CN208127136U - 一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台 - Google Patents
一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台，可有效解决普通样品台无法稳定放置异形截面样品而造成样品移位、倾斜、脱落的问题。样品台主要包括基台、样品座螺钉、钉型样品座、样品螺钉等。本实用新型结构新颖，简单高效，通过调整样品螺钉的旋进距离长短，能够适应不同的样品厚度，钉型样品台可旋转至任意角度并固定到基台上，可依据样品每个固定点上不同的曲率进行调整，非常适用于异形截面样品的固定。且能够同时固定多个异形样品，既解决了以往异形截面样品无法测试的难题，又可大大提高扫描电镜的工作效率。
Description
技术领域
本实用新型专利涉及扫描电镜样品台领域，特别是指一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台。
背景技术
扫描电镜是重要的微观形貌观察手段，其特点是有很大的景深及视野，成像富有立体感，非常适合观察截面样品，是材料断口分析、界面分析、事故原因分析等领域非常重要的测试手段。
样品台是扫描电子显微镜的重要部件之一，主要功能是承载和固定样品，需要确保在测试过程中样品被稳定地固定在样品台上，不发生移位、倾斜甚至掉落。然而，截面样品有许多是薄片状样品，需要特制的样品台进行承载，对于平面薄片样品目前已有合适的商品化的样品台，但对于异形片状样品则没有合适的样品台，无法进行观察。
发明内容
本实用新型提供一种用于观察异形截面样品的扫描电镜样品台，可有效解决普通样品台无法稳定放置异形截面样品而造成样品移位、倾斜、脱落的问题。
本实用新型通过下述技术方案实现：
一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台，包括：基台、样品座螺钉、钉型样品座、样品螺钉；
其中基台上开有多个用于插入钉型样品座的圆形通孔，每一个圆形通孔的垂直方向都设有延伸向基台侧面的螺孔，样品座螺钉与螺孔配合用以固定钉型样品座；
钉型样品座包括样品支撑架和固定于样品支撑架底部用于插入圆形通孔的钉部，样品支撑架包括两个柱状支撑架，其中一侧的柱状支撑架上开有螺孔，样品螺钉与该螺孔配合用于固定置于两柱状支撑架间的样品。
上述技术方案中，所述的样品台还包括固定头，所述的固定头设置于基台底部，用于将样品台固定安装于扫描电镜。
基台上的圆形通孔均匀分布，每个圆形通孔与其相邻圆形通孔间的距离均相等。
所述的基台为正方形或圆形。
所述的圆形通孔直径比钉型样品座钉部直径大1mm。
本实用新型结构新颖，简单高效，通过调整样品螺钉的旋进距离长短，能够适应不同的样品厚度，钉型样品台可旋转至任意角度并固定到基台上，可依据样品每个固定点上不同的曲率进行调整，非常适用于异形截面样品的固定。且能够同时固定多个异形样品，既解决了以往异形截面样品无法测试的难题，又大大提高了扫描电镜的工作效率，是扫描电镜样品台上的创新。
附图说明
图1为本实用新型的一种基台俯视图；
图2为本实用新型的一种钉型样品座侧视图；
图3为本实用新型的一种具体样品台的侧视图；
图4为本实用新型的一种具体样品台的使用状态图；
主要标记符号说明
1-基台、2-样品座螺钉、3-钉型样品座、4a,4b-样品支撑架、5-样品螺钉、6-固定头。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。
如图1-3所示，一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台，包括：基台1、样品座螺钉2、钉型样品座3、样品支撑架4、样品螺钉5、固定头6；
其中基台1上有多个圆形通孔用于插入钉型样品座3，每一个圆形通孔的垂直方向都设有延伸向基台的侧面的螺孔，样品座螺钉2能在该螺孔内旋转进出，用以固定钉型样品座3；
钉型样品座3上设置有由两个柱状支撑架4a及4b构成的样品支撑架4，底部为用于插入圆形通孔中的钉部，其中一侧的样品支撑架4a上开有螺孔，用以旋入样品螺钉5，起到固定样品的作用；
固定头6位于基台1底部，用于将整个样品台固定于扫描电镜中。
所述的基台1为正方形或圆形，基台1上的多个圆形通孔均匀分布，每个通孔与其相邻通孔间的距离均相等，通孔直径比钉型样品座3钉部的直径大1mm，即方便钉型样品座3的插入、取出与旋转，又能通过旋进样品座螺钉2紧固钉型样品座3。
所述钉型样品座3可旋转至任意角度并固定到基台1上，可依据异形截面样品每个固定点上不同的曲率进行调整，旋转至固定点的法线方向，再旋入样品座螺钉2及样品螺钉5进行固定。
所述样品螺钉5完全旋入样品支撑架4a上的螺孔后能接触到样品支撑架4b，能可靠固定样品支撑架宽度范围以内的截面样品。
所述基台1可同时固定多个异形截面样品，每个异形截面样品通过2个及以上的钉型样品座3固定到基台1上。
所述样品台的大小能够根据电镜样品仓大小调整。
Claims (5)
1.一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台，其特征在于包括：基台（1）、样品座螺钉（2）、钉型样品座（3）、样品螺钉（5）；
其中基台（1）上有多个用于插入钉型样品座（3）的圆形通孔，每一个圆形通孔的垂直方向都设有延伸向基台侧面的螺孔，样品座螺钉（2）与螺孔配合用以固定钉型样品座（3）；
钉型样品座（3）包括样品支撑架（4）和固定于样品支撑架底部用于插入圆形通孔的钉部，样品支撑架包括第一柱状支撑架（4a）和第二柱状支撑架（4b），其中一侧的第一柱状支撑架（4a）上开有螺孔，样品螺钉（5）与该螺孔配合用于固定置于两柱状支撑架间的样品。
2.根据权利要求1所述的一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的样品台还包括固定头（6），所述的固定头（6）设置于基台底部，用于将样品台固定安装于扫描电镜。
3.根据权利要求1所述的一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台，其特征在于，基台（1）上的圆形通孔均匀分布，每个圆形通孔与其相邻圆形通孔间的距离均相等。
4.根据权利要求1所述的一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的基台（1）为正方形或圆形。
5.根据权利要求1所述的一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的圆形通孔直径比钉型样品座（3）钉部直径大1mm。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201820224751.5U CN208127136U (zh) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | 一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201820224751.5U CN208127136U (zh) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | 一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN208127136U true CN208127136U (zh) | 2018-11-20 |
Family
ID=64207512
Family Applications (1)
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| CN201820224751.5U Active CN208127136U (zh) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | 一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN208127136U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112454291A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-03-09 | 扬州大学 | 一种新型多功能复合可变扫描电镜sem样品载物台 |
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2018
- 2018-02-08 CN CN201820224751.5U patent/CN208127136U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112454291A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-03-09 | 扬州大学 | 一种新型多功能复合可变扫描电镜sem样品载物台 |
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