CN112645997B - 由表雄酮合成的树脂单体及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
Description
技术领域
本发明涉及光刻胶树脂单体领域,特别涉及一种由表雄酮合成的树脂单体及其制备方法。
背景技术
光刻材料(特指光刻胶),又称光致抗蚀剂,是光刻技术中涉及的最关键的功能性化学材料,主要成分是树脂、光致产酸剂、以及相应的添加剂和溶剂,这类材料具有光(包括可见光、紫外线、电子束等)化学敏感性,经光化学反应,本身在显影液中的溶解性发生变化。
树脂是由多种树脂单体聚合而成的聚合物,其中不同的树脂单体是具有不同的功能,树脂单体为线性聚合物。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种由表雄酮合成的树脂单体及其制备方法。
为了解决上述技术问题,本发明提供了如下的技术方案:
本发明一种由表雄酮合成的树脂单体,所述树脂单体结构通式如下:
作为本发明的一种优选技术方案,所述树脂单体包括以下结构:
上述树脂单体的制备方法,包括以下合成路线
合成步骤为:
S1,表雄酮Ⅰ与甲基丙烯酰氯或甲基丙烯酸类化合物经酯化反应得到中间体Ⅱ;
作为本发明的一种优选技术方案,S2中,所述酸为对甲苯磺酸吡啶盐。
作为本发明的一种优选技术方案,S2中,所述羟基羧酸类化合物包括DL-苹果酸、2-(2-甲基丙-2-烯酰氧基)乙酸、3-羟丙酸、3-羟基丁二酸甲酯或3-羟基戊酸。
与现有技术相比,本发明的有益效果如下:
(1)树脂单体中半缩醛结构与酯基结构相连,使形成的光刻胶具有良好临界尺寸均一性。
(2)表雄酮的环状结构在很大程度上增加了光刻胶耐刻蚀性,树脂单体的多酯基结构也增加了其在脂溶性溶剂中的溶解性,方便旋涂均匀。
(3)本发明的合成路线简单,操作方便。
具体实施方式
应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。
实施例1
化合物1-2的制备:
将表雄酮1-1(10g,34.4mmol),三乙胺(4g,39.5mmol)溶于二氯甲烷(100g)中,然后在0℃,氮气保护下,将甲基丙烯酰氯(4g,38.3mmol)滴加到上述混合液中搅拌30分钟,然后在室温下继续搅拌4小时。加水,萃取,将萃取液浓缩,得到粗产品,粗产品经柱层析纯化,得到化合物1-2(9.8g,27.3mmol,摩尔收率79.4%)。
树脂单体1-3的制备:
将化合物1-2(9.8g,27.3mmol)、DL-苹果酸(7.5g,55.9mmol)和对甲苯磺酸吡啶盐(0.7g,2.8mmol)加入到二甲基甲酰胺(100g)中,在70℃下搅拌5小时。将反应液冷却至20℃,加入氯仿和5%碳酸氢钠水溶液,搅拌30分钟,分离,得到有机层。将有机层用去离子水萃取3次,浓缩,用色谱柱纯化得到树脂单体1-3(10.5g,22.1mmol,摩尔收率80.9%)。
实施例2
化合物2-2的制备:
将表雄酮2-1(10g,34.4mmol),对甲苯磺酸(1g,5.8mmol)溶于甲苯(100g)中,然后将2-(2-甲基丙-2-烯酰氧基)乙酸(5.2g,36.1mmol)加入到上述混合液中,在110℃下继续搅拌4小时,而反应产生的水用分水器蒸馏去除。将反应液依次用水、饱和碳酸钠和饱和食盐水进行洗涤,并用无水硫酸钠干燥,浓缩得到粗产品。粗产品经柱层析纯化,得到化合物2-2(10.3g,24.7mmol,摩尔收率71.8%)。
树脂单体2-3的制备:
将化合物2-2(10.3g,24.7mmol)、乙醇酸(4g,52.6mmol)和对甲苯磺酸吡啶盐(0.7g,2.8mmol)加入到二甲基甲酰胺(150g)中,在70℃下搅拌5小时。将反应液冷却至20℃,加入氯仿和5%碳酸氢钠水溶液,搅拌30分钟,分离,得到有机层。将有机层用去离子水萃取3次,浓缩,用色谱柱纯化得到树脂单体2-3(9.5g,20.0mmol,摩尔收率81.0%)。
实施例3
化合物3-2的制备:
将表雄酮3-1(10g,34.4mmol),对甲苯磺酸(1g,5.8mmol)溶于甲苯(100g)中,然后甲基丙烯酸(3.5g,40.7mmol)加入到上述混合液中,在110℃下继续搅拌4小时,而反应产生的水用分水器蒸馏去除。将反应液依次用水、饱和碳酸钠和饱和食盐水进行洗涤,并用无水硫酸钠干燥,浓缩得到粗产品。粗产品经柱层析纯化,得到化合物3-2(9.5g,26.5mmol,摩尔收率77.0%)。
树脂单体3-3的制备:
将化合物3-2(9.5g,26.5mmol)、3-羟丙酸(5g,55.5mmol)和对甲苯磺酸吡啶盐(0.7g,2.8mmol)加入到二甲基甲酰胺(150g)中,在70℃下搅拌5小时。将反应液冷却至20℃,加入氯仿和5%碳酸氢钠水溶液,搅拌30分钟,分离,得到有机层。将有机层用去离子水萃取3次,浓缩,用色谱柱纯化得到树脂单体3-3(9g,20.9mmol,摩尔收率78.9%)。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
3.根据权利要求2所述的由表雄酮合成的树脂单体的制备方法,其特征在于,S2中,所述酸为对甲苯磺酸吡啶盐。
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