CN201145662Y - 扫描电镜样品台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种扫描电镜样品台，包括样品座和圆台，其中圆台的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆，其顶端中心设有插样品座的插孔，其特征在于：样品座为一组，尺寸大小不一，且在临近圆台顶端的侧壁上设有连通插孔的螺孔，螺孔内设有固定样品座的螺栓。用于做扫描SEM和能谱EDS时，圆台经螺杆与扫描电镜样品室连接为一体，然后根据样品的多少，选择一大小相应的样品座插入圆台的插孔中，再由螺栓配合螺孔对其固定，把样品固定到样品座上即可进行SEM和EDS的观测；用于做EBSD时，圆台经螺杆与扫描电镜样品室连接为一体，电子背散射衍射专用座插入圆台顶端中心的插孔，再将样品座安装到专用座的插孔中固定，把样品固定到样品座上即可进行EBSD检测。
Description
技术领域
本实用新型提供一种扫描电镜样品台，属于测量仪器技术领域。
背景技术
扫描电镜是利用电磁透镜来扫描成像的，对磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场的影响。在内部磁场的作用下，即使是非磁性试样也有可能被磁化。扫描电镜工作时需要扫描电镜样品台来承载扫描电镜样品座。现有的扫描电镜样品台有两种：一种是用于做扫描SEM和能谱EDS的样品台，包括安装样品座的圆台和用于将圆台安装在扫描电镜样品室上的底座；另一种是用于做电子背散射衍射EBSD的样品台，包括一圆台，圆台的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆，其顶端中心设一插电子背散射衍射专用座的圆孔，专用座插入圆孔后，样品座再安装到专用座的插孔中固定。其缺陷是：1、第一种样品台的圆台与底座、底座与扫描电镜样品室的安装位置不易对准，容易损坏扫描电镜的分子泵，且样品座是插入圆台的孔中，当样品座距离电子枪的极靴非常近，被磁化了的样品座及样品座上的样品就有可能被吸到电镜的核心部位极靴上而对电镜造成致命危害；2、样品座的尺寸单一，不能适应各种尺寸的样品；3、第一种样品台不能取代第二种，第二种样品台可以取代第一种，但只能插一个样品座，因原有的样品座很小，所以一次只能测试一个样品，测试效率低。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种能克服上述缺陷、功能齐全、通用性强的扫描电镜样品台。其技术方案为：
包括样品座和圆台，其中圆台的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆，其顶端中心设有插样品座的插孔，其特征在于：样品座为一组，尺寸大小不一，且在临近圆台顶端的侧壁上设有连通插孔的螺孔，螺孔内设有固定样品座的螺栓。
其工作原理为：1、用于做扫描SEM和能谱EDS时，圆台经底部设置的螺杆与扫描电镜样品室螺纹连接为一体，然后根据样品的多少，选择一大小相应的样品座插入圆台的孔中，再由螺栓配合螺孔对样品座进行固定，最后把样品固定到样品座上，即可对样品进行SEM和EDS的观测；2、用于做EBSD时，圆台经底部设置的螺杆与扫描电镜样品室螺纹连接为一体，电子背散射衍射专用座插入圆台顶端中心设置的插孔，再将样品座安装到专用座的插孔中固定，最后把样品固定到样品座上，即可对样品进行EBSD检测。
本实用新型与现有技术相比，具有如下优点：
1、即可用于做EBSD，也可以用于做SEM和EDS，通用性强，免去来回安装更换，损坏仪器；
2、在临近圆台顶端的侧壁上设有连通插孔的螺孔，螺孔内设有固定样品座的螺栓，这样就可以实现对样品座的固定，防止被磁化了的样品座及样品座上的样品被吸到电镜的核心部位极靴上而对电镜造成致命危害；
3、样品座为一组，尺寸大小不一，可以根据样品的多少，选择大小相应的样品座，同时做多个样品，工作效率高。
附图说明
图1是本实用新型实施例1的结构示意图；
图2是本实用新型实施例2的结构示意图。
图中：1、样品座 2、圆台 3、螺杆 4、插孔 5、螺孔 6、螺栓 7、电子背散射衍射专用座 8、插孔 9、螺孔
具体实施方式
图1所示的实施例1用于做SEM和EDS：圆台2的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆3，其顶端中心设有插样品座1的插孔4，在临近圆台2顶端的侧壁上设有连通插孔4的螺孔5，螺孔5内设有固定样品座1的螺栓6。根据样品的多少，选择一大小相应的样品座1插入圆台2的插孔4中，再由螺栓6配合螺孔5对样品座1进行固定，最后把样品固定到样品座1上，即可对样品进行SEM和EDS观测。
图2所示的实施例2用于做EBSD：圆台2的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆3，其顶端中心设有插电子背散射衍射专用座7的插孔4，圆台2经底部设置的螺杆3与扫描电镜样品室螺纹连接为一体，电子背散射衍射专用座7插入圆台2顶端中心设置的插孔4中，再将样品座1安装到电子背散射衍射专用座7的插孔8中，最后把样品固定到样品座1上，即可对样品进行EBSD检测。
Claims (1)
1、一种扫描电镜样品台，包括样品座(1)和圆台(2)，其中圆台(2)的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆(3)，其顶端中心设有插样品座(1)的插孔(4)，其特征在于：样品座(1)为一组，尺寸大小不一，且在临近圆台(2)顶端的侧壁上设有连通插孔(4)的螺孔(5)，螺孔(5)内设有固定样品座(1)的螺栓(6)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2007201573059U CN201145662Y (zh) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 扫描电镜样品台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2007201573059U CN201145662Y (zh) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 扫描电镜样品台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201145662Y true CN201145662Y (zh) | 2008-11-05 |
Family
ID=40082545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNU2007201573059U Expired - Fee Related CN201145662Y (zh) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 扫描电镜样品台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201145662Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103926263A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-16 | 北京工业大学 | 一种准原位ebsd技术研究合金基带再结晶及立方织构形成机理的方法 |
| CN114509462A (zh) * | 2022-02-18 | 2022-05-17 | 中国核动力研究设计院 | 一种放射性试样的扫描电镜屏蔽样品座及系统 |
-
2007
- 2007-11-16 CN CNU2007201573059U patent/CN201145662Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103926263A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-16 | 北京工业大学 | 一种准原位ebsd技术研究合金基带再结晶及立方织构形成机理的方法 |
| CN114509462A (zh) * | 2022-02-18 | 2022-05-17 | 中国核动力研究设计院 | 一种放射性试样的扫描电镜屏蔽样品座及系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20081105 Termination date: 20091216 |