CN112585480A - 用于测试半导体器件的接触器及插座装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用于测试半导体器件的混合型接触器及插座装置，本发明的混合型接触器包括：将冲压形成有预定形状的带状图案的金属板材轧制成圆柱形而一体构成的第一接触器单元；插入到该第一接触器单元中并具有导电性和弹性的第二接触器单元；将第一接触器单元和第二接触器单元固定为一体的具有绝缘性的弹性材料、即模制部，所述混合型接触器能够克服一般的针型和橡胶型的接触器的缺点，根据测试设备的要求容易实现机械特性和电特性的最优化，适合微小间距用设备的测试。

Description

用于测试半导体器件的接触器及插座装置
技术领域
本发明涉及用于测试半导体器件的接触器及插座装置，更详细地，涉及用于接触点、端子之间的电连接的接触器以及插座装置。例如内置于用于测试IC的测试插座，将IC的端子(lead)和PCB的焊盘(pad)电连接，或者将个人计算机(PC)、移动电话等电子产品的内部的PCB和CPU等的IC的端子电连接。
背景技术
测试插座是在半导体后处理阶段用于检查半导体器件的缺陷的部件，是在最末端与设备构成接触并在测试工序中将通过测试装置和测试板传输的信号传输给设备的部件。
测试插座要求准确的机械接触特性和稳定的电接触特性，以使得各个设备移动到准确的位置并与测试板准确接触，并且在传输信号时在接触点能够无信号偏差地传输。
由于这种测试插座是通过重复的测试工序而机械特性、电特性降低的消耗性部件，因此迫切要求延长其寿命来增加其可使用次数，从而减少测试工序的费用。
另一方面，决定测试插座的寿命的最大原因可举出两种。第一个原因是由于在机械部分不稳定的接触而使插座损坏的问题，第二个原因是由于持续的接触而使接触部位的污染从而使接触电阻升高，使得电特性不稳定的问题。
一般使用的测试插座根据连接半导体器件和测试装置的导电方法的形态可以分为针(pin)型和橡胶(rubber)型。
图1和图2分别为一般针型和橡胶型的测试插座的剖视图。
参照图1，针型的测试插座10包括：具备弯曲形成并具有弹性的多个接触针12的插座主体11；在插座主体11上部可上下游动的盖13；与盖13的上下移动联动以实现设备20的固定或解除固定的可旋转地组装于插座主体11的闩锁14。
接触针12在上下方向上具有弹性，起到将设备的端子和测试装置的焊盘电连接的作用，根据设备的端子和测试装置的焊盘的材料和形态，存在有各种接触针，例如存在有由柱塞、发条盒(barrel)和弹簧构成的弹簧针。
闩锁14形成有引导槽14a，该引导槽14a上紧固有引导针15a，该引导针15a的一端固定于与盖13铰链紧固的驱动链15。盖13被螺旋弹簧16弹性支撑。
当如此构成的针型的测试插座10按压盖13时，闩锁14向外张开可实现设备20的装载，当松开盖13时，针型的测试插座通过由螺旋弹簧15的弹性恢复力按压设备20的上部的闩锁14来实现固定。
但是，在这种针型的测试插座中，为了使接触针12具有弹性而具有螺旋形或曲线形结构，从而电流路径(current path)变长而存在信号损失的问题，并且不利于超高频带。另外，在微小间距的测试插座中，收纳接触针12的壳体结构的制造过程复杂且存在费用大幅增加的问题。
其次，参考图2，橡胶型的测试插座30包括：通过使绝缘性硅粉末固化而具有伸缩性的连接器主体31；与设备20的焊球(端子)21对应且与连接器主体31垂直地贯穿形成的导电硅部32。导电硅部32垂直地贯穿连接器主体31，具有大致圆柱形态。
对这种橡胶型的测试插座的制造方法进行说明，将绝缘性硅和导电性粉末以预定的比率混合的硅混合物加入到金属铸模中，在形成导电硅部32的位置形成磁场时，硅混合物的导电性粉末聚集到磁场形成位置，最终熔融的硅混合物固化而得到形成有导电硅部32的测试插座30。
在如此制造的测试插座30中，测试装置位于底部，导电硅部32下端与焊盘接触，导电硅部32上端通过由设备20从上端施加预定的压力而实现与焊球21电接触。
这种橡胶型的测试插座30是柔软的材料并具有弹性，因此导电硅部32的上表面包围焊球21，从而实现稳定的电接触，这时导电硅部32中心部分以扩展的方式突出。
但是，这种橡胶型的测试插座30具有在重复的测试过程中弹性损失而使用寿命显著降低的缺点，因此使用次数短且因频繁更换而发生费用增加。
特别是橡胶型的测试插座不容易确保在微小间距的设备中的相邻的导电硅部32之间的足够的绝缘距离L，发生短路的可能性较高。
具体而言，在微小间距的设备用测试插座中，在导电硅部32之间的距离变得非常短的情况下，确保导电硅部32之间的足够的绝缘距离L非常重要。
但如上所述，橡胶型的测试插座30向混合有绝缘性硅和导电性粉末的混合硅熔体施加磁场，导电性粉末沿着磁路(magnetic path)聚集而形成导电硅部32，因此沿着磁路聚集的导电性粉末无法分布于准确定义的尺寸d内，导电性粉末的密度D具有连续减少的部分δ。
因此，橡胶型的测试插座30具有预定的减少部分δ而不是导电硅部32准确定义的直径d，由此存在相邻的导电硅部32之间的绝缘距离L变得非常短的问题，这非常不利用作微小间距用测试插座。
另外，橡胶型的测试插座在制造过程中，向混合硅熔体施加磁场，为了得到沿着磁场集中的磁路的足够的导电性粉末密度，需要在相当长时间内施加磁场，因此具有制造工序变长的缺点。
在测试设备的热应力的老化(burn-in)测试过程中，在100℃或更高的温度下进行几十小时至最长1000小时的测试，因此橡胶型的测试插座在老化测试过程中硅的弹性降低，可能发生设备与接触器之间的电接触的不良。
由此，本发明人开发了一种能够克服现有技术的针(pin)型和橡胶(rubber)型的缺点并可以结合优点的新型的混合接触器和测试插座装置。
现有技术文献
专利文献
韩国公开专利公报第10-2006-0062824号(公开日：2006.06.12)
韩国授权专利公报第10-1860923号(公告日：2018.05.24.)
发明内容
本发明提供了一种能够改善这种现有技术的问题、能够克服现有技术的针型和橡胶型的测试插座装置的缺点、能够改善在老化测试过程中橡胶型的接触的自身耐久性降低的问题、电特性优异、能够延长使用寿命且适合微小间距的设备的测试插座装置。
另外，本发明提供具有适合这种微小间距的设备用测试插座装置的结构的混合型接触器。
根据本发明的一个方面的混合型接触器包括：将冲压形成有带状图案的金属板材轧制成圆柱形而一体构成的第一接触器单元；插入到所述第一接触器单元中并具有导电性和弹性的第二接触器单元；以及将所述第一接触器单元和所述第二接触器单元固定为一体的具有绝缘性的弹性材料、即模制部。
另外，根据本发明的测试插座涉及包括上述混合型接触器的测试插座，包括：与设备的端子对应并收纳所述混合型接触器且形成有多个通孔的固定部；将所述混合型接触器与所述固定部固定为一体并具有弹性的绝缘主体部。
本发明的混合型接触器包括：将冲压形成有预定形状的带状图案的金属板材轧制成圆柱形而一体构成的第一接触器单元；插入到第一接触器单元中并具有导电性和弹性的第二接触器单元；以及将第一接触器单元和第二接触器单元固定为一体并具有绝缘性的弹性材料、即模制部，从而克服了现有技术的针型和橡胶型的接触器的缺点，易于根据测试设备的要求实现机械特性和电特性的最优化，适合用于微小间距用设备的测试。
另外，根据本发明的混合型接触器，即使在老化测试的长时间的高温环境中也可以确保稳定的特性，因此能够改善一般的橡胶型的测试插座装置的操作可靠性的问题。
附图说明
图1和图2分别是一般针型和橡胶型的测试插座的剖视图。
图3和图4分别是根据本发明第一实施例的混合型接触器的纵剖视图及平面图。
图5至图7是表示本发明第一实施例的混合型接触器的第一接触器单元的图。
图8和图9分别是根据本发明第二实施例的混合型接触器的纵剖视图及平面图。
图10和图11分别是根据本发明第三实施例的混合型接触器的纵剖视图以及平面图。
图12是根据本发明第四实施例的混合型接触器的纵剖视图。
图13是表示根据本发明第四实施例的混合型接触器的其它变形例的纵剖视图。
图14是根据本发明第五实施例的混合型接触器的纵剖视图。
图15是表示根据本发明第五实施例的混合型接触器的其它变形例的纵剖视图。
图16是根据本发明第六实施例的混合型接触器的纵剖视图。
图17是根据本发明第一实施例的测试插座的平面图。
图18是图17的A-A线的剖视图。
图19是根据本发明第二实施例的测试插座的剖视图。
具体实施方式
首先，本说明书和权利要求书中使用的用语或词语不应解释为限定于通常的含义或词典中的含义，发明人为了将自己的发明以最佳方法进行说明，在能够适当定义用语的概念的原则上，解释为符合本发明的技术思想的含义和概念。
因此，本说明书中记载的实施例和图中所示的结构仅是本发明的最优选的一个实施例，并不代表本发明全部的技术思想，从本申请出发点应该理解为存在可以替代它们的各种等价物和变形例。
本发明的主要特征在于，一种混合型的接触器，包括：将冲压形成有预定形状的带状图案的金属板材轧制成圆柱形而一体构成的第一接触器单元；插入到该第一接触器单元中并具有导电性和弹性的第二接触器单元；将第一接触器单元和第二接触器单元固定为一体的具有绝缘性的弹性材料的模制部。下面，参照附图对根据本发明的实施例的混合型接触器进行详细地说明。
第一实施例
图3和图4分别为根据本发明第一实施例的混合型接触器的纵剖视图及平面图。
参照图3和图4，根据本实施例的混合型接触器100包括：将冲压形成有带状图案的金属板材轧制成圆柱形而一体构成的第一接触器单元110；插入到第一接触器单元110中并具有导电性和弹性的第二接触器单元120；将第一接触器单元110和第二接触器单元120固定为一体的具有绝缘性的弹性材料、即模制部130。
第一接触器单元110是将冲压获得的具有预定形状的带状图案的金属板材轧制的、具有预定半径(<1mm)的圆柱形的针型接触器，并在轴向C1上具有弹性。
图5至图7是表示本发明第一实施例的混合型接触器的第一接触器单元的图，图5是展开状态下的带状图案，图6是带状图案的侧视图，图7是轧制成圆柱形的第一接触器单元的主视图。
参照图5和图6，第一接触器单元的带状图案110’包括：弹性部111，其由水平带111a和垂直带111b构成，并且单元带111a、111b以锯齿形图案连接；上侧头部112，其具有向上突出形成的上侧尖端部112a，并从弹性部111的最顶端延伸；下侧头部113，其具有向下突出形成的下侧尖端部113a，并从弹性部111的最底端延伸。
第一接触器单元主要将以铍铜(BeCu)、铜合金、或不锈钢(SUS)等作为材料的板材进行冲压而制作成预定图案，并将其弯曲成圆柱形制造成接触器，表面可以镀有金、钯(Pd)、钯镍(PdNi)或钯钴(PdCo)等。
弹性部111包括单元带111a、111b，该单元带111a、111b由水平带111a和垂直带111b构成，该垂直带111b沿水平带111a的一端垂直延伸且长度比水平带111a短，多个单元带111a、111b以锯齿形图案连接。
上侧头部112和下侧头部113分别具有沿着边缘以多个锯齿形构成的上侧尖端部112a和下侧尖端部113b，并与设备的端子及测试装置的焊盘接触。
虽然在本实施例中例示为上侧头部112和下侧头部113与弹性部111的水平带111a相同，但并不限定于此，宽度和长度可以不同。
这种板状的带状图案110’以圆柱形弯曲，以水平带111a的中心为垂直轴C2，从而弯曲成圆柱形。
图7表示将轧制成圆柱形的第一接触器单元的部分切开的状态的主视图。
另一方面，本实施例中第一接触器单元110可以以各种带状图案提供，例如，在弹性部的部分沿长度方向连接有多个闭合环，或者可以存在有如螺旋状的带状图案等的各种变形。
其次，参照图3和图4，第二接触器单元120是插入到第一接触器单元110中并具有导电性和弹性的部件，优选为具有混入导电性粒子且具有弹性、绝缘性的圆柱形状。例如，第二接触器单元120以如下方式制成：将导电性的粉末和绝缘性的硅粉末的混合物填充到圆柱形的模具中，使其在熔融后固化，从而能够得到具有导电性和弹性的、圆柱形的第二接触器单元120。
具有导电性的粒子可以为金属物质的粒子，或者可以为在金属或非金属粒子的表面上镀覆金(Au)、银(Ag)、钯(Pd)、钯镍(PdNi)、或钯钴(PdCo)等的粒子，或者可以混入碳纳米管等。
构成第二接触器单元120的绝缘性的材料可以使用弹性高分子物质，代表性地可以使用硅，但并不限定于此。
在如上所述制造的第二接触器单元120插入到第一接触器单元110中并进行临时组装后，第一接触器单元110和第二接触器单元120通过模制部130而固定为一体。作为模制部130的材料，可以使用具有弹性和绝缘性的材料，例如可以使用硅，但并不限定于此。
另一方面，第一接触器单元110和第二接触器单元120可以使用模具或金属铸模制造成单元混合型接触器，或者在另外的插座主体上临时组装多个第一接触器单元和第二接触器单元的状态下，通过与插座主体一体地模制加工模制部130的方式，而制造成插座单元。
如图3所示，第二接触器单元120的外径比第一接触器单元110的内径小，第二接触器单元120与第一接触器单元110之间具有预定间距d并位于同心轴上，因而容易实现将第二接触器单元120插入到第一接触器单元110中的插入步骤。另一方面，由于第二接触器单元120具有一定的弹性并与第一接触器单元110组装，因而第二接触器单元120被制作为具有与第一接触器单元110的内径相同的外径，并被压入至第一接触器单元110，从而与第一接触器单元110组装。
另外，虽然在图3中例示了，模制部130的高度与从第一接触器单元110的上侧头部112至下侧头部113的高度相当，但根据需要，也可以仅在除了上侧头部与下侧头部以外的、发生相对较大的电阻的弹性部上设置模制部。
特别地，在本实施例中，混入导电性粒子的第二接触器单元120仅插入至第一接触器单元110的内侧，因而在轴向C上具有弹性的第一接触器单元110的压缩部分内仅具备作为弹性材料的模制部130，从而防止由导电性粒子的第一接触器单元110的弹性变形而产生的干扰。
第二实施例
图8和图9分别是根据本发明第二实施例的混合型接触器的纵剖视图及平面图。作为参考，针对与第一实施例的相同构成，使用相同的附图标记并省略重复的说明。
参照图8和图9，根据本实施例的混合型接触器200，包括：将冲压形成有带状图案的金属板材轧制成圆柱形而一体构成的第一接触器单元110；插入到第一接触器单元110中并具有导电性和在轴向C1上具有弹性的螺旋弹簧220；将第一接触器单元110和螺旋弹簧220固定为一体的具有绝缘性的弹性材料、即模制部230。
优选地，螺旋弹簧220由机械特性优异的不锈钢(SUS)制成。这种螺旋弹簧220插入到第一接触器单元110中，并与第一接触器单元110一起弹性支撑设备的端子和测试装置的焊盘，从而起到传输信号的传输路径的效果。特别是不锈钢的螺旋弹簧220，机械特性优异，在老化测试等长时间的高温环境下也能够维持稳定的特性(弹性)，从而克服了只通过第一接触器单元110和模制部230无法获得的机械特性，进而能够提高可靠性。
优选地，螺旋弹簧220的外径小于第一接触器单元的110的内径，并具与第一接触器单元的110之间具有预定的间距d，因此在将螺旋弹簧220插入至第一接触器单元110中临时组装的过程中具有足够的间隙，从而能够防止在操作过程中发生螺旋弹簧220和第一接触器单元110之间的干扰。
在如此制造的螺旋弹簧220插入至第一接触器单元110中临时组装后，第一接触器单元110与螺旋弹簧220通过模制部230而被固定为一体。这种组装过程与第一实施例相同。
第三实施例
图10和图11分别为根据本发明第三实施例的混合型接触器的纵剖视图及平面图。针对与上述实施例相同的构成，使用相同的附图标记并省略重复的说明。
如图10和图11所示，根据本实施例的混合型接触器300，包括：将冲压形成有带状图案的金属板材轧制成圆柱形而一体构成的第一接触器单元110；插入到第一接触器单元110中且将金属板材冲压并轧制成圆柱形而一体构成的第二接触器单元320；将第一接触器单元110与第二接触器单元320固定为一体的具有绝缘性的弹性材料、即模制部330。
第二接触器单元320与第一接触器单元110相同，且为将带状图案弯曲成圆柱形的针型的接触器，此时第一接触器单元110和第二接触器单元320也可以是具有相同的带状图案的针型的接触器，或者也可以是具有互不相同的带状图案的针型的接触器。
在这样的第二接触器单元320插入到第一接触器单元110中临时组装后，第一接触器单元110和第二接触器单元320通过模制部330而被固定为一体，该组装过程与第一实施例相同。
第四实施例
图12是根据本发明的第四实施例的混合型接触器的纵剖视图。
参照图12，根据本实施例的混合型接触器400，包括：将冲压形成有带状图案的金属板材轧制成圆柱形而一体构成的第一接触器单元110；插入到第一接触器单元110中并具有导电性和弹性的第二接触器单元420；插入到第二接触器单元420中并具有导电性和弹性的第三接触器单元430；将第一接触器单元110、第二接触器单元420、以及第三接触器单元430固定为一体的具有绝缘性的弹性材料、即模制部440。
在本实施例中，第二接触器单元420为螺旋弹簧，螺旋弹簧内侧插入有混入有导电性粒子的具有弹性、绝缘性的圆柱形的第三接触器单元430。第三接触器单元430与第一实施例相同，因此省略重复的说明。
如此构成的混合型接触器400与机械特性优异的螺旋弹簧一起组合成具有弹性和导电性的第三接触器单元430，在老化测试等高温环境下也可以得到优异的电特性和操作可靠性。
图13是表示根据本发明第四实施例的混合型接触器的其它变形例的纵剖视图。
如图13所示，在本实施例的混合型接触器400’中，与上述实施例相同地，在第二接触器单元420的内侧插入有第三接触器单元431、432，第三接触器单元431、432仅分别设置在与设备的端子和测试装置的焊盘接触的第二接触器单元420的上端和下端，中央部分填充模制部440。
另一方面，虽然本实施例中例示了第二接触器单元420的上端和下端均设置有第三接触器单元431、432的情况，但第三接触器单元也可以仅设置在上端或下端中的任一处。
第五实施例
图14是根据本发明的第五实施例的混合型接触器的纵剖视图。
参照图14，根据本实施例的混合型接触器500包括：将冲压形成有带状图案的金属板材轧制成圆柱形而一体构成的第一接触器单元110；插入到第一接触器单元110中并具有导电性和弹性的第二接触器单元520；插入到第二接触器单元520中并具有导电性和弹性的第三接触器单元530；将第一接触器单元110、第二接触器单元520、以及第三接触器单元530固定为一体的具有绝缘性的弹性材料、即模制部540。
在本实施例中，第二接触器单元520是将金属板材冲压弯曲成圆柱形而一体构成的针型的接触器，第一接触器单元110和第二接触器单元520可以是具有相同的带状图案的针型的接触器，或者也可以是具有互不相同的带状图案的针型的接触器。
第二接触器单元520的内侧插入有混入导电性粒子的具有弹性、绝缘性的圆柱形的第三接触器单元530。第三接触器单元530与第一实施例相同，因此省略重复的说明。
在如此构成的混合型接触器500与电特性优异的针型的第二接触器单元520一起组合成具有弹性和导电性的第三接触器单元530，尤其对要求优异的电特性的设备测试是有效的。
图15是表示根据本发明第五实施例的混合型接触器的其它变形例的纵剖视图。
参照图15，在本实施例的混合型接触器500’中，第二接触器单元520的内侧插入有第三接触器单元531、532，特别地，第三接触器单元531、532仅分别设置在与设备的端子和测试装置的焊盘接触的第二接触器单元520的上端和下端，中央填充模制部540。
另一方面，虽然在本实施例中例示了在第二接触器单元520的上端和下端均设置有第三接触器单元531、532的情况，但第三接触器单元还可以仅设置在上端或下端中的任一处。
第六实施例
图16是根据本发明第六实施例的混合型接触器的纵剖视图。
参照图16，根据本实施例的混合型接触器600，还包括：第一接触器单元110；与第一实施例实质上相同的第二接触器单元120和模制部130；在第一接触器单元110和第二接触器单元120的上端通过模制部130固定为一体的混入有导电性粒子的弹性材料、即缓冲接触部(bumper contact)610。
缓冲接触部610与第二接触器单元120的制造过程相同，可以通过使导电性粉末和硅粉末的混合物在模具中熔融后固化得到，制造而成的缓冲接触部610在配置于临时组装的第一接触器单元120和第二接触器单元120的上端的状态下，通过模制部130而被固定为一体。
如此，在上端具备缓冲接触部610的混合型接触器600通过媒介与设备的端子的接触，从而能够减少上侧尖端部的磨损。
虽然在本实施例中公开了缓冲接触部仅设置在接触器的一端的情况，但也可以在接触器的两端以相同的目的设置缓冲接触部。此外，在第一实施例的混合型接触器上设置有缓冲接触部，但第二实施例至第五实施例的混合型接触器上也可以同样地设置缓冲接触部。
如此，本发明的混合型接触器的主要包括：将冲压形成有预定形状的带状图案的金属板材弯曲成圆柱形而构成的针型的第一接触器单元；插入到该第一接触器单元中并具有导电性和弹性的第二接触器单元；将第一接触器单元和第二接触器单元固定为一体的具有绝缘性的弹性材料、即模制部，根据测试设备考虑所要求的间距(pitch)、接触行程(contact stroke)、接触力(contact force)、接触电阻(contact resistance)、信号的频带(bandwidth)、以及温度条件等，将上述例示的第一接触器单元和第二接触器单元以各种形态组合或在第二接触器单元中追加第三接触器单元，从而能够得到最佳的接触器。
下面，对利用这种混合型接触器(以下还简称为“接触器”)的测试插座进行详细地说明。
第一实施例
图17是根据本发明第一实施例的测试插座的平面图，图18是图17的A-A线的剖视图。
参照图17和图18，根据本实施例的测试插座700，包括：固定部710，其形成有与设备40的端子41对应的多个通孔711a，通孔711a用于收纳接触器300；绝缘主体部720，其将接触器300与固定部710固定为一体且具有弹性。
固定部710是板状部件，形成有与设备40的端子41对应的多个通孔711a，并供接触器300的下端的一部分插入，上表面具有绝缘主体部720。固定部710可以具有用于安装测试插座的多个固定孔701、以及起到引导测试插座的组装位置的作用的多个引导孔702。
在本实施例中，固定部710可以包括：由树脂等绝缘性材料构成的第一固定部711、以及由金属(SUS)或树脂构成并构成为插座基体的第二固定部712，但并不限定于此，也可以单独使用第一固定部711。
绝缘主体部720是具有弹性的绝缘性部件，将接触器300和固定部710固定为一体，上表面安装设备40。
另一方面，也可以为，绝缘主体部720的上表面设置供设备40直接安装固定片730，绝缘主体部720也可以通过具有绝缘性的树脂制成。
绝缘主体部720也可以通过绝缘性的硅制成。绝缘主体部720形成有收纳各个接触器300的收纳孔721，该收纳孔721可以通过在另外的模具中注入硅液，并在使其固化后除去模具，从而在绝缘主体部720上形成收纳孔721。其次，将固定部710、绝缘主体部720、以及固定片730进行层叠，并在插入接触器300后模制成一体，从而制造出测试插座。
优选地，接触器300的下侧尖端部朝向通孔711a的外侧突出预定长度b1，可以提高与测试装置的焊盘的接触性。
接触器300的上侧尖端部同样朝向绝缘主体部720面向设备40的上表面的外侧突出预定长度b2，可以提高与设备40的端子41的接触性。另一方面，设置在绝缘主体部720的上部的固定片730供设备40直接安装，此时固定片730的高度可以比接触器300的上端高，但在固定设备时固定片730被压缩，从而使得设备40的端子41能够与接触器300的上端接触。
本实施例中，针对接触器300例示了第三实施例的接触器(参照图10)，根据其它实施例的接触器也同样适用。
第二实施例
图19是根据本发明第二实施例的测试插座的剖视图，示出了球型(ball type)和接地型(land type)的端子51、52混合而成的适合复合型设备50的测试插座。
参照图19，根据本实施例的测试插座800，根据设备50的端子51、52可以具有高度不同而种类相同(或种类不同)的接触器300A、300B。
根据该设备，在球型的端子51和接地型的端子52混合而成的复合型设备50的情况下，可以具备适合各个端子的接触器300A、300B，此时接触器300A、300B使用BGA型或LGA型的接触器，如上述实施例中说明的那样，适合各个端子的类型的接触器与绝缘主体部820以及固定片830一起一体地固定于固定部810。
虽然本实施例中例示了接触器300A、300B使用高度不同而种类相同的接触器，但可以组合种类互不相同的接触器。
如上所述，本发明虽然通过限定的实施例和附图说明，但本发明并不限定于此，显而易见在本发明所属的技术领域中具有常规知识的人员可以在本发明的技术思想和以下将会记载的权利要求书的均等范围内进行各种修改及变形。
附图标记说明
100、200、300、400、500、600：混合型接触器
110：第一接触器单元
120、320、420、520：第二接触器单元
130、230、330、440、540：模制部
430、530：第三接触器单元
220：螺旋弹簧
610：缓冲接触部
700、800：测试插座
710、810：固定部
720、820：绝缘主体部
730、830：固定片

Claims (16)

1.一种混合型接触器，其特征在于，包括：
第一接触器单元，将冲压形成有带状图案的金属板材轧制成圆柱形而一体构成；
第二接触器单元，插入到所述第一接触器单元中并具有导电性和弹性；以及
模制部，具有绝缘性的弹性材料，并将所述第一接触器单元和所述第二接触器单元固定为一体。
2.根据权利要求1所述的混合型接触器，其特征在于，
所述第二接触器单元为混入有导电性粒子的圆柱形的弹性材料。
3.根据权利要求1所述的混合型接触器，其特征在于，
所述第二接触器单元为螺旋弹簧。
4.根据权利要求1所述的混合型接触器，其特征在于，
所述第二接触器单元是将金属板材冲压并轧制成圆柱形而一体构成的。
5.根据权利要求1所述的混合型接触器，其特征在于，
还包括第三接触器单元，所述第三接触器单元具有导电性和弹性，插入到所述第二接触器单元中并通过所述模制部而被固定为一体。
6.根据权利要求5所述的混合型接触器，其特征在于，
所述第三接触器单元配置于所述第二接触器单元的上端和/或下端。
7.根据权利要求1所述的混合型接触器，其特征在于，
还包括缓冲接触部，所述缓冲接触部为混入有导电性粒子的弹性材料，并通过所述模制部一体地固定于所述第一接触器单元的上端和所述第二接触器单元的上端。
8.根据权利要求1所述的混合型接触器，其特征在于，
所述第一接触器单元包括：
弹性部，由单元带以锯齿形图案连接并弯曲成圆柱形，所述单元带由水平带和垂直带构成，所述垂直带比所述水平带短并沿所述水平带的一端垂直地延伸；
上侧头部，具有朝上方向突出形成的上侧尖端部，从所述弹性部的最上端延伸并弯曲成圆柱形；以及
下侧头部，具有朝下方向突出形成的下侧尖端部，从所述弹性部的最下端延伸并弯曲成圆柱形。
9.一种测试插座，包括权利要求1所述的混合型接触器，其特征在于，包括：
固定部，形成有多个通孔，所述固定部与设备的端子对应并用于收纳所述混合型接触器；以及
绝缘主体部，具有弹性，将所述混合型接触器与所述固定部固定为一体。
10.根据权利要求9所述的测试插座，其特征在于，
所述固定部包括绝缘性的板状部件，所述板状部件形成有用于固定的孔及用于引导组装位置的孔。
11.根据权利要求9所述的测试插座，其特征在于，
所述固定部包括：绝缘性的第一固定部，形成有所述通孔并被所述绝缘主体部支撑；以及
第二固定部，其安装于所述第一固定部的上部，
所述第一固定部和所述第二固定部分别以贯穿的方式形成有用于固定的孔及用于引导组装位置的孔。
12.根据权利要求9所述的测试插座，其特征在于，
在所述绝缘主体部的上表面还包括具有绝缘性的固定片，所述固定片形成有与所述固定部的通孔对应的通孔。
13.根据权利要求12所述的测试插座，其特征在于，
所述混合型接触器中的下侧尖端部朝向所述通孔的外侧突出，上侧尖端部朝向所述固定片面向所述设备的上表面的外侧突出。
14.根据权利要求12所述的测试插座，其特征在于，
所述混合型接触器中的上侧尖端部位于比所述固定片面向所述设备的上表面低的位置处。
15.根据权利要求9所述的测试插座，其特征在于，
所述混合型接触器在上端还包括具有导电性和弹性的缓冲接触部。
16.根据权利要求9所述的测试插座，其特征在于，
所述混合型接触器由长度不同的多个接触器构成，用于测试具有不同种类的端子的复合型设备。
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