CN204441245U - 一种扫描电镜载物台 - Google Patents

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覃丽禄
覃丽婷
董强
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Abstract

本实用新型公开了一种扫描电镜载物台,包括有载物平台(1)和爪状插杆(4),载物平台(1)下表面设有与扫描电镜样品室的样品座连接的螺杆(2),载物平台(1)上表面开设有多个螺纹插孔(3),爪状插杆(4)的顶部装有金属爪(5)、下部为插杆螺杆(6),爪状插杆(4)的插杆螺杆(6)对应装在载物平台(1)的螺纹插孔(3)内。本实用新型的技术效果是:爪状插杆能够插入多个不同直径的柱状样品,样品置入爪状插杆后,爪状插杆能将样品牢牢卡住,当测试完毕之后可以直接取出样品。样品即插即用,方便测试不同的柱状样品,提高测试效率,特别适用于底部不平整的柱状样品。

Description

一种扫描电镜载物台
技术领域
本实用新型涉及一种扫描电镜载物台。
背景技术
扫描电子显微镜简称扫描电镜,是一种利用电子束轰击样品,收集样品表面信号从而成像的电子光学仪器。由于其具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大等特点,现已经被广泛地应用于材料、化学、生物、微电子等多领域的研究和工业生产。
样品做扫描电镜时,需要将样品固定在载物台上然后放入样品仓进行观测。但是,现有的载物台多是用于平面观测,载物台为普通圆形平台,此种载物台无法固定住底部不平整的柱状样品。因此当要观察样品截面的时候,平面载物台很难将样品竖直固定,样品晃动会对观察结果造成很大影响。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题,本实用新型所要解决的技术问题就是提供一种扫描电镜载物台,它能夹持底面不平整的柱状样品,有利于对该类柱状样品截面进行观察。
本实用新型所要解决的技术问题是通过这样的技术方案实现的,它包括有载物平台和爪状插杆,载物平台下表面设有与扫描电镜样品室的样品座连接的螺杆,载物平台上表面开设有多个螺纹插孔,爪状插杆的顶部装有金属爪、下部为插杆螺杆,爪状插杆的插杆螺杆对应装在载物平台的螺纹插孔内。
本实用新型的技术效果是:使用时,爪状插杆能够插入多个不同直径的柱状样品,样品置入爪状插杆后,爪状插杆能将样品牢牢卡住,当测试完毕之后可以直接取出样品。样品即插即用,方便测试不同的柱状样品,提高测试效率,特别适用于底部不平整的柱状样品。
附图说明
本实用新型的附图说明如下:
图1为本实用新型的一个实施例结构示意图;
图2是图1中爪状插杆的结构示意图。
图中:1.载物平台;2.螺杆;3.螺纹插孔;4.爪状插杆;5.金属爪;6.插杆螺杆。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明:
如图1和图2所示,本实用新型包括有载物平台1和爪状插杆4,载物平台1下表面设有与扫描电镜样品室的样品座连接的螺杆2,载物平台1上表面开设有多个螺纹插孔3,爪状插杆4的顶部装有金属爪5、下部为插杆螺杆6,爪状插杆4的插杆螺杆6对应装在载物平台1的螺纹插孔3内。
本实用新型主要用于柱状样品截面的扫描电镜观察,图1所示,载物平台上表面设有8个装配爪状插杆4的螺纹插孔3。在观察柱状样品时直接将样品插入爪状插杆4的金属爪中,金属爪能夹持样品底部不平整的柱状样品,且适应于尺寸大小在一定范围内变化的柱状样品。当观察完毕之后,直接将样品取出。样品即插即用,一次可以测试多个柱状样品,使用方便,效率高。

Claims (1)

1.一种扫描电镜载物台,其特征是:包括有载物平台(1)和爪状插杆(4),载物平台(1)下表面设有与扫描电镜样品室的样品座连接的螺杆(2),载物平台(1)上表面开设有多个螺纹插孔(3),爪状插杆(4)的顶部装有金属爪(5)、下部为插杆螺杆(6),爪状插杆(4)的插杆螺杆(6)对应装在载物平台(1)的螺纹插孔(3)内。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108896595A (zh) * 2018-06-15 2018-11-27 昆明理工大学 一种保护探头的扫描电镜试样台

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