CN212364142U

CN212364142U - 一种样品台

Info

Publication number: CN212364142U
Application number: CN201921685777.0U
Authority: CN
Inventors: 邹余耀; 郭鹏飞
Original assignee: Jiangsu Sanchao Diamond Tools Co ltd
Current assignee: Jiangsu Sanchao Diamond Tools Co ltd
Priority date: 2019-10-10
Filing date: 2019-10-10
Publication date: 2021-01-15
Anticipated expiration: 2029-10-10

Abstract

本实用新型公开了一种样品台，包括基台、第一支撑杆、第二支撑杆和载物台，第一支撑杆的一端与基台顶部可转动连接，第一支撑杆的另一端与第二支撑杆的一端可转动连接，第二支撑杆的另一端与载物台的底部可转动连接。本实用新型能够任意调整载物台的角度，使待测样品的端面形貌得到更好地呈现，并且结构简单、易于加工、操作方便快捷，可有效地提高扫描电镜的工作效率。

Description

一种样品台

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其涉及一种样品台。

背景技术

扫描电镜是一种新型的电子光学仪器，它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。近年来，扫描电镜已广泛地应用于生物学、医学、冶金学等学科领域中，并促进了各有关学科的发展。

扫描电镜的另一个重要特点是景深大、图像富有立体感。扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大十倍左右，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，所以扫描电子图像富有立体感，具有三维形态，能够提供更多的信息，这点对使用者很有价值。扫描电镜所显示的断口形貌从深层次、高景深的角度呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因分析以及工艺合理性的判定方面起到强有力的作用。

样品台是扫描电镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过光学系统成像表征样品的局部特征。然而，样品端面无法稳定地放置在普通样品台上，特别是在观测样品端面时，无法将样品的端面正方向朝向扫描电镜的镜头。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决上述技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的目的在于提出一种样品台，能够任意调整载物台的角度，使待测样品的端面形貌得到更好地呈现，并且结构简单、易于加工、操作方便快捷，可有效地提高扫描电镜的工作效率。

为达到上述目的，本实用新型提出的样品台包括基台、第一支撑杆、第二支撑杆和载物台，所述第一支撑杆的一端与所述基台顶部可转动连接，所述第一支撑杆的另一端与所述第二支撑杆的一端可转动连接，所述第二支撑杆的另一端与所述载物台的底部可转动连接。

根据本实用新型提出的样品台，通过基台、支撑杆和载物台的可转动连接，能够任意调整载物台的角度，使待测样品的端面形貌得到更好地呈现，并且结构简单、易于加工、操作方便快捷，可有效地提高扫描电镜的工作效率。

另外，根据本实用新型上述实例提出的样品台还可以具有如下附加的技术特征：

根据本实用新型的一个实施例，所述第一支撑杆的一端与所述基台顶部通过第一铰接件铰接，所述第一支撑杆的另一端与所述第二支撑杆的一端通过第二铰接件铰接，所述第二支撑杆的另一端与所述载物台的底部通过第三铰接件铰接。

附图说明

图1为本实用新型一个实施例的样品台的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型实施例的样品台包括基台10、第一支撑杆20、第二支撑杆30和载物台40。第一支撑杆20的一端与基台10顶部可转动连接，第一支撑杆20的另一端与第二支撑杆30的一端可转动连接，第二支撑杆30的另一端与载物台40的底部可转动连接。

在本实用新型的一个实施例中，如图1所示，第一支撑杆20的一端与基台10顶部可通过第一铰接件100铰接，构成第一转动副；第一支撑杆20的另一端与第二支撑杆30的一端可通过第二铰接件200铰接，构成第二转动副；第二支撑杆30的另一端与载物台40的底部可通过第三铰接件300铰接，构成第三转动副。上述的第一转动副、第二转动副和第三转动副中的构件仅在受到外力时发生转动，在未受到外力时不发生转动。

通过以上连接方式，可使载物台进行任意角度的转动，从而提高样品端面放置的平稳性，使待测样品的端面形貌得到更好的呈现。

在本实用新型的一个实施例中，为确保样品台在样品观测过程中的稳定性，可通过分别在第一铰接件100、第二铰接件200和第三铰接件300处设置固定装置对完成角度调整的样品台进行固定。例如，可分别在第一铰接件100、第二铰接件200和第三铰接件300处设置固定夹，在完成角度调整后，将设置的固定夹夹紧，以固定样品台；也可分别在第一铰接件100、第二铰接件200和第三铰接件300处设置限位器，在完成角度调整后，将限位器的开关关闭，以固定样品台。在本实用新型的一个实施例中，上述固定装置属于可拆装装置，可在需要进行固定的时候安装，例如承载较重样品时，可在不使用的时候收存，例如承载普通轻质样品时。

基于上述结构，在通过样品台和扫描电镜对样品进行观测扫描时，首先可在载物台40上粘上导电胶，将所需观测的样品粘在导电胶上，使之与导电胶贴合，保证良好的导电性，接着可将粘好样品的载物台40放置于辅助显微镜之下，并调整载物台40的角度，使样品的端面正方向朝向镜头。最后将调整好角度的载物台40放入扫描电镜样品舱中，并使用扫描电镜观测样品端面的形貌。

应当理解的是，使用普通样品台进行样品端面形貌扫描时，可能需要进行多次样品角度的调整，操作麻烦，而本实用新型提出的样品台，可通过较少的操作次数和便捷的操作方法，实现待观测样品角度的准确调整，提高样品端面放置的平稳性，使待测样品的端面形貌得到更好的呈现，从而能够有效地提高扫描电镜的工作效率。

在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种样品台，其特征在于，包括基台、第一支撑杆、第二支撑杆和载物台，所述第一支撑杆的一端与所述基台顶部可转动连接，所述第一支撑杆的另一端与所述第二支撑杆的一端可转动连接，所述第二支撑杆的另一端与所述载物台的底部可转动连接，所述第一支撑杆的一端与所述基台顶部通过第一铰接件铰接，所述第一支撑杆的另一端与所述第二支撑杆的一端通过第二铰接件铰接，所述第二支撑杆的另一端与所述载物台的底部通过第三铰接件铰接，分别在第一铰接件、第二铰接件和第三铰接件处设置可拆装的固定装置。