CN201697885U - 用于电子背散射衍射测量的多功能样品台 - Google Patents
用于电子背散射衍射测量的多功能样品台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201697885U CN201697885U CN2010202399780U CN201020239978U CN201697885U CN 201697885 U CN201697885 U CN 201697885U CN 2010202399780 U CN2010202399780 U CN 2010202399780U CN 201020239978 U CN201020239978 U CN 201020239978U CN 201697885 U CN201697885 U CN 201697885U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sample
- sample stage
- hole
- ebsd
- table board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种在扫描电镜上用于进行电子背散射衍射(EBSD)测量的多功能样品台。它由倾斜样品台面、支撑柱和调节固定螺丝三部分组成；倾斜样品台面与水平线夹角为70°；倾斜样品台两侧设置有固定样品的夹具；支撑柱的下部插在放置扫描电镜台面的通孔中，通孔侧壁开有螺孔，孔内设有调节固定螺丝；支撑柱的上端与倾斜样品台面相接。本实用新型结构简单，使用方便，它使EBSD观察时样品的放置更加牢固，操作更加方便和安全，从而使测量更加精确。
Description
技术领域
本实用新型涉及材料研究领域进行电子背散射衍射实验所用的装置，特别是一种在扫描电镜上用于进行电子背散射衍射(以下简称EBSD)测量的多功能样品台。
背景技术
目前，在对钢铁材料的电子显微镜分析与研究中，越来越多地运用到了EBSD技术。根据电子背散射衍射理论，在扫描电镜中进行EBSD测量时，样品法向必须与入射电子束成70°的角度，所以就要求扫描电镜样品台须进行高角度倾斜，同时还要保证样品不会在样品台上产生滑移。这样直接用扫描电镜样品台进行EBSD测量时，样品在样品台上的固定和样品台的倾转造成了EBSD测量前期准备的极大不便。同时如果样品固定不牢固，还会造成测量时图像的漂移，从而影响测量的精确性。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单、使用方便、测量精度较高的用于EBSD测量的多功能样品台。
本实用新型的目的由以下技术方案来实现：
该样品台由倾斜样品台面、支撑柱和调节固定螺丝三部分组成。倾斜样品台面与水平线夹角为70°(等同于扫描电镜样品台倾斜了70°，即与支撑柱之间的夹角为20°)。倾斜样品台面两侧设置有固定样品的夹具。支撑柱的下部插在放置扫描电镜台面的通孔中，通孔侧壁开有螺孔，孔内设有调节固定螺丝。支撑柱的上端与倾斜样品台面相接。
上述固定样品的夹具与被测样品的形状和尺寸相适配。
实用新型的有益效果：
本实用新型的结构简单，使用方便，它使EBSD观察时样品的放置更加牢固，操作方便安全，从而使测量更加精确。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细描述，但该实施例不应理解为对本实用新型的限制。
参阅图1，该样品台由倾斜样品台面1、支撑柱2和调节固定螺丝3三部分组成。倾斜样品台面1与水平线夹角为70°，等同于扫描电镜样品台面5倾斜了70°(即与支撑柱2之间的夹角为20°)。倾斜样品台面1两侧设置有固定样品6的夹具4，固定样品的夹具4可以上下活动和替换，以利于固定不同形状(如方形和圆形)和尺寸的样品6。支撑柱2的下部插在放置扫描电镜台面5的通孔中，通孔侧壁开有螺孔，孔内设有调节固定螺丝3，样品台的高度可以通过调节固定螺丝3来调节和固定。支撑柱2的上端与倾斜样品台面1相接。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也应该包含这些改动和变型在内。
本说明书中若有未作详细描述的内容，应为本领域的专业技术人员公知或应知的技术，此处不再赘述。
Claims (2)
1.一种用于电子背散射衍射测量的多功能样品台，其特征在于：它由倾斜样品台面、支撑柱和调节固定螺丝三部分组成；倾斜样品台面与水平线夹角为70°；倾斜样品台两侧设置有固定样品的夹具；支撑柱的下部插在放置扫描电镜台面的通孔中，通孔侧壁开有螺孔，孔内设有调节固定螺丝；支撑柱的上端与倾斜样品台面相接。
2.如权利要求1所述的一种用于电子背散射衍射测量的多功能样品台，其特征在于：上述固定样品的夹具与被测样品的形状和尺寸相适配。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010202399780U CN201697885U (zh) | 2010-06-13 | 2010-06-13 | 用于电子背散射衍射测量的多功能样品台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010202399780U CN201697885U (zh) | 2010-06-13 | 2010-06-13 | 用于电子背散射衍射测量的多功能样品台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201697885U true CN201697885U (zh) | 2011-01-05 |
Family
ID=43399132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010202399780U Expired - Fee Related CN201697885U (zh) | 2010-06-13 | 2010-06-13 | 用于电子背散射衍射测量的多功能样品台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201697885U (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103926263A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-16 | 北京工业大学 | 一种准原位ebsd技术研究合金基带再结晶及立方织构形成机理的方法 |
| CN104183453A (zh) * | 2014-07-17 | 2014-12-03 | 胜科纳米（苏州）有限公司 | 样品台及显微镜系统 |
| CN105606635A (zh) * | 2015-12-29 | 2016-05-25 | 哈尔滨工业大学 | 用于ebsd测试的样品试验台 |
| CN105651798A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-06-08 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于t-EBSD测试的样品夹具 |
| CN109425315A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 长鑫存储技术有限公司 | 半导体结构的测试载具及测试方法 |
-
2010
- 2010-06-13 CN CN2010202399780U patent/CN201697885U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103926263A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-16 | 北京工业大学 | 一种准原位ebsd技术研究合金基带再结晶及立方织构形成机理的方法 |
| CN104183453A (zh) * | 2014-07-17 | 2014-12-03 | 胜科纳米（苏州）有限公司 | 样品台及显微镜系统 |
| CN105606635A (zh) * | 2015-12-29 | 2016-05-25 | 哈尔滨工业大学 | 用于ebsd测试的样品试验台 |
| CN105606635B (zh) * | 2015-12-29 | 2018-10-02 | 哈尔滨工业大学 | 用于ebsd测试的样品试验台 |
| CN105651798A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-06-08 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于t-EBSD测试的样品夹具 |
| CN105651798B (zh) * | 2015-12-30 | 2019-03-12 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于t-EBSD测试的样品夹具 |
| CN109425315A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 长鑫存储技术有限公司 | 半导体结构的测试载具及测试方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201697885U (zh) | 用于电子背散射衍射测量的多功能样品台 | |
| CN203824939U (zh) | 透射式电子背散射衍射实验用样品台 | |
| CN203414328U (zh) | 一种用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台 | |
| CN202350919U (zh) | 可调角度的用于测量自然光源或人工光源光谱的夹具 | |
| CN203241019U (zh) | 平整度测试架 | |
| CN203133070U (zh) | 混凝土湿胀变形量的测试装置 | |
| CN205537481U (zh) | 土木工程样品检测系统 | |
| CN209295860U (zh) | 一种轴承用薄壁胶木保持架内外径测量装置 | |
| CN201885716U (zh) | 防风铅垂 | |
| CN202748268U (zh) | 压缩量可精确测量的压缩夹具 | |
| CN203772722U (zh) | 液塑限联合测定仪 | |
| CN106091886A (zh) | 一种水轮叶片轴承检测设备 | |
| CN201721205U (zh) | 一种圆规 | |
| CN204514903U (zh) | 一种可批量操作且稳定性强的cod回流装置 | |
| CN205049496U (zh) | 扫描电镜电子背散射多功能样品台 | |
| CN203224512U (zh) | Afm试样高度可调的装置 | |
| CN201828229U (zh) | 斜度测量仪 | |
| CN203690251U (zh) | 高度调节式扫描电镜样品座 | |
| CN205426465U (zh) | 一种百分表测头固定装置 | |
| CN201429497Y (zh) | 一种双向刀口支座对中及调平试验装置 | |
| CN102200422A (zh) | 一种测量非平面高度的工具 | |
| CN204655179U (zh) | 一种实验动物的压疮造模结构 | |
| CN204088258U (zh) | 一种扫描电镜样品台 | |
| CN101430320B (zh) | 试件对心装置 | |
| CN201698989U (zh) | 扫描电镜截面观测平台 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110105 Termination date: 20160613 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |