CN205564704U - 一种用于场扫描电镜检测装置中的载物台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于场扫描电镜检测装置中的载物台。它包括基座和夹持体，所述的基座上设有若干通孔，所述基座的一端上设有切角，所述夹持体的两端均设有用于镶嵌在通孔内的夹持片。本实用新型的有益效果是：能够夹持形状规则或不规则的待测物，结构简单，安装与拆卸方便，牢固可靠，定位精准，实用方便，灵活可调，同时还减小了对待测物的影响，提高检测效率，具有很高的实用价值。

Description

一种用于场扫描电镜检测装置中的载物台

技术领域

本实用新型涉及材料检测相关技术领域，尤其是指一种用于场扫描电镜检测装置中的载物台。

背景技术

在材料性能、材料失效等研究领域，扫描电镜是一种重要的分析仪器，金属材料断口、腐蚀，纤维复合材料热损伤、机械损伤等都是扫描电镜分析研究的重要部分。扫描电镜二次成像技术可用于观察金属材料断口的形貌，并通过形貌判断类型，从而对材料改性、设备安全、服役环境等提供更多的改良参考信息。用于电镜扫描观察的样品应具备导电性能，对于不导电的样品需通过导电胶或镀膜等方式使其导电；样品的导电性能越好，成像越清晰。在进行扫描电镜观察前，扫描电镜的样品室需要进行抽真空处理，根据样品状况，抽真空需要时间也存在差异。在进行多组样品的观察时，若将样品逐一放入样品室进行观察，则每次更换样品时都需要进行抽真空处理，如此操作，不仅观察效率低下，且每次抽真空操作也对仪器稳定性提出更多的要求。实际观察时，还需要依据每次换入样品的状况不断修正数据以获取优质图像。现有的专利中不乏涉及可同时放置多种小型的样品的载物台，但因样品多也导致易产生混淆，放大倍数达到一定状态后，样品混淆时有发生。

实用新型内容

本实用新型是为了克服现有技术中存在上述的不足，提供了一种定位精准且牢固可靠的用于场扫描电镜检测装置中的载物台。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于场扫描电镜检测装置中的载物台，包括基座和夹持体，所述的基座上设有若干通孔，所述基座的一端上设有切角，所述夹持体的两端均设有用于镶嵌在通孔内的夹持片。

使用时，将所需检测的样品置于基座上，然后通过夹持体与基座上的通孔配合进行夹持，而通过切角的设计，能够通过该切角来判断基座在观察室中的方向，便于区分样品；而夹持体与基座的配合方式方便了夹持体的拆卸与安装，这样设计达到了定位精准和牢固可靠的目的。

作为优选，所述基座的形状为长方体，所述基座的其中一个角被切除形成切角，所述的通孔均匀分布在基座上。通过切角的设计，起到防错作用，使得基座在使用时能够通过切角来辨别方向，从而确定样品，不会因为多样品的放置而导致样品的混淆，提高了定位的精准度。

作为优选，所述夹持体的形状为线性，所述的夹持体由导电金属丝制作而成，所述的夹持片由导电片制作而成。通过导电金属丝的设计，使得夹持体具有导电性，同时相较于导电胶在待测样品表面的所占面积更小，减小了对待测样品的影响，提高检测效率。

作为优选，所述通孔的内壁由橡胶材料制作而成，所述的夹持片与通孔过盈配合。通过橡胶材料的设计，使得夹持片与通孔能够实现过盈配合，以确保待测样品固定牢固可靠，同时还便于拆卸与安装。

本实用新型的有益效果是：能够夹持形状规则或不规则的待测物，结构简单，安装与拆卸方便，牢固可靠，定位精准，实用方便，灵活可调，同时还减小了对待测物的影响，提高检测效率，具有很高的实用价值。

附图说明

图1是本实用新型基座的结构示意图；

图2是本实用新型夹持体的结构示意图。

图中：1.基座，2.通孔，3.切角，4.夹持片，5.夹持体。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步的描述。

如图1、图2所述的实施例中，一种用于场扫描电镜检测装置中的载物台，包括基座1和夹持体5，基座1上设有若干通孔2，基座1的一端上设有切角3，夹持体5的两端均设有用于镶嵌在通孔2内的夹持片4。基座1的形状为长方体，基座1的其中一个角被切除形成切角3，通孔2均匀分布在基座1上。夹持体5的形状为线性，夹持体5由导电金属丝制作而成，夹持片4由导电片制作而成。通孔2的内壁由橡胶材料制作而成，夹持片4与通孔2过盈配合。

基座1的其中一个角被不规则的切除形成一个切角3，以起到防错作用。当扫描电镜开始观察时，可通过小倍数放大，观察角度，寻找该切角3，以判断基座1在观察室中的方向，便于区分样品。对于一些体积不大，但是密度较大，质量较大的样品，当放置到基座1上时，为确保样品能在保持状态，不致滑落基座1，通过夹持体5将其缚于基座1上，且夹持体5的两端设有夹持片4可嵌入基座1上的通孔2中，从而起到稳固样品的效果。夹持体5为导电金属丝组成，尤其适用于不导电或导电性能较弱的样品，省略了镀膜这一耗时耗力的工序，且避免了因导电胶粘性不佳产生的问题；夹持体5可根据待测物厚度不同，调整夹持片4在基座1上的通孔2位置，满足不同厚度样品的固定需求。对于不导电的待测物，使用夹持体5来夹持，较导电胶在待测样品表面的所占面积更小，减小对待测样品的影响，提高检测效率。

工作时，将样品放置于基座1上，根据样品的尺寸，选择适当长度的夹持体5，调整夹持体5上夹持片4在基座1上的嵌入通孔2位置。实验开始时，通过调整观察镜头确定切角3位置，便于区分样品及观察方向判断。

Claims (4)

1.一种用于场扫描电镜检测装置中的载物台，其特征是，包括基座(1)和夹持体(5)，所述的基座(1)上设有若干通孔(2)，所述基座(1)的一端上设有切角(3)，所述夹持体(5)的两端均设有用于镶嵌在通孔(2)内的夹持片(4)。

2.根据权利要求1所述的一种用于场扫描电镜检测装置中的载物台，其特征是，所述基座(1)的形状为长方体，所述基座(1)的其中一个角被切除形成切角(3)，所述的通孔(2)均匀分布在基座(1)上。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于场扫描电镜检测装置中的载物台，其特征是，所述夹持体(5)的形状为线性，所述的夹持体(5)由导电金属丝制作而成，所述的夹持片(4)由导电片制作而成。

4.根据权利要求3所述的一种用于场扫描电镜检测装置中的载物台，其特征是，所述通孔(2)的内壁由橡胶材料制作而成，所述的夹持片(4)与通孔(2)过盈配合。