CN112454291B - 一种新型多功能复合可变扫描电镜sem样品载物台 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，包括样品台底托、样品升降台；所述样品台底托上设有底托螺纹通孔，样品升降台的外侧设有与底托螺纹通孔相匹配的外螺纹，样品升降台通过外螺纹旋于底托螺纹通孔内，样品台底托与样品升降台螺纹连接；所述样品台底托底部中心位置设有用于与SEM载物台连接的固定支柱，样品台底托上部设有功能支架；通过本发明，对不同形状、不同大小的块状样品均能固定。解决了复数、高度差异明显的小块样品无法同时观察的问题。解决了在综合分析时复数小块样品同时处于SEM的最佳工作距离的问题，在保证设备安全的同时，提高样品选区分析数据的准确度和可靠性。

Description

一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台
技术领域
本发明涉及一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，属于扫描电镜（SEM）样品载物台技术领域。
背景技术
扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm；放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大, 视野大,成像立体效果好。此外, 扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合, 可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。
在实际应用中经常会出现复数试样即有多个块状试样待观察的情况，由于其高度差异大，需逐一观察。故样品室卸去真空，打开舱门，装换样品，抽真空，观察，直到再开始新一轮的装换样品操作。如此反复，造成能源及时间上的浪费。此外，复数块状小试样同时放入真空室内，在观察时难以在保证设备安全的情况下，使不同高度的样品同时处于设备性能的最佳工作距离，无法保证测试结果的精确度与可靠性。
发明内容
本发明目的是针对上述问题，提供一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，用于解决样品固定困难以及无法同时固定复数高低不同的样品的问题。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的，一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，其特征在于：包括样品台底托、样品升降台；
所述样品台底托上设有底托螺纹通孔，样品升降台的外侧设有与底托螺纹通孔相匹配的外螺纹，样品升降台通过外螺纹旋于底托螺纹通孔内，样品台底托与样品升降台螺纹连接；
所述样品台底托底部中心位置设有用于与SEM载物台连接的固定支柱，样品台底托上部设有功能支架；
所述样品台底托上部设有若干个连接螺纹孔，功能支架上设有与若干个连接螺纹孔位置对应的若干个连接通孔，还设有若干连接螺钉，每个连接螺钉旋紧于对应的功能支架上连接通孔、样品台底托上连接螺纹孔，使功能支架固定于样品台底托上；
所述功能支架的侧壁设有复数个螺纹通孔，每个螺纹通孔上旋有紧固螺钉。
所述样品台底托上均匀设有4个底托螺纹通孔，每个底托螺纹通孔内均旋有1个样品升降台。
所述连接螺纹孔的数量为4个，4个连接螺纹孔均匀设置于样品台底托上部外缘。
所述螺纹通孔为定高螺纹通孔。
所述样品台底托、样品升降台、功能支架、连接螺钉、固定支柱、紧固螺钉的材料为以铝合金为主的金属导电材料。
一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台进行使用方法，其特征在于：
1）、通过固定支柱将样品台底托固定于SEM载物台上；
2）、对于较小的平块状样品，将样品升降台旋入或旋出样品台底托的底托螺纹通孔，使用导电胶将高度不同的复数样品分别粘牢于样品升降台上，在样品台底托上调整固定样品升降台高度，使复数样品待观察的上端面齐平。
3）、对于较大的板状、片状样品，将样品升降台旋入样品台底托的底托螺纹通孔，直至样品升降台调整至与固定于样品台底托上端面齐平，直接使用导电胶将样品粘牢于样品台底托上；
4）、对于较大的块状样品，将样品升降台旋入样品台底托的底托螺纹通孔，直至样品升降台调整至与固定于样品台底托上端面齐平，将功能支架使用连接螺钉通过连接通孔、连接螺纹孔固定于样品台底托；使用导电胶将样品粘牢于样品台底托上并使紧固螺钉旋于螺纹通孔并挤压样品，通过螺纹通孔使用紧固螺钉固定样品。
步骤1）中，SEM载物台上设有固定孔，固定支柱插于并固定SEM载物台上的固定孔内；
固定孔的侧壁还设有挤压螺纹孔，挤压螺纹孔内旋有挤压螺丝，挤压螺丝旋于挤压螺纹孔并延伸于固定孔内挤压固定支柱，使得固定支柱固定SEM载物台上的固定孔内。
本发明结构合理、方法先进科学，通过本大明，提供的一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，装置包括：样品台底托、样品升降台、功能支架、连接螺钉、连接通孔、连接螺纹孔、固定支柱、定高螺纹通孔、紧固螺钉。该载物台的使用方法为：
通过固定支柱将样品台底托固定于SEM载物台上。对于较小的板状、片状或块状样品，可在样品台底托上调整固定样品升降台高度，同时使用导电胶粘牢高度不同的复数样品，从而使样品待观察的上端面齐平，从而使得观察轻松方便，操作者不必为得到高分辨率的优质图像而不断改变工作距离参数，不断改变反差和亮度参数以调制图像；同时，减少了移动样品位置时较高样品碰撞物镜光阑外壁及SEM镜筒内具有分析功能附件的可能性，保证了设备安全。对于较大的板状、片状样品，将样品升降台调整至与固定于样品台底托上端面齐平，并直接使用导电胶将样品粘牢于样品台底托上。对于大的块状样品，将样品升降台调整至与固定于样品台底托上端面齐平，将功能支架使用连接螺钉通过连接通孔、连接螺纹孔固定于样品台底托，通过定高螺纹通孔使用紧固螺钉稳固样品。
本发明与现有技术相比，其显著优点为：
1) 本发明提供的新型多功能复合可变SEM样品载物台可以多功能固定样品，对不同大小的样品均能固定。
2) 解决了复数高度差距大的小块样品无法同时观察的问题。
3) 解决了在综合分析时复数小块样品同时处于SEM的最佳工作距离的问题，在保证设备安全的同时，提高样品选区分析数据的准确度和可靠性。
本发明提供的一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台可以多功能稳固样品：可将复数、高低落差较大的小型样品的观察面齐平，便于观察操作；一次放入多个样品，降低了打开样品舱装换样品及抽真空的次数，提高了SEM的工作效率；还可对不同尺寸的异形块状样品均能夹持、稳固；在观察形貌同时进行综合分析时，使复数样品能同时处于最佳工作距离，这对于提高样品选区分析数据的准确度可靠性具有重要意义。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图中：1样品台底托、2样品升降台、3功能支架、4连接螺钉、5连接通孔、6连接螺纹孔、7固定支柱、8螺纹通孔、9紧固螺钉。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明，但本发明的保护范围并不限于此。
一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，包括样品台底托1、样品升降台2；在样品台底托1上设置底托螺纹通孔，样品升降台2的外侧设有与底托螺纹通孔相匹配的外螺纹，样品升降台2通过外螺纹旋于底托螺纹通孔内，样品台底托1与样品升降台2螺纹连接；样品台底托1底部中心位置设有用于与SEM载物台连接的固定支柱7，样品台底托1上部设有可拆卸的功能支架3；
在样品台底托1上部设置若干个连接螺纹孔6，功能支架3上设置与若干个连接螺纹孔6位置对应的若干个连接通孔5，还设置若干连接螺钉4，每个连接螺钉4旋紧于对应的功能支架3上连接通孔5、样品台底托1上连接螺纹孔6，使功能支架3固定于样品台底托1上；功能支架3的侧壁设有复数个螺纹通孔8，每个螺纹通孔8上旋有紧固螺钉9。
进一步的，样品台底托1上均匀设置4个底托螺纹通孔，每个底托螺纹通孔内均旋有1个样品升降台2。连接螺纹孔6的数量为4个，4个连接螺纹孔6均匀设置于样品台底托1上部外缘。螺纹通孔8为定高螺纹通孔。所述样品台底托1、样品升降台2、功能支架3、连接螺钉4、固定支柱7、紧固螺钉9的材料为以铝合金为主的金属导电材料。使用时：
1）、通过固定支柱7将样品台底托1固定于SEM载物台上；
2）、对于较小的平块状样品，将样品升降台2旋入或旋出样品台底托1的底托螺纹通孔，使用导电胶将高度不同的复数样品分别粘牢于样品升降台2上，在样品台底托1上调整固定样品升降台2高度，使复数样品待观察的上端面齐平；
3）、对于较大的板状、片状样品，将样品升降台2旋入样品台底托1的底托螺纹通孔，直至样品升降台2调整至与固定于样品台底托1上端面齐平，直接使用导电胶将样品粘牢于样品台底托1上；
4）、对于较大的块状样品，将样品升降台2旋入样品台底托1的底托螺纹通孔，直至样品升降台2调整至与固定于样品台底托1上端面齐平，将功能支架3使用连接螺钉4通过连接通孔5、连接螺纹孔6固定于样品台底托1；使用导电胶将样品粘牢于样品台底托1上并使紧固螺钉9旋于螺纹通孔8并挤压样品，通过螺纹通孔8使用紧固螺钉9固定样品。
步骤1）中，SEM载物台上设有固定孔，固定支柱7插于并固定SEM载物台上的固定孔内；固定孔的侧壁还设有挤压螺纹孔，挤压螺纹孔内旋有挤压螺丝，挤压螺丝旋于挤压螺纹孔并延伸于固定孔内挤压固定支柱7，使得固定支柱7固定SEM载物台上的固定孔内。
如图1所示，该载物台的使用方法为：
通过固定支柱7将样品台底托1固定于SEM载物台上。对于较小的块状样品，可在样品台底托1上调整固定样品升降台2高度，同时使用导电胶粘牢高度不同的复数样品，从而使样品待观察的上端面齐平，从而使得观察轻松方便，操作者不必为得到高分辨率的优质图像而不断改变工作距离参数，不断改变反差和亮度参数以调制图像；同时，减少了移动样品位置时较高样品碰撞物镜光阑外壁及SEM镜筒内具有分析功能附件的可能性，保证了设备安全。对于较大的板状、片状样品，将样品升降台2调整至与固定于样品台底托1上端面齐平，并直接使用导电胶将样品粘牢于样品台底托1上。对于较大的块状样品，将样品升降台2调整至与固定于样品台底托1的上端面齐平，将功能支架3使用连接螺钉4通过连接通孔5、连接螺纹孔6固定于样品台底托1，通过螺纹通孔8使用紧固螺钉9稳固样品。

Claims (5)

1.一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，其特征在于：包括样品台底托（1）、样品升降台（2）；
所述样品台底托（1）上设有底托螺纹通孔，样品升降台（2）的外侧设有与底托螺纹通孔相匹配的外螺纹，样品升降台（2）通过外螺纹旋于底托螺纹通孔内，样品台底托（1）与样品升降台（2）螺纹连接；
所述样品台底托（1）底部中心位置设有用于与SEM载物台连接的固定支柱（7），样品台底托（1）上部设有可拆卸的功能支架（3）；
所述样品台底托（1）上部设有若干个连接螺纹孔（6），功能支架（3）上设有与若干个连接螺纹孔（6）位置对应的若干个连接通孔（5），还设有若干连接螺钉（4），每个连接螺钉（4）旋紧于对应的功能支架（3）上连接通孔（5）、样品台底托（1）上连接螺纹孔（6），使功能支架（3）固定于样品台底托（1）上；
所述功能支架（3）的侧壁设有复数个螺纹通孔（8），每个螺纹通孔（8）上旋有紧固螺钉（9），螺纹通孔（8）为定高螺纹通孔；
使用时，包括以下步骤：
1）、通过固定支柱（7）将样品台底托（1）固定于SEM载物台上；
2）、对于较小的平块状样品，将样品升降台（2）旋入或旋出样品台底托（1）的底托螺纹通孔，使用导电胶将高度不同的复数样品分别粘牢于样品升降台（2）上，在样品台底托（1）上调整样品升降台（2）高度，使复数样品待观察的上端面齐平；
3）、对于较大的板状、片状样品，将样品升降台（2）旋入样品台底托（1）的底托螺纹通孔，直至样品升降台（2）调整至与样品台底托（1）上端面齐平，直接使用导电胶将样品粘牢于样品台底托（1）上；
4）、对于较大的块状样品，将样品升降台（2）旋入样品台底托（1）的底托螺纹通孔，直至样品升降台（2）调整至与样品台底托（1）上端面齐平，将功能支架（3）使用连接螺钉（4）通过连接通孔（5）、连接螺纹孔（6）固定于样品台底托（1）；使用导电胶将样品粘牢于样品台底托（1）上并使紧固螺钉（9）旋于螺纹通孔（8）并挤压样品，通过螺纹通孔（8）使用紧固螺钉（9）固定样品。
2.根据权利要求1所述的一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，其特征在于：所述样品台底托（1）上均匀设有4个底托螺纹通孔，每个底托螺纹通孔内均旋有1个样品升降台（2）。
3.根据权利要求1所述的一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，其特征在于：所述连接螺纹孔（6）的数量为4个，4个连接螺纹孔（6）均匀设置于样品台底托（1）上部外缘。
4.根据权利要求1所述的一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，其特征在于：所述样品台底托（1）、样品升降台（2）、功能支架（3）、连接螺钉（4）、固定支柱（7）、紧固螺钉（9）的材料为以铝合金为主的金属导电材料。
5.根据权利要求1所述的一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，其特征在于：步骤1）中，SEM载物台上设有固定孔，固定支柱（7）插于并固定在 SEM载物台上的固定孔内；
固定孔的侧壁还设有挤压螺纹孔，挤压螺纹孔内旋有挤压螺丝，挤压螺丝旋于挤压螺纹孔并延伸于固定孔内挤压固定支柱（7），使得固定支柱（7）固定在 SEM载物台上的固定孔内。
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