CN203312250U - 一种多角度可紧固式扫描电镜用样品台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种多角度可紧固式扫描电镜用样品台，可有效解决样品台无法多角度观察样品形貌，以及基台体在测试过程中可能出现的晃动，造成的成像模糊的问题，其技术方案是，包括基台体，基台体竖向周壁上开有和紧固螺钉配套使用的紧固孔，基台体上表面依次有斜台面，第一水平台面、垂直断面台面和第二水平台面，构成多角度观察样品形貌的台面结构，本实用新型结构新颖独特，简单合理，易加工，成本低，适用于各种扫描电镜，可同时观察多种角度的样品形貌以及较厚样品的表面形貌，安装方便简单，样品固定牢固且成像效果好，增多了样品形貌观察角度，扩大了样品台的应用范围，减少了多次换不同样品台的操作步骤，大大提高扫描电镜的工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及扫描电镜用样品台，特别是一种多角度可紧固式扫描电镜用样品台。
背景技术
扫描电镜是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜，是一种新型的电子仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。
扫描电镜的一个重要特点是景深大，图像富立体感。扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大10倍，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，故所得扫描电子图像富有立体感，具有三维形态，能够提供比其他显微镜多得多的信息，这个特点对使用者很有价值。扫描电镜所显示的断口形貌从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质，在教学、科研和生产中，有不可替代的作用，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。
样品台是扫描电子显微镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子束扫描系统成像表征样品的局部特征。然而，目前扫描电镜的常用样品台对装载样品的断面斜面观察有一定的限制，只适用于平面或断面的观察，不能同时观察斜面，平面和断面样品形貌，而且样品台在固定过程中由于侧壁十分光滑，可能会造成在测试过程中基台体的晃动和滑脱，对测试造成影响。因此，扫描电镜用样品台的创新和改进是急需解决的问题。
发明内容
针对上述情况，为克服现有技术之缺陷，本实用新型之目的就是提供一种多角度可紧固式扫描电镜用样品台，可有效解决样品台无法多角度观察样品形貌，以及基台体在测试过程中可能出现的晃动，造成的成像模糊的问题。
本实用新型解决的技术方案是，包括基台体，基台体竖向周壁上开有和紧固螺钉配套使用的紧固孔，基台体上表面依次有斜台面，第一水平台面、垂直断面台面和第二水平台面，构成多角度观察样品形貌的台面结构。
本实用新型结构新颖独特，简单合理，易加工，成本低，适用于各种扫描电镜，可同时观察多种角度的样品形貌以及较厚样品的表面形貌，安装方便简单，样品固定牢固且成像效果好，增多了样品形貌观察角度，扩大了样品台的应用范围，减少了多次换不同样品台的操作步骤，大大提高扫描电镜的工作效率，是扫描电镜用样品台上的创新。
附图说明
图1为本实用新型的主视图。
图2为本实用新型的侧视图。
图3为本实用新型的俯视图（局部剖开）。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。
由图1至图3给出，实用新型包括基台体，基台体1竖向周壁上开有和紧固螺钉配套使用的紧固孔6，基台体上表面依次有斜台面2，第一水平台面3、垂直断面台面4和第二水平台面5，构成多角度观察样品形貌的台面结构，用于多角度观察样品形貌和较厚样品表面形貌。
为保证使用效果，所述的基台体1为圆形；
所述的斜台面2与水平面的夹角为45°；
所述的基台体1竖向周壁上开有8个均布的和紧固螺钉配套使用的紧固孔6，紧固孔深度为2-3mm，其直径比紧固螺钉外径大0.5mm，以使样品台固定，开8个均布的紧固孔以方便基台体与样品台底座外表面2个紧固螺钉配合，固定方便。
所述的斜台面2，第一水平台面3、垂直断面台面4和第二水平台面5，可同时分别测试样品斜面，较薄样品表面，样品断面以及较厚样品表面形貌，从而多角度观察样品形貌。
本实用新型的使用情况是，首先将样品用导电胶粘附在本样品台上，可根据所需，选择样品粘附在斜台面2，第一水平台面3、垂直断面台面4或第二水平台面5上，第一水平台面可测样品平面形貌，垂直断面台面可测样品断面形貌，斜台面可测样品斜面形貌，第二水平台面可测较厚样品表面形貌。样品固定好后，将样品台底座外表面的紧固螺钉旋进基台体1上的紧固孔6，使其固定牢固，然后检测样品的各面斜面形貌。本实用新型结构新颖独特，简单合理，易加工，成本低，适用于各种扫描电镜，可同时观察多种角度的样品形貌，安装方便简单，样品固定牢固且成像效果好，增多了样品形貌观察角度，扩大了样品台的实用性，减少了多次换不同样品台的操作步骤，大大提高了扫描电镜的工作效率，是扫描电镜用样品台上的创新。
申请人要指出的是，本申请上述给出的仅仅是一种实施例，并不是用于限制本申请的保护范围，凡是用等同或等效替代手段所做出与本申请本质上相同的技术方案均属于本申请的保护范围。
Claims (4)
1.一种多角度可紧固式扫描电镜用样品台，包括基台体，其特征在于，基台体（1）竖向周壁上开有和紧固螺钉配套使用的紧固孔（6），基台体上表面依次有斜台面（2），第一水平台面（3）、垂直断面台面（4）和第二水平台面（5），构成多角度观察样品的台面结构。
2.根据权利要求1所述的多角度可紧固式扫描电镜用样品台，其特征在于，所述的基台体（1）为圆形。
3.根据权利要求1所述的多角度可紧固式扫描电镜用样品台，其特征在于，所述的斜台面（2）与水平面的夹角为45°。
4.根据权利要求1所述的多角度可紧固式扫描电镜用样品台，其特征在于，所述的基台体（1）竖向周壁上开有8个均布的和紧固螺钉配套使用的紧固孔（6），紧固孔深度为2-3mm。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105158050A (zh) * | 2015-08-12 | 2015-12-16 | 核工业理化工程研究院 | 一种用于纤维扫描电镜试验的固定装置与试验方法 |
| CN109425315A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 长鑫存储技术有限公司 | 半导体结构的测试载具及测试方法 |
| CN110071029A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-07-30 | 天合光能股份有限公司 | 一种扫描电镜样品台 |
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2013
- 2013-06-08 CN CN2013203308674U patent/CN203312250U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN105158050B (zh) * | 2015-08-12 | 2019-07-30 | 核工业理化工程研究院 | 一种用于纤维扫描电镜试验的固定装置与试验方法 |
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