CN105606635B - 用于ebsd测试的样品试验台 - Google Patents

用于ebsd测试的样品试验台 Download PDF

Info

Publication number
CN105606635B
CN105606635B CN201511022163.0A CN201511022163A CN105606635B CN 105606635 B CN105606635 B CN 105606635B CN 201511022163 A CN201511022163 A CN 201511022163A CN 105606635 B CN105606635 B CN 105606635B
Authority
CN
China
Prior art keywords
guide rail
sliding block
test platform
sampling test
pedestal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201511022163.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105606635A (zh
Inventor
范国华
唐光泽
曹国剑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN201511022163.0A priority Critical patent/CN105606635B/zh
Publication of CN105606635A publication Critical patent/CN105606635A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105606635B publication Critical patent/CN105606635B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/203—Measuring back scattering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

用于EBSD测试的样品试验台，它涉及一种样品试验台。本发明解决了用导电胶粘在样品试验台上样品在测试过程中会出现移动，图像位置容易发生改变，背散射区域发生偏移，导致试验结果不准确的问题。导轨倾斜固装在底座的上端面上，导轨的上端面上加工有燕尾槽，导轨的燕尾槽的长度方向与竖直方向之间的夹角为70°，滑块的上部为长方体形状,滑块的下部为燕尾形状，滑块的下部位于导轨的燕尾槽内且二者滑动连接，滑块的上端面与竖直方向之间的夹角为70°，限位板的下部与导轨的下部可拆卸连接，限位板的中部设置有顶丝，顶丝的一端与滑块相接触。本发明用于EBSD测试。

Description

用于EBSD测试的样品试验台
技术领域
本发明涉及一种样品试验台，具体涉及一种用于EBSD测试的样品试验台。
背景技术
在扫描电子显微镜(SEM)中，入射于样品上的电子束与样品作用产生几种不同效应，其中之一就是在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上产生衍射。从所有原子面上产生的衍射组成“衍射花样”，这可被看成是一张晶体中原子面间的角度关系图。20世纪90年代以来，装配在SEM上的电子背散射花样(Electron Back-scattering Patterns，简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。该技术也被称为电子背散射衍射(Electron BackscatteredDiffraction，简称EBSD)或取向成像显微技术(Orientation Imaging Microscopy，简称OIM)。EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射(给出结晶学的数据)。
EBSD是目前常用的材料表征手段，测试过程中样品在垂直方向需倾斜70°，而且要求样品在水平方向不能倾斜。目前测试过程中是将样品用导电胶(或银胶)粘在样品试验台上。对于重量小的样品，需要将样品水平方向尽量与探头平行即可。而对于较重的样品，由于是倾斜70°，用传统的方法，样品在测试过程中会出现移动，图像位置容易发生改变，背散射区域发生偏移，使试验结果不准确，导致试验失败。
发明内容
本发明为解决用导电胶粘在样品试验台上样品在测试过程中会出现移动，图像位置容易发生改变，背散射区域发生偏移，导致试验结果不准确的问题，进而提供一种用于EBSD测试的样品试验台。
本发明为解决上述技术问题采取的技术方案是：
本发明的用于EBSD测试的样品试验台包括滑块、导轨、底座、限位板和顶丝，导轨倾斜固装在底座的上端面上，导轨的上端面上加工有燕尾槽，导轨的燕尾槽的长度方向与竖直方向之间的夹角为70°，滑块的上部为长方体形状,滑块的下部为燕尾形状，滑块的下部位于导轨的燕尾槽内且二者滑动连接，滑块的上端面与竖直方向之间的夹角为70°，限位板的下部与导轨的下部可拆卸连接，限位板的中部设置有顶丝，顶丝的一端与滑块相接触。
本发明与现有技术相比具有以下有益效果：
本发明的用于EBSD测试的样品试验台的滑块通过下部的燕尾固定在导轨的燕尾槽中，从而限制滑块只能沿导轨的长度方向滑动，并且导轨的燕尾槽的长度方向与竖直方向之间的夹角为70°，保证了滑块的上端面与竖直方向之间的夹角为70°，试验过程中，即使是较重的样品也可以保证样品的方向与探头方向平行，从而保证了试验的稳定性；
本发明的用于EBSD测试的样品试验台在试验时重量对测试不会造成影响，保证了滑块的上端面与竖直方向之间的夹角为70°，与现有的用导电胶粘在样品试验台上样品在测试过程中会出现移动相比，样品台不需要倾转，保证样品不会在重力的作用下发生偏移，从而保证了试验结果的稳定性。
附图说明
图1是本发明的用于EBSD测试的样品试验台的主剖视图；
图2是本发明具体实施方式一中滑块1的主视图；
图3是本发明具体实施方式一中滑块1的右视图；
图4是本发明具体实施方式一中滑块1的俯视图；
图5是本发明具体实施方式一中导轨2和底座3的主视图；
图6是本发明具体实施方式一中导轨2和底座3的左视图；
图7是本发明具体实施方式一中导轨2和底座3的俯视图。
具体实施方式
具体实施方式一：如图1～7所示，本实施方式的用于EBSD测试的样品试验台包括滑块1、导轨2、底座3、限位板4和顶丝5，导轨2倾斜固装在底座3的上端面上，导轨2的上端面上加工有燕尾槽2-1，导轨2的燕尾槽2-1的长度方向与竖直方向之间的夹角为70°，滑块1的上部为长方体形状,滑块1的下部为燕尾形状，滑块1的下部位于导轨2的燕尾槽2-1内且二者滑动连接，滑块1的上端面与竖直方向之间的夹角为70°，限位板4的下部与导轨2的下部可拆卸连接，限位板4的中部设置有顶丝5，顶丝5的一端与滑块1相接触。
本发明在使用时将样品安装在滑块1上，从而保证测试过程中样品的倾斜方向与竖直方向倾斜70°,利用顶丝5推动滑块1沿着导轨2的燕尾槽的倾斜方向滑动。
具体实施方式二：如图1、5和6所示，本实施方式底座3的下端面的中部设置有螺柱3-1。方便样品试验台的固定。其它组成及连接关系与具体实施方式一相同。
具体实施方式三：如图1所示，本实施方式限位板4的下部与导轨2的下部通过两个连接螺栓可拆卸连接。如此设计，拆卸安装方便。其它组成及连接关系与具体实施方式一或二相同。
具体实施方式四：如图1、5和6所示，本实施方式底座3为回转体底座。如此设计，稳定性好。其它组成及连接关系与具体实施方式三相同。
具体实施方式五：如图1、5和6所示，本实施方式底座3为近似圆台体。如此设计，稳定性好。其它组成及连接关系与具体实施方式四相同。

Claims (5)

1.一种用于EBSD测试的样品试验台，其特征在于：所述样品试验台包括滑块(1)、导轨(2)、底座(3)、限位板(4)和顶丝(5)，导轨(2)倾斜固装在底座(3)的上端面上，导轨(2)的上端面上加工有燕尾槽(2-1)，导轨(2)的燕尾槽(2-1)的长度方向与竖直方向之间的夹角为70°，滑块(1)的上部为长方体形状,滑块(1)的下部为燕尾形状，滑块(1)的下部位于导轨(2)的燕尾槽(2-1)内且二者滑动连接，滑块(1)的上端面与竖直方向之间的夹角为70°，限位板(4)的下部与导轨(2)的下部可拆卸连接，限位板(4)的中部设置有顶丝(5)，顶丝(5)的一端与滑块(1)相接触。
2.根据权利要求1所述的用于EBSD测试的样品试验台，其特征在于：底座(3)的下端面的中部设置有螺柱(3-1)。
3.根据权利要求1或2所述的用于EBSD测试的样品试验台，其特征在于：限位板(4)的下部与导轨(2)的下部通过两个连接螺栓可拆卸连接。
4.根据权利要求3所述的用于EBSD测试的样品试验台，其特征在于：底座(3)为回转体底座。
5.根据权利要求4所述的用于EBSD测试的样品试验台，其特征在于：底座(3)为近似圆台体。
CN201511022163.0A 2015-12-29 2015-12-29 用于ebsd测试的样品试验台 Active CN105606635B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201511022163.0A CN105606635B (zh) 2015-12-29 2015-12-29 用于ebsd测试的样品试验台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201511022163.0A CN105606635B (zh) 2015-12-29 2015-12-29 用于ebsd测试的样品试验台

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105606635A CN105606635A (zh) 2016-05-25
CN105606635B true CN105606635B (zh) 2018-10-02

Family

ID=55986738

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201511022163.0A Active CN105606635B (zh) 2015-12-29 2015-12-29 用于ebsd测试的样品试验台

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105606635B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106644545A (zh) * 2016-12-28 2017-05-10 中国电力科学研究院 自锁器可靠性试验设备
CN111982943B (zh) * 2020-08-05 2021-07-06 上海大学 一种ebsd测试样品台及其应用
CN114134478A (zh) * 2021-11-26 2022-03-04 上海大学 一种快速冷却的镀膜样品台装置及其应用

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201141821Y (zh) * 2007-11-16 2008-10-29 山东理工大学 电子背散射衍射专用样品座
CN201342557Y (zh) * 2008-12-29 2009-11-11 宁波信虹精密机械有限公司 轮焊盘除渣装置
CN201556600U (zh) * 2009-09-17 2010-08-18 宝山钢铁股份有限公司 扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台
CN201697885U (zh) * 2010-06-13 2011-01-05 武汉钢铁(集团)公司 用于电子背散射衍射测量的多功能样品台
CN202351191U (zh) * 2011-11-22 2012-07-25 南京钢铁股份有限公司 扫描电镜电子背散射衍射用样品台
CN203404328U (zh) * 2013-07-23 2014-01-22 浙江万向精工有限公司 一种驻车制动的集成式epb驱动装置
CN203534991U (zh) * 2013-09-09 2014-04-09 武汉钢铁(集团)公司 一种扫描电镜用薄片试样夹具
CN203824939U (zh) * 2013-12-19 2014-09-10 江苏省沙钢钢铁研究院有限公司 透射式电子背散射衍射实验用样品台

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6229183B2 (ja) * 2013-07-11 2017-11-15 国立研究開発法人物質・材料研究機構 電子線後方散乱回折測定装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201141821Y (zh) * 2007-11-16 2008-10-29 山东理工大学 电子背散射衍射专用样品座
CN201342557Y (zh) * 2008-12-29 2009-11-11 宁波信虹精密机械有限公司 轮焊盘除渣装置
CN201556600U (zh) * 2009-09-17 2010-08-18 宝山钢铁股份有限公司 扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台
CN201697885U (zh) * 2010-06-13 2011-01-05 武汉钢铁(集团)公司 用于电子背散射衍射测量的多功能样品台
CN202351191U (zh) * 2011-11-22 2012-07-25 南京钢铁股份有限公司 扫描电镜电子背散射衍射用样品台
CN203404328U (zh) * 2013-07-23 2014-01-22 浙江万向精工有限公司 一种驻车制动的集成式epb驱动装置
CN203534991U (zh) * 2013-09-09 2014-04-09 武汉钢铁(集团)公司 一种扫描电镜用薄片试样夹具
CN203824939U (zh) * 2013-12-19 2014-09-10 江苏省沙钢钢铁研究院有限公司 透射式电子背散射衍射实验用样品台

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
利用迹线测量晶体材料中特征面取向的EBSD方法;谢季佳等;《电子显微学报》;20080830;第27卷(第4期);全文 *
电子背散射衍射技术在材料显微分析中的应用;王疆等;《测试与分析》;20081231;第23卷(第2期);全文 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN105606635A (zh) 2016-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105606635B (zh) 用于ebsd测试的样品试验台
Kiener et al. Source-controlled yield and hardening of Cu (1 0 0) studied by in situ transmission electron microscopy
Arslan et al. Reducing the missing wedge: High-resolution dual axis tomography of inorganic materials
CN105675638B (zh) 一种晶体微观结构的同步辐射可视化表征方法
Li et al. An improved FIB sample preparation technique for site-specific plan-view specimens: A new cutting geometry
Trimby Orientation mapping of nanostructured materials using transmission Kikuchi diffraction in the scanning electron microscope
Zaefferer et al. Theory and application of electron channelling contrast imaging under controlled diffraction conditions
Arslan et al. Towards better 3-D reconstructions by combining electron tomography and atom-probe tomography
Korte et al. Three-dimensional electron backscattered diffraction analysis of deformation in MgO micropillars
Rebled et al. A new approach for 3D reconstruction from bright field TEM imaging: Beam precession assisted electron tomography
Gulden et al. Coherent x-ray imaging of defects in colloidal crystals
US20160123907A1 (en) Method for determining geometric relationships of crystal reciprocal vectors on two-dimensional planes obtained from single EBSD pattern
CN102721715A (zh) 一种双相不锈钢晶粒组织显示方法
Liu et al. On the damage and fracture of nuclear graphite at multiple length-scales
KR20190075804A (ko) Tem 라멜라 제조를 위한 샘플 배향 방법
Marquardt et al. Focused ion beam preparation and characterization of single-crystal samples for high-pressure experiments in the diamond-anvil cell
Yamasaki et al. 3D visualization of dislocation arrangement using scanning electron microscope serial sectioning method
CN104183453B (zh) 样品台及显微镜系统
CN109155227A (zh) 带有倾斜支撑台的标准样品、扫描型电子显微镜的评价方法和SiC基板的评价方法
Mansour et al. Accurate electron channeling contrast analysis of a low angle sub-grain boundary
Mansour et al. Dislocation analysis of a complex sub-grain boundary in UO2 ceramic using accurate electron channelling contrast imaging in a scanning electron microscope
US20120286159A1 (en) Particle beam device having a detector arrangement
CN103017692A (zh) 复合式校准标样及校准方法
Novikov Test Object for SEM Calibration. 1. Methods for Quality Control of Manufacturing
Albers et al. Data acquisition and analysis procedures for high-resolution atomic force microscopy in three dimensions

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant