CN112505959B - 一种液晶面板的清洗设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种液晶面板的清洗设备，包括：机架。超声波干洗头，超声波干洗头安装于机架上。滑台可沿第一方向滑动地设于机架上。载板用于承载玻璃基板，载板上设有气孔。升降杆，升降杆可上下移动地设于机架上，升降杆向上移动用于将玻璃基板托起，升降杆向下移动用于将玻璃基板放置到载板上。第一归正头沿第一方向移动以在第一方向上归正玻璃基板。第二归正头沿第二方向移动以在第二方向上归正玻璃基板。在使用时，机械手将玻璃基板放置到载板上后利用真空吸附玻璃基板，滑台移动通过超声波干洗头以达到清洗玻璃基板的目的后，滑台返回，再由机械手带走玻璃基板。本设备便于自动装夹且操作时间短，便于实现。

Description

一种液晶面板的清洗设备

技术领域

本发明涉及面板加工领域，尤其是涉及一种液晶面板的清洗设备。

背景技术

在TFT-LCD的制造工序中，当玻璃基板表面存在的颗粒粒径为线宽1/3左右时，短线、短路等缺陷的出现频率倍增，为了克服这一缺陷，在对玻璃基板的表面供给给定的处理液进行处理后，对该玻璃基板进行洗净工序。为了提高洗净效果，超声波清洗技术逐渐出现在TFT-LCD玻璃基板流程中，超声波清洗技术是一种多应用于精密机械及特种精细机构领域的清洗方法，可以在很大程度上提高TFT-LCD玻璃基板的洗净效果。但是，现有技术中的超声波干洗设备装夹通常是人工装夹，为避免对玻璃基板的损坏，其操作时间长。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提供一种液晶面板的清洗设备。

本发明的技术方案如下：一种液晶面板的清洗设备，包括：机架；超声波干洗头，所述超声波干洗头可拆卸安装于所述机架上；滑台，所述滑台可沿第一方向滑动地设于所述机架上，所述机架上设有第一驱动机构，所述第一驱动机构用于驱动所述滑台移动；载板，所述载板可拆装设于所述滑台上，所述载板的上表面用于承载玻璃基板，所述载板的上表面向下凹陷形成避空槽，所述避空槽内设有多个间隔开的支撑凸起，所述载板上设有气孔，所述气孔贯穿至所述载板的上表面，所述气孔适于与外部负压设备相连以将所述玻璃基板吸附在所述载板上；升降杆，所述升降杆可上下移动地设于所述机架上，所述机架上设有第二驱动机构，所述第二驱动机构用于驱动所述升降杆上下移动，当所述升降杆向上移动时，所述升降杆用于将所述玻璃基板托起，当所述升降杆向下移动时，所述升降杆用于将所述玻璃基板放置到所述载板上；第一归正头，所述载板的沿所述第一方向的两侧分别设有所述第一归正头，所述载板上设有第三驱动机构，所述第三驱动机构用于驱动所述第一归正头沿所述第一方向移动以在所述第一方向上归正所述玻璃基板；第二归正头，所述载板的沿第二方向的两侧分别设有所述第二归正头，所述滑台上设有第四驱动机构，所述第四驱动机构用于驱动所述第二归正头沿所述第二方向移动以在所述第二方向上归正所述玻璃基板，其中所述第一方向和所述第二方向垂直。

进一步地，所述升降杆的顶端设有支撑头，所述支撑头被构造成吸嘴或锥形圆头。

进一步地，所述机架上设有避让口，所述滑台可通过所述避让口滑入或滑出所述机架。

进一步地，所述第一驱动机构包括第一电机和丝杆，所述丝杆可转动地安装在所述机架上，所述第一电机与所述丝杆相连以驱动所述丝杆转动，所述滑台与所述丝杆螺纹配合。

进一步地，所述气孔设于所述载板的外周面上，所述气孔为多个，多个所述气孔沿所述载板的周向间隔排布。

进一步地，还包括升降架，所述升降架设于所述载板下方并与所述第二驱动机构相连，所述升降杆安装于所述升降架上，所述载板上设有贯穿所述载板的避让孔，所述升降杆可上下移动地穿设于所述避让孔内，所述升降杆和所述避让孔均为多个且一一对应配合。

进一步地，所述第二驱动机构包括第一气缸，所述第一气缸的一端与所述滑台相连，另一端与所述升降架相连，所述第一气缸外罩有第一防护罩，所述第一防护罩上设有适于与外部负压设备相连通的第一排气口。

进一步地，所述第三驱动机构包括第二气缸，所述第二气缸的一端与所述滑台相连，另一端与所述第一归正头相连，所述第二气缸外罩有第二防护罩，所述第二防护罩上设有适于与外部负压设备相连通的第二排气口。

进一步地，所述第四驱动机构包括第三气缸，所述第三气缸的一端与所述载板相连，另一端与所述第二归正头相连，所述第三气缸外罩有第三防护罩，所述第三防护罩上设有适于与外部负压设备相连通的第三排气口。

进一步地，所述载板的外周壁上设有第一定位槽和第二定位槽，所述第一归正头朝向靠近所述载板的方向移动时可移入所述第一定位槽内，所述第二归正头朝向靠近所述载板的方向移动时可移入所述第二定位槽内。

和现有技术相比，本发明的有益效果如下：

本装置在使用时，机械手将玻璃基板放置到载板上后利用真空吸附玻璃基板，滑台移动通过超声波干洗头以达到清洗玻璃基板的目的后，滑台返回，再由机械手带走玻璃基板，其中设置的升降杆通过升降便于将玻璃基板托起或放置到载板上，设置的第一归正头和第二归正头可对载板上的玻璃基板进行位置上的归正以提高清洗效果，本装置便于自动装夹且操作时间短，便于实现，实用性强。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：

图1是本发明的示意图；

图2是本发明的机架内部的示意图；

图3是本发明的机架内部的示意图；

图4是本发明的超声波干洗头的主视图；

图5是本发明的滑台部位的立体图；

图6是本发明的滑台与载板的爆炸图；

图7是本发明的载板的立体图；

图8是本发明的第一归正头和第二归正头的示意图；

图9是本发明的载板底部的示意图；

图10是本发明的升降杆部位的示意图；

图11是本发明的不同升降杆的结构图。

附图标记：

1、机架；2、超声波干洗头；3、滑台；4、载板；5、支撑凸起；6、气孔；7、升降杆；8、第一归正头；9、第二归正头；10、过滤风机；11、避让口；12、升降架；13、避让孔；14、第一气缸；15、第一防护罩；16、第二气缸；17、第二防护罩；18、第三气缸；19、第三防护罩；20、第一定位槽；21、第二定位槽；22、超声波风机；23、离子棒；24、圆头；25、吸嘴。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

下面详细描述本发明的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“竖向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

下面参考附图图1-图10描述根据本发明实施例的液晶面板的清洗设备，该设备包括：机架1、超声波干洗头2、滑台3、载板4、升降杆7、第一归正头8和第二归正头9。

如图3所示，超声波干洗头2可拆卸安装于机架1上，由此方便超声波干洗头2的拆装。实际应用中，超声波干洗头2可与外部的超声波风机22相连，当玻璃基板从超声波干洗头2下方经过时，超声波干洗头2吹出的带有超声波能量的压缩空气轰击玻璃基板表面，超声能量传导给玻璃基板表面的灰尘，使得灰尘分子的运动加剧，并在高速流动的空气作用下脱离玻璃基板，灰尘进一步被超声波干洗头2吸除，达到对玻璃基板清洗的作用。

如图2、图4和图5所示，滑台3可沿第一方向滑动地设于机架1上，机架1上设有第一驱动机构，第一驱动机构用于驱动滑台3移动，这里的第一方向为图中所示的前后方向。

如图5和图6所示，载板4可拆装设于滑台3上，载板4的上表面用于承载玻璃基板，载板4的上表面向下凹陷形成避空槽，避空槽内设有多个间隔开的支撑凸起5，载板4上设有气孔6，气孔6贯穿至载板4的上表面，气孔6适于与外部负压设备相连以将玻璃基板吸附在载板4上。这里的支撑凸起5的上表面与载板4的上表面齐平，从而可以更稳定的支撑玻璃基板，而且设置避空槽后，可以减少玻璃基板与载板4的接触面积，使得玻璃基板不易出现点裂的情况。

如图6和图10所示，升降杆7可上下移动地设于机架1上，机架1上设有第二驱动机构，第二驱动机构用于驱动升降杆7上下移动，当升降杆7向上移动时，升降杆7用于将玻璃基板托起，当升降杆7向下移动时，升降杆7用于将玻璃基板放置到载板4上。

如图5、图6和图8所示，载板4的沿第一方向的两侧分别设有第一归正头8，载板4上设有第三驱动机构，第三驱动机构用于驱动第一归正头8沿第一方向移动以在第一方向上归正玻璃基板；载板4的沿第二方向的两侧分别设有第二归正头9，滑台3上设有第四驱动机构，第四驱动机构用于驱动第二归正头9沿第二方向移动以在第二方向上归正玻璃基板，其中第一方向和第二方向垂直，这里的第一方向例如可为前后方向，第二方向例如可为左右方向。

本设备的工作过程如下：机械手先将待清洗的玻璃基板放到升起的升降杆7上，然后第二驱动机构带动升降杆7下降可将玻璃基板轻放到载板4上，由此可防止玻璃基板损坏，其次载板4第一方向两侧的第三驱动机构开始驱动第一归正头8移动，载板4第二方向两侧的第四驱动机构开始驱动第二归正头9移动，以实现对玻璃基板在第一方向和第二方向上的归正，归正完毕后，外部负压设备通过气孔6产生负压以将玻璃基板牢牢吸附在载板4上。最后第一驱动机构驱动滑台3移动以带动玻璃基板从超声波干洗头2下方经过进行清洗，清洗完毕后，第一驱动机构驱动滑台3复位，然后第三驱动机构驱动第一归正头8复位，第四驱动机构驱动第二归正头9复位，外部负压设备不再产生负压以松开玻璃基板，第二驱动机构带动升降杆7上升将玻璃基板顶起后再由机械手带动。本装置便于自动装夹且操作时间短，便于实现，实用性强。

本实施例中，如图1所述，机架1的顶部还设有过滤风机10，过滤风机10用于设备内部的换气除尘，保持内部洁净。

本实施例中，如图3所示，机架1上还设有离子棒23，离子棒23为两个，两个离子棒23分别设于超声波干洗头2在第一方向的两侧，离子棒23可产生大量的带有正负电荷的气团，从而用于消除玻璃基板上的静电。

本实施例中，如图1所示，机架1上设有避让口11，滑台3可通过避让口11滑入或滑出机架1，由此便于与机械手配合工作。

本实施例中，如图5所示，第一驱动机构包括第一电机和丝杆，丝杆可转动地安装在机架1上，第一电机与丝杆相连以驱动丝杆转动，滑台3与丝杆螺纹配合，由此便于带动滑台3移动。

本实施例中，如图7所示，气孔6设于载板4的外周面上，气孔6为多个，多个气孔6沿载板4的周向间隔排布，由此结构形式简单，便于实现。

本实施例中，如图9和图10所示，本设备还包括升降架12，升降架12设于载板4下方并与第二驱动机构相连，升降杆7安装于升降架12上，载板4上设有贯穿载板4的避让孔13，升降杆7可上下移动地穿设于避让孔13内，升降杆7和避让孔13均为多个且一一对应配合，由此设置多个升降杆7后，可以更加平稳地抬升玻璃基板。

进一步地，如图10和图11所示，升降杆7的顶端设有支撑头，支撑头被构造成吸嘴25或锥形圆头24，其中吸嘴25适于与外部负压设备相连。具体而言，多个升降杆7可分为两种，一种是设有吸嘴25的升降杆7，另一种是设有锥形圆头24的升降杆7，由此当升降杆7支撑玻璃基板时，设置的吸嘴25可以将玻璃基板吸附固定，防止玻璃基板掉落，设置的锥形的圆头24可以使得升降杆7推动玻璃基板与载板4分离时不会磨损玻璃。

本实施例中，如图10所示，第二驱动机构包括第一气缸14，第一气缸14的一端与滑台3相连，另一端与升降架12相连，第一气缸14外罩有第一防护罩15，第一防护罩15上设有适于与外部负压设备相连通的第一排气口，由此外部负压设备可通过第一排气口吸附第一气缸14运动时产生的灰尘，防止灰尘外泄到玻璃基板上。

本实施例中，如图8所示，第三驱动机构包括第二气缸16，第二气缸16的一端与滑台3相连，另一端与第一归正头8相连，第二气缸16外罩有第二防护罩17，第二防护罩17上设有适于与外部负压设备相连通的第二排气口，由此外部负压设备可通过第二排气口吸附第二气缸16运动时产生的灰尘，防止灰尘外泄到玻璃基板上。

本实施例中，如图8所示，第四驱动机构包括第三气缸18，第三气缸18的一端与载板4相连，另一端与第二归正头9相连，第三气缸18外罩有第三防护罩19，第三防护罩19上设有适于与外部负压设备相连通的第三排气口，由此外部负压设备可通过第三排气口吸附第三气缸18运动时产生的灰尘，防止灰尘外泄到玻璃基板上。

本实施例中，如图5和图7所示，载板4的外周壁上设有第一定位槽20和第二定位槽21，第一归正头8朝向靠近载板4的方向移动时可移入第一定位槽20内，第二归正头9朝向靠近载板4的方向移动时可移入第二定位槽21内，由此可提高第一归正头8和第二归正头9对于玻璃基板的归正效果。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种液晶面板的清洗设备，其特征在于，包括：

机架；

超声波干洗头，所述超声波干洗头可拆卸安装于所述机架上；

滑台，所述滑台可沿第一方向滑动地设于所述机架上，所述机架上设有第一驱动机构，所述第一驱动机构用于驱动所述滑台移动；

载板，所述载板可拆装设于所述滑台上，所述载板的上表面用于承载玻璃基板，所述载板的上表面向下凹陷形成避空槽，所述避空槽内设有多个间隔开的支撑凸起，所述载板上设有气孔，所述气孔贯穿至所述载板的上表面，所述气孔适于与外部负压设备相连以将所述玻璃基板吸附在所述载板上；

升降杆，所述升降杆可上下移动地设于所述机架上，所述机架上设有第二驱动机构，所述第二驱动机构用于驱动所述升降杆上下移动，当所述升降杆向上移动时，所述升降杆用于将所述玻璃基板托起，当所述升降杆向下移动时，所述升降杆用于将所述玻璃基板放置到所述载板上；

第一归正头，所述载板的沿所述第一方向的两侧分别设有所述第一归正头，所述载板上设有第三驱动机构，所述第三驱动机构用于驱动所述第一归正头沿所述第一方向移动以在所述第一方向上归正所述玻璃基板；

第二归正头，所述载板的沿第二方向的两侧分别设有所述第二归正头，所述滑台上设有第四驱动机构，所述第四驱动机构用于驱动所述第二归正头沿所述第二方向移动以在所述第二方向上归正所述玻璃基板，其中所述第一方向和所述第二方向垂直；

所述气孔设于所述载板的外周面上，所述气孔为多个，多个所述气孔沿所述载板的周向间隔排布。

2.根据权利要求1所述的液晶面板的清洗设备，其特征在于，所述升降杆的顶端设有支撑头，所述支撑头被构造成吸嘴或锥形圆头。

3.根据权利要求1所述的液晶面板的清洗设备，其特征在于，所述机架上设有避让口，所述滑台可通过所述避让口滑入或滑出所述机架。

4.根据权利要求1所述的液晶面板的清洗设备，其特征在于，所述第一驱动机构包括第一电机和丝杆，所述丝杆可转动地安装在所述机架上，所述第一电机与所述丝杆相连以驱动所述丝杆转动，所述滑台与所述丝杆螺纹配合。

5.根据权利要求1所述的液晶面板的清洗设备，其特征在于，还包括升降架，所述升降架设于所述载板下方并与所述第二驱动机构相连，所述升降杆安装于所述升降架上，所述载板上设有贯穿所述载板的避让孔，所述升降杆可上下移动地穿设于所述避让孔内，所述升降杆和所述避让孔均为多个且一一对应配合。

6.根据权利要求5所述的液晶面板的清洗设备，其特征在于，所述第二驱动机构包括第一气缸，所述第一气缸的一端与所述滑台相连，另一端与所述升降架相连，所述第一气缸外罩有第一防护罩，所述第一防护罩上设有适于与外部负压设备相连通的第一排气口。

7.根据权利要求1所述的液晶面板的清洗设备，其特征在于，所述第三驱动机构包括第二气缸，所述第二气缸的一端与所述滑台相连，另一端与所述第一归正头相连，所述第二气缸外罩有第二防护罩，所述第二防护罩上设有适于与外部负压设备相连通的第二排气口。

8.根据权利要求1所述的液晶面板的清洗设备，其特征在于，所述第四驱动机构包括第三气缸，所述第三气缸的一端与所述载板相连，另一端与所述第二归正头相连，所述第三气缸外罩有第三防护罩，所述第三防护罩上设有适于与外部负压设备相连通的第三排气口。

9.根据权利要求1所述的液晶面板的清洗设备，其特征在于，所述载板的外周壁上设有第一定位槽和第二定位槽，所述第一归正头朝向靠近所述载板的方向移动时可移入所述第一定位槽内，所述第二归正头朝向靠近所述载板的方向移动时可移入所述第二定位槽内。

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