CN201141821Y - 电子背散射衍射专用样品座 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种电子背散射衍射专用样品座，包括底部设有插头的专用座，专用座上设有与垂线保持70°的一个平面，平面上设一安装样品座的插孔，插孔与平面垂直，专用座的上端面设有与插孔连通的螺孔，其特征在于：在专用座上设置多个与垂线保持70°的平面，每个平面上均设一垂直安装样品座的插孔，专用座的上端面对应于每个插孔均设有与其连通的螺孔。本实用新型由于设有多个安装样品座的平面，可以同时测定多个样品，能节省大量高纯氮气，且工作电压可以较长时间不变，使灯丝保持稳定，操作简单，使用时只需用鼠标点击样品台的角度即可实现样品的转换，节省放气和抽真空时间，提高工作效率，降低测试成本，工作性能优良。
Description
技术领域
本实用新型提供一种电子背散射衍射专用样品座，属于测量仪器技术领域。
背景技术
电子背散射衍射仪是扫描电镜的一个附件。电子背散射衍射就是背散射电子在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上发生衍射，从而组成的衍射花样(EBSD)。由于扫描电镜中电子束的能量较低，所以产生的EBSD信号也较弱。为了得到较强的EBSD信号，样品的倾斜角要保持70°。扫描电镜的样品室内除了二次电子接收器外，还配有一个用以接受EBSD信号的探头，探头包括一个荧光屏和一个高灵敏摄像头。由于试样倾转会增加与电子枪的极靴和EBSD探头触碰的危险，所以我们目前使用的是一个倾转角为70°的EBSD专用样品座，样品座用螺丝固定在圆台上，既保证得到较强的图象信号又可避免试样旋转所带来的危险和误差，此专用样品座已经研制出来并成功应用于实践。但它存在的问题是：此样品座只有一个平面与入射电子束保持70°，也就是只有一个观察平面，所以每次实验只能测试一个样品，测试效率低。2.每次更换样品时，都需要先通入一定量的高纯氮气，才能打开样品室的门。而高纯氮气价格昂贵，且购买不方便。3.换好样品后，需要由机械泵、分子泵、离子泵三级泵依次抽真空，较长时间才能达到平衡，等待实验时间长，检测成本(通常以时间计算)高。4.工作电压需要先关后开，有可能导致扫描电镜的灯丝发生偏移，轻则需要花时间调试，重则会缩短灯丝(价格在1万美金左右)的使用寿命。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种能克服上述缺陷、工作性能优良的电子背散射衍射专用样品座。其技术方案为：
一种电子背散射衍射专用样品座，包括底部设有插头的专用座，专用座上设有与垂线保持70°的一个平面，平面上设一安装样品座的插孔，插孔与平面垂直，专用座的上端面设有与插孔连通的螺孔，其特征在于：在专用座上设置多个与垂线保持70°的平面，每个平面上均设一垂直安装样品座的插孔，专用座的上端面对应于每个插孔均设有与其连通的螺孔。
所述的电子背散射衍射专用样品座，专用座上与垂线保持70°的平面有2～5个。
其工作原理为：当测试样品仅为1个时，可使用原有的倾转角为70°的EBSD专用样品座，插入与扫描电镜样品室螺纹连接为一体的圆台顶端中心设置的插孔，再将样品座安装到专用座的插孔中固定，最后把样品固定到样品座上，即可对样品进行EBSD检测；当测试样品为多个时，可根据样品个数选择有几个倾转角为70°平面的电子背散射衍射专用样品座，当测试完一个样品后，只需用鼠标点击样品台的所在角度即可实现样品位置的转换，使探头对准所要测定的样品。如果测试的是两个样品，需要旋转180°，如果测试3～5个样品，旋转的角度依次为120°、90°和72°。
本实用新型与现有技术相比，其优点为：
1.由于设有多个安装样品座的平面，可以同时测定多个样品，能节省大量高纯氮气；
2.工作电压可以较长时间不变，使灯丝保持稳定；
3.操作简单，使用时只需用鼠标点击样品台的角度即可实现样品的转换；
4.节省放气和抽真空时间，提高工作效率，降低测试成本。
附图说明
图1是本实用新型实施例1的结构示意图；
图2是本实用新型实施例2的立体图。
图中：1、插头 2、专用座 3、平面 4、插孔 5、螺孔 6、样品座
具体实施方式
在图1所示的实施例1中：专用座2的底部设有插入底座插孔的插头1，专用座2上设有2个与垂线保持70°的平面3，每个平面3上均设一垂直安装样品座6的插孔4，专用座2的上端面对应于每个插孔4均设有与其连通的螺孔5，用于固定样品座6。
图2所示的实施例2基本同实施例1，只是专用座2上设有3个与垂线保持70°的平面3，每个平面3上均设一垂直安装样品座6的插孔4，专用座2的上端面对应于每个插孔4均设有与其连通的螺孔5，用于固定样品座6。
Claims (2)
1、一种电子背散射衍射专用样品座，包括底部设有插头(1)的专用座(2)，专用座(2)上设有与垂线保持70°的一个平面(3)，平面(3)上设一安装样品座(6)的插孔(4)，插孔(4)与平面(3)垂直，专用座(2)的上端面设有与插孔(4)连通的螺孔(5)，其特征在于：在专用座(2)上设置多个与垂线保持70°的平面(3)，每个平面(3)上均设一垂直安装样品座(6)的插孔(4)，专用座(2)的上端面对应于每个插孔(4)均设有与其连通的螺孔(5)。
2、如权利要求1所述的电子背散射衍射专用样品座，其特征在于：专用座(2)上与垂线保持70°的平面有2～5个。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU200720157303XU CN201141821Y (zh) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 电子背散射衍射专用样品座 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU200720157303XU CN201141821Y (zh) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 电子背散射衍射专用样品座 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201141821Y true CN201141821Y (zh) | 2008-10-29 |
Family
ID=40069532
Family Applications (1)
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| CNU200720157303XU Expired - Fee Related CN201141821Y (zh) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 电子背散射衍射专用样品座 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201141821Y (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103926263A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-16 | 北京工业大学 | 一种准原位ebsd技术研究合金基带再结晶及立方织构形成机理的方法 |
| CN105606635A (zh) * | 2015-12-29 | 2016-05-25 | 哈尔滨工业大学 | 用于ebsd测试的样品试验台 |
| CN111982943A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-11-24 | 上海大学 | 一种ebsd测试样品台及其应用 |
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2007
- 2007-11-16 CN CNU200720157303XU patent/CN201141821Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103926263A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-16 | 北京工业大学 | 一种准原位ebsd技术研究合金基带再结晶及立方织构形成机理的方法 |
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| CN105606635B (zh) * | 2015-12-29 | 2018-10-02 | 哈尔滨工业大学 | 用于ebsd测试的样品试验台 |
| CN111982943A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-11-24 | 上海大学 | 一种ebsd测试样品台及其应用 |
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Legal Events
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Granted publication date: 20081029 Termination date: 20091216 |