CN201936840U - 一种用于扫描电镜分析的样品座 - Google Patents

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胡恒法
周丽萍
刘学伟
范建冬
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Abstract

本实用新型涉及一种样品座,特别涉及一种适用于扫描电镜非规则样品分析的专用样品座。主要解决现有样品座对于非规则试样固定不牢固的技术问题。该样品座可对非规则的样品进行扫描电镜分析,操作简单、快捷,且成像质量高。本实用新型是这样实现的:一种用于扫描电镜分析的专用样品座,包括有底座,其特征是,所述底座为凹型座,其中底面中心有一螺孔,配有连接扫描电镜样品台的螺杆,两侧面中部位置各开有至少一个螺孔,配有用于固定样品的螺杆。当检测片状试样时,底座底面靠近边部位置配有起固定作用的螺旋弹簧片。本实用新型主要用于非规则样品进行扫描电镜分析。

Description

一种用于扫描电镜分析的样品座
技术领域
本实用新型涉及一种样品座,特别涉及一种适用于扫描电镜非规则样品分析的专用样品座。
背景技术
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。可进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量等。
在进行扫描电镜形貌观察及能谱分析时,所需的样品台为不同直径的圆台,此圆台通过螺杆安装在扫描电镜样品室上的底座上。由于此圆台为一平面,因此在对一些非规则样品进行扫描电镜分析时,只能依靠导电胶等将样品固定在样品台上。由于在分析的过程中,导电胶的粘性逐渐降低,其固定作用逐渐减弱,尤其是在对样品进行X、Y、Z各个方向的移动时,样品会有明显的晃动,这对扫描电镜形貌观察非常不利。
为了有效地对此类非规则样品进行扫描电镜分析,提高成像质量,克服现有样品台的不足,本发明技术提供了一种用于扫描电镜分析的专用样品座,该样品座安装于扫描电镜的圆台上。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于扫描电镜分析的专用样品座,主要解决现有样品座对于非规则试样固定不牢固的技术问题。该样品座可对非规则的的样品进行扫描电镜分析,操作简单、快捷,且成像质量高。
本实用新型是这样实现的:一种用于扫描电镜分析的专用样品座,包括有底座,其特征是,所述底座为凹型座,其中底面中心有一螺孔,配有连接扫描电镜样品台的螺杆,两侧面中部位置各开有至少一个螺孔,配有用于固定样品的螺杆。当检测片状试样时,底座底面靠近边部位置配有起固定作用的螺旋弹簧片。
本实用新型的有益效果是:本实用新型采用底座、螺杆和弹簧片组合固定样品的构造形式,可以通过多种方式对不同形状的非规则样品进行固定,操作简单,取用快捷,拆卸方便,解决了扫描电镜分析过程中因样品晃动造成成像质量差的难题。
附图说明:
图1为本实用新型主视图。
图2为本实用新型俯视图。
图中:1-底座,2-固定样品的螺杆,3-连接扫描电镜样品台的螺杆,4-螺旋弹簧片。
具体实施方式:
参见图1、图2,一种用于扫描电镜分析的样品座,包括底座1,所述底座1为凹型座,其中底面中心有一螺孔,配有连接扫描电镜样品台的螺杆3,两侧面中部位置各开有2个螺孔,配有用于固定样品的螺杆2。当检测片状试样时,底座底面靠近边部位置配有起固定作用的螺旋弹簧片4。
用于扫描电镜分析的样品座,通过固定样品的螺杆2和螺旋弹簧片4对不同类型的样品进行固定。如对于冷轧板断口试样,只要将样品夹入螺旋弹簧片内即可。对于不规则的失效分析用样品,可将其置于底座1上,利用两侧面的4个固定样品的螺杆2对样品进行固定。
本实用新型可对不同形状、不同规格的样品进行固定,结构简单,取用快捷,有效地解决了扫描电镜分析时因进行X、Y、Z轴的移动而引起的样品晃动导致成像质量差的问题。

Claims (1)

1.一种用于扫描电镜分析的专用样品座,包括有底座,其特征是,所述底座为凹型座,其中底面中心有一螺孔,配有连接扫描电镜样品台的螺杆,两侧面中部位置各开有至少一个螺孔,配有用于固定样品的螺杆,底座底面靠近边部位置配有起固定作用的螺旋弹簧片。
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