CN202930353U - 一种不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，可有效解决多个样品难以调至同一水平高度，工作效率低，样品制备难度大的问题，其解决的技术方案是，包括台体、样品台体和螺杆，台体上有若干均布的竖向腔体，样品台体经其下部的螺杆装在腔体内，本实用新型新颖独特，结构简单，易生产，使用方便快捷，适用于各种场发射扫描电镜，通过调节样品台的螺杆升降装置，可实现对样品的同一水平高度快捷准确调节，有效地缩减了扫描过程中多次调节工作距离的时间，样品台可同时放置多个样品，以实现对多个小尺寸样品的同时装载，大大提高了工作效率，是扫描电镜样品台上方面的创新。
Description
技术领域
本实用新型涉及扫描电镜样品台，特别是一种不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台。
背景技术
扫描电镜是一种新型的电子光学仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。
进行扫描观察时，在加速电压作用下，由电子枪发射出来的电子束经过多级磁透镜会聚，形成约5nm的电子束聚焦在样品表面并做光栅状扫描，由此产生的信号电子经探测器收集并转化为电信号输出，最终形成动态的三维图像在系统上显示。
样品台是扫描电子显微镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过光学系统成像表征样品的局部特征。然而，一些不导电样品须经喷碳或喷金处理从而导致了在样品台上水平高度不一，但扫描电镜对工作距离又有严格的要求，给样品制备造成了一定难度。另外，目前场发射扫描电镜的常用样品台对装载样品的数量和尺寸有着很大的限制，只适用于单个小尺寸样品的观察，造成扫描电镜工作效率低和样品制备条件苛刻的问题。因此，扫描电镜样品台的创新和改进是需要解决的问题。
发明内容
针对上述情况，为克服现有技术之缺陷，本实用新型之目的就是提供一种不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，可有效解决多个样品难以调至同一水平高度，工作效率低，样品制备难度大的问题。
本实用新型解决的技术方案是，包括台体、样品台体和螺杆，台体上有若干均布的竖向腔体，样品台体经其下部的螺杆装在腔体内。
本实用新型新颖独特，结构简单，易生产，使用方便快捷，适用于各种场发射扫描电镜，通过调节样品台的螺杆升降装置，可实现对样品的同一水平高度快捷准确调节，有效地缩减了扫描过程中多次调节工作距离的时间，样品台可同时放置多个样品，以实现对多个小尺寸样品的同时装载，大大提高了工作效率，是扫描电镜样品台上方面的创新。
附图说明
图1为本实用新型的俯视图。
图2为本实用新型图1的A-A向剖视图。
图3为本实用新型样品台体及螺杆的主视图。
图4为本实用新型样品台体及螺杆的仰视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。
由图1至图4给出，本实用新型包括台体、样品台体和螺杆，台体3上有若干均布的竖向腔体2图1中给出7个，样品台体1经其下部的螺杆4装在腔体2内。
为保证使用效果，所述的腔体2为圆形的通孔，由上部的第一腔体2a和下部中心相连的第二腔体2b构成，第一腔体2a的直径大于第二腔体2b，第二腔体2b周壁上有螺纹，螺杆4旋装在第二腔体内，构成样品台体的上、下调节结构；
所述的螺杆4下端部有一字槽5；
所述的样品台体1的数量与腔体2的数量相等；
所述的螺杆螺距较小，以方便精确控制样品台体1的水平高度。
申请人要指出的是，本申请上述给出的仅仅是一种实施例，并不是用于限制本申请的保护范围，凡是用等同或等效替代手段所做出与本申请本质上相同的技术方案均属于本申请的保护范围。
本实用新型的使用情况是，首先将若干个样品台体调至同一水平高度，接着将扫描样品用导电胶粘附在上面，然后对所需样品进行喷碳或喷金处理，观察样品是否存在因喷涂不均而引起的高度不一，再通过使用螺丝刀旋转螺杆4的一字槽5，可微调使经处理后的样品处于同一水平面。
由上述结构及工作情况可以看出，本实用新型包括台体及台体上的若干腔体，从而同时观察多个样品，避免了目前大多样品台仅能装载单个样品的缺点，防止仪器损坏，并且可通过调节螺杆使扫描样品位于同一水平高度，有效地节省了扫描过程中因调节工作距离所需的时间，提高扫描电镜的工作效率和减小样品的制备难度。本实用新型新颖独特，结构简单，易生产，使用方便快捷，适用于各种场发射扫描电镜，大大提高了工作效率，是扫描电镜样品台上的方面创新。
Claims (4)
1.一种不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，包括台体、样品台体和螺杆，其特征在于，台体（3）上有若干均布的竖向腔体（2），样品台体（1）经其下部的螺杆（4）装在腔体（2）内。
2.根据权利要求1所述的不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，其特征在于，所述的腔体（2）为圆形的通孔，由上部的第一腔体（2a）和下部中心相连的第二腔体（2b）构成，第一腔体（2a）的直径大于第二腔体（2b），第二腔体（2b）周壁上有螺纹，螺杆（4）旋装在第二腔体内，构成样品台体的上、下调节结构。
3.根据权利要求1所述的不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，其特征在于，所述的螺杆（4）下端部有一字槽（5）。
4.根据权利要求1所述的不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，其特征在于，所述的样品台体（1）的数量与腔体（2）的数量相等。
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