件HL包括上部件HLt、侧部件HLs以及底部件HLb。底部件HLb设置为与上部件HLt在俯视下重叠，侧部件HLs以使上部件HLt及底部件HLb在剖视下互相分离的方式连接于上部件HLt的一部分及底部件HLb的一部分。另外，在上部件HLt的中央附近以贯通上部件HLt的方式设有用于使图2所示的带电粒子束EB1通过的孔TH1。

开口部OP是被上部件HLt、侧部件HLs以及底部件HLb包围的区域。在开口部OP内设有散射角光栅ASA1及闪烁体SC1。散射角光栅ASA1局部地覆盖闪烁体SC1的表面，以仅使具有特定的散射角的透射带电粒子与闪烁体SC1碰撞。实施方式1中，示例了散射角光栅ASA1及闪烁体SC1设于底部件HLb上的情况。

保持件HL的平面形状是圆形或椭圆形，在侧部件HLs连接于上部件HLt及底部件HLb的部位，在上部件HLt及底部件HLb各自的内壁设有切口NC1。因此，在开口部OP内，上部件HLt及底部件HLb各自的内壁的平面形状为在圆形或椭圆形的一部分设有切口NC1的形状。

另外，构成保持件HL的各部件(上部件HLt、侧部件HLs以及底部件HLb)的材料为铝等金属、或不锈钢等合金。另外，构成保持件HL的这些材料具备不会使光及X射线透射的功能。另外，上述光是从真空紫外光区域到可见光区域的光。此外，在实施方式1中，示例了上部件HLt、侧部件HLs以及底部件HLb一体化的情况，但这些各部件也可以由互相不同的部件构成。

如图2所示，上部件HLt能够在孔TH1内搭载试样SAM。上部件HLt包括工作台TB以及设于工作台TB上的帽CP。工作台TB是为了搭载网状体MS而设置，在该网状体MS之上设置有试样SAM，帽CP是为了保持试样SAM及网状体MS而设置。

带电粒子束装置100具有腔室1、安装于腔室1的上部的带电粒子光学镜框2、安装于腔室1的下部的载物台3、设于载物台3上的保持件HL、以及以从保持件HL分离的方式位于保持件HL的上方且安装于腔室1的上部的光检测器4。

带电粒子光学镜框2包括用于放出带电粒子束(电子束)的电子枪、聚光镜、以及用于控制水平方向的扫描的扫描线圈等，带电粒子束(电子束)EB1从带电粒子光学镜框2放出，且朝向试样SAM照射。

载物台3是用于搭载保持件HL的台座，具备调整厚度方向及水平方向的位置的机构和沿水平方向旋转的机构。通过载物台3旋转，能够改变搭载于载物台3上的保持件HL的朝向。另外，构成载物台3的材料与构成保持件HL的各部件的材料相同。另外，在实施方式1中，能够使保持件HL在载物台3自由装卸。

光检测器4具备能够检测从闪烁体SC1放出且从保持件HL的开口部OP射出的光LI1的功能。对于这样的功能，后面详细说明。

图像处理设备6连接于光检测器4，具备使光LI1含有的透射带电粒子信息转换成透射带电粒子像的功能。图像处理设备6例如包括光电倍增管、放大电路以及A/D转换器等，通过它们，光信号转换成电信号。即，通过图像处理设备6，光LI1转换成透射带电粒子像的图像数据。图像数据通过配备于图像处理设备6的内部或外部的显示装置等被视觉确认。此外，图像处理设备6也可以安装于带电粒子束装置100的内部，也可以安装于带电粒子束装置100的外部。

以下，对使用了实施方式1的带电粒子束装置100的试样SAM的透射带电粒子像的观察机构进行说明。此外，在实施方式1中，对观察试样SAM的暗视场像的情况进行说明。实施方式1中的试样SAM的透射带电粒子像的观察在将腔室1的内部的压力设定为1×10－6Pa～3000Pa的范围内且将腔室1的内部被空气或氮气等充满的状态下进行。

首先，准备在网状体MS上搭载有作为观察对象的试样SAM的保持件HL，将保持件HL固定于载物台3上。然后，从带电粒子光学镜框2放出带电粒子束(电子束)EB1。带电粒子束EB1沿光轴OA穿过保持件HL的孔TH1向试样SAM照射。带电粒子束EB1在试样SAM的内部散射，并向试样SAM的下方透射。透射过试样SAM的透射带电粒子(透射电子)EB2在保持件HL的开口部OP内到达散射角光栅ASA1。散射角光栅ASA1设置为仅使具有特定的散射角的透射带电粒子EB2穿过。穿过了散射角光栅ASA1的透射带电粒子EB2在保持件HL的开口部OP内与闪烁体SC1碰撞。

透射带电粒子EB2与闪烁体SC1碰撞的情况下，透射带电粒子EB2的动能转换成光能，从闪烁体SC1放出光LI1。光LI1从开口部OP射出，并被光检测器4检测。由光检测器4检测出的光LI1被连接于光检测器4的图像处理设备6作为光信号获取，在图像处理设备6的内部，光信号转换成电信号。由此，生成图像数据作为透射带电粒子像，通过利用显示装置等确认图像数据，能够观察试样SAM的透射带电粒子像(暗视场像)。

另外，在实施方式1中，从闪烁体SC1放出的光LI1为从真空紫外光区域到可见光区域的光，具有与透射带电粒子EB2同样的透射带电粒子信息。因此，如上述地，能够基于光LI1，通过图像处理设备6确认透射带电粒子像。

以下，对实施方式1中使用的光检测器4及光LI1的特征进行说明。

光检测器4为被称为低真空检测器(UVD：Ultra Variablepressure Detector)，且与公开于专利文献2的检测器同等的检测器、或可以进行光的检测的检测器。尤其是UVD在低真空观察中被使用，将腔室1的内部的压力设定为例如30Pa，在将腔室1的内部被空气或氮气等充满的状态下进行。低真空观察主要是出于除去绝缘试样观察中的充电的目的而进行的，UVD搭载于大量的电子显微镜。

以下，对使用了专利文献2公开的光检测器4的低真空观察进行说明。在专利文献2中，为了捕捉二次电子气体的放大信号，对配置于光检测器4的附近的偏压电极施加几百V的电压。当由此在偏压电极与试样SAM之间形成电场时，在试样SAM的表面产生的二次电子加速，二次电子与残留气体分子碰撞，残留气体分子电离成正离子及电子。光检测器4检测此时产生的激发光，从而进行低真空时的对象物的二次电子像的形成。

实施方式1的光检测器4(UVD)原本是为了检测微小的激发光而设计，可成为高灵敏度的光检测器。光检测器4也能够检测上述那样的激发光，但是，在此不进行基于激发光的透射电子像的形成，进行基于光LI1的透射电子像的形成。换言之，在光检测器4不检测激发光的环境下进行光LI1的检测。为了使这样的方法成为可能，将配置于光检测器4附近的偏压电极的电压设定为断开(0V)。此时，腔室1内的环境可以是低真空及高真空中的任一个。实施方式1中，光检测器4仅检测从闪烁体SC1放出的光LI1，因此可得到准确的透射带电粒子像。

这样，在实施方式1中，能够在保持件HL内将透射带电粒子EB2直接转换成光LI1，并通过连接于光检测器4的光电倍增管将光LI1转换成电信号。即，信号转换的过程按照透射带电粒子EB2、光LI1以及电信号的顺序进行，因此信号转换时的损失减少，可以提高收获量。

另外，透射电子像中，通过变更散射角，像的对比度差异较大。例如，在观察金属纳米粒子的情况下，散射角0mrad～75mrad和散射角300mrad～600mrad下，对比度反转。因此，为了取得清晰的透射电子像，散射角的控制是重要的。特别是在带电粒子束EB1的加速电压为30kV的情况下，亮视场观察中，大多需要75mrad以下的散射角。在控制散射角的情况下，在尽可能从试样SAM分离的场所更能够提高散射角的控制的精度。因此，在实施方式1中，在闪烁体SC1上设有成为掩膜的散射角光栅ASA1，从而限制了透射带电粒子EB2与闪烁体SC1碰撞的范围。即，通过变更成为掩膜的散射角光栅ASA1的形状，能够容易地控制能够检测的散射角。

此外，在实施方式1中，底部件HLb内的闪烁体SC1被散射角光栅ASA1局部地覆盖，但散射角光栅ASA1也能够变更成对应于暗视场也包含的期望的散射角的散射角光栅。

这样，根据实施方式1的带电粒子束装置100，可以高精度地得到成为观察对象的试样的亮视场像或暗视场像。另外，可得到这样的效果是因为提供了具有可搭载试样SAM的上部件HLt和设于开口部OP内的闪烁体SC1的保持件HL。换言之，根据实施方式1，能够提供可高精度得到成为观察对象的试样SAM的亮视场像或暗视场像这样的保持件HL。另外，通过使用保持件HL，能够提高带电粒子束装置100的性能。

另外，如上述地，在实施方式1中，能够使用安装于腔室1的上部的光检测器4检测从闪烁体SC1放出且从保持件HL的开口部OP射出的光LI1。因此，无需在保持件HL连接电缆等。即，无需为了检测光LI1而新导入专用的光检测器，研发新的带电粒子束装置的构造，进行检测系统的再构筑。因此，能够抑制为此花费的成本。

(变形例1)

以下，使用图3对实施方式1的变形例1的具有保持件HL、及保持件HL的带电粒子束装置100进行说明。

实施方式1中对观察试样SAM的暗视场像的情况进行了说明，在变形例1中，对观察试样SAM的亮视场像的情况进行说明。因此，在变形例1中，取代实施方式1的散射角光栅ASA1而使用散射角光栅ASA2。另外，变形例1中的闪烁体SC2具有与实施方式1中的闪烁体SC1同样的性质。

如图3所示，在变形例1中，带电粒子束EB1在试样SAM的内部散射，或者不散射，并向试样SAM的下方透射。透射过试样SAM的透射带电粒子EB3穿过散射角光栅ASA2，在保持件HL的开口部OP内与闪烁体SC2碰撞。

变形例1的透射带电粒子EB3以比实施方式1的透射带电粒子EB2小的散射角在开口部OP内透射。即，透射带电粒子EB3透射的方向和光轴OA形成的角度比透射带电粒子EB2透射的方向和光轴OA形成的角度小。因此，在变形例1的保持件HL中，由于以小的散射角透射的透射带电粒子EB3，取代散射角光栅ASA1而设有散射角光栅ASA2。变形例1的散射角光栅ASA2设计为仅使透射带电粒子EB3能够穿过。

在透射带电粒子EB3与闪烁体SC2碰撞的情况下，透射带电粒子EB3的动能转换成光能，从闪烁体SC2放出光LI2。光LI2从开口部OP射出，并被光检测器4检测。而且，基于检测出的光LI2，通过图像处理设备6得到试样SAM的透射带电粒子像(亮视场像)。

这样，在变形例1中，除了暗视场像与亮视场像的差异，也能够得到与实施方式1大致相同的效果。

(实施方式2)

以下，使用图4～图6对实施方式2中的光学部件(部件)OM1、具有光学部件OM1的保持件HL、以及具有保持件HL的带电粒子束装置200进行说明。此外，以下，主要说明实施方式2与实施方式1的不同点。

在实施方式2中，在图1说明的保持件HL配置光学部件OM1。图4是表示光学部件OM1的外观的立体图，图5是表示安装有光学部件OM1的保持件HL的外观的立体图，图6是表示具有保持件HL的带电粒子束装置200的剖视图。

如图4所示，光学部件OM1由设有孔TH2的导光体LG1构成。导光体LG1具备使光透射且使X射线不能透射的功能。构成导光体LG1的材料例如为玻璃或丙烯酸树脂。

另外，光学部件OM1(导光体LG1)的平面形状为在圆形或椭圆形的一部分设有切口NC2的形状。换言之，光学部件OM1是在圆柱或椭圆柱的一部分设有切口NC2的柱体。

如图5所示，光学部件OM1设于保持件HL的开口部OP内。此时，导光体LG1的一部分被保持件HL的侧部件HLs覆盖，导光体LG1的另一部分从侧部件HLs露出。光学部件OM1的切口NC2是被侧部件HLs覆盖的部位，以与保持件HL的切口NC1对应的方式位于开口部OP内。即，光学部件OM1以切口NC2与侧部件HLs相接的方式设于开口部OP内。由此，在光学部件OM1安装于保持件HL时，容易进行光学部件OM1及保持件HL的对位。

另外，光学部件OM1的孔TH2在俯视下与保持件HL的孔TH1重叠，且孔TH2的口径比孔TH1的口径大。

如图6所示，从带电粒子光学镜框2放出的带电粒子束EB1穿过孔TH1向试样SAM照射，并在试样SAM的内部散射而向试样SAM的下方透射。闪烁体SC1以一部分在孔TH2内露出的方式设于导光体LG1与底部件HLb之间。透射带电粒子EB2在孔TH2内穿过散射角光栅ASA1与闪烁体SC1碰撞。

从闪烁体SC1放出的光LI1在导光体LG1内透射，将导光体LG1的侧面LG1s作为射出面从开口部OP射出，并被光检测器4检测出。

此外，导光体LG1具有孔TH2，因此导光体LG1的侧面具有沿着孔TH2的内径面和相当于导光体LG1的外壁的外径面，当在本申请中，记载为“导光体LG1的侧面”的情况下，是指导光体LG1的外径面。因此，符号LG1s用于导光体LG1的侧面及光LI1的射出面双方。

如上述地，导光体LG1具备使光透射的功能。在此，从闪烁体SC1放出的光LI1是从真空紫外光区域到可见光区域的光。因此，导光体LG1也可以说具备使从真空紫外光区域到可见光区域的光透射的功能。

然而，在观察试样SAM时，有时要求检测从试样SAM放出的X射线，解析试样SAM含有的元素。因此，如图6所示地，X射线检测器5以从保持件HL分离的方式位于保持件HL的上方，而且安装于带电粒子束装置200的腔室1的上部。这样的X射线检测器5一般被称为EDS(EnergyDispersiveX-raySpectrometry)检测器。

当向试样SAM的特定部位照射带电粒子束EB1时，产生具有元素固有的信息的特性X射线。利用上述EDS检测器对其进行检测，测定其能量及强度，从而能够定性地解析构成上述特定部位的元素。本申请中，以下说明的X射线XR1～XR3例如是这样的特性X射线。

如图6所示，带电粒子束EB1照射试样SAM时，从试样SAM放出X射线XR1，透射带电粒子EB2与闪烁体SC1碰撞时，从闪烁体SC1放出X射线XR2。为了解析试样SAM含有的元素，只要检测X射线XR1即可，若X射线检测器5也检测X射线XR2，则存在不能进行准确的元素解析的问题。

因此，如上述地，实施方式2的导光体LG1具备使X射线不能透射的功能。因此，X射线检测器5不能检测X射线XR2，仅能够检测X射线XR1。此外，若导光体LG1的厚度过薄，则恐怕X射线XR2透射，因此，导光体LG1优选以充分的厚度形成，以使X射线XR2不能透射。

(实施方式3)

以下，使用图7对实施方式3的具有保持件HL的带电粒子束装置300进行说明。此外，以下，主要对实施方式3与实施方式2的不同点进行说明。

实施方式2中，在保持件HL的上部件HLt设有用于设置试样SAM的网状体MS，在实施方式3中，在保持件HL未设置上部件HLt，取代上部件HLt，设有作为载物台3的一部分的旋转盘3d。即，孔TH1、网状体MS、以及搭载于网状体MS上的试样SAM设于旋转盘3d。

实施方式3的载物台3具有台座部3a、旋转部3b、支柱部3c以及旋转盘3d。台座部3a安装于上述腔室的下部，且具备调整厚度方向及水平方向的位置的机构和在水平方向上旋转的机构。旋转部3b具备使支柱部3c旋转的机构，能够经由支柱部3c使旋转盘3d旋转。支柱部3c连接于旋转部3b及旋转盘3d。另外，更换试样SAM时，支柱部3c及旋转盘3d能够从载物台3(旋转部3b)容易地卸下。

旋转盘3d与实施方式2的上部件HLt同样地具有工作台TB及帽CP，具有比实施方式2的上部件HLt更宽广的表面积。在旋转盘3d设有多个孔TH1，在各个孔TH1内能够搭载网状体MS及试样SAM。

另外，实施方式3的保持件HL如上述地未设置上部件HLt，而是由侧部件HLs及底部件HLb构成。因此，在实施方式3中，开口部OP是由作为载物台3的一部分的旋转盘3d、侧部件HLs以及底部件HLb包围的区域。另外，在开口部OP内设有与实施方式2同样的光学部件OM1，在导光体LG1与底部件HLb之间设有闪烁体SC1。

例如，在观察一个试样SAM后，使载物台3的旋转部3b旋转，从而旋转盘3d旋转，能够观察下一试样SAM。若这样使用实施方式3的保持件HL及带电粒子束装置300，则每次观察多个试样SAM时，能够省略以下的工时：将腔室1内的压力恢复大气压，更换为搭载有下一试样SAM的保持件HL，并再次调整腔室1内的压力等。

(实施方式4)

以下，使用图8～图14，对实施方式4的光学部件(部件)OM2、具有光学部件OM2的保持件HL、以及具有保持件HL的带电粒子束装置400进行说明。此外，以下，主要对实施方式4与实施方式1及实施方式2的不同点进行说明。

在实施方式4中，在图1说明的保持件HL配置光学部件OM2。图8是表示光学部件OM2的外观的立体图，图9是表示与图8相反侧的光学部件OM2的外观的立体图，图10是表示安装有光学部件OM2的保持件HL的外观的立体图，图11是表示导光体LG2的射出面LG2s及导光体LG3的射出面LG3s的大致的位置的俯视图。另外，图12是具备光学部件OM2的保持件HL的详细的剖视图，图13是表示具有保持件HL的带电粒子束装置400的剖视图。

如图8及图9所示，光学部件OM2具有设有孔TH3及孔TH4的导光体LG2及导光体LG3的。导光体LG2及导光体LG3与实施方式2的导光体LG1同样地具有使光透射且不能使X射线透射的功能。构成导光体LG2及导光体LG3的材料例如为玻璃或丙烯酸树脂。

另外，导光体LG2及导光体LG3的各自的侧面被遮断层BL局部地覆盖。构成遮断层BL的材料与保持件HL及载物台3相同，为铝等金属、或不锈钢等合金。另外，构成遮断层BL的这些材料具备不能使光及X射线透射的功能。另外，上述光是从真空紫外光区域到可见光区域的光。

另外，光学部件OM2的平面形状与实施方式2的光学部件OM1同样，为在圆形或椭圆形的一部分设有切口NC2的形状。换言之，光学部件OM2是在圆柱或椭圆柱的一部分设有切口NC2的柱体。

此外，在光学部件OM2中，在导光体LG2及导光体LG3的各自的侧面局部地设有遮断层BL。因此，光学部件OM2的平面形状为在圆形或椭圆形的弧的一部分形成有薄的台阶(凸凹)，因此，严格来说，导光体LG2及导光体LG3各自的平面形状为在圆形或椭圆形的一部分设有切口NC2的形状。但是，这里的平面形状的说明的主旨在于切口NC2，因此，在实施方式4中，将这样的微小的差异作为误差而识别，光学部件OM2的平面形状定义为在圆形或椭圆形的一部分设有切口NC2的形状。

如图10所示，光学部件OM2设于保持件HL的开口部OP内。此时，光学部件OM2的切口NC2是被侧部件HLs覆盖的部位，以与保持件HL的切口NC1对应的方式位于开口部OP内。即，光学部件OM2以切口NC2与侧部件HLs相接的方式设于开口部OP内。由此，在光学部件OM2安装于保持件HL时，容易进行光学部件OM2及保持件HL的对位。

另外，光学部件OM2的孔TH3及孔TH4与保持件HL的孔TH1在俯视下重叠。

此外，在实施方式4中，光学部件OM2的沿切口NC2的部位被遮断层BL覆盖，但如图10所示，该部位还被保持件HL的侧部件HL覆盖，因此在该部位，遮断层BL不是必须的，也可以不设置。

如上述地，导光体LG2及导光体LG3各自的侧面被保持件HL的侧部件HLs及遮断层BL局部地覆盖。换言之，在俯视下，导光体LG2及导光体LG3各自的侧面被侧部件HLs及遮断层BL分开。如如图11所示，导光体LG2的侧面(射出面)LG2s及导光体LG3的侧面(射出面)LG3彼此位于相反侧，以某程度的开口角露出。射出面LG2s及射出面LG3s的开口角相当于以光学部件OM2的中心(孔TH3的中心、孔TH4的中心)为基点的中心角，在实施方式4中，考虑光LI2及光LI3射出的范围，分别设定为60～120度左右。图11中示例了上述开口角为120度的情况。

此外，导光体LG2或导光体LG3具有孔TH3或孔TH4，因此与实施方式2的导光体LG1同样地，在本申请中记载为“导光体LG2的侧面”或“导光体LG3的侧面”的情况下，它们表示导光体LG2及导光体LG3各自的外径面。因此，符号LG2s如上述地对导光体LG2的侧面及光LI1的射出面双方使用，符号LG3s如上述地对导光体LG3的侧面及光LI2的射出面双方使用。

如图12及图13所示，遮断层BL以使导光体LG2及导光体LG3互不接触的方式设于导光体LG2与导光体LG3之间。由此，能够在导光体LG2内透射的光LI2及在导光体LG3内透射的光LI3互相干涉。

另外，在导光体LG2内设有孔TH3，在导光体LG2内、遮断层BL内以及导光体LG3内设有与孔TH3连通且具有比孔TH3小的口径的孔TH4。此外，孔TH3的口径比孔TH1及孔TH4各自的口径大。

闪烁体SC1在孔TH3内设于位于孔TH4的周围的导光体LG2上，且与导光体LG2直接接触。闪烁体SC2以一部分在孔TH4内露出的方式设于导光体LG3与底部件HLb之间，且与导光体LG3直接接触。因此，从闪烁体SC1放出的光LI1在导光体LG2的内部直接传播，从闪烁体SC2放出的光LI2在导光体LG3的内部直接传播。

另外，在导光体LG2与遮断层BL之间以及导光体LG3与遮断层BL之间，出于使光LI1及光LI2反射的目的设有反射膜(镜膜)RF。构成反射膜RF的材料为例如铝等金属或黄铜等合金。另外，在实施方式4中，以使在导光体LG2内传播的光LI1及在导光体LG3内传播的光LI2分别不衰减的方式设有反射膜RF，但是在这样的目的通过遮断层BL能够充分地实现的情况下，反射膜RF也不是必须的，也可以不设置。例如，也可通过对遮断层BL的表面实施镜面加工来使遮断层BL具备与反射膜RF相同的功能。

如图12、图13以及图14所示，从带电粒子光学镜框2放出的带电粒子束EB1穿过孔TH1照射试样SAM，在试样SAM的内部散射并向试样SAM的下方透射。透射过试样SAM的透射带电粒子中的以相对较大的散射角透射的透射带电粒子EB2在孔TH3内与闪烁体SC1碰撞，以相对较小的散射角透射的透射带电粒子EB3在孔TH4内与闪烁体SC2碰撞。换言之，透射带电粒子EB3透射的方向和光轴OA形成的角度比透射带电粒子EB2透射的方向和光轴OA形成的角度小，透射带电粒子EB2在孔TH3内与闪烁体SC1碰撞，透射带电粒子EB3在孔TH4内穿过散射角光栅ASA2与闪烁体SC2碰撞。

图13表示检测光LI1的情况。从闪烁体SC1放出的光LI1在导光体LG2内透射，以导光体LG2的侧面LG2s为射出面从开口部OP射出，并被光检测器4检测。

图14示出了检测光LI2的情况。首先，从图13的状态，使载物台3旋转，从而使保持件HL旋转。该情况下，如图14所示地，从闪烁体SC2放出的光LI2在导光体LG3内透射，以导光体LG3的侧面LG3s为射出面从开口部OP射出，并被光检测器4检测。

这样，导光体LG2及导光体LG3具备使光透射的功能。在此，从闪烁体SC1放出的光LI1及从闪烁体SC2放出的光LI2是从真空紫外光区域到可见光区域的光。因此，也可以说，导光体LG2及导光体LG3具有使从真空紫外光区域到可见光区域的光透射的功能。

然而，在实施方式4中，也与实施方式2同样地，在观察试样SAM时，有时要求检测从试样SAM放出的X射线，解析试样SAM含有的元素。因此，如图13及图14所示地，在带电粒子束装置400的腔室1安装有与实施方式2同样的X射线检测器5。

在此，带电粒子束EB1照射试样SAM时，从试样SAM放出X射线XR1，透射带电粒子EB2与闪烁体SC1碰撞时，从闪烁体SC1放出X射线XR2，透射带电粒子EB3与闪烁体SC2碰撞时，从闪烁体SC2放出X射线XR3。

实施方式4的导光体LG2及导光体LG3具备不能使X射线透射的功能。因此，X射线检测器5不能检测X射线XR2及X射线XR3，仅能够检测X射线XR1。此外，若导光体LG2及导光体LG3的厚度过薄，则存在X射线XR2及X射线XR3透射的问题，因此，导光体LG2及导光体LG3优选以充分的厚度形成，以使X射线XR2及X射线XR3不能透射。

另外，遮断层BL及保持件HL分别由金属材料或合金材料构成，具有使光及X射线不能透射的功能。因此，在实施方式4中，光LI1及光LI2不互相混合，分别从射出面LG2s及射出面LG3s射出。因此，能够由光检测器4可靠地检测光LI1及光LI2。而且，通过导光体LG2、导光体LG3、遮断层BL以及保持件HL，能够遮断X射线XR2及X射线XR3。

另外，在实施方式4中，能够从散射角不同的透射带电粒子EB3及透射带电粒子EB4同时放出光LI1及光LI2。然后，不从腔室1取出保持件HL，仅通过使载物台3旋转，便能够通过光检测器4检测光LI1及光LI2的每一个。

例如，在实施方式1或实施方式2中，在尝试从一个试样得到暗视场像及亮视场像双方的情况下，需要更换保持件HL，将闪烁体SC1及散射角光栅ASA1更换为闪烁体SC2及散射角光栅ASA2。与之相对，在实施方式4中，即使不进行保持件HL的更换等，也能够得到暗视场像及亮视场像双方。

特别是在试样SAM中成为观察对象的构造体为纳米(nm)单位的构造体且欲从该构造体得到暗视场像及亮视场像双方的情况下，每次进行保持件HL的更换时，特定完全相同的被拍摄体且找到完全相同的观察点是非常困难的。如实施方式4地，使用具有光学部件OM2的保持件HL，从而能够抑制这样的问题，能够得到高精度的暗视场像及亮视场像。

(实施方式5)

以下，使用图15对实施方式5的带电粒子束装置500进行说明。此外，以下，主要说明实施方式5与实施方式4的不同点。

在实施方式5中，与实施方式4同样地，在图1说明的保持件HL配置在图8及图9说明的光学部件OM2。然而，在实施方式5中，与实施方式4不同，如图15所示地，光检测器4a及光检测器4b这两个光检测器以从保持件HL分离的方式位于保持件HL的上方，而且安装于腔室1的上部。这些光检测器4a及光检测器4b具有与实施方式4的光检测器4同样的功能，连接于相同的图像处理设备6。

光检测器4a及光检测器4b分别与导光体LG2及导光体LG3对置，隔着保持件HL位于相反侧。即，光检测器4a位于比光检测器4b靠近导光体LG2的射出面LG2s的附近，光检测器4b位于比光检测器4a靠近导光体LG3的射出面LG3s的附近。

从射出面LG2s射出的光LI1被光检测器4a检测，从射出面LG3s射出的光LI2被光检测器4b检测。因此，在实施方式5中，与实施方式4相比，对应于设置光检测器4b，带电粒子束装置500的成本相应地上升，但是能够不使载物台3旋转地检测光LI1及光LI2。因此，能够同时得到试样SAM的暗视场像及亮视场像。

(实施方式6)

以下，使用图16对实施方式6的具有保持件HL的带电粒子束装置600进行说明。此外，以下，主要说明实施方式6与实施方式5的不同点。另外，实施方式6公开的技术思想与上述的实施方式3公开的技术思想相似，因此在以下的说明中，有时省略与实施方式3中说明的内容重复的说明。

在实施方式6中，与实施方式5同样地使用光学部件OM2、光检测器4a以及光检测器4b，但与实施方式3同样地取代上部件HLt而设有作为载物台3的一部分的旋转盘3d。即，孔TH1、网状体MS、以及搭载于网状体MS上的试样SAM设于旋转盘3d。

实施方式6的载物台3与实施方式3同样地具有台座部3a、旋转部3b、支柱部3c以及旋转盘3d。另外，实施方式6的保持件HL如上述地未设置上部件HLt，由侧部件HLs及底部件HLb构成。因此，在实施方式6中，开口部OP也是由作为载物台3的一部分的旋转盘3d、侧部件HLs以及底部件HLb包围的区域。另外，在开口部OP内设有与实施方式5同样的光学部件OM2。

在实施方式6中，在观察一个试样SAM后，使载物台3的旋转部3b旋转，从而旋转盘3d旋转，能够观察下一试样SAM。若这样使用实施方式3的保持件HL及带电粒子束装置600，则每次观察多个试样SAM时能够省略以下的工时：将腔室1内的压力恢复到大气压，更换成搭载有下一试样SAM的保持件HL，并再次调整腔室1内的压力等。

即，不仅能够同时检测光LI1及光LI2，能够同时得到试样SAM的暗视场像及亮视场像，而且即使不进行保持件HL的更换等，也能够快速观察下一试样SAM。而且，对于下一试样SAM，也能够同时检测光LI1及光LI2，能够得到试样SAM的暗视场像及亮视场像双方。

此外，在实施方式6中，对以实施方式5为基础设有光检测器4a及光检测器4b这两个光检测器的情况进行了说明，但实施方式6的带电粒子束装置600在如实施方式4地设有一个光检测器4的情况下也能够应用。该情况下，不能同时检测光LI1及光LI2，但能够对应于不设置光检测器4b，相应地抑制带电粒子束装置600的成本。

(实施方式7)

以下，使用图17～图20，对实施方式7的光学部件(部件)OM3、以及具备光学部件OM3的保持件HL进行说明。此外，以下，主要说明实施方式7与实施方式4的不同点。

在实施方式7中，在图1说明的保持件HL配置光学部件OM3。另外，实施方式7的带电粒子束装置除了光学部件OM2转换成光学部件OM3这样一点，其它与实施方式4的带电粒子束装置400同样。

图17是表示光学部件OM3的外观的立体图，图18是表示与图17相反侧的光学部件OM3的外观的立体图，图19是表示安装有光学部件OM3的保持件HL的外观的立体图。另外，图20是具备光学部件OM3的保持件HL的详细的剖视图。

如图17及图18所示，光学部件OM3与实施方式4的光学部件OM2同样地具有导光体LG2及导光体LG3，但遮断层BL覆盖导光体LG2及导光体LG3各自的侧面的位置与实施方式4的光学部件OM2不同。但是，在俯视下的导光体LG2的射出面LG2s及导光体LG3的射出面LG3s各自的位置与图11相同。另外，光学部件OM3的平面形状与实施方式4的光学部件OM2同样地为在圆形或椭圆形的一部分设有切口NC2的形状。换言之，光学部件OM3是在圆柱或椭圆柱的一部设有切口NC2的柱体。

如图19所示，光学部件OM3设于保持件HL的开口部OP内。此时，光学部件OM3以使切口NC2与侧部件HLs相接的方式设于开口部OP内。由此，光学部件OM3安装于保持件HL时，光学部件OM3及保持件HL的对位变得容易。

另外，光学部件OM2的孔TH3及孔TH4与保持件HL的孔TH1在俯视下重叠。

此外，在实施方式7中，光学部件OM3的沿着切口NC2的部位被遮断层BL覆盖，如图19所示，该部位还被保持件HL的侧部件HL覆盖，因此在该部位，遮断层BL不是必须的，也可以不设置。

如图20所示，遮断层BL以使导光体LG2及导光体LG3不互相接触的方式设于导光体LG2与导光体LG3之间。由此，能够防止在导光体LG2内透射的光LI2及在导光体LG3内透射的光LI3互相干涉。

另外，在导光体LG2内设有孔TH3，在导光体LG2内及遮断层BL内设有与孔TH3连通且具有比孔TH3小的口径的孔TH4。此外，孔TH3的口径比孔TH1及孔TH4各自的口径大。

闪烁体SC1在孔TH3内设于位于孔TH4的周围的导光体LG2上，且与导光体LG2直接接触。闪烁体SC2以一部分在孔TH4内露出且与导光体LG3直接接触的方式设于导光体LG3上。因此，从闪烁体SC1放出的光LI1在导光体LG2的内部直接传播，从闪烁体SC2放出的光LI2在闪烁体SC2的下方在导光体LG3的内部直接传播。另外，散射角光栅ASA2设于闪烁体SC2与遮断层BL之间。

从闪烁体SC1放出的光LI1在导光体LG2内透射，以导光体LG2的侧面LG2s为射出面从开口部OP射出，并被光检测器4检测。另外，从闪烁体SC2放出的光LI2在导光体LG3内透射，以导光体LG3的侧面LG3s为射出面从开口部OP射出，通过使保持件HL旋转，被光检测器4检测。

另外，在导光体LG2与遮断层BL之间以及导光体LG3与遮断层BL之间，出于使光LI1及光LI2反射的目的而设有反射膜(镜膜)RF，但由于与在实施方式4说明的理由同样的理由，也有时未设置反射膜RF。

如上述地，实施方式7的带电粒子束装置除了光学部件OM2转换成光学部件OM3这一点，其它与实施方式4的带电粒子束装置400同样。因此，其它的观察机构及它们的效果等的说明与实施方式4大致相同，因此，省略它们的详细的说明。

另外，在实施方式7中，也可以与实施方式5同样地在腔室1的上部安装有光检测器4a及光检测器4b这两个光检测器。该情况下，能够不使载物台3旋转地检测光LI1及光LI2，因此能够同时得到试样SAM的暗视场像及亮视场像。

另外，在实施方式7中，也与实施方式6同样地可以取代上部件HLt设置作为载物台3的一部分且具有多个网状体MS及多个试样SAM的旋转盘3d。该情况下，即使不进行保持件HL的更换等，也能够快速观察下一试样SAM。

以上，基于用于实施本发明的方式具体地进行了说明，但本发明不限于上述实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内进行各种变更。

符号说明

1—腔室，2—带电粒子光学镜框，3—载物台，3a—台座部，3b—旋转部，3c—支柱部，3d—旋转盘，4、4a、4b—光检测器，5—X射线检测器，6—图像处理设备，100、200、300、400、500、600—带电粒子束装置，ASA1～ASA3—散射角光栅，BL—遮断层，CP—帽，EB1—带电粒子束(电子束)，EB2～EB4—透射带电粒子(透射电子)，EB5、EB6—二次电子，ETD—检测器，HL—保持件，HLb—底部件，HLs—侧部件，HLt—上部件，LG1～LG3—导光体，LG1s～LG3s—侧面(外径面、射出面)，LI1、LI2—光，NC1、NC2—切口部，MR—反射膜(镜膜)，MS—网状体，OA—光轴，OM1～OM3—光学部件(部件)，OP—开口部，RF—反射板，SAM—试样，SC1、SC2—闪烁体，TB—工作台，TH1～TH4—孔，XR1～XR3—X射线。

Claims (15)

1.一种保持件，其特征在于，具有：

上部件，其具有用于使带电粒子束穿过的第一孔，且在上述第一孔内能够搭载试样；

底部件，其设置成与上述上部件在俯视下重叠；

侧部件，其以使上述上部件及上述底部件在剖视下互相分离的方式连接于上述上部件的一部分及上述底部件的一部分；

开口部，其是被上述上部件、上述侧部件以及上述底部件包围的区域；以及

第一闪烁体，其设于上述开口部内。

2.根据权利要求1所述的保持件，其特征在于，

还具有第一光学部件，该第一光学部件包括：

第一导光体，其具备使光透射且不能使X射线透射的功能；以及

第二孔，其设于上述第一导光体内，

上述第一光学部件以使上述第一导光体的侧面的一部分从上述侧部件露出的方式设于上述开口部内，

上述第二孔与上述第一孔在俯视下重叠，

上述第一闪烁体以一部分在上述第二孔内露出的方式设于上述第一导光体与上述底部件之间。

3.根据权利要求1所述的保持件，其特征在于，

还具有第二光学部件，该第二光学部件包括：

第二导光体及第三导光体，其分别具备使光透射且不能使X射线透射的功能；

遮断层，其设于上述第二导光体与上述第三导光体之间，且具备不能使光及X射线透射的功能；

第三孔，其设于上述第二导光体内；以及

第四孔，其设于上述第二导光体内、上述遮断层内以及上述第三导光体内，与上述第三孔连通，且具有比上述第三孔小的口径，

上述第二光学部件以使上述第二导光体及上述第三导光体各自的侧面的一部分从上述侧部件露出的方式设于上述开口部内，

上述第三孔及上述第四孔分别与上述第一孔在俯视下重叠，

上述第一闪烁体在上述第三孔内设于位于上述第四孔的周围的上述第二导光体上，

第二闪烁体以一部分在上述第四孔内露出的方式设于上述第三导光体与上述底部件之间。

4.根据权利要求3所述的保持件，其特征在于，

上述遮断层局部地覆盖上述第二导光体及上述第三导光体各自的侧面，

从上述遮断层及上述侧部件露出的上述第二导光体及上述第三导光体各自的侧面互相位于相反侧。

5.根据权利要求3所述的保持件，其特征在于，

上述第二光学部件的平面形状是在圆形或椭圆形的一部分设有切口的形状，

上述第二光学部件以上述切口与上述侧部件相接的方式设于上述开口部内。

6.根据权利要求3所述的保持件，其特征在于，

能够透射上述第二导光体及上述第三导光体的每一个的上述光及不能透射上述遮断层的上述光分别为从真空紫外光区域到可见光区域的光，

构成上述第二导光体及上述第三导光体的每一个的材料为玻璃或丙烯酸树脂，

构成上述遮断层、上述上部件、上述侧部件以及上述底部件的每一个的材料为金属或合金。

7.根据权利要求1所述的保持件，其特征在于，

还具备第二光学部件，该第二光学部件包括：

第二导光体及第三导光体，其分别具备使光透射且不能使X射线透射的功能；

遮断层，其设于上述第二导光体与上述第三导光体之间，且具备不能使光及上述X射线透射的功能；

第三孔，其设于上述第二导光体内；以及

第四孔，其设于上述第二导光体内及上述遮断层内，与上述第三孔连通，且具有比上述第三孔狭小的口径，

上述第二光学部件以使上述第二导光体及上述第三导光体各自的侧面的一部分从上述侧部件露出的方式设于上述开口部内，

上述第三孔及上述第四孔分别与上述第一孔在俯视下重叠，

上述第一闪烁体在上述第三孔内设于位于上述第四孔的周围的上述第二导光体上，

第二闪烁体以其一部分在上述第四孔内露出的方式设于上述第三导光体与上述底部件之间。

8.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：

腔室；

带电粒子光学镜框，其安装于上述腔室的上部，且能够放出带电粒子束；

载物台，其安装于上述腔室的下部；

保持件，其设于上述载物台上；以及

第一检测器，其以从上述保持件分离的方式位于上述保持件的上方，且安装于上述腔室的上部，

上述保持件包括：

上部件，其具有第一孔，且在上述第一孔内能够搭载试样；

底部件，其设置成与上述上部件在俯视下重叠；

侧部件，其以使上述上部件及上述底部件在剖视下互相分离的方式连接于上述上部件的一部分及上述底部件的一部分；

开口部，其是被上述上部件、上述侧部件以及上述底部件包围的区域；以及

第一闪烁体，其设于上述开口部内，

上述第一光检测器具备能够检测出第一光的功能，在上述试样搭载于上述上部件，且从上述带电粒子光学镜框放出的上述带电粒子束在上述第一孔内照射上述试样且透射上述试样的透射带电粒子与上述第一闪烁体碰撞的情况下，上述第一光检测器能够检测出从上述第一闪烁体放出且从上述开口部射出的上述第一光。

9.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于，

还具有X射线检测器，该X射线检测器以从上述保持件分离的方式位于上述保持件的上方，且安装于上述腔室的上部，

上述保持件还具有第一光学部件，该第一光学部件包括：

第一导光体；以及

设于上述第一导光体内的第二孔，

上述第一光学部件以使上述第一导光体的侧面的一部分从上述侧部件露出的方式设于上述开口部内，

上述第二孔与上述第一孔在俯视下重叠，

上述第一闪烁体以其一部分在上述第二孔内露出的方式设于上述第一导光体与上述底部件之间，

从上述第一闪烁体放出的上述第一光在上述第一导光体内透射，以上述第一导光体的侧面为第一射出面从上述开口部射出，

上述X射线检测器具有能够检测出X射线的功能，该X射线是在上述带电粒子束照射了上述试样的情况下从上述试样放出的射线，

上述第一导光体具备使上述第一光透射且不能使X射线透射的功能。

10.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述保持件还具有第二光学部件，该第二光学部件包括：

第二导光体；

第三导光体；

以使上述第二导光体及上述第三导光体不相互接触的方式设于上述第二导光体与上述第三导光体之间的遮断层；

与上述第二导光体相接的上述第一闪烁体；以及

与上述第三导光体相接的第二闪烁体，

上述第二光学部件以使上述第二导光体及上述第三导光体各自的侧面的一部从上述侧部件露出的方式设于上述开口部内，

上述透射带电粒子包括：与上述第一闪烁体碰撞的第一透射带电粒子；以及以比上述第一透射带电粒子小的散射角透射且与上述第二闪烁体碰撞的第二透射带电粒子，

在上述第一透射带电粒子与上述第一闪烁体碰撞的情况下，上述第一光从上述第一闪烁体放出，在上述第二导光体内透射，且以上述第二导光体的侧面为第二射出面从上述开口部射出，

在上述第二透射带电粒子与上述第二闪烁体碰撞的情况下，第二光从上述第二闪烁体放出，在上述第三导光体内透射，且以上述第三导光体的侧面为第三射出面从上述开口部射出，

上述第二导光体具备使上述第一光透射且不能使X射线透射的功能，

上述第三导光体具备使上述第二光透射且不能使X射线透射的功能，

上述遮断层具备不能使上述第一光、上述第二光以及X射线透射的功能。

11.根据权利要求10所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述遮断层以使上述第二射出面及上述第三射出面露出的方式局部地覆盖上述第二导光体及上述第三导光体各自的侧面，

从上述遮断层及上述侧部件露出的上述第二射出面及上述第三射出面互相位于相反侧。

12.根据权利要求11所述的带电粒子束装置，其特征在于，

通过使上述载物台旋转，上述第二光被上述第一光检测器检测。

13.根据权利要求11所述的带电粒子束装置，其特征在于，

还具有第二光检测器，该第二光检测器以从上述保持件分离的方式位于上述保持件的上方且安装于上述腔室的上部，

上述第一光检测器位于比上述第二光检测器靠上述第二射出面的附近，

上述第二光检测器位于比上述第一光检测器靠上述第三射出面的附近，

上述第一光被上述第一光检测器检测，

上述第二光被上述第二光检测器检测。

14.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于，

由上述第一光检测器检测出的上述第一光通过安装于上述带电粒子束装置的内部或外部且连接于上述第一光检测器的图像处理设备转换成上述试样的透射带电粒子像的图像数据。

15.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：

腔室；

带电粒子光学镜框，其安装于上述腔室的上部，且能够放出带电粒子束；

载物台，其安装于上述腔室的下部；

保持件，其设于上述载物台上；以及

第一光检测器及X射线检测器，其以从上述保持件分离的方式位于上述保持件的上方，且安装于上述腔室的上部，

上述载物台具有：

安装于上述腔室的下部的台座部；

设于上述台座部上且具备旋转机构的旋转部；

具有多个第一孔且能够在上述多个第一孔内搭载多个试样的旋转盘；以及

连接上述旋转盘及上述旋转部的支柱部，

上述保持件具有：

设置成与上述旋转盘的一部分在俯视下重叠的底部件；

设于上述旋转盘与上述底部件之间，且连接于上述底部件的一部分的侧部件；

作为被上述旋转盘、上述侧部以及上述底部件包围的区域的开口部；

设于上述开口部内的第一闪烁体；以及

包括第一导光体及设于上述第一导光体内的第二孔，且以使上述第一导光体的侧面的一部分从上述侧部件露出的方式设于上述开口部内的第一光学部件，

上述第一光检测器具备能够检测第一光的功能，在上述试样搭载于上述旋转盘，从上述带电粒子光学镜框放出的上述带电粒子束在上述第一孔内照射上述试样且透射过上述试样的透射带电粒子与上述第一闪烁体碰撞的情况下，上述第一光检测器能够检测出从上述第一闪烁体放出且从上述开口部射出的上述第一光，

上述X射线检测器具备能够检测出在上述带电粒子束照射上述试样的情况下从上述试样放出的X射线的功能，

上述第二孔与上述第一孔在俯视下重叠，

上述第一闪烁体以其一部分在上述第二孔内露出的方式设于上述第一导光体与上述底部件之间，

从上述第一闪烁体放出的上述第一光在上述第一导光体内透射且以上述第一导光体的侧面为第一射出面从上述开口部射出，

上述第一导光体具备使上述第一光透射且不能使X射线透射的功能。

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