CN112689785A - 激光扫描装置及激光加工装置 - Google Patents

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Abstract

激光扫描装置具备旋转部件(31)、透光玻璃(33)及反射镜。旋转部件(31)以旋转轴线为中心进行旋转。透光玻璃(33)配置在旋转部件(31)上。反射镜以激光入射在透光玻璃(33)上的方式导引该激光。当从平行于旋转轴线的视线方向观察旋转部件(31)时，连接多个透光玻璃(33)的内表面(33a)的形状是多边形。当将透光玻璃(33)的内表面(33a)与平行于旋转轴线的直线所夹的角度设为倾斜角时，多个透光玻璃(33)的倾斜角中至少2个倾斜角的值不同。

Description

激光扫描装置及激光加工装置
技术领域
本发明主要涉及一种扫描激光的激光扫描装置。
背景技术
专利文献1公开了一种多光束激光装置，其具有红外线激光的产生源和分光器模块。分光器模块是将多个分光器与一个反射镜并排配置而构成。通过将红外线激光照射于分光器模块上，激光被分离成多条相互平行的激光光束。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：美国专利申请公开第2009/0159578号说明书
发明内容
发明所要解决的技术问题
专利文献1的多光束激光装置，是单方向扫描激光的构成。在这种激光装置中，激光容易以短时宽照射于相同的部位。由此，会对烧蚀加工产生热的影响。
本发明鉴于所述情状而完成，其主要目的在于提供一种激光扫描装置，用以进行热影响小的烧蚀加工，从而有效且均匀地进行切割等的加工。
解决问题所使用的技术方案
本发明所欲解决的问题诚如上所述，以下对用以解决该问题的手段及其功效进行说明。
根据本发明的观点，提供以下构成的激光扫描装置。即，该激光扫描装置，其具备旋转部件、透光部件和导光部件。所述旋转部件以旋转轴线为中心进行旋转。所述透光部件配置在所述旋转部件上。所述导光部件，以激光入射在所述透光部件上的方式导引该激光。当从平行于所述旋转轴线的视线方向观察所述旋转部件时，连接所述透光部件的所述旋转轴线侧的面即内表面的形状是多边形。当将所述透光部件的所述内表面与平行于所述旋转轴线的直线所夹的角度设为倾斜角时，所述透光部件的倾斜角中至少2个倾斜角的值不同。
由此，通过连接透光部件的内表面的形状为多边形且使透光部件旋转，能够在与旋转轴线垂直的一个方向对透光部件的一面扫描激光。并且，由于透光部件的倾斜角中至少2个倾斜角的值不同，因此能够朝平行于旋转轴线的方向对各透光部件的一面扫描(位移)激光。通过使透光部件旋转，利用这些部件的2个运动，变得能够朝2个方向扫描激光，因此能够与表观波束直径(束径)大的激光类似进行处理。
另外，由于激光分散照射于2个扫描方向，因此激光暂且变得难以再照射于曾一度照射激光的部位近旁，因而照射激光进行烧蚀加工时而多馀的热量变得容易散发。因此，能够进行热影响小的烧蚀加工。由此，能够有效且均匀地进行切割等的加工。
发明效果
根据本发明，能够提供一种激光扫描装置，其能够减小烧蚀加工时的热的影响，从而能够有效且均匀地进行切割等的加工。
附图说明
图1是显示本发明的一实施方式的激光加工装置的整体构成的立体图；
图2是激光扫描装置的立体图；
图3是激光扫描装置的侧剖视图(沿图2中的A-A线所作的剖视图)；
图4是显示朝第一扫描方向扫描激光的状况的说明图；
图5是显示朝第二扫描方向扫描激光的状况的说明图；
图6是显示照射激光的顺序的图；
图7是示意显示表观束径大的激光被照射于工件上的状况的立体图；
图8是第一变形例的激光扫描装置的立体图；和
图9是第二变形例的激光扫描装置的侧剖视图。
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的实施方式。首先，参照图1说明激光加工装置1的构成。图1是激光加工装置1的立体图。激光加工装置1，是通过对工件100照射激光而加工该工件100的装置。
本实施方式的工件100是板状，例如为CFRP(碳纤维强化塑料)。再者，工件100也能够为其他的材料。工件100不限于板状，例如也能够为块体状。
本实施方式的激光加工装置1用以进行烧蚀加工，该烧蚀加工是通过照射激光使工件100蒸发而将之除去。另外，激光加工装置1进行利用激光来切割工件100的加工。激光加工装置1对工件100进行的加工不限于切割，例如，也能够为在工件100的表面形成既定形状的沟槽或孔等的加工。再者，激光也能够为可见光，或者也能够为除可见光以外的其他波长带(例如，红外线或紫外线)的电磁波。
如图1所示，激光加工装置1，具备移动部11、激光产生器12、支撑部件13及加工头14。
移动部11是进行一轴移动的工作台。工件100被载置于移动部11上。
激光产生器12，通过脉冲振荡产生时宽短的脉冲激光。脉冲激光的时宽虽无特别限制，但以短时宽、例如纳秒级、皮秒级或飞秒级产生激光。再者，激光产生器12，也能够为通过连续波振荡产生CW激光的构成。
支撑部件13具备位于工件100的上方的活动机构。在该活动机构上安装有加工头14。通过省略图示的电动机使活动机构动作，能够使加工头14朝工件100的宽度方向移动。另外，在支撑部件13的内部配置有多个光学零件，该光学零件用以将激光产生器12产生的激光导引至加工头14。另外，从激光产生器12至加工头14之间，也能够使用光纤进行导光，或者也能够使用反射镜或棱镜等进行导光。
加工头14将激光产生器12产生且通过支撑部件13内的激光照射于工件100上。在加工头14上配置有聚光部件21及激光扫描装置23。聚光部件21是会聚激光的聚光透镜或抛物面镜。激光扫描装置23，通过朝2个方向扫描(二维扫描)束径的激光，以增大聚光点上的表观束径(详细稍待后述)。通过在从加工头14照射激光的状态下，使加工头14从工件100的一端移动至另一端(根据需要往返移动)，能够切割工件100。
接着，参照图2及图3，主要对激光扫描装置23的构成详细地进行说明。图2是激光扫描装置23的立体图。图3是激光扫描装置23的侧剖视图(沿图2中的A-A线所作的剖视图)。
如图2及图3所示，激光扫描装置23，具备旋转部件31、多个玻璃保持器32、多个透光玻璃33、框架41、反射镜42和电动机43。
旋转部件31是外缘部的厚度大的大致圆板状部件，且被构成为通过从电动机43供给电力，能够以图3所示的旋转轴线91为中心进行旋转。再者，旋转轴线91通过旋转部件31的中心。
电动机43安装在框架41上。框架41不与旋转部件31固定，不会随旋转部件31的旋转而运动。另外，除了所述聚光部件21外，还在框架41上安装有反射镜(导光部件)42。如图3所示，聚光部件21及反射镜42隔着旋转部件31而配置在电动机43的相反侧。激光产生器12产生的激光被朝平行于旋转轴线91的方向导光，且通过聚光部件21后由反射镜42反射。由反射镜42反射的激光，改变方向90度后朝向透光玻璃33。另外，由于旋转部件31旋转，因此，能够根据旋转部件31的旋转相位切换供激光穿透的透光玻璃33。
多个玻璃保持器32分别为相同的形状。玻璃保持器32能够安装透光玻璃33，并且被固定在旋转部件31上。因此，透光玻璃33与旋转部件31一体旋转。如图3所示，玻璃保持器32具备第一固定部32a、第二固定部32b及玻璃安装部32c。
第一固定部32a及第二固定部32b，是利用螺栓固定在旋转部件31上的部分。固定第一固定部32a及第二固定部32b的螺栓的轴向，皆与旋转轴线91平行。因此，例如，即使在使旋转部件31高速旋转的情况，也不会朝螺栓脱离的方向施加离心力，因而螺栓不容易鬆动。另外，在玻璃安装部32c上安装有透光玻璃33。
多个透光玻璃33分别为相同的形状。本实施方式的透光玻璃33是矩形的板状，旋转轴线91侧的面即内表面33a与其相反侧的面即外表面33b平行。另外，在本实施方式中，激光入射在内表面33a上，并从外表面33b射出激光。透光玻璃33由能够穿透激光的材料构成。透光玻璃33的材料的折射率，与空气的折射率(配置有旋转部件31的空间内的气体的折射率)不同。透光玻璃33将旋转轴线91作为中心以呈放射状围绕旋转轴线91的方式配置。具体而言，当从平行于旋转轴线91的视线方向观察旋转部件31时，以连接多个透光玻璃33的内表面33a的形状成为多边形的方式配置多个透光玻璃。再者，由于内表面33a与外表面33b平行，因此连接多个透光玻璃33的外表面33b的形状也为多边形。
另外，也能够以成为正多边形的方式配置透光玻璃33，或者也能够以成为正多边形以外的多边形的方式配置。
另外，透光玻璃33并非全部与旋转轴线91平行配置，其中一部分或全部透光玻璃33，以相对于与旋转轴线91平行的直线倾斜的方式配置。具体而言，如图3所示，将透光玻璃33的内表面33a与平行于旋转轴线91的直线所夹的角度设为倾斜角α时，其中一部分或全部透光玻璃33的倾斜角α不同。在本实施方式中，通过制作玻璃安装部32c的倾斜角度不同的多种类的玻璃保持器32，而使倾斜角α不同。
由此，本实施方式的透光玻璃33以成为多边形的方式配置，并且以倾斜角α不同的方式配置。根据该构成，能够朝第一扫描方向(垂直于旋转轴线91的方向)、及第二扫描方向(平行于旋转轴线91的方向)的2个方向扫描激光。以下，参照图4及图5进行说明。图4是显示朝第一扫描方向扫描激光的状况的说明图。图5是显示朝第二扫描方向扫描激光的状况的说明图。再者，在图4及图5中，为了容易理解地显示扫描激光的状况，与实际关系不同(具体而言，以折射角θ2小于实际的折射角的方式)绘制入射角θ1与折射角θ2的关系。
首先，参照图4，说明朝第一扫描方向扫描激光的情况。如图4中央的图所示，在激光与内表面33a垂直的状况下，由于图4的视点下的入射角为0°，因此激光不折射。由此，激光不偏离第一扫描方向而从外表面33b射出。
另一方面，根据旋转部件31的旋转相位，激光与内表面33a变成垂直以外的状况。在此状况下，如图4的上侧或下侧的图所示，从透光玻璃33的内表面33a入射的激光被折射后在过透光玻璃33内行进。然后，当从透光玻璃33的外表面33b射出时再次折射，从而使得从外表面33b射出的激光与朝透光玻璃33入射时的激光平行。根据以上说明，激光偏离第一扫描方向。另外，在由透光玻璃33的内表面33a构成的多边形的中心角充分小且旋转部件31的旋转速度等速的情况下，激光(照射点)以大致等间距在第一扫描方向上排列。中心角充分小的情况，是指当将中心角设为θ(rad)时sinθ≒θ成立的程度的大小，例如，中心角为π/4rad(45°)以下的情况。
另外，由于入射角根据激光与内表面33a所夹的角度而变化，因此折射角也随之而不同。由此，激光的第一扫描方向的偏离量不同。另外，偏离方向会随着是相较于透光玻璃33的长边方向的中央穿透旋转方向的上游侧(图4中上侧的图)还是穿透旋转方向的下游侧(图4中下侧的图)而变化。根据以上说明，能够在激光穿透一个透光玻璃33的期间，在第一扫描方向上扫描激光(使激光的照射位置分散在第一扫描方向上)。
接着，参照图5，说明朝第二扫描方向扫描激光的情况。图5是在垂直于旋转轴线91的方向且垂直于穿透透光玻璃33的激光的行进方向的方向上观察透光玻璃33等的图。如图5中央的图所示，在穿透激光的透光玻璃33不倾斜的状况下(倾斜角α为0°的状况)，由于图5的视点下的入射角为0°，因此激光不折射。由此，激光不偏离第二扫描方向而从外表面33b射出。
另一方面，多个透光玻璃33中的至少一个透光玻璃33，倾斜(倾斜角α为0度以外)配置透光玻璃33。在激光穿透倾斜的透光玻璃33的情况下，由于内表面33a不垂直于激光，从透光玻璃33的内表面33a入射的激光折射后在透光玻璃33内行进。然后，当从透光玻璃33的外表面33b射出时再次折射，从而使得从外表面33b射出的激光与朝透光玻璃33入射时的激光平行。由此，激光偏离第二扫描方向。
另外，由于入射角根据透光玻璃33的倾斜角α而变化，因此折射角也随之而不同。由此，激光的第二扫描方向上的偏离量不同。另外，偏离方向会随着是透光玻璃33朝内侧(旋转轴线91侧)倾斜(图5中上侧的图)还是激光扫描装置23朝外侧倾斜(图5中下侧的图)而变化。根据以上说明，能够根据穿透激光的透光玻璃33的倾斜角α而朝第二扫描方向扫描激光(使激光的照射位置分散在第二扫描方向)。
接着，参照图6及图7，说明本实施方式的激光加工装置1中激光如何分散照射的情况。图6是显示照射激光的顺序的图。图7是示意显示表观束径大的激光被照射于工件100上的状况的立体图。再者，为了在以下的说明中简化说明，说明在将加工头14固定的状态下一面使旋转部件31旋转一面照射的激光的情况。
另外，在以下的说明中，如图2所示，依激光穿透的顺序将邻接排列的5个透光玻璃33分别设为第一透光玻璃、第二透光玻璃、...、第五透光玻璃。另外，第一透光玻璃至第五透光玻璃分别具有不同的倾斜角α。以下，说明穿透第一透光玻璃至第五透光玻璃的激光如何进行扫描的情况。
激光首先穿透第一透光玻璃。由于激光会依旋转部件31的旋转相位而偏离第一扫描方向，因此，如图6所示，沿着第一扫描方向照射No.1至No.10的激光。图6所示的各圆，是一次的激光(一个脉冲量的激光)，且其中的数字为照射的顺序。
如上所述，排列位于第一扫描方向的激光，是穿透一个透光玻璃33的激光。再者，在图6中，将状况简化且假定激光分别穿透一个透光玻璃33十次。另外，在图6中，以邻接的圆彼此相切的方式绘制。
另外，激光被照射于第二扫描方向的哪一位置，根据穿透的透光玻璃33的倾斜角α而变化。如上所述，第一透光玻璃至第五透光玻璃的倾斜角α全部不同。因此，接着，当激光穿透第二透光玻璃时，No.11至No.20的激光沿第一扫描方向照射在与No.1至No.10在第二扫描方向上不同的位置。同样地，激光穿透第3透光玻璃、第4透光玻璃及第五透光玻璃，分别朝与第二扫描方向不同的位置照射No.21至No.30的激光、No.31至No.40的激光、No.41至No.50的激光。
以下，更详细地说明第二扫描方向的扫描。在本实施方式中，穿透第一透光玻璃及第二透光玻璃的各激光，在第二扫描方向上不邻接，而隔开供另一激光照射的程度的间隔进行照射。这点不仅仅在第一透光玻璃及第二透光玻璃中，对其他邻接的透光玻璃33也同样适用。再者，在第二扫描方向上隔开间隔的区域，供随后的另一激光照射。由此，在激光照射于工件100之后，激光暂时不会照射邻接的区域。因此，能够确保照射激光进行烧蚀加工而多馀的热量散发的时间。由此，能够进一步减小烧蚀加工时的热的影响。因此，例如，在通过烧蚀加工切割工件100时，切割面不易熔化。
另外，在本实施方式中，由于能够增大在第一扫描方向及第二扫描方向的双方的表观束径，因此与仅单方向的扫描方向的现有构成比较，能够缓和加工饱和的影响。加工饱和是指激光的能量不转移至烧蚀而被转换为热的情况。
再者，若旋转部件31的转速越低，则连续照射的激光的照射区域越容易重叠(例如，显示No.1的照射区域的圆与显示No.2的照射区域的圆的重叠面积增加)。由此，烧蚀加工中多馀的热量难以散发，因此烧蚀加工时的热的影响增大。因此，优选旋转部件31以高速(100rps以上)进行旋转。由此，连续照射的激光的照射区域完全不重叠或仅稍微重叠，因而能够减小烧蚀加工时的热影响。
由此，能够以自加工头14照射表观振荡频率小且表观束径大的激光的方式进行处理。因此，如图7所示，能够一面照射表观束径大的激光一面使加工头14移动，进行工件100的切割等加工。再者，优选加工头14的移动方向平行于第一扫描方向。只是，加工头14的移动方向，也能够平行于第二扫描方向、或为其他方向。
接着，说明伴随工件100的加工进度状况的焦点的调整。通过激光蒸发除去工件100，以使工件100的表面的位置(即加工位置)变化。具体而言，加工位置在板厚方向上，详细而言朝激光照射方向的下游侧变化。
因此，在本实施方式中，使激光的焦点位置相对于工件100的加工位置的相对位置变化，以使焦点位置与加工位置相对接近。作为激光的焦点位置的相对位置的变化方法，例如具有使工件100朝激光照射方向的上游侧移动的方法。由此，由于能够将激光的聚光点与加工位置之间的距离保持恆定，因此能够有效地加工工件100。激光的焦点位置，根据工件100的加工的进度状况而变化。工件100的加工的进度状况，例如根据激光照射于工件100上的照射次数而算出。
如上所述，虽然参照图1至图7说明了本实施方式的激光加工装置1，但激光加工装置1也能够变更如下。
图1所示的移动部11不限于进行一轴移动的构成，也能够为2轴以上的移动。另外，移动部11也能够为夹持工件100移动的构成。
图1所示的加工头14，不限于进行一轴移动的构成，也能够为2轴以上的移动。另外，也能够为将相当于加工头14的零件安装在机器人臂上，且通过移动机器人臂来加工工件100的构成。
另外，也能够省略移动部11，使加工头14相对于以不能移动的方式固定的工件100进行加工。相反，也能够将加工头14的位置固定，且通过移动部11使工件100移动进行加工。
尽管图2所示的透光玻璃33全部为相同的形状，但只要表面连续地连接，也能够包含不同的形状。例如，通过使透光玻璃33的相当于所述多边形的边的部分的长度不同，能够使穿透一个透光玻璃33的一系列激光的第一扫描方向上的长度不同。因此，例如，也能够将表观的光束形状设为圆形而非矩形。另外，也能够使一部分或全部的透光玻璃33的厚度不同。透光玻璃33的厚度越大，越能够增加第一扫描方向及第二扫描方向的偏离量。另外，只要透光玻璃33具有使激光穿透的性质，也能够由玻璃以外的材料构成。
另外，在本实施方式中，当从平行于旋转轴线91的视线方向观察旋转部件31时，反射镜42(朝透光玻璃33照射的激光的照射源)由透光玻璃33包围，但如后述的第二变形例那样，也能够将反射镜42配置在由透光玻璃33包围的位置的外侧。
也能够取代图2所示的反射镜42，使用棱镜作为导光部件使激光反射。另外，只要导光部件具有以激光产生器12产生的激光穿透透光玻璃33的方式进行导引的功能，也能够为不同的构成。
虽然图3所示的聚光部件21在激光的行进方向上位于激光扫描装置23的上游侧，但也能够使用例如fθ透镜作为聚光部件21，且将聚光部件21配置在激光扫描装置23的下游侧。另外，图3所示的聚光部件21，也能够配置在反射镜42与透光玻璃33之间。另外，在与加工头14的位置无关而以光程长度恆定的方式进行导光的情况下，也能够在支撑部件13上配置聚光部件21而不是加工头14上。
图3所示的电动机43，也能够为气动电机。
接着，参照图8说明第一变形例。图8是第一变形例的激光扫描装置23的立体图。所述实施方式，是以相当于多边形的边的方式排列配置多个透光玻璃33的构成。与此相对，第一变形例是使用在相当于多边形的边的部分具有厚度的形状的一个透光玻璃33的构成。与所述实施方式相同，第一变形例的激光扫描装置23，能够在第一扫描方向及第二扫描方向的双方扫描激光。
接着，参照图9说明第二变形例。图9是第二变形例的激光扫描装置23的侧剖视图。图9是与所述实施方式的图3对应的图。在所述实施方式中，通过聚光部件21的激光，被朝由透光玻璃33包围的空间导光之后，入射在透光玻璃33的内表面33a。与此相对，在第二变形例中，通过聚光部件21的激光，从由透光玻璃33包围的空间的径向外侧入射在透光玻璃33的外表面33b。与所述实施方式相同，穿透该透光玻璃33的激光，从由透光玻璃33包围的空间入射在透光玻璃33的内表面33a。
由此，在第二变形例中，在照射于工件100前的期间二次穿透透光玻璃33。由于将二次的穿透的第一扫描方向及第二扫描方向的的偏离方向设为相同，因此隔着旋转轴线91而对向配置的2个透光玻璃33平行。因此，当从平行于旋转轴线91的视线方向观察旋转部件31时，透光玻璃33为偶数边数的多边形。顺便提及，由于对向配置的透光玻璃33平行，因此对向配置的透光玻璃33的倾斜角α相同。
如以上说明，所述实施方式的激光扫描装置23，具备旋转部件31、透光玻璃33及反射镜42。旋转部件31以旋转轴线91为中心进行旋转。透光玻璃33配置在旋转部件31上。反射镜42以激光入射在透光玻璃33的方式导引该激光。当从平行于旋转轴线91的视线方向观察旋转部件31时，连接多个透光玻璃33的内表面33a的形状是多边形。当将透光玻璃33的内表面33a与平行于旋转轴线91的直线的夹角设为倾斜角α时，多个透光玻璃33的倾斜角α中至少2个倾斜角的值不同。
因此，通过连接透光玻璃33的内表面33a的形状为多边形且使透光玻璃33旋转，能够在与旋转轴线91垂直的方向对透光玻璃33的一面扫描激光。并且，由于透光部件的倾斜角中至少2个倾斜角的值不同，因此能够朝平行于旋转轴线91的一个方向对各透光玻璃33的一面扫描(位移)激光。通过旋转透光玻璃33，根据这些部件的2个运动，变得能够朝2个方向扫描激光，因此，能够与表观束径大的激光类似进行处理。
并且，由于激光分散照射于2个扫描方向，因此激光暂且变得难以再照射于曾一度照射激光的部位附近，因而照射激光进行烧蚀加工时多馀的热量变得容易散发。因此，能够进行热影响小的烧蚀加工。由此，能够有效且均匀地进行切割等的加工。
另外，在所述实施方式的激光扫描装置23中，反射镜42以激光入射在透光玻璃33的内表面33a的方式导引激光。
由此，与第二变形例比较，能够实现紧凑的激光扫描装置23。
另外，在第二变形例的激光扫描装置23中，以成为多边形的方式配置的透光玻璃33的边数(透光玻璃33的数量)为偶数，且隔着旋转轴线91而对向的2个内表面33a平行。反射镜42以激光入射在透光玻璃33的外表面33b的方式导引激光。穿透该外表面33b的激光，入射在对向的透光玻璃33的内表面33a。
由此，由于激光2次穿透透光玻璃33，因此能够增加激光在第一扫描方向及第二扫描方向上的偏离量。
另外，在所述实施方式的激光扫描装置23中，透光玻璃33是平板状，当从平行于旋转轴线91的视线方向观察旋转部件31时，以成为多边形的方式排列配置多个透光玻璃33。
由此，能够使用普通形状的透光玻璃33实现本发明。
另外，在所述实施方式的激光扫描装置23中，如图6所示，在穿透第一透光玻璃照射于工件100的一系列激光的照射区域(图6的No.1至No.10)、与穿透第二透光玻璃照射于工件100的一系列激光的照射区域(图6的No.11至No.20)之间的区域，照射穿透第4透光玻璃照射于工件100的一系列激光(图6的No.31至No.40)。再者，第一透光玻璃的内表面33a相当于“第一内表面”，第二透光玻璃的内表面33a相当于“第二内表面”，第4透光玻璃的内表面33a相当于“不与第一内表面及第二内表面的双方邻接的内表面”。
由此，由于更加难以连续地对相同部位照射激光，因此能够进一步减小烧蚀加工时的热的影响。
另外，所述实施方式的激光加工装置1，具备激光扫描装置23、激光产生器12及聚光部件21。激光产生器12产生激光。聚光部件21会聚激光。
由此，能够实现烧蚀加工时的热影响小的激光加工装置1。
另外，所述实施方式的激光加工装置1，具备照射激光的加工头14。加工头14以能够移动的方式构成。
由此，即使在使用加工头14移动激光的情况下，烧蚀加工时的热影响也很小。
附图标记说明
1 激光加工装置
21 聚光部件
23 激光扫描装置
31 旋转部件
32 玻璃保持器
33 透光玻璃(透光部件)
42 反射镜(导光部件)。

Claims (7)

1.一种激光扫描装置，其特征在于，具备：
旋转部件，其以旋转轴线为中心进行旋转；
透光部件，其配置于所述旋转部件上；和
导光部件，其以激光入射在所述透光部件上的方式导引该激光，
当从平行于所述旋转轴线的视线方向观察所述旋转部件时，连接所述透光部件的所述旋转轴线侧的面即内表面的形状是多边形，
当将所述透光部件的所述内表面与平行于所述旋转轴线的直线所夹的角度设为倾斜角时，所述透光部件的倾斜角中至少2个倾斜角的值不同。
2.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其中，所述导光部件以激光入射在所述透光部件的所述内表面方式导引所述激光。
3.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其中，所述多边形的边数是偶数，且隔着所述旋转轴线而对向的2个所述内表面平行，
所述导光部件以激光入射在与所述透光部件的所述内表面相反侧的面即外表面的方式导引所述激光，
穿透该外表面的激光，入射在对向的所述透光部件的所述内表面。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的激光扫描装置，其中，所述透光部件是平板状，当从平行于所述旋转轴线的视线方向观察所述旋转部件时，以成为所述多边形的方式排列配置多个所述透光部件。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光扫描装置，其中，当将所述透光部件的邻接的2个内表面分别称为第一内表面和第二内表面时，
在穿透所述第一内表面的激光的照射区域、与穿透所述第二内表面的激光的照射区域之间的区域内，照射穿透与所述第一内表面及所述第二内表面的双方不邻接的所述内表面的激光。
6.一种激光加工装置，其特征在于，具备：
权利要求1至5中任一项所述的激光扫描装置；
激光产生器，其产生所述激光；和
聚光部件，其会聚所述激光。
7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其中，具备照射所述激光的加工头，所述加工头以能够移动的方式构成。
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