CN215299176U - 一种扫描电镜样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种扫描电镜样品台，包括样品台本体和移载台，样品台本体上开设有若干个卡槽，各个卡槽的至少一端延伸贯通至样品台本体的侧边沿，侧边沿上可拆卸地设置有对卡槽的端口限位的挡块，移载台的上表面与待测样品通过导电胶粘附固定，移载台的下表面上设置有凸块，凸块嵌入卡槽中形成限位，使移载台仅能于卡槽中移动。上述扫描电镜样品台通过卡槽限位结构可实现多个样品简单、快速装夹，提高了观察效率，且能满足一些翻转要求，具有避免样品脱落功能，成本低，简单实用。

Description

一种扫描电镜样品台

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜技术领域，尤其涉及一种扫描电镜样品台。

背景技术

原材料的发展、加工技术的进步推动了现代工业的飞速前进，不管是原材料的研发或是加工技术的改进，都离不开对材料成分、形貌、微观组织、冶金缺陷、加工缺陷等分析。常用的观察设备有金相显微镜、光谱仪、扫描电镜、透射电镜等仪器。其中扫描电镜集成了形貌、成分多种功能，有利于科研人员进行微观组织、缺陷、断口、微区成分等多方面的研究工作。

常用扫描电镜样品台为圆盘式，可同时制作多个试样，制样要求载物台上导电胶或螺纹固定所有试样，目前样品台主要为9孔式或者垂直通孔式，9孔式样品台最多装夹9个试样，且都需要螺钉进行固定，9孔式可牢固固定样品，但每次装夹样品数量有限，影响拍摄效率。通孔式样品台表面开出多个垂直的通孔，再用螺栓固定样品，由于只有一个螺栓夹具，每次只能固定一个，且装夹不够牢固，在进行EBSD分析时，需要70度翻转样品台，样品很容易脱落。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扫描电镜样品台，解决现有扫描电镜样品台试样装夹个数有限、装夹不牢固、操作麻烦的问题。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种扫描电镜样品台，其包括样品台本体和移载台，样品台本体上开设有若干个卡槽，各个卡槽的至少一端延伸贯通至样品台本体的侧边沿，侧边沿上可拆卸地设置有对卡槽的端口限位的挡块，移载台的上表面与待测样品通过导电胶粘附固定，移载台的下表面上设置有凸块，凸块嵌入卡槽中形成限位，使移载台仅能于卡槽中移动。

特别地，卡槽与凸块对应设置为燕尾状。

特别地，卡槽的槽底设置有弹簧顶板，弹簧顶板给予卡槽中的移载台向上的顶压力。

特别地，挡块通过螺钉与样品台本体固定，样品台本体的侧边沿上对应设置有螺纹孔。

综上，本实用新型的有益效果为，与现有技术相比，所述扫描电镜样品台通过卡槽限位结构可实现多个样品简单、快速装夹，提高了观察效率，且能满足一些翻转要求，具有避免样品脱落功能，成本低，简单实用。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的扫描电镜样品台的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的零部件或具有相同或类似功能的零部件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

请参阅图1所示，本优选实施例提供一种扫描电镜样品台，其包括样品台本体1和移载台2。

样品台本体1上开设有若干个卡槽3，各个卡槽3的至少一端延伸贯通至样品台本体1的侧边沿4，侧边沿4上可拆卸地设置有对卡槽3的端口限位的挡块5，避免移载台2从端口脱出，挡块5通过螺钉6与样品台本体1固定，样品台本体1的侧边沿4上对应设置有螺纹孔7。

移载台2的上表面与待测样品10通过导电胶粘附固定，移载台2的下表面上设置有凸块8，凸块8嵌入卡槽3中形成限位，使移载台2仅能于卡槽3中移动，其中，卡槽3与凸块8对应优选设置为燕尾状。

进一步地，卡槽3的槽底设置有弹簧顶板9，弹簧顶板9给予卡槽3中的移载台2向上的顶压力，从而避免移载台2于卡槽3中随意滑动。

使用方法：将待扫描电镜观察的待测样品10用导电胶粘附在移载台2上；将装载待测样品10的移载台2卡进样品台本体1的卡槽3中，具体是从样品台本体1的侧边沿4卡入；此过程可同时装夹多个待测样品10，装好后用挡块5对样品台本体1的侧边沿4进行固定限位，即可配合扫描电镜进行观察。

综上，上述的扫描电镜样品台通过卡槽限位结构可实现多个样品简单、快速装夹，提高了观察效率，且能满足一些翻转要求，具有避免样品脱落功能，成本低，简单实用。

以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述事例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (4)

1.一种扫描电镜样品台，其特征在于，包括样品台本体和移载台，所述样品台本体上开设有若干个卡槽，各个卡槽的至少一端延伸贯通至样品台本体的侧边沿，所述侧边沿上可拆卸地设置有对卡槽的端口限位的挡块，所述移载台的上表面与待测样品通过导电胶粘附固定，移载台的下表面上设置有凸块，所述凸块嵌入所述卡槽中形成限位，使移载台仅能于卡槽中移动。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述卡槽与所述凸块对应设置为燕尾状。

3.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述卡槽的槽底设置有弹簧顶板，所述弹簧顶板给予卡槽中的移载台向上的顶压力。

4.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述挡块通过螺钉与所述样品台本体固定，所述样品台本体的侧边沿上对应设置有螺纹孔。

Images