CN203312249U - 一种可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台 - Google Patents

一种可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台 Download PDF

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陈志民
曹晶晶
王波
王书霞
李英华
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Abstract

本实用新型涉及一种可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台,可有效解决样品台无法将样品的断面稳定放置而造成的样品脱落及成像模糊等问题,其技术方案是,包括基台体,基台体竖向周壁上开有和样品台底座外表面的紧固螺钉配套使用的紧固孔,基台体上部有十字型凸台,十字型凸台的侧壁上经螺钉装有夹持弹簧片,构成样品固定的弹性夹持结构,本实用新型结构新颖独特,简单合理,易加工,成本低,适用于各种扫描电镜,可同时安放多个样品,对于金属样品断面测量,可以直接固定,不需用导电胶,安装方便简单,对于易脱落样品,样品固定牢固且成像效果好,减小了样品的制备难度,可同时检测各种样品断面和表面形貌,大大提高了扫描电镜的工作效率。

Description

一种可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台
技术领域
本实用新型涉及扫描电镜用样品台,特别是一种可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台。
背景技术
扫描电镜是一种新型的电子仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。
扫描电镜的另一个重要特点是景深大,图像富立体感。扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大10倍,比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大,故所得扫描电子图像富有立体感,具有三维形态,能够提供比其他显微镜多得多的信息,这个特点对使用者很有价值。扫描电镜所显示的断口形貌从深层次,高景深的角度呈现材料断裂的本质,在教学、科研和生产中,有不可替代的作用,在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。
样品台是扫描电子显微镜的关键部件之一,它用以承载样品,并通过电子系统成像表征样品的局部特征。然而,样品断面、尤其是片状样品的断面无法稳定地放置在普通的样品台上,且金属样品断面在普通的样品台上还需用导电胶固定。因此,扫描电镜用样品台的创新和改进是急需解决的问题。 
发明内容
针对上述情况,为克服现有技术之缺陷,本实用新型之目的就是提供一种可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台,可有效解决样品台无法将样品的断面稳定放置而造成的样品脱落及成像模糊等问题。
本实用新型解决的技术方案是,包括基台体,基台体竖向周壁上开有和样品台底座外表面的紧固螺钉配套使用的紧固孔,基台体上部有十字型凸台,十字型凸台的侧壁上经螺钉装有夹持弹簧片,构成样品固定的弹性夹持结构。
本实用新型结构新颖独特,简单合理,易加工,成本低,适用于各种扫描电镜,可同时安放多个样品,对于金属样品断面测量,可以直接固定,不需用导电胶,安装方便简单,对于易脱落样品,样品固定牢固且成像效果好,减小了样品的制备难度,可同时检测各种样品断面和表面形貌,大大提高了扫描电镜的工作效率,是扫描电镜用样品台上的创新。
附图说明
图1为本实用新型的主视图。
图2为本实用新型的俯视图(局部剖开)。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。
由图1至图2给出,本实用新型包括基台体,基台体1竖向周壁上开有和样品台底座外表面的紧固螺钉配套使用的紧固孔5,基台体1上部有十字型凸台2,十字型凸台2的侧壁6上经螺钉3装有夹持弹簧片4,构成样品固定的弹性夹持结构。
为保证使用效果,所述的基台体1为圆形;
所述的十字型凸台2的上表面为平面,十字中心与基台体同心,可以测量样品的表面形貌;
所述的基台体1竖向周壁上均布开有8个和样品台底座外表面的紧固螺钉配套使用的紧固孔5,紧固孔深度为2-3mm,其直径比紧固螺钉外径大0.5mm,以使样品台固定,均布开8个对称紧固孔以方便基台体与样品台底座外表面2个紧固螺钉配合,固定方便;
所述的夹持弹簧片4为长弧面形,内侧呈粗糙平面,通过十字型凸台2的侧壁6与夹持弹簧片4内侧两者结合,可以将断面样品固定在十字型凸台的侧壁6上;
本实用新型的使用情况是,直接用镊子将夹持弹簧片4翘起,将样品固定在夹持弹簧片4和十字型凸台2的侧壁6之间;对于要测表面形貌的样品,可直接用导电胶将样品固定在十字型凸台的上表面。样品固定好后,,将样品台底座外表面的紧固螺钉旋进基台体1上的紧固孔5,使其固定牢固,然后检测样品的断面或表面形貌。
由上述结构及工作情况可以看出,本实用新型包括基台体、十字型凸台和夹持弹簧片,通过多个夹持弹簧片与十字型凸台侧壁之间的夹持作用,可以同时固定多个样品。既避免了目前大多样品台装载样品数量少的缺点,又牢固固定了样品。同时紧固孔的设置增加了基台体和样品台底座的紧固强度。上述两方面的改进可有效防止基台体脱落和样品脱落造成的仪器损坏。同时通过与十字型凸台表面的结合,可同时观察样品平面和断面形貌,提高了扫描电镜的工作效率,减小了样品的制备难度。本实用新型新颖独特,结构简单,易生产,使用方便快捷,适用于各种场发射扫描电镜,大大提高了工作效率,是扫描电镜样品台方面的创新。
申请人要指出的是,本申请上述给出的仅仅是一种实施例,并不是用于限制本申请的保护范围,凡是用等同或等效替代手段所做出与本申请本质上相同的技术方案均属于本申请的保护范围。

Claims (5)

1.一种可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台,包括基台体,其特征在于,基台体(1)竖向周壁上开有和样品台底座外表面的紧固螺钉配套使用的紧固孔(5),基台体(1)上部有十字型凸台(2),十字型凸台(2)的侧壁(6)上经螺钉(3)装有夹持弹簧片(4),构成样品固定的弹性夹持结构。
2.根据权利要求1所述的可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台,其特征在于,所述的基台体(1)为圆形。
3.根据权利要求1所述的可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台,其特征在于,所述的十字型凸台(2)的上表面为平面,十字中心与基台体同心。
4.根据权利要求1所述的可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台,其特征在于,所述的基台体(1)竖向周壁上均布开有8个和样品台底座外表面的紧固螺钉配套使用的紧固孔(5),紧固孔深度为2-3mm。
5.根据权利要求1所述的可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台,其特征在于,所述的夹持弹簧片(4)为长弧面形,内侧呈粗糙平面。
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