CN201464332U - 高安全性扫描电镜样品台 - Google Patents

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郭红
陈志伟
李正民
王英
冯柳
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Abstract

高安全性扫描电镜样品台，属于测量仪器实验设备领域，具体涉及一种用于扫描电镜的样品台。包括样品台和样品座(7)，其特征在于：样品台分为上、下两部分，样品台上、下部(1、6)分别设有对应的样品座插孔(5)，样品台上部(1)底面上设有定位槽(3)，样品座(7)下端支杆(9)上设有定位孔(10)，定位栓(8)同时穿过定位槽(3)和定位孔(10)将样品座(7)固定在样品台上。与现有技术相比，本样品台通用性强，安装简单，定位准确，固定安全牢固。

Description

高安全性扫描电镜样品台
技术领域
高安全性扫描电镜样品台，属于测量仪器实验设备领域，具体涉及一种用于扫描电镜的样品台。
背景技术
扫描电镜是利用电磁透镜来扫描成像的，对磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受磁场的影响，但在内部磁场的作用下，即使是非磁性试样也有可能被磁化。目前通用的扫描电镜样品台有两种：一种是用于做扫描(SEM)和能谱(EDS)的样品台，包括安装样品座的圆台和用于将圆台安装在扫描电镜样品室上的底座，这种样品台的圆台与底座、底座与扫描电镜样品室的安装位置不易对准，容易损坏扫描电镜的分子泵，且样品座是直接插入圆台的孔中而没有相应的固定措施，由于样品座距离电子枪的极靴非常近，被磁化了的样品座及样品座上的样品就有可能被吸到电镜的核心部位极靴上而对电镜造成致命危害；另一种是用于做电子背散射衍射(EBSD)的样品台，包括一圆台底座，圆台底座的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆，其顶端中心设一插电子背散射衍射专用座的圆孔，专用座插入圆孔后，样品座再安装到专用座的插孔中固定，但这种样品台的圆台底座一次只能插一个样品座，测试一个样品，测试效率低。此外以上两种样品台通用型差，需要操作人员根据不同的测试需要经常进行更换，增加了操作的失误率。为克服以上缺陷，本发明人曾在2007年设计了两种安装方便、通用性强的扫描电镜样品台，并申请实用新型专利(专利号ZL 200720157035.9和ZL 200720157036.3)。但这两种样品台仍存在着以下问题：1、定位不好，当样品台上同时放置多个样品时，每个样品在样品台的准确位置不易寻找；2、对样品座的固定依然不够安全、牢固。目前，关于不锈钢、耐热钢等各种类型的钢铁的研究非常普遍，而多数的钢铁都是弱磁性的。为了更安全地对钢铁等弱磁性材料进行电镜测试，本发明人对原有的扫描电镜样品台进行改造，设计并申请一种高安全性扫描电镜样品台。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种可同时安放多个样品，安装方便，定位准确，样品固定牢固的高安全性扫描电镜样品台。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该高安全性扫描电镜样品台，包括样品台和样品座，其特征在于：样品台分为上、下两部分，样品台上、下部分别设有对应的样品座插孔，样品台上部底面上设有定位槽，样品座下端支杆上设有定位孔，定位栓同时穿过定位槽和定位孔将样品座固定在样品台上。
定位槽为多条，开在多个样品座插孔组成的直线上。定位槽可排列成“米”字形或“井”字形等多种形状，具体排列形状可根据具体需要设计。
定位槽为8条。
与现有技术相比，本实用新型高安全性扫描电镜样品台所具有的有益效果是：
1、通用性强，做SEM和EDS实验时，可直接借用圆台底座作为固定座，不必因做不同实验而频繁安装更换样品台，防止损坏仪器；
2、安装简单、定位准确，通过沉头螺栓或其他方式直接固定在圆台底座上，安装部件少，保证定位误差小；
3、样品座固定牢固，结构简单，通过定位杆将样品座固定在样品台上，防止被磁化了的样品座及样品座上的样品被吸到电镜的核心部位极靴上而对电镜造成致命危害。
附图说明
图1是本实用新型高安全性扫描电镜样品台实施例1上端盖仰视图结构示意图。
图2是本实用新型高安全性扫描电镜样品台实施例1下端盖俯视图结构示意图。
图3是本实用新型高安全性扫描电镜样品台实施例1安装结构剖视图示意图。
图4是本实用新型高安全性扫描电镜样品台样品座结构示意图。
图5是本实用新型高安全性扫描电镜样品台定位销结构示意图。
图6是本实用新型高安全性扫描电镜样品台实施例2上端盖仰视图结构示意图。
图7是本实用新型高安全性扫描电镜样品台实施例2下端盖俯视图结构示意图。
图8是本实用新型高安全性扫描电镜样品台实施例2安装结构剖视图示意图。
其中：1、样品台上部  2、紧固螺钉  3、定位槽  4、中心螺栓孔  5、样品座插孔  6、样品台下部  7、样品座  8、定位栓  9、支杆  10、定位孔。
下面结合附图1～8对本实用新型做进一步说明：
具体实施方式
实施例1
图1～5是本实用新型高安全性扫描电镜样品台的最佳实施例。
参照附图1～5，
高安全性扫描电镜样品台由样品台上部1和样品台下部6通过四个紧固螺钉2组合而成。样品台上部1和样品台下部6上分别设有相对应的样品座插孔5，样品台上部1的下表面加工有定位槽3，定位槽3开在多个样品座插孔5组成的直线上。本实施例中，定位槽3为“米”字形排列。样品台上部1和样品台下部6通过四个紧固螺钉2安装在一起，组成高安全性扫描电镜样品台本体。样品座7下端支杆9上设有定位孔10。
实施例2
图4～8是本实用新型高安全性扫描电镜样品台的实施例2。
在本实施例中，定位槽3为“井”字形排列，定位槽3贯穿了整个样品台。与之相匹配的定位栓8的长度尺寸加长。其余结构同实施例1。
安装使用过程：首先将样品通过导电胶固定在样品座7上，安装时，将样品座7插入样品座插孔5，调整样品座7的方向，使定位孔10与定位槽3朝向一致，将定位栓8同时插入定位孔10与定位槽3中，达到将样品座固定在样品台上的目的。样品台通过中心螺栓孔4内的中心螺栓固定在圆台底座上，通过圆台底座底部的螺杆固定在扫描电镜的样品室内。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，此样品台的形状及定位槽的排列方式还可以有很多种，如方形样品台或圆形定位槽等，这样的变换均落在本实用新型的保护范围之内.

Claims (3)

1.高安全性扫描电镜样品台，包括样品台和样品座(7)，其特征在于：样品台分为上、下两部分，样品台上、下部(1、6)分别设有对应的样品座插孔(5)，样品台上部(1)底面上设有定位槽(3)，样品座(7)下端支杆(9)上设有定位孔(10)，定位栓(8)同时穿过定位槽(3)和定位孔(10)将样品座(7)固定在样品台上。
2.根据权利要求1所述的高安全性扫描电镜样品台，其特征在于：定位槽(3)为多条，开在多个样品座插孔(5)组成的直线上。
3.根据权利要求1所述的高安全性扫描电镜样品台，其特征在于：定位槽(3)为8条。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101916706A (zh) * 2010-08-03 2010-12-15 深圳市金洲精工科技股份有限公司 一种扫描电镜样品台及扫描电镜
CN102646566A (zh) * 2012-05-04 2012-08-22 上海集成电路研发中心有限公司 用于在线sem观察的sem样品夹具及sem样品观察方法
CN103858204A (zh) * 2011-10-05 2014-06-11 株式会社日立高新技术 检查或观察装置及试样的检查或观察方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101916706A (zh) * 2010-08-03 2010-12-15 深圳市金洲精工科技股份有限公司 一种扫描电镜样品台及扫描电镜
CN101916706B (zh) * 2010-08-03 2013-09-04 深圳市金洲精工科技股份有限公司 一种扫描电镜样品台及扫描电镜
CN103858204A (zh) * 2011-10-05 2014-06-11 株式会社日立高新技术 检查或观察装置及试样的检查或观察方法
CN103858204B (zh) * 2011-10-05 2016-06-08 株式会社日立高新技术 检查或观察装置及试样的检查或观察方法
CN102646566A (zh) * 2012-05-04 2012-08-22 上海集成电路研发中心有限公司 用于在线sem观察的sem样品夹具及sem样品观察方法
CN102646566B (zh) * 2012-05-04 2016-12-14 上海集成电路研发中心有限公司 用于在线sem观察的sem样品夹具及sem样品观察方法

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