CN206892007U - 一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台 - Google Patents
一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206892007U CN206892007U CN201720517222.XU CN201720517222U CN206892007U CN 206892007 U CN206892007 U CN 206892007U CN 201720517222 U CN201720517222 U CN 201720517222U CN 206892007 U CN206892007 U CN 206892007U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sample
- clamping device
- alignment pin
- adjusting screw
- screw rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 192
- 238000001887 electron backscatter diffraction Methods 0.000 description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000002389 environmental scanning electron microscopy Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括样本夹持装置A、底座、样本夹持装置B和样本夹持装置C，所述底座由定位销、柱状部、支撑斜面、调节螺杆和定位孔构成，所述样本夹持装置A由带矩形凹槽样品台、调节螺杆B和定位销构成，所述样本夹持装置B由平面样品台和定位销构成，所述平面样品台安装在样本夹持装置B的上方，且样本夹持装置B的下方安装有定位销，所述样本夹持装置C由带柱形凹槽样品台、调节螺杆C和定位销构成。本实用新型结构简单，样品适应性强，一次可放置多个样品，大大节约了测试时间和成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及扫描电镜实验设备技术领域，具体为一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台。
背景技术
目前，电子背散射衍射仪（Electron Backscattered Diffraction, EBSD）是装配在分析型场发射扫描电镜上的一个重要附件，近20多年来已经取得了较大发展，广泛用于金属材料、陶瓷复合材料、薄膜和岩石材料的微观结构和微区取向分析。EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。目前，EBSD技术已经能够实现全自动采集微区取向信息，数据采集速度快(能达到约1000点/秒，甚至更快)，分辨率高(空间分辨率能达到0.1μm)，可进行织构和取向差分析、晶粒尺寸及形状分布分析、相分布、相鉴定、晶界、亚晶界及孪晶界性质分析、应变和再结晶的分析等，为快速定量统计研究材料的微观组织结构和织构奠定了基础，已成为材料研究中一种有效的分析手段。
由于扫描电子束的能量较低，产生的背散射电子（Backscattered Electron,BSE）信号也较弱，在EBSD进行测量时，为了得到较强信号，相对于入射电子束，样品需要倾斜70°。传统扫描电镜样品台带动样品倾斜会增加与电子枪或EBSD探头碰撞的危险，且操作十分麻烦，费时。同时如果样品固定不牢固，还会造成测量时图像的漂移，影响测量的准确性。
中国专利CN 206020310 U公布了一种EBSD用无图像漂移试样座，通过调节螺钉固定样品，将柱状镶嵌样品固定在杯状试样座中，也可以将未镶嵌薄片样品直接用导电胶黏贴在支承斜面上，但一次只能有效固定一个镶嵌样品或几个未镶嵌薄片样品。中国专利CN204575570 U公布了一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，一倾斜侧面上的柱状凹槽可以有效固定镶嵌柱状样品，另一倾斜侧面上的矩形凹槽可以有效固定为镶嵌块状样品，一次仅能有效固定两个不同形状的样品。中国专利CN 202351191 U公布一种扫描电镜电子背散射衍射用样品台，一次能安装一个未镶嵌块状大样品或多个未镶嵌块状小样品，但对于柱状镶嵌样品无法有效固定。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，以解决上述背景技术中提出的问题，所具有的有益效果是：该装置结构简单，样品适应性强，一次可放置多个样品，大大节约了测试时间和成本。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括样本夹持装置A、底座、样本夹持装置B和样本夹持装置C，所述底座由定位销、柱状部、支撑斜面、调节螺杆和定位孔构成，所述底座上设置有柱状部，且柱状部上端两侧对称设置有固定样品夹持装置的支撑斜面，所述支撑斜面的中间位置上设置有定位孔，所述柱状部两侧对称设置有调节螺杆A，所述调节螺杆A与支撑斜面不在同一圆柱表面上，所述柱状部的下方位置上安装有定位销，所述样本夹持装置A、样本夹持装置B和样本夹持装置C皆与支撑斜面上的定位孔之间通过定位销可拆式连接，所述样本夹持装置A由带矩形凹槽样品台、调节螺杆B和定位销构成，所述样本夹持装置A的中间位置上设置有带矩形凹槽样品台，且带矩形凹槽样品台的表面均匀设置有若干个调节螺杆B，所述样本夹持装置A下方安装有定位销，所述样本夹持装置B由平面样品台和定位销构成，所述平面样品台安装在样本夹持装置B的上方，且样本夹持装置B的下方安装有定位销，所述样本夹持装置C由带柱形凹槽样品台、调节螺杆C和定位销构成，所述样本夹持装置C的中间位置上设置带柱形凹槽样品台，且带柱形凹槽样品台的表面安装有调节螺杆C，所述样本夹持装置C的下方设置有定位销。
优选的，所述支撑斜面与柱状部在水平方向的夹角为70度。
优选的，所述平面样品台与样品之间通过导电胶固。
优选的，所述节螺杆B可穿过带矩形凹槽样品台上的样品放置腔，矩形凹槽样品台的矩形尺寸为5mm × 50mm，深度为8mm。
优选的，所述调节螺杆C可穿过带柱形凹槽样品台上的样品放置腔，带柱形凹槽样品台柱形直径35mm，深度为20mm。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该设备，能解决多个不同形状样品有效夹持问题，避免测试时图像漂移，保证了测试精确度，提高了工作效率，样品夹持装置B用于夹持未镶嵌的薄片状样品，样品夹持装置A用于夹持未镶嵌的块状样品，样品夹持装置C用于夹持镶嵌的柱状样品,本实用新型结构简单，样品适应性强，一次可有效夹持多个样品，大大节约了测试时间和成本，将不同形状的样品固定在相应样品夹持装置上，再将样品夹持装置固定在底座支撑斜面上，实验时样品台无需倾斜70°，轻的薄片样品用导电胶固定，较重的块状或柱状样品由调节螺钉固定，测试过程中样品不会发生滑移，保证了测试精确度，提高了工作效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型带柱形凹槽样品台装配图；
图3为本实用新型平面样品台结构示意图；
图4为本实用新型带矩形凹槽样品台结构示意图；
图5为本实用新型带柱形凹槽样品台结构示意图；
图6为本实用新型底座内部结构示意图；
图7为本实用新型底座主视图；
图8为本实用新型底座外观图。
图中：1-样本夹持装置A；2-底座；3-样本夹持装置B；4-调节螺杆A；5-柱状部；6-定位销；7-样本夹持装置C；8-支撑斜面；9-平面样品台；10-带矩形凹槽样品台；11-调节螺杆B；12-带柱形凹槽样品台；13-调节螺杆C；14-定位孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例一
请参阅图3和图6-8，本实用新型提供的一种实施例：一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括底座2和样本夹持装置B3，底座2由定位销6、柱状部5、支撑斜面8、调节螺杆A4和定位孔14构成，底座2上设置有柱状部5，且柱状部5上端两侧对称设置有固定样品夹持装置的支撑斜面8，支撑斜面8的中间位置上设置有定位孔14，柱状部5两侧对称设置有调节螺杆A4，调节螺杆A4与支撑斜面8不在同一圆柱表面上，柱状部5的下方位置上安装有定位销6，样本夹持装置B3与支撑斜面8上的定位孔14之间通过定位销6可拆式连接，样本夹持装置B3由平面样品台9和定位销6构成，平面样品台9安装在样本夹持装置B3的上方，且样本夹持装置B3的下方安装有定位销6，支撑斜面8与柱状部5在水平方向的夹角为70度，平面样品台9的平面尺寸为12mm × 50mm，用导电胶将未镶嵌的薄片状样品整齐的黏贴在平面样品台9平面上，最多可固定测试表面积小于10mm×10mm的未镶嵌薄片状样品4个，样本夹持装置B3的定位销6直径为3mm，工作时样本夹持装置B3的定位销6插入底座2上的定位孔14中贴合，调节螺杆A4固定。
工作原理:使用时，需要测量测量薄片状样品时，用导电胶将未镶嵌的薄片状样品整齐的黏贴在平面样品台9平面上，最多可固定测试表面积小于10mm×10mm的未镶嵌薄片状样品4个，样本夹持装置B3的定位销6直径为3mm，工作时样本夹持装置B3的定位销6插入底座2上的定位孔14中贴合，调节螺杆A4固定。
实施例二
请参阅图4和图6-8，本实用新型提供的一种实施例：一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括样本夹持装置A1和底座2，底座2由定位销6、柱状部5、支撑斜面8、调节螺杆A4和定位孔14构成，底座2上设置有柱状部5，且柱状部5上端两侧对称设置有固定样品夹持装置的支撑斜面8，支撑斜面8的中间位置上设置有定位孔14，柱状部5两侧对称设置有调节螺杆A4，调节螺杆A4与支撑斜面8不在同一圆柱表面上，柱状部5的下方位置上安装有定位销6，样本夹持装置A1与支撑斜面8上的定位孔14之间通过定位销6可拆式连接，样本夹持装置A1由带矩形凹槽样品台10、调节螺杆B11和定位销6构成，样本夹持装置A1的中间位置上设置有带矩形凹槽样品台10，且带矩形凹槽样品台10的表面均匀设置有若干个调节螺杆B11，样本夹持装置A1下方安装有定位销6，支撑斜面8与柱状部5在水平方向的夹角为70度，调节螺杆B11可穿过带矩形凹槽样品台10上的样品放置腔，矩形凹槽样品台10的矩形尺寸为5mm × 50mm，深度为8mm，带矩形凹槽样品台10内最多可夹持测试表面积小于5mm×10mm的块状样品4个，带矩形凹槽样品台10的定位销6直径为3mm，工作时带矩形凹槽样品台10的定位销6插入底座2上的定位孔14中贴合，调节螺杆A4固定。
工作原理：使用时，需要测量块状样品时，将块状样品放入到带矩形凹槽样品台10的放置腔内，通过调节螺杆B11固定，带矩形凹槽样品台10的定位销6插入底座2上的定位孔14中贴合，调节螺杆A4固定。
实施例三
请参阅图2、图5和图6-8，本实用新型提供的一种实施例：一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括底座2和样本夹持装置C7，底座2由定位销6、柱状部5、支撑斜面8、调节螺杆A4和定位孔14构成，底座2上设置有柱状部5，且柱状部5上端两侧对称设置有固定样品夹持装置的支撑斜面8，支撑斜面8的中间位置上设置有定位孔14，柱状部5两侧对称设置有调节螺杆A4，调节螺杆A4与支撑斜面8不在同一圆柱表面上，柱状部5的下方位置上安装有定位销6，样本夹持装置C7由带柱形凹槽样品台12、调节螺杆C和定位销6构成，样本夹持装置C7的中间位置上设置带柱形凹槽样品台12，且带柱形凹槽样品台12的表面安装有调节螺杆C13，样本夹持装置C7的下方设置有定位销6，支撑斜面8与柱状部5在水平方向的夹角为70度，调节螺杆C13可穿过带柱形凹槽样品台12上的样品放置腔，带柱形凹槽样品台12柱形直径35mm，深度为20mm，样品通过调节螺杆C13固定在柱形凹槽内，可夹持测试面直径小于35mm的镶嵌柱状样品1个,带柱形凹槽样品台12的定位销6直径为3mm，工作时带柱形凹槽样品台12的定位销6插入底座2上的定位孔14中贴合，调节螺杆A4固定。
工作原理：使用时，样品通过调节螺杆C13固定在柱形凹槽内，可夹持测试面直径小于35mm的镶嵌柱状样品1个,带柱形凹槽样品台12的定位销6直径为3mm，工作时带柱形凹槽样品台12的定位销6插入底座2上的定位孔14中贴合，调节螺杆A4固定。
实施例四
请参阅图1-8，本实用新型提供的一种实施例：一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括样本夹持装置A1、底座2、样本夹持装置B3和样本夹持装置C7，底座2由定位销6、柱状部5、支撑斜面8、调节螺杆和定位孔14构成，底座2上设置有柱状部5，且柱状部5上端两侧对称设置有固定样品夹持装置的支撑斜面8，支撑斜面8的中间位置上设置有定位孔14，柱状部5两侧对称设置有调节螺杆A4，调节螺杆A4与支撑斜面8不在同一圆柱表面上，柱状部5的下方位置上安装有定位销6，样本夹持装置A1、样本夹持装置B3和样本夹持装置C7皆与支撑斜面8上的定位孔14之间通过定位销6可拆式连接，样本夹持装置A1由带矩形凹槽样品台10、调节螺杆B11和定位销6构成，样本夹持装置A1的中间位置上设置有带矩形凹槽样品台10，且带矩形凹槽样品台10的表面均匀设置有若干个调节螺杆B11，样本夹持装置A1下方安装有定位销6，样本夹持装置B3由平面样品台9和定位销6构成，平面样品台9安装在样本夹持装置B3的上方，且样本夹持装置B3的下方安装有定位销6，样本夹持装置C7由带柱形凹槽样品台12、调节螺杆C和定位销6构成，样本夹持装置C7的中间位置上设置带柱形凹槽样品台12，且带柱形凹槽样品台12的表面安装有调节螺杆C13，样本夹持装置C7的下方设置有定位销6，支撑斜面8与柱状部5在水平方向的夹角为70度，平面样品台9的平面尺寸为12mm × 50mm，用导电胶将未镶嵌的薄片状样品整齐的黏贴在平面样品台9平面上，最多可固定测试表面积小于10mm×10mm的未镶嵌薄片状样品4个，样本夹持装置B3的定位销6直径为3mm，工作时样本夹持装置B3的定位销6插入底座2上的定位孔14中贴合，调节螺杆A4固定，，调节螺杆B11可穿过带矩形凹槽样品台10上的样品放置腔，矩形凹槽样品台10的矩形尺寸为5mm × 50mm，深度为8mm，带矩形凹槽样品台10内最多可夹持测试表面积小于5mm×10mm的块状样品4个，带矩形凹槽样品台10的定位销6直径为3mm，工作时带矩形凹槽样品台10的定位销6插入底座2上的定位孔14中贴合，调节螺杆A4固定，调节螺杆C13可穿过带柱形凹槽样品台12上的样品放置腔，带柱形凹槽样品台12柱形直径35mm，深度为20mm，样品通过调节螺杆C13固定在柱形凹槽内，可夹持测试面直径小于35mm的镶嵌柱状样品1个,带柱形凹槽样品台12的定位销6直径为3mm，工作时带柱形凹槽样品台12的定位销6插入底座2上的定位孔14中贴合，调节螺杆A4固定。
工作原理：使用时，两个支撑斜面8上的定位孔14上可装配同一样品台，也可装配不同样品台，将待测样品装配到对应样品台上，如实施例1-3所示，分析时，先对一侧的样品进行测试，完成后通过平面旋转扫描电镜样品台，对另一侧的样品进行测试。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (5)
1.一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括样本夹持装置A（1）、底座（2）、样本夹持装置B（3）和样本夹持装置C（7），其特征在于：所述底座（2）由定位销（6）、柱状部（5）、支撑斜面（8）、调节螺杆和定位孔（14）构成，所述底座（2）上设置有柱状部（5），且柱状部（5）上端两侧对称设置有固定样品夹持装置的支撑斜面（8），所述支撑斜面（8）的中间位置上设置有定位孔（14），所述柱状部（5）两侧对称设置有调节螺杆A（4），所述调节螺杆A（4）与支撑斜面（8）不在同一圆柱表面上，所述柱状部（5）的下方位置上安装有定位销（6），所述样本夹持装置A（1）、样本夹持装置B（3）和样本夹持装置C（7）皆与支撑斜面（8）上的定位孔（14）之间通过定位销（6）可拆式连接，所述样本夹持装置A（1）由带矩形凹槽样品台（10）、调节螺杆B（11）和定位销（6）构成，所述样本夹持装置A（1）的中间位置上设置有带矩形凹槽样品台（10），且带矩形凹槽样品台（10）的表面均匀设置有若干个调节螺杆B（11），所述样本夹持装置A（1）下方安装有定位销（6），所述样本夹持装置B（3）由平面样品台（9）和定位销（6）构成，所述平面样品台（9）安装在样本夹持装置B（3）的上方，且样本夹持装置B（3）的下方安装有定位销（6），所述样本夹持装置C（7）由带柱形凹槽样品台（12）、调节螺杆C和定位销（6）构成，所述样本夹持装置C（7）的中间位置上设置带柱形凹槽样品台（12），且带柱形凹槽样品台（12）的表面安装有调节螺杆C（13），所述样本夹持装置C（7）的下方设置有定位销（6）。
2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，其特征在于：所述支撑斜面（8）与柱状部（5）在水平方向的夹角为70度。
3.根据权利要求1所述的一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，其特征在于：所述平面样品台（9）与样品之间通过导电胶固定。
4.根据权利要求1所述的一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，其特征在于：所述调节螺杆B（11）可穿过带矩形凹槽样品台（10）上的样品放置腔，矩形凹槽样品台（10）的矩形尺寸为5mm × 50mm，深度为8mm。
5.根据权利要求1所述的一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，其特征在于：所述调节螺杆C（13）可穿过带柱形凹槽样品台（12）上的样品放置腔，带柱形凹槽样品台（12）柱形直径35mm，深度为20mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720517222.XU CN206892007U (zh) | 2017-05-11 | 2017-05-11 | 一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720517222.XU CN206892007U (zh) | 2017-05-11 | 2017-05-11 | 一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206892007U true CN206892007U (zh) | 2018-01-16 |
Family
ID=61341276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720517222.XU Expired - Fee Related CN206892007U (zh) | 2017-05-11 | 2017-05-11 | 一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206892007U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109884097A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-06-14 | 内蒙古科技大学 | 一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置 |
| CN111751183A (zh) * | 2020-07-03 | 2020-10-09 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种样品台柱及其制造方法 |
-
2017
- 2017-05-11 CN CN201720517222.XU patent/CN206892007U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109884097A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-06-14 | 内蒙古科技大学 | 一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置 |
| CN111751183A (zh) * | 2020-07-03 | 2020-10-09 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种样品台柱及其制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206892007U (zh) | 一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台 | |
| CN201673088U (zh) | 一种用于维氏硬度仪的试样台 | |
| CN105810543A (zh) | 一种用于观察三维原子探针试样的透射电镜样品台 | |
| CN205679470U (zh) | 斜端面试样硬度测试辅助装置 | |
| CN205692794U (zh) | 一种用于观察三维原子探针试样的透射电镜样品台 | |
| CN110132830A (zh) | 利用微区电化学系统高通量表征材料耐蚀性能的方法 | |
| CN110286059B (zh) | 海尔贝克阵列式磁悬浮密度测量的方法及装置 | |
| CN111521627A (zh) | 一种ebsd测试样品台 | |
| CN209147915U (zh) | 一种磁吸式数显大量程三向机械测缝计 | |
| CN206430816U (zh) | 测试探头装置 | |
| CN216771386U (zh) | 一种便携式机械工件自动测定硬度计 | |
| CN209432909U (zh) | 撕膜静电压测试辅助装置 | |
| CN108825448A (zh) | 静态变形的检测方法和检测系统 | |
| CN107830814A (zh) | 一种基于光度学的测量表面变形的方法 | |
| CN213957199U (zh) | 扫描电镜大面积ebsd试样用样品台 | |
| JP2002042715A (ja) | 組成分布立体表示アトムプローブおよび走査型組成分布立体表示アトムプローブ | |
| CN212845122U (zh) | 一种用于电子探针测试的多功能样品台 | |
| CN113390907A (zh) | 用于电子背散射衍射的样品台 | |
| CN104407313B (zh) | 便携式三维磁场测量系统及其测量方法 | |
| CN106596403A (zh) | 用于曲面镜反射率测量的夹持装置 | |
| CN209727742U (zh) | 一种红外光谱仪样品夹 | |
| CN207457105U (zh) | 一种x-ct系统用测量夹具 | |
| CN206460941U (zh) | 一种多工位扫描电镜ebsd样品台 | |
| CN216594873U (zh) | 一种适用于不同尺寸材料进行ebsd测试的样品台 | |
| CN206192736U (zh) | 一种扫描电镜用平面样品制样装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20180116 |