CN208284450U - 一种多用途扫描电镜样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多用途扫描电镜样品台，属于分析用试验设备领域，包括：样品台主体、阶梯轴插台、插台紧固螺钉以及两个样品紧固螺钉；样品台主体包括主体部以及从主体部向上延伸的两个支架；两个支架上各设有一个水平螺纹孔，两个水平螺纹孔同轴且对称布置；两个样品紧固螺钉一一对应设于两个水平螺纹孔中；主体部上设有三通孔，三通孔包括贯通主体部的竖直通孔以及连通竖直通孔与主体部侧壁的插台紧固螺纹孔；阶梯轴插台上部为样品承载台，下部为插台杆；插台杆插入竖直通孔中，插台紧固螺钉穿过插台紧固螺纹孔将插台杆固定于竖直通孔中。本实用新型操作方便，可以实现不同高度样品的稳固装夹，结构简易、加工方便、适用性强。

Description

一种多用途扫描电镜样品台

技术领域

本实用新型属于分析用试验设备领域，更具体地，涉及一种多用途扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜全称为扫描电子显微镜(scanning electron microscope，SEM)，是一种采用电子束为光源的表面观察手段，通过收集电子束与样品表面物质作用后产生的信号进行成像，极高的放大倍数和图像分辨率使之成为一种十分先进的样品表面表征手段。同时扫描电镜配备的电子背散射衍射(Electron Backscattered Diffraction，EBSD)附件，可以获得材料的结构和取向信息，近些年来已成为晶体材料尤其是金属材料、陶瓷材料分析不可或缺的有力工具，是高水平论文必不可少的分析手段之一。

在使用扫描电镜分析时样品稳固装夹是很重要的要求之一，通常用到最多的固定手段是导电胶，但对于小而薄的块状样品的加持不适用，在后续测试中则会出现样品表面采集图像漂移的现象，严重影响拍摄效果和放大倍数。尤其在测试EBSD时，小而薄的块状样品和大而厚的块状样品需要倾斜70°，此时既要求样品稳固装夹又要避免由于样品自重引起的图像漂移现像，用导电胶固定样品很难满足要求。

实用新型内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本实用新型提供了一种多用途扫描电镜样品台，其目的在于，通过高度可调的样品承载台配合操作方便，可重复使用，可以实现不同高度样品的稳固装夹，完全避免使用导电胶，既提高测试过程样品稳定性，又从经济上节约制样成本，可满足SEM，EBSD的测试需求。

为实现上述目的，按照本实用新型的一个方面，提供了一种多用途扫描电镜样品台，包括：样品台主体、阶梯轴插台、插台紧固螺钉以及两个样品紧固螺钉；

样品台主体包括主体部以及从主体部向上延伸的两个支架；两个支架上各设有一个水平螺纹孔，两个水平螺纹孔同轴且对称布置；两个样品紧固螺钉一一对应设于两个水平螺纹孔中；主体部上设有三通孔，三通孔包括贯通主体部的竖直通孔以及连通竖直通孔与主体部侧壁的插台紧固螺纹孔；

阶梯轴插台上部为样品承载台，下部为插台杆；插台杆插入竖直通孔中，插台紧固螺钉穿过插台紧固螺纹孔将插台杆固定于竖直通孔中。

进一步地，插台杆的长度确保在夹持样品时，插台杆的下端凸出于竖直通孔外，以与扫描电镜的载物台上的安装孔匹配。

进一步地，竖直通孔上部为沉头孔，样品承载台与沉头孔的沉头部分形状尺寸配合，插台杆与竖直通孔尺寸匹配。

进一步地，样品承载台为圆形，沉头孔为圆孔。

进一步地，样品台主体中部沉头圆孔和阶梯轴插台头部之间为间隙配合，间隙单边间隙不超过0.5mm。

进一步地，样品承载台为圆形。

总体而言，本实用新型所构思的以上技术方案与现有技术相比，结构简单，操作方便，可重复使用，可以实现不同高度样品的稳固装夹，完全避免使用导电胶，简化样品装夹定位过程，并且既能提高测试过程样品稳定性，又能从经济上节约制样成本，可满足SEM、EBSD的测试需求。

附图说明

图1是本实用新型的样品台结构示意图；

图2是图1的样品台主体的俯视图。

在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中：

1-阶梯轴插台、2-样品紧固螺钉、3-样品台主体、4-插台紧固螺钉、11-样品承载台、12-插台杆、31-主体部、32-支架、33-水平螺纹孔、34-竖直通孔、35-插台紧固螺纹孔、36-沉头孔。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

如图1、2所示，本实用新型优选实施例的多用途扫描电镜样品台包括：样品台主体3、阶梯轴插台1、插台紧固螺钉4以及两个样品紧固螺钉2。样品台主体3包括主体部31以及从主体部31向上延伸的两个支架32。两个支架32上各设有一个水平螺纹孔33，两个水平螺纹孔33同轴且对称布置。两个样品紧固螺钉2一一对应设于两个水平螺纹孔33中。主体部31上设有三通孔，三通孔包括贯通主体部31的竖直通孔34以及连通竖直通孔34与主体部31侧壁的插台紧固螺纹孔35。阶梯轴插台1上部为样品承载台11，下部为插台杆12。插台杆12插入竖直通孔34中，插台紧固螺钉4穿过插台紧固螺纹孔35将插台杆12固定于竖直通孔34中。插台杆12的长度确保在夹持样品时，插台杆12的下端凸出于竖直通孔34外，以与扫描电镜的载物台上的安装孔匹配。竖直通孔34上部为沉头孔36，样品承载台11与沉头孔36的沉头部分形状尺寸配合，插台杆12与竖直通孔34尺寸匹配。样品承载台11为圆形，沉头孔36为圆孔。样品台主体中部沉头圆孔和阶梯轴插台头部之间为间隙配合，间隙单边间隙不超过0.5mm。

下面结合两个应用实例对本发明的使用方法及工作原理进行说明：

【实施例一】

对于小而薄(厚度小于3mm，宽度小于2mm)的块状样品，将样品放置于阶梯轴插台1的样品承载台11上，调节其高度，使样品厚度中位面与样品紧固螺钉2中心在同一水平面内，旋转插台紧固螺钉4使阶梯轴插台1相对样品台主体3固定，同时旋转两个样品紧固螺钉2，将样品水平固定，再将阶梯轴插台杆12下端的凸出部分插入扫描电镜的载物台进行固定，然后可进行SEM，EBSD测试。

工作原理：需要测量小而薄的块状样品时，由于样品台主体3内腔水平方向尺寸限制，需采用两个样品紧固螺钉2同时进行样品固定，试样品处于中间位置，使样品更加稳定，方便测试。

【实施例二】

对于大而厚的块状样品，将样品放置于阶梯轴插台1上，将阶梯轴插台1放入样品台主体3中部的沉头孔36中，使样品上表面相对样品台主体3处于最低的位置，旋转插台紧固螺钉4使阶梯轴插台1相对于样品台主体3固定，同时旋转一个样品紧固螺钉2，将样品水平固定，再将阶梯轴插台1杆部凸出部分插入扫描电镜的载物台进行固定，然后可进行SEM、EBSD测试。

工作原理：需要测量大而厚的块状样品时，由于样品台主体3内腔垂直方向的尺寸限制，需将阶梯轴插台1放入样品台主体3中部的沉头孔36中，使样品处于最低位置，夹持面积最大，使样品更加稳定，方便测试。

由上述实施例可知，本实用新型的样品台可适用于较大尺寸变化的样品表面测试，同时可以满足SEM和EBSD的测试要求。并且由于可以避免使用导电胶固定样品，既提高测试过程样品稳定性，又从经济上节约制样成本，可满足SEM、EBSD的测试需求。

本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种多用途扫描电镜样品台，其特征在于，包括：样品台主体(3)、阶梯轴插台(1)、插台紧固螺钉(4)以及两个样品紧固螺钉(2)；

样品台主体(3)包括主体部(31)以及从主体部(31)向上延伸的两个支架(32)；两个支架(32)上各设有一个水平螺纹孔(33)，两个水平螺纹孔(33)同轴且对称布置；两个样品紧固螺钉(2)一一对应设于两个水平螺纹孔(33)中；主体部(31)上设有三通孔，三通孔包括贯通主体部(31)的竖直通孔(34)以及连通竖直通孔(34)与主体部(31)侧壁的插台紧固螺纹孔(35)；

阶梯轴插台(1)上部为样品承载台(11)，下部为插台杆(12)；插台杆(12)插入竖直通孔(34)中，插台紧固螺钉(4)穿过插台紧固螺纹孔(35)将插台杆(12)固定于竖直通孔(34)中。

2.如权利要求1所述的一种多用途扫描电镜样品台，其特征在于，插台杆(12)的长度确保在夹持样品时，插台杆(12)的下端凸出于竖直通孔(34)外，以与扫描电镜的载物台上的安装孔匹配。

3.如权利要求1或2所述的多用途扫描电镜样品台，其特征在于，竖直通孔(34)上部为沉头孔(36)，样品承载台(11)与沉头孔(36)的沉头部分形状尺寸配合，插台杆(12)与竖直通孔(34)尺寸匹配。

4.如权利要求3所述的多用途扫描电镜样品台，其特征在于，样品承载台(11)为圆形，沉头孔(36)为圆孔。

5.如权利要求4所述的多用途扫描电镜样品台，其特征在于，样品台主体中部沉头圆孔和阶梯轴插台头部之间为间隙配合，间隙单边间隙不超过0.5mm。

6.如权利要求1或2所述的多用途扫描电镜样品台，其特征在于，样品承载台(11)为圆形。